JP2013531370A - 熱電素子 - Google Patents
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Abstract
少ない半導体材料にもかかわらず十分な機械的な安定性を保証する、高い熱出力密度を有する熱電素子を提供するため、直方体の熱電効果と支持機能とを2つの構造部品に分割することが提唱される。多数の部分から成るキャリアが、当該支持機能を請け負う一方で、当該熱電効果は、このキャリア上に配置された、特に薄膜として形成された熱電素片から得られる。
Description
(a)前記キャリアが、第1キャリア部分とより高い熱伝導率を有する第2キャリア部分とを備え、
(b)前記第1キャリア部分と前記第2キャリア部分とが、これらのキャリア部分に比べてより小さい熱伝導率を有する区間によって互いに分離されていて、
(c)前記キャリア上に配置された前記熱電素片が、前記第1キャリア部分と前記第2キャリア部分との間に延在し且つより小さい熱伝導率を有する前記区間をブリッジし、これらのキャリア部分のうちの一方のキャリア部分が、前記熱電素子の高温側を形成し、その他方のキャリア部分が、前記熱電素子の低温側を形成することによって解決される。
2 基板
3a n型熱電素片
3b p型熱電素片
4 結合点
5 結合点
6 接点
7 接点
8 キャリア
9 キャリアの厚さ
10 第1キャリア部分
11 第2キャリア部分
12 区間
13a,13b ウェブ
14 接点
15 接点
16 貫通接触部
17 接点
18 空隙
19 高温側
20 低温側
21 上縁
22 下縁
23 接点
24 貫通接触部
25 接点
26 接点
27 接点
28 金属被膜層
29 モジュール
30 第1セラミック板
31 第2セラミック板
32 積層体
ドイツ連邦共和国特許出願公開第1976034号明細書は、複数の熱電対を有する熱電チップを開示する。これらの熱電対がそれぞれ、半導体材料から成るn型薄膜熱電素片とp型薄膜熱電素片とを有し、これらの熱電素片間に結合部分を有する。これらの熱電素片が、熱電チップの高温側と低温側との間に延在する。熱電素子が、第1キャリア部分と第2キャリア部分とを有する、高い熱伝導性の材料から成るキャリアを有する。この場合、この第1キャリア部分とこの第2キャリア部分とが、これらのキャリア部分に比べてより小さい熱伝導率を有する区間によって互いに分離されている。当該薄膜熱電素片及びこれらの熱電素片間の金属結合部分が、電気絶縁材料から成る膜の、外側に向いている表面上に配置されている。当該膜の対向している他方の表面が、その縁側でこれらのキャリア部分に搭載している。その結果、当該膜が、第1キャリア部分から第2キャリア部分まで延在し、当該膜の外側に向いている表面上に配置された熱電素片が、より小さい熱伝導率を有する区間をブリッジする。少なくとも1つのチップ、特に複数のチップが、高温側のプレートと低温側のプレートとの間でユニットに統合される。
【特許文献1】米国特許出願公開第2007/0152352号明細書
【特許文献2】 ドイツ連邦共和国特許出願公開第1976034号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
Claims (13)
- 半導体材料から成るn型熱電素片とp型熱電素片とがある少なくとも1つの熱電対を有する熱電素子であって、これらの熱電素片が、前記熱電素子の高温側と低温側との間に延在し、異なる高さの温度が、前記高温側と前記低温側との間で印加可能であるか又は獲得可能であり、前記熱電素子が、キャリアを有する当該熱電素子において、
(a)前記キャリア(8)が、第1キャリア部分(10)とより高い熱伝導率を有する第2キャリア部分(11)とを備え、
(b)前記第1キャリア部分(10)と前記第2キャリア部分(11)とが、これらのキャリア部分(10,11)に比べてより小さい熱伝導率を有する区間(12)によって互いに分離されていて、
(c)前記キャリア(8)上に配置された前記熱電素片(3a,b)が、前記第1キャリア部分(10)と前記第2キャリア部分(11)との間に延在し且つより小さい熱伝導率を有する前記区間(12)をブリッジし、これらのキャリア部分のうちの一方のキャリア部分(11)が、前記熱電素子の前記高温側を形成し、その他方のキャリア部分(10)が、前記熱電素子の前記低温側を形成することを特徴とする熱電素子。 - 前記熱電素片(3a,b)は、膜として形成されていることを特徴とする請求項1に記載の熱電素子。
- 前記熱電素片(3a,b)は、金属箔として形成されていることを特徴とする請求項1に記載の熱電素子。
- 前記区間(12)は、前記第1キャリア部分と前記第2キャリア部分とを結合する少なくとも1つのウェブ(13a,b)を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の熱電素子。
- より小さい熱伝導率を有する前記区間(12)の少なくとも一部が、絶縁材料から成ることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載熱電素子。
- 前記熱電素片(3a,b)は、より小さい熱伝導率を有する基板(2)上に被覆されていて、この基板(2)が、前記熱電素片(3a,b)を有するこの基板の表面によって前記キャリア(8)上に搭載していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載熱電素子。
- 直列接続された前記熱電素片(3a,b)が、前記低温側(20)で少なくとも2つの電気接点(14,15)に接合されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載熱電素子。
- 前記2つの電気接点のうちの一方の電気接点(15)が、貫通接触部(16)を有し、この貫通接触部(16)が、前記キャリア部分(10)の、前記電気接点(15)に対向する側の1つの接点(17)まで通じていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載熱電素子。
- 少なくとも前記第1キャリア部分(10)及び前記第2キャリア部分(11)は、セラミックから成ることを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載熱電素子。
- 少なくとも前記第1キャリア部分(10)及び前記第2キャリア部分(11)は、低温同時焼成多層セラミックスから成ることを特徴とする請求項9に記載熱電素子。
- 前記キャリア部分の熱伝導率を改善するための層(28)が、当該第1キャリア部分(10)と当該第2キャリア部分(11)との中に埋設されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載熱電素子。
- モジュール(29)が、請求項1〜11のいずれか1項に記載の互いに電気接続されている複数の熱電素子を有する当該モジュール。
