JP2013524397A - 選択的/差動閾値電圧機能を含む不揮発性メモリ検知システム及び方法 - Google Patents
選択的/差動閾値電圧機能を含む不揮発性メモリ検知システム及び方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013524397A JP2013524397A JP2013502822A JP2013502822A JP2013524397A JP 2013524397 A JP2013524397 A JP 2013524397A JP 2013502822 A JP2013502822 A JP 2013502822A JP 2013502822 A JP2013502822 A JP 2013502822A JP 2013524397 A JP2013524397 A JP 2013524397A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- region
- threshold voltage
- threshold
- differential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000007943 implant Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 20
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 238000002513 implantation Methods 0.000 claims description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 10
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 9
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 8
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 6
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 3
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 claims description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 25
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 11
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000004513 sizing Methods 0.000 description 2
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000009738 saturating Methods 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/06—Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
- G11C7/065—Differential amplifiers of latching type
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/06—Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
- G11C7/062—Differential amplifiers of non-latching type, e.g. comparators, long-tailed pairs
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C11/00—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
- G11C11/21—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
- G11C11/34—Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C16/00—Erasable programmable read-only memories
- G11C16/02—Erasable programmable read-only memories electrically programmable
- G11C16/06—Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
- G11C16/26—Sensing or reading circuits; Data output circuits
- G11C16/28—Sensing or reading circuits; Data output circuits using differential sensing or reference cells, e.g. dummy cells
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C7/00—Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
- G11C7/06—Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/823412—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type with a particular manufacturing method of the channel structures, e.g. channel implants, halo or pocket implants, or channel materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
- H01L21/823807—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS with a particular manufacturing method of the channel structures, e.g. channel implants, halo or pocket implants, or channel materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/06—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions
- H01L29/10—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape; characterised by the shapes, relative sizes, or dispositions of the semiconductor regions ; characterised by the concentration or distribution of impurities within semiconductor regions with semiconductor regions connected to an electrode not carrying current to be rectified, amplified or switched and such electrode being part of a semiconductor device which comprises three or more electrodes
- H01L29/107—Substrate region of field-effect devices
- H01L29/1075—Substrate region of field-effect devices of field-effect transistors
- H01L29/1079—Substrate region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/1083—Substrate region of field-effect devices of field-effect transistors with insulated gate with an inactive supplementary region, e.g. for preventing punch-through, improving capacity effect or leakage current
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/401—Multistep manufacturing processes
- H01L29/4011—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes
- H01L29/40117—Multistep manufacturing processes for data storage electrodes the electrodes comprising a charge-trapping insulator
