JP2013535842A - 静電チャック及びその使用方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図2
Description
202 ディスク
204 熱制御板
206 堆積リング
208 絶縁層
210 支持ハウジング
212 中空基部
216 接合面
217 真空プレート
218 接合面
220 基板対向面
221 貫通孔
222 熱制御板対向面
223 フランジ
224 ハウジング
226 傾斜縁
227 傾斜縁
229 導管
230 貫通孔
232 電線管
234 ガス供給ライン
235 マニホールド
236 ガス供給ライン
238 第1の溝
239 第1の貫通孔
240 第2の溝
241 第2の貫通孔
245 本体
S 基板
Claims (15)
- 基板を支持する第1の面と、熱制御板に選択的に結合するための接合面を提供する、前記第1の面の反対側の第2の面とを有するディスクと、
前記ディスク内の前記第1の面の近傍に配置されて、前記基板を前記ディスクに静電的に結合する第1の電極と、
前記ディスク内の前記ディスクの反対面の近傍に配置されて、前記ディスクを前記熱制御板に静電的に結合する第2の電極と、
を備えることを特徴とする静電チャック。 - 前記第2の電極が、前記ディスクを加熱するようにさらに構成される、
ことを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。 - 前記ディスクの前記第2の面内、又は前記熱制御板内に形成されて、前記ディスクと前記熱制御板の間に伝熱流体を流す少なくとも1つの溝をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 前記伝熱流体が、アルゴン又はヘリウムガスを含む、
ことを特徴とする請求項3に記載の静電チャック。 - 前記ディスクの前記第1の面内に形成されて、前記ディスクと前記基板との間に伝熱流体を流す少なくとも1つの溝をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 前記ディスクが、
ベースと、
前記ベース上に配置されて、その上に前記第1の電極及び第2の電極が配置された第1の誘電材料の層と、
前記第1の電極及び第2の電極上に配置された第2の誘電材料の層と、
をさらに含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 前記ベースが、グラファイト、熱分解窒化ホウ素又はシリコンを含み、前記第1及び第2の誘電材料の層が、熱分解窒化ホウ素を含む、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 前記ディスクが、
上部に前記第1の電極及び第2の電極が配置された誘電性のベースと、
前記第1の電極及び第2の電極上に配置された誘電材料の層と、
をさらに含むことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 前記ディスクの前記第2の面に結合された熱制御板をさらに備える、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 前記ディスクが、前記基板の熱膨張係数と実質的に等しい熱膨張係数を有する、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 前記ディスクが、前記基板の厚みの約3倍の厚みを有する、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 前記ディスクが、約1.0〜約2.5mmの厚みを有する、
ことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の静電チャック。 - 基板の処理方法であって、
プロセスチャンバ内に配置された静電チャックのディスクの第1の面の近傍に配置された第1の電極に電力を供給することにより、前記静電チャック内の前記第1の表面上に基板を固定するステップと、
前記第1の面の反対側の前記ディスクの第2の面と、前記ディスクに結合された熱制御板との間に配置された接合面を通じる熱伝導率を選択的に増加又は減少させて、前記ディスクと前記熱制御板の間の伝熱速度を制御するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記基板を加熱する時に、
前記ディスクと前記熱制御板の間に配置された1又はそれ以上の溝を介して前記接合面に供給されるガスの圧力を減少させること、又は
前記ディスクの前記第2の面の近傍に配置された第2の電極に供給される、前記ディスクを前記熱制御板に静電的に固定するための電圧を減少させること、
のうちの少なくとも一方により、前記接合面を通じる熱伝導率を減少させるステップ、又は
前記基板を冷却する時に、
前記ディスクと前記熱制御板の間に配置された1又はそれ以上の溝を介して前記接合面に供給されるガスの圧力を増加させること、又は
前記ディスクの前記第2の面の近傍に配置された第2の電極に供給される、前記ディスクを前記熱制御板に静電的に固定するための電圧を増加させること、
のうちの少なくとも一方により、前記接合面を通じる熱伝導率を増加させるステップ、
のうちの少なくとも一方をさらに含む、
ことを特徴とする請求項13に記載の方法。 - 前記ディスクの前記第2の面の近傍に配置された第2の電極にAC電流を供給して前記ディスク及び前記基板を加熱するステップ、又は
前記ディスクの前記第1の面の近傍に配置された前記第1の電極にAC電流を供給して前記ディスク及び前記基板を加熱するステップ、
のうちの少なくとも一方をさらに含む、
ことを特徴とする請求項13に記載の方法。
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