- 板状の複数の熱電素子が、積層体を形成することを特徴とする請求項12に記載のモジュール。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102010022668A DE102010022668B4 (de) | 2010-06-04 | 2010-06-04 | Thermoelektrisches Element und Modul umfassend mehrere derartige Elemente |
DE102010022668.8 | 2010-06-04 | ||
PCT/EP2011/057679 WO2011151144A2 (de) | 2010-06-04 | 2011-05-12 | Thermoelektrisches element |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013531370A true JP2013531370A (ja) | 2013-08-01 |
JP5788501B2 JP5788501B2 (ja) | 2015-09-30 |
Family
ID=44119043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013512814A Expired - Fee Related JP5788501B2 (ja) | 2010-06-04 | 2011-05-12 | 熱電素子 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20130081665A1 (ja) |
EP (1) | EP2577756B1 (ja) |
JP (1) | JP5788501B2 (ja) |
CN (1) | CN102947960B (ja) |
DE (1) | DE102010022668B4 (ja) |
RU (1) | RU2546830C2 (ja) |
WO (1) | WO2011151144A2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012105367A1 (de) * | 2012-02-24 | 2013-08-29 | O-Flexx Technologies Gmbh | Thermoelektrisches Modul und Herstellungsverfahren |
US9620700B2 (en) | 2013-01-08 | 2017-04-11 | Analog Devices, Inc. | Wafer scale thermoelectric energy harvester |
US9620698B2 (en) * | 2013-01-08 | 2017-04-11 | Analog Devices, Inc. | Wafer scale thermoelectric energy harvester |
US9748466B2 (en) | 2013-01-08 | 2017-08-29 | Analog Devices, Inc. | Wafer scale thermoelectric energy harvester |
US9960336B2 (en) | 2013-01-08 | 2018-05-01 | Analog Devices, Inc. | Wafer scale thermoelectric energy harvester having trenches for capture of eutectic material |
US10224474B2 (en) | 2013-01-08 | 2019-03-05 | Analog Devices, Inc. | Wafer scale thermoelectric energy harvester having interleaved, opposing thermoelectric legs and manufacturing techniques therefor |
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-
2010
- 2010-06-04 DE DE102010022668A patent/DE102010022668B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-05-12 WO PCT/EP2011/057679 patent/WO2011151144A2/de active Application Filing
- 2011-05-12 JP JP2013512814A patent/JP5788501B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2011-05-12 EP EP20110722360 patent/EP2577756B1/de not_active Not-in-force
- 2011-05-12 CN CN201180027694.2A patent/CN102947960B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-05-12 US US13/701,674 patent/US20130081665A1/en not_active Abandoned
- 2011-05-12 RU RU2012157991/28A patent/RU2546830C2/ru not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011151144A3 (de) | 2012-08-16 |
DE102010022668A1 (de) | 2011-12-08 |
RU2546830C2 (ru) | 2015-04-10 |
CN102947960A (zh) | 2013-02-27 |
DE102010022668B4 (de) | 2012-02-02 |
WO2011151144A2 (de) | 2011-12-08 |
RU2012157991A (ru) | 2014-07-20 |
US20130081665A1 (en) | 2013-04-04 |
JP5788501B2 (ja) | 2015-09-30 |
EP2577756A2 (de) | 2013-04-10 |
CN102947960B (zh) | 2016-07-06 |
EP2577756B1 (de) | 2015-04-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20131119 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141218 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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