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42364—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the insulating layer, e.g. thickness or uniformity
- H01L29/42368—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the insulating layer, e.g. thickness or uniformity the thickness being non-uniform
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/41—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions
- H01L29/423—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by their shape, relative sizes or dispositions not carrying the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/42312—Gate electrodes for field effect devices
- H01L29/42316—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors
- H01L29/4232—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate
- H01L29/42372—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out
- H01L29/4238—Gate electrodes for field effect devices for field-effect transistors with insulated gate characterised by the conducting layer, e.g. the length, the sectional shape or the lay-out characterised by the surface lay-out
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
- H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
- H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
- H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
- H01L29/66477—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET
- H01L29/66833—Unipolar field-effect transistors with an insulated gate, i.e. MISFET with a charge trapping gate insulator, e.g. MNOS transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7833—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's
- H01L29/7835—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with lightly doped drain or source extension, e.g. LDD MOSFET's; DDD MOSFET's with asymmetrical source and drain regions, e.g. lateral high-voltage MISFETs with drain offset region, extended drain MISFETs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/792—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with charge trapping gate insulator, e.g. MNOS-memory transistors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Read Only Memory (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
【選択図】図2
Description
本明細書の一部を構成する添付図面は、本発明の種々の実施形態及び態様を例証しており、本明細書と共に本発明の原理を説明する。
214 ダイオード接続差動閾値MOSトランジスタ
218 差動閾値MOSトランジスタ
222 RC構成要素
226 基準メモリセル
230 基準カラム
250〜270 データカラム
254 電圧基準Vref
258〜278 コンパレータ
262、282 ダイオード接続差動閾値NMOSトランジスタ
266、286 MOS(例えば、カスコード)トランジスタ
274、294 データメモリセル
272、292 ビットラインRC構成要素
Claims (74)
- 基準電圧ノード、基準メモリセル、第1のMOSトランジスタ、及び第1の差動閾値MOSトランジスタを含む基準カラムと、
各々が前記基準カラムと並列にそれぞれのデータ電圧ノードに結合された複数のデータカラムと、
を備え、前記各データカラムが、データメモリセル、第2のMOSトランジスタ、及び第2の差動閾値MOSトランジスタを含み、前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、ゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を各々が有するトランジスタである、ことを特徴とする検知回路。 - 前記第1のMOSトランジスタがカスコードトランジスタである、請求項1に記載の検知回路。
- 前記第1及び第2の差動閾値MOSトランジスタの1つ又はそれ以上が、ダイオード接続され、及び/又はNMOS又はネイティブNMOSトランジスタである、請求項1に記載の検知回路。
- 前記データ電圧ノードの1つ又はそれ以上が、各々コンパレータに結合される、請求項1に記載の検知回路。
- 前記各データ電圧ノードが、コンパレータに結合される、請求項1に記載の検知回路。
- メモリセル、第1のPMOSトランジスタ、第1の差動閾値MOSトランジスタ、及び前記第1のPMOSトランジスタと前記第1の差動閾値MOSトランジスタに結合された出力電圧ノードを含む回路と、
前記出力電圧ノードに接続された複数のメモリカラムと、
を備え、前記各メモリカラムが、1つ又はそれ以上の差動閾値MOSトランジスタを含むymuxトランジスタサブ回路を含み、前記差動閾値MOSトランジスタの1つ又はそれ以上が、ゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を各々が有するトランジスタである、ことを特徴とする検知回路。 - 前記ymuxトランジスタサブ回路の少なくとも1つが、
前記基準電圧ノードに接続されたドレイン及び内部ノードに接続されたソースを有する第1の差動閾値NMOSトランジスタと、
前記第1の差動閾値NMOSトランジスタのソースと直列に内部ノードに接続されたドレインを有する第2の差動閾値NMOSトランジスタと、
前記内部ノードに接続されたソースを有する第3の差動閾値NMOSトランジスタと、
を含む、請求項6に記載の検知回路。 - 前記各ymuxトランジスタサブ回路が、
前記基準電圧ノードに接続されたドレイン及び内部ノードに接続されたソースを有する第1の差動閾値NMOSトランジスタと、
前記第1の差動閾値MOSトランジスタのソースと直列に内部ノードに接続されたドレインを有する第2の差動閾値NMOSトランジスタと、
前記内部ノードに接続されたソースを有する第3の差動閾値NMOSトランジスタと、
を含む、請求項6に記載の検知回路。 - 出力電圧ノード、メモリセル、ダイオード接続された第1のPMOSトランジスタ、及び前記第1のPMOSトランジスタのドレインに接続されて前記出力電圧ノードを形成するドレインと第1のノードに接続されたソースとを有する第1の差動閾値NMOSトランジスタを含むデータカラムと、
前記第1のノードに接続されたドレインを有する第2の差動閾値NMOSトランジスタを含む第1のメモリカラムと、
前記第1のメモリカラムと並列に前記第1のノードに接続され、差動閾値MOSトランジスタを各々が含む第2のメモリカラムと、
を備え、前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、ゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を各々が有するトランジスタである、ことを特徴とする検知回路。 - 1つ又はそれ以上の追加のメモリカラムを更に備える、請求項9に記載の検知回路。
- 基準電圧ノード、基準メモリセル、ダイオード接続され且つ前記基準電圧ノードに接続されたドレインを有する第1の差動閾値PMOSトランジスタ、及び前記基準電圧ノードに接続されたドレインを有する第1の差動閾値NMOSトランジスタを含む基準カラムと、
前記基準電圧ノードに接続されたゲートと第1のノードに接続されたソースとを有する第1の差動閾値NMOSトランジスタ、前記第1のノードに接続されたドレインを有する第2の差動閾値NMOSトランジスタ、ダイオード接続され且つ第2のノードに接続されたドレインを有する第2の差動閾値PMOSトランジスタ、前記第2のノードに接続されたゲートと第3のノードに接続されたドレインとを有する第3の差動閾値PMOSトランジスタ、前記第1のノードに接続されたソースを有する第3の差動閾値NMOSトランジスタ、前記第3のノードに接続されたゲートと出力ノードに接続されたドレインとを有する第3の差動閾値PMOSトランジスタ、及び前記出力ノードに接続されたドレインを有する第4の差動閾値NMOSトランジスタを含むコンパレータを備えた回路と、
を備え、前記第3及び第4の差動閾値NMOSトランジスタのゲートが共通の制御ラインに接続されており、前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、ゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を各々が有するトランジスタである、ことを特徴とする検知回路又は差動検知増幅器。 - 前記第1の差動閾値NMOSトランジスタが、カスコードトランジスタである、請求項11に記載の検知回路。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、カスコードトランジスタである、請求項1〜12の何れかに記載の検知回路。
- 前記差動閾値NMOSトランジスタの1つ又はそれ以上が、第1の接合領域及び第2の接合領域を含むチャンネル領域を有するトランジスタであり、第1の絶縁部分の形状並びに前記第1の接合領域の形状又は注入が変動する寸法のものであり、第2の絶縁部分及び/又は前記第2の接合領域の一方又は両方の寸法により規定されるゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を提供するようにする、請求項1〜13の何れかに記載の検知回路。
- 基準電圧ノード、基準メモリセル、前記基準電圧ノードに接続されたドレインを有する第1の差動閾値PMOSトランジスタ、及び前記基準電圧ノードに接続されたドレインを有する第1の差動閾値NMOSトランジスタを含む基準カラムと、
コンパレータを含み且つ少なくとも1つの差動閾値MOSトランジスタを含む回路と、
を備え、前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、ゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を各々が有するトランジスタである、ことを特徴とする検知又は差動検知増幅回路。 - 前記第1の差動閾値PMOSトランジスタが、ダイオード接続されている、請求項15に記載の回路。
- 前記差動閾値NMOSトランジスタの1つ又はそれ以上が、第1の接合領域及び第2の接合領域を含むチャンネル領域を有するトランジスタであり、第1の絶縁部分の形状並びに前記第1の接合領域の形状又は注入が変動する寸法のものであり、第2の絶縁部分及び/又は前記第2の接合領域の一方又は両方の寸法により規定されるゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を提供するようにする、請求項15に記載の回路。
- 第1のノードに接続されたドレインを有する第1の差動閾値PMOSトランジスタと、
前記第1のノードに接続されたゲート及び出力ノードに接続されたドレインを有する差動閾値NMOSトランジスタと、
前記第1のノードに接続されたゲート及び前記出力ノードに接続されたドレインを有する第2の差動閾値PMOSトランジスタと、
を備え、前記第1、第2、及び/又は第3のMOSトランジスタの1つ又はそれ以上のソース及び/又はドレインと関連する少なくとも1つの閾値電圧が、前記回路の動作マージンを改善するように調整される、ことを特徴とするパワーオンリセット回路。 - 前記第1のPMOSトランジスタのソース閾値電圧が、対応するドレイン閾値電圧又は同等の標準ロジックトランジスタの何れかよりも高く設定される、請求項18に記載の回路。
- 前記NMOSトランジスタ及び/又は前記第2のPMOSトランジスタの少なくとも1つのソース閾値電圧が、これらのドレイン閾値電圧の一方又は両方、或いは同等の標準ロジックトランジスタの閾値電圧の何れかよりも高く設定される、請求項18又は19に記載の回路。
- 前記閾値電圧が、前記回路に対してより低い「オン」値を可能にするように調整される、請求項18〜20の何れかに記載の回路。
- 前記第1のPMOSトランジスタのドレイン閾値電圧が、対応するソース閾値電圧又は同等の標準ロジックトランジスタの何れかよりも低く設定される、請求項18〜21の何れかに記載の回路。
- 前記NMOSトランジスタ及び/又は前記第2のPMOSトランジスタの少なくとも1つのドレイン閾値電圧が、これらのソース閾値電圧の一方又は両方、或いは同等の標準ロジックトランジスタの閾値電圧の何れかよりも高く設定される、請求項18又は22に記載の回路。
- 前記閾値電圧が、前記回路に対してより低い「オン」値を可能にするように調整される、請求項22〜23の何れかに記載の回路。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、第1の領域に隣接する第1の接合領域及び第2の領域に隣接する第2の接合領域を含むチャンネル領域を備え、第1の絶縁部分の形状並びに前記第1の接合領域の形状又は注入が変動する寸法のものであり、第2の絶縁部分及び/又は前記第2の接合領域の一方又は両方の寸法により規定されるゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を提供するようにする、請求項1〜24の何れかに記載の回路。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、前記第1の領域に隣接する第1の接合領域及び前記第2の領域に隣接する第2の接合領域を有する接合領域を備えたチャンネル領域を含み、前記第1の接合領域及び前記第2の接合領域が互いに対向されており、前記第1の接合領域又は前記第2の接合領域の形状又は注入の一方又は両方が変動する寸法のものであり、前記対向する接合領域に関連する第2の閾値電圧とは異なる第1の閾値電圧を提供するようにする、請求項1〜24の何れかに記載の回路。
- 前記第1の接合領域又は前記第2の接合領域の形状又は注入の一方又は両方が、相補的な注入によって変えられ、ポケット注入に応じて異なる閾値電圧を有するデバイスを提供するようにする、請求項26に記載の回路。
- 前記第1の接合領域又は前記第2の接合領域の注入が、相補的な注入によって変えられ、ポケット注入に応じて異なる閾値電圧を有するデバイスを提供するようにする、請求項26に記載の回路。
- 前記注入の変動した寸法が、注入のタイプ又は組成、注入の密度、注入の濃度、及び/又は前記第1の接合領域の遷移領域を通る変位における変動の1つ又はそれ以上を含む、請求項28に記載の回路。
- 前記注入が、異なるイオン/化合物でドープされ、異なる注入量を有し、異なるプロセスで形成され、及び/又は異なる角度で製作されたものの1つ又はそれ以上を含む、異なる組成のものとすることができる、請求項28に記載の回路。
- 前記注入が、異なる密度/濃度、変動するサイズ、場所、又は強度の1つ又はそれ以上、及び/又はこのような差違の2つ又はそれ以上によって特徴付けられる、請求項28に記載の回路。
- 前記第1の接合領域又は前記第2の接合領域の形状及び注入が、1つ又はそれ以上の相補的注入によって変えられて、前記1つ又はそれ以上の相補的注入に応じて異なる閾値電圧を有するデバイスを提供するようにする、請求項26に記載の回路。
- 前記第1の閾値電圧又は前記第2の閾値電圧を制御するため前記ソースに隣接する電荷トラップ領域を更に備える、請求項26に記載の回路。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、
第1の導電型の半導体材料の基板と、
第2の導電型のものであり且つ互いに離間されてこれらの間にチャンネル領域を定める、前記基板内の第1の領域及び第2の領域と、
前記第1の領域に関連する第1の閾値電圧及び前記第2の領域に関連する第2の閾値電圧をもたらす電荷トラップと、
を含む、請求項1〜33の何れかに記載の回路。 - 前記電荷トラップ領域が窒化物である、請求項34に記載の回路。
- 前記電荷トラップ領域が層である、請求項34に記載の回路。
- 前記層が窒化物である、請求項36に記載の回路。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、
第1の導電型の半導体材料の基板と、
第2の導電型のものであり且つ互いに離間されてこれらの間にチャンネル領域を定める、前記基板内の第1の領域及び第2の領域と、
前記基板のチャンネル領域の上に配置され、前記第1の領域に隣接する第1の絶縁部分及び前記第2の領域に隣接する第2の絶縁部分を含む対向する絶縁部分を備えた絶縁層と、
前記絶縁層の上のゲート部分と、
を含み、前記各絶縁部分が、前記ゲートと前記各絶縁部分に隣接する第1の領域又は第2の領域との間の閾値電圧を特徴付け、前記第1の絶縁部分が、前記第2の絶縁部分の第2の厚みとは異なる第1の厚みを含む変動寸法で製作されて、前記対向する絶縁部分と関連する第2の閾値電圧とは異なる第1の閾値電圧を提供するようにする、請求項1〜37の何れかに記載の回路。 - 前記第1の厚みが、前記絶縁層からオフセット領域を除去することにより変えられる、請求項38に記載の回路。
- 前記第1の絶縁部分の幅が、異なる第1の閾値電圧を提供するために変えられる、請求項38に記載の回路。
- 前記第1の絶縁部分が、異なる第1の閾値電圧を提供するために変えられる、請求項38に記載の回路。
- 前記第1の絶縁部分が、前記第2の絶縁部分の第2の閾値電圧とは異なる閾値電圧をもたらすために、前記絶縁層から除去される酸化物材料の領域を含む、請求項38に記載の回路。
- 前記除去される酸化物材料の領域が、オフセット領域の形態である、請求項42に記載の回路。
- 前記オフセット領域が、実質的に直線形状である、請求項43に記載の回路。
- 前記変動する寸法が、約0.1ボルト〜約0.5ボルトの閾値電圧の変化をもたらす、請求項38に記載の回路。
- 前記第1の閾値電圧又は前記第2の閾値電圧の一方又は両方を制御するため、前記第1の領域又は前記第2の領域に隣接する電荷トラップ領域を更に備える、請求項38に記載の回路。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、
第1の導電型の半導体材料の基板と、
第2の導電型のものであり且つ互いに離間されてこれらの間にチャンネル領域を定める、前記基板内の第1の領域及び第2の領域と、
前記基板のチャンネル領域の上に配置された絶縁層と、
を備え、前記絶縁層が、前記第1の領域に隣接する第1の絶縁部分及び前記第2の領域に隣接する第2の絶縁部分を含む対向する絶縁部分を備え、前記各絶縁部分が、前記ゲートと前記各絶縁部分に関連する第1の領域又は第2の領域との間の閾値電圧を定め、
前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が更に、
前記絶縁層の上のゲート部分を含み、
前記第1の絶縁部分又は前記第2の絶縁部分が、変動する長さ及び幅で且つ前記対向する絶縁部分と異なる寸法で製作されて、前記対向する絶縁部分と関連する第2の閾値電圧とは異なる第1の閾値電圧を提供するようにする、請求項1〜46の何れかに記載の回路。 - 変動する長さで製作された前記第1の絶縁部分又は前記第2の絶縁部分がまた、変動する幅で製作される、請求項47に記載の回路。
- 前記絶縁層が、低表面積から高表面積に遷移して、対向する閾値電圧とは異なる第1の閾値電圧を提供するようにする、請求項47に記載の回路。
- 前記絶縁層が、2つ又はそれ以上の異なる長さ及び/又は幅の複数の部分から構成され、前記複数の部分間の差違は、異なる長さ及び/又は幅の領域からの遷移を反映する遷移領域によって示され、前記複数の部分の各々が異なる閾値電圧によって特徴付けられる、請求項47に記載の回路。
- 各ソース又は各ドレインの全体又は複合閾値電圧が、各閾値電圧部分構成要素に応じて決定される、請求項50に記載の回路。
- 前記第1の閾値電圧又は前記第2の閾値電圧の一方又は両方を制御するため、前記ソース又はドレインに隣接する電荷トラップ領域を更に備える、請求項47に記載のデバイス。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、電気的に直列配列された2つ又はそれ以上のMOSトランジスタ部分要素を有する金属酸化物半導体デバイスを含み、前記各トランジスタが、
第1の導電型の半導体材料の基板と、
第2の導電型のものであり且つ互いに離間されてこれらの間にチャンネル領域を定める、前記基板内の第1の領域及び第2の領域と、
前記基板のチャンネル領域の上に配置された絶縁層と、
前記絶縁層の上のゲート部分と、
を含み、第1のトランジスタの第1の絶縁部分が、第2のトランジスタの第2の絶縁部分の第2の幅とは異なる第1の幅で製作されて、前記デバイスの第2の閾値電圧とは異なる前記デバイスの第1の閾値電圧を提供するようにする、請求項1〜52の何れかに記載の回路。 - 第1の絶縁部分、第2の絶縁部分、及び第3の絶縁部分を含む3つのMOSトランジスタ部分要素から構成され、前記絶縁部分が各部分要素の閾値電圧を定める、請求項53に記載のデバイス。
- 前記部分要素の最も高い閾値電圧が、前記デバイスの全体又は複合閾値電圧を決定付ける、請求項54に記載のデバイス。
- 前記第1の閾値電圧又は前記第2の閾値電圧の一方又は両方を制御するため、前記第1の絶縁部分、前記第2の絶縁部分、叉は2つ又はそれ以上のトランジスタの別のトランジスタの絶縁部分のうちの1つ又はそれ以上に関連する少なくとも1つの電荷トラップ領域を更に備える、請求項53に記載のデバイス。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、金属酸化物半導体デバイスを含み、該半導体デバイスが、
第1の導電型の半導体材料の基板と、
第2の導電型のものであり且つ互いに離間されてこれらの間にチャンネル領域を定める、前記基板内の第1の領域及び対向する第2の領域と、
前記基板のチャンネル領域の上に配置された絶縁層と、
を備え、前記絶縁層が、前記第1の領域に隣接する第1の絶縁部分及び前記第2の領域に隣接する第2の絶縁部分を含む対向する絶縁部分を備え、前記各絶縁部分が、前記ゲートと前記各絶縁部分に関連する第1の領域又は第2の領域との間の閾値電圧を定め、
前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が更に、
前記絶縁層の上のゲート部分を含み、
前記第1の絶縁部分又は前記第2の絶縁部分が、変動する長さを含み且つ前記対向する絶縁部分と異なる寸法で製作されて、前記対向する絶縁部分と関連する第2の閾値電圧とは異なる第1の閾値電圧を提供するようにする、請求項1〜56の何れかに記載の回路。 - 前記異なる寸法が更に、長さ方向で異なる表面積又は容積寸法を含む、請求項57に記載のデバイス。
- 前記第1の閾値電圧又は前記第2の閾値電圧の一方又は両方を制御するため、前記ソース又はドレインに隣接する電荷トラップ領域を更に備える、請求項57に記載のデバイス。
- 記載された請求項の1つ又はそれ以上による金属酸化物半導体デバイスを含む差動閾値電圧回路を備えた回路。
- 前記差動閾値電圧回路が、読み出し回路を含む、請求項60に記載の回路。
- 前記差動閾値電圧回路が、検知増幅回路を含む、請求項60に記載の回路。
- 前記差動閾値電圧回路が、ラッチ回路を含む、請求項60に記載の回路。
- 前記ラッチ回路が、比率ベース回路である、請求項63に記載の回路。
- 前記差動閾値電圧回路が、Yデコーダ回路を含む、請求項60に記載の回路。
- 前記差動閾値電圧回路が、パワーオン回路を含む、請求項60に記載の回路。
- 前記差動閾値電圧回路が、コンパレータ回路を含む、請求項60に記載の回路。
- 前記コンパレータ回路が、トランジスタの差動ペアを含み、ゲート−ソース間閾値電圧を用いて前記差動ペアのオフセットを調整する、請求項67に記載の回路。
- 前記差動閾値電圧回路が、オペアンプ回路を含む、請求項60に記載の回路。
- 前記オペアンプ回路が、トランジスタの差動ペアを含み、ゲート−ソース間閾値電圧を用いて前記差動ペアのオフセットを調整する、請求項69に記載の回路。
- 前記差動閾値電圧回路が、バッファ駆動回路を含む、請求項60に記載の回路。
- 記載された請求項の何れかによる1つ又はそれ以上の金属酸化物半導体デバイスを含む閾値サンプリング回路及び/又は閾値平均化回路を備えた回路。
- 前記差動閾値トランジスタの1つ又はそれ以上が、金属酸化物半導体デバイスを含み、該半導体デバイスが、
第1の導電型の半導体材料の基板と、
第2の導電型のものであり且つ互いに離間されてこれらの間にチャンネル領域を定める、前記基板内の第1の領域及び第2の領域と、
前記基板のチャンネル領域の上に配置され、前記第1の領域に隣接する第1の絶縁部分及び前記第2の領域に隣接する第2の絶縁部分を含む絶縁層と、
前記絶縁層の上のゲート部分と、
を含み、前記チャンネル領域が、第1の領域に隣接する第1の接合領域及び第2の領域に隣接する第2の接合領域を含み、前記第1の絶縁部分の形状及び/又は前記第1の接合領域の形状又は注入の一方又は両方が、変動する寸法のものであり、第2の絶縁部分及び/又は前記第2の接合領域の一方又は両方の寸法により規定されるゲート−ドレイン間閾値電圧とは異なるゲート−ソース間閾値電圧を提供するようにする、請求項1〜72の何れかに記載の回路。 - 請求項1〜73の何れか及び/又は本明細書で開示される情報による差動閾値金属酸化物半導体デバイスの製作を含む、前記回路の何れかを作る方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/750,628 | 2010-03-30 | ||
US12/750,628 US8385147B2 (en) | 2010-03-30 | 2010-03-30 | Systems and methods of non-volatile memory sensing including selective/differential threshold voltage features |
PCT/US2011/030619 WO2011123583A1 (en) | 2010-03-30 | 2011-03-30 | Systems and methods of non-volatile memory sensing including selective/differential threshold voltage features |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013524397A true JP2013524397A (ja) | 2013-06-17 |
JP6101198B2 JP6101198B2 (ja) | 2017-03-22 |
Family
ID=44709529
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013502822A Active JP6101198B2 (ja) | 2010-03-30 | 2011-03-30 | 選択的/差動閾値電圧機能を含む不揮発性メモリ検知システム及び方法 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US8385147B2 (ja) |
EP (2) | EP2966648B1 (ja) |
JP (1) | JP6101198B2 (ja) |
KR (1) | KR101517270B1 (ja) |
CN (3) | CN112700803A (ja) |
IL (1) | IL222207A (ja) |
SG (1) | SG184371A1 (ja) |
TW (2) | TWI624934B (ja) |
WO (1) | WO2011123583A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017511949A (ja) * | 2014-03-04 | 2017-04-27 | シリコン ストーリッジ テクノロージー インコーポレイテッドSilicon Storage Technology, Inc. | 低電力ナノメートルフラッシュメモリ装置において使用される改良型感知回路 |
Families Citing this family (67)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8421162B2 (en) | 2009-09-30 | 2013-04-16 | Suvolta, Inc. | Advanced transistors with punch through suppression |
US8273617B2 (en) | 2009-09-30 | 2012-09-25 | Suvolta, Inc. | Electronic devices and systems, and methods for making and using the same |
US8530286B2 (en) | 2010-04-12 | 2013-09-10 | Suvolta, Inc. | Low power semiconductor transistor structure and method of fabrication thereof |
US8569128B2 (en) | 2010-06-21 | 2013-10-29 | Suvolta, Inc. | Semiconductor structure and method of fabrication thereof with mixed metal types |
US8759872B2 (en) | 2010-06-22 | 2014-06-24 | Suvolta, Inc. | Transistor with threshold voltage set notch and method of fabrication thereof |
US8404551B2 (en) | 2010-12-03 | 2013-03-26 | Suvolta, Inc. | Source/drain extension control for advanced transistors |
US8461875B1 (en) | 2011-02-18 | 2013-06-11 | Suvolta, Inc. | Digital circuits having improved transistors, and methods therefor |
US8525271B2 (en) | 2011-03-03 | 2013-09-03 | Suvolta, Inc. | Semiconductor structure with improved channel stack and method for fabrication thereof |
US8748270B1 (en) | 2011-03-30 | 2014-06-10 | Suvolta, Inc. | Process for manufacturing an improved analog transistor |
US8999861B1 (en) | 2011-05-11 | 2015-04-07 | Suvolta, Inc. | Semiconductor structure with substitutional boron and method for fabrication thereof |
US8796048B1 (en) | 2011-05-11 | 2014-08-05 | Suvolta, Inc. | Monitoring and measurement of thin film layers |
US8811068B1 (en) | 2011-05-13 | 2014-08-19 | Suvolta, Inc. | Integrated circuit devices and methods |
US8569156B1 (en) | 2011-05-16 | 2013-10-29 | Suvolta, Inc. | Reducing or eliminating pre-amorphization in transistor manufacture |
US8735987B1 (en) | 2011-06-06 | 2014-05-27 | Suvolta, Inc. | CMOS gate stack structures and processes |
US8995204B2 (en) | 2011-06-23 | 2015-03-31 | Suvolta, Inc. | Circuit devices and methods having adjustable transistor body bias |
US8629016B1 (en) | 2011-07-26 | 2014-01-14 | Suvolta, Inc. | Multiple transistor types formed in a common epitaxial layer by differential out-diffusion from a doped underlayer |
WO2013022753A2 (en) | 2011-08-05 | 2013-02-14 | Suvolta, Inc. | Semiconductor devices having fin structures and fabrication methods thereof |
US8748986B1 (en) | 2011-08-05 | 2014-06-10 | Suvolta, Inc. | Electronic device with controlled threshold voltage |
US8645878B1 (en) | 2011-08-23 | 2014-02-04 | Suvolta, Inc. | Porting a circuit design from a first semiconductor process to a second semiconductor process |
US8614128B1 (en) | 2011-08-23 | 2013-12-24 | Suvolta, Inc. | CMOS structures and processes based on selective thinning |
US8713511B1 (en) | 2011-09-16 | 2014-04-29 | Suvolta, Inc. | Tools and methods for yield-aware semiconductor manufacturing process target generation |
US9236466B1 (en) | 2011-10-07 | 2016-01-12 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Analog circuits having improved insulated gate transistors, and methods therefor |
US8895327B1 (en) | 2011-12-09 | 2014-11-25 | Suvolta, Inc. | Tipless transistors, short-tip transistors, and methods and circuits therefor |
US8819603B1 (en) | 2011-12-15 | 2014-08-26 | Suvolta, Inc. | Memory circuits and methods of making and designing the same |
US8883600B1 (en) | 2011-12-22 | 2014-11-11 | Suvolta, Inc. | Transistor having reduced junction leakage and methods of forming thereof |
US8599623B1 (en) | 2011-12-23 | 2013-12-03 | Suvolta, Inc. | Circuits and methods for measuring circuit elements in an integrated circuit device |
US8970289B1 (en) | 2012-01-23 | 2015-03-03 | Suvolta, Inc. | Circuits and devices for generating bi-directional body bias voltages, and methods therefor |
US8877619B1 (en) | 2012-01-23 | 2014-11-04 | Suvolta, Inc. | Process for manufacture of integrated circuits with different channel doping transistor architectures and devices therefrom |
US9093550B1 (en) | 2012-01-31 | 2015-07-28 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Integrated circuits having a plurality of high-K metal gate FETs with various combinations of channel foundation structure and gate stack structure and methods of making same |
US9406567B1 (en) | 2012-02-28 | 2016-08-02 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Method for fabricating multiple transistor devices on a substrate with varying threshold voltages |
US8863064B1 (en) | 2012-03-23 | 2014-10-14 | Suvolta, Inc. | SRAM cell layout structure and devices therefrom |
US9093420B2 (en) | 2012-04-18 | 2015-07-28 | Rf Micro Devices, Inc. | Methods for fabricating high voltage field effect transistor finger terminations |
US9299698B2 (en) | 2012-06-27 | 2016-03-29 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Semiconductor structure with multiple transistors having various threshold voltages |
US9124221B2 (en) | 2012-07-16 | 2015-09-01 | Rf Micro Devices, Inc. | Wide bandwidth radio frequency amplier having dual gate transistors |
US9202874B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-12-01 | Rf Micro Devices, Inc. | Gallium nitride (GaN) device with leakage current-based over-voltage protection |
US9147632B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-09-29 | Rf Micro Devices, Inc. | Semiconductor device having improved heat dissipation |
US9917080B2 (en) | 2012-08-24 | 2018-03-13 | Qorvo US. Inc. | Semiconductor device with electrical overstress (EOS) protection |
US8988097B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-03-24 | Rf Micro Devices, Inc. | Method for on-wafer high voltage testing of semiconductor devices |
US9142620B2 (en) | 2012-08-24 | 2015-09-22 | Rf Micro Devices, Inc. | Power device packaging having backmetals couple the plurality of bond pads to the die backside |
US9070761B2 (en) | 2012-08-27 | 2015-06-30 | Rf Micro Devices, Inc. | Field effect transistor (FET) having fingers with rippled edges |
US9129802B2 (en) | 2012-08-27 | 2015-09-08 | Rf Micro Devices, Inc. | Lateral semiconductor device with vertical breakdown region |
US8637955B1 (en) | 2012-08-31 | 2014-01-28 | Suvolta, Inc. | Semiconductor structure with reduced junction leakage and method of fabrication thereof |
US9112057B1 (en) | 2012-09-18 | 2015-08-18 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Semiconductor devices with dopant migration suppression and method of fabrication thereof |
US9041126B2 (en) | 2012-09-21 | 2015-05-26 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Deeply depleted MOS transistors having a screening layer and methods thereof |
US9325281B2 (en) | 2012-10-30 | 2016-04-26 | Rf Micro Devices, Inc. | Power amplifier controller |
US9431068B2 (en) | 2012-10-31 | 2016-08-30 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Dynamic random access memory (DRAM) with low variation transistor peripheral circuits |
US8816754B1 (en) | 2012-11-02 | 2014-08-26 | Suvolta, Inc. | Body bias circuits and methods |
US9093997B1 (en) | 2012-11-15 | 2015-07-28 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Slew based process and bias monitors and related methods |
US9070477B1 (en) | 2012-12-12 | 2015-06-30 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Bit interleaved low voltage static random access memory (SRAM) and related methods |
WO2014100024A1 (en) * | 2012-12-18 | 2014-06-26 | The Regents Of The University Of Michigan | Resistive memory structure for single or multi-bit data storage |
US9112484B1 (en) | 2012-12-20 | 2015-08-18 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Integrated circuit process and bias monitors and related methods |
US9268885B1 (en) | 2013-02-28 | 2016-02-23 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Integrated circuit device methods and models with predicted device metric variations |
US9299801B1 (en) | 2013-03-14 | 2016-03-29 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Method for fabricating a transistor device with a tuned dopant profile |
US9268899B2 (en) * | 2013-03-14 | 2016-02-23 | Silicon Storage Technology, Inc. | Transistor design for use in advanced nanometer flash memory devices |
US20140269061A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Silicon Storage Technology, Inc. | High Speed Sensing For Advanced Nanometer Flash Memory Device |
US9478571B1 (en) | 2013-05-24 | 2016-10-25 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Buried channel deeply depleted channel transistor |
US9455327B2 (en) | 2014-06-06 | 2016-09-27 | Qorvo Us, Inc. | Schottky gated transistor with interfacial layer |
US9710006B2 (en) | 2014-07-25 | 2017-07-18 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Power up body bias circuits and methods |
US9319013B2 (en) | 2014-08-19 | 2016-04-19 | Mie Fujitsu Semiconductor Limited | Operational amplifier input offset correction with transistor threshold voltage adjustment |
US9536803B2 (en) | 2014-09-05 | 2017-01-03 | Qorvo Us, Inc. | Integrated power module with improved isolation and thermal conductivity |
TWI766298B (zh) * | 2014-11-21 | 2022-06-01 | 日商半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置 |
US10062684B2 (en) | 2015-02-04 | 2018-08-28 | Qorvo Us, Inc. | Transition frequency multiplier semiconductor device |
US10615158B2 (en) | 2015-02-04 | 2020-04-07 | Qorvo Us, Inc. | Transition frequency multiplier semiconductor device |
US9391030B1 (en) | 2015-02-19 | 2016-07-12 | International Business Machines Corporation | On-chip semiconductor device having enhanced variability |
KR20190013326A (ko) | 2017-08-01 | 2019-02-11 | 에스케이하이닉스 주식회사 | 반도체 장치 |
CN111081701B (zh) * | 2018-10-19 | 2022-04-08 | 珠海格力电器股份有限公司 | 差分电路和模拟集成电路 |
FR3093232A1 (fr) * | 2019-02-22 | 2020-08-28 | Stmicroelectronics (Crolles 2) Sas | Dispositif de fonction physiquement non-clonable à transistors, et procédé de réalisation |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS633503A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-08 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 差動増幅回路 |
JPH08236758A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-09-13 | Sun Microsyst Inc | 非対称mosデバイスおよびその製造方法 |
JPH09181307A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US5650340A (en) * | 1994-08-18 | 1997-07-22 | Sun Microsystems, Inc. | Method of making asymmetric low power MOS devices |
JPH09219522A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Hitachi Ltd | Mis型半導体装置とその形成方法 |
WO1998003977A1 (en) * | 1996-07-23 | 1998-01-29 | Saifun Semiconductors Ltd. | Non-volatile semiconductor memory cell utilizing asymmetrical charge trapping |
JPH11220124A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
US6466489B1 (en) * | 2001-05-18 | 2002-10-15 | International Business Machines Corporation | Use of source/drain asymmetry MOSFET devices in dynamic and analog circuits |
US20030151086A1 (en) * | 2002-02-13 | 2003-08-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
JP2004253541A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置 |
JP2004356490A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2006060208A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Sharp Corp | 高性能なサブ0.1マイクロメートルトランジスタ用のソース/ドレイン構造 |
US20070081389A1 (en) * | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Tran Hieu V | Method and apparatus for systematic and random variation and mismatch compensation for multilevel flash memory operation |
JP2009301678A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Sharp Corp | 半導体記憶装置、表示装置、電子機器および半導体記憶装置の製造方法 |
JP2012059938A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Renesas Electronics Corp | 半導体集積回路装置および半導体集積回路装置の製造方法 |
WO2012107970A1 (ja) * | 2011-02-10 | 2012-08-16 | パナソニック株式会社 | 半導体装置 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH657712A5 (de) * | 1978-03-08 | 1986-09-15 | Hitachi Ltd | Referenzspannungserzeuger. |
KR900015148A (ko) | 1989-03-09 | 1990-10-26 | 미다 가쓰시게 | 반도체장치 |
US5045488A (en) | 1990-01-22 | 1991-09-03 | Silicon Storage Technology, Inc. | Method of manufacturing a single transistor non-volatile, electrically alterable semiconductor memory device |
US5622880A (en) | 1994-08-18 | 1997-04-22 | Sun Microsystems, Inc. | Method of making a low power, high performance junction transistor |
GB2296143A (en) | 1994-12-13 | 1996-06-19 | Philips Electronics Uk Ltd | Active load using a programmable transistor |
US5982673A (en) * | 1997-09-30 | 1999-11-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Secondary sense amplifier with window discriminator for self-timed operation |
US6215148B1 (en) * | 1998-05-20 | 2001-04-10 | Saifun Semiconductors Ltd. | NROM cell with improved programming, erasing and cycling |
KR100336040B1 (ko) | 1999-04-23 | 2002-05-08 | 윤종용 | 할로 구조를 지닌 전계 효과 트랜지스터 및 제조 방법 |
US6329685B1 (en) | 1999-09-22 | 2001-12-11 | Silicon Storage Technology, Inc. | Self aligned method of forming a semiconductor memory array of floating gate memory cells and a memory array made thereby |
IT1318892B1 (it) * | 2000-09-15 | 2003-09-19 | St Microelectronics Srl | Circuito di lettura per memorie non volatili a semiconduttore. |
US6490212B1 (en) | 2001-07-11 | 2002-12-03 | Silicon Storage Technology, Inc. | Bitline precharge matching |
JP2003173691A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Toshiba Corp | 半導体メモリ装置 |
US6801453B2 (en) * | 2002-04-02 | 2004-10-05 | Macronix International Co., Ltd. | Method and apparatus of a read scheme for non-volatile memory |
US6885600B2 (en) | 2002-09-10 | 2005-04-26 | Silicon Storage Technology, Inc. | Differential sense amplifier for multilevel non-volatile memory |
US7019998B2 (en) * | 2003-09-09 | 2006-03-28 | Silicon Storage Technology, Inc. | Unified multilevel cell memory |
KR100663344B1 (ko) * | 2004-06-17 | 2007-01-02 | 삼성전자주식회사 | 적어도 두 개의 다른 채널농도를 갖는 비휘발성 플래시메모리 소자 및 그 제조방법 |
JP4907897B2 (ja) * | 2005-04-15 | 2012-04-04 | 株式会社東芝 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US7645662B2 (en) * | 2007-05-03 | 2010-01-12 | Dsm Solutions, Inc. | Transistor providing different threshold voltages and method of fabrication thereof |
US7697365B2 (en) * | 2007-07-13 | 2010-04-13 | Silicon Storage Technology, Inc. | Sub volt flash memory system |
JP2009176340A (ja) * | 2008-01-22 | 2009-08-06 | Sony Corp | 不揮発性メモリ |
JP2009199675A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Seiko Instruments Inc | 不揮発性半導体記憶装置 |
US7808819B2 (en) | 2008-04-29 | 2010-10-05 | Sandisk Il Ltd. | Method for adaptive setting of state voltage levels in non-volatile memory |
-
2010
- 2010-03-30 US US12/750,628 patent/US8385147B2/en active Active
-
2011
- 2011-03-29 TW TW105110575A patent/TWI624934B/zh active
- 2011-03-29 TW TW100110749A patent/TWI538170B/zh active
- 2011-03-30 CN CN202110174107.8A patent/CN112700803A/zh active Pending
- 2011-03-30 CN CN201610837183.1A patent/CN107093444B/zh active Active
- 2011-03-30 EP EP15179885.7A patent/EP2966648B1/en active Active
- 2011-03-30 SG SG2012072732A patent/SG184371A1/en unknown
- 2011-03-30 KR KR1020127027989A patent/KR101517270B1/ko active IP Right Grant
- 2011-03-30 CN CN201180016681.5A patent/CN103098137B/zh active Active
- 2011-03-30 WO PCT/US2011/030619 patent/WO2011123583A1/en active Application Filing
- 2011-03-30 JP JP2013502822A patent/JP6101198B2/ja active Active
- 2011-03-30 EP EP11763403.0A patent/EP2553684B1/en active Active
-
2012
- 2012-09-27 IL IL222207A patent/IL222207A/en active IP Right Grant
-
2013
- 2013-02-25 US US13/776,690 patent/US8693274B2/en active Active
-
2014
- 2014-03-28 US US14/229,763 patent/US9548087B2/en active Active
Patent Citations (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS633503A (ja) * | 1986-06-23 | 1988-01-08 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 差動増幅回路 |
US5650340A (en) * | 1994-08-18 | 1997-07-22 | Sun Microsystems, Inc. | Method of making asymmetric low power MOS devices |
JPH08236758A (ja) * | 1994-12-16 | 1996-09-13 | Sun Microsyst Inc | 非対称mosデバイスおよびその製造方法 |
JPH09181307A (ja) * | 1995-12-25 | 1997-07-11 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH09219522A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Hitachi Ltd | Mis型半導体装置とその形成方法 |
WO1998003977A1 (en) * | 1996-07-23 | 1998-01-29 | Saifun Semiconductors Ltd. | Non-volatile semiconductor memory cell utilizing asymmetrical charge trapping |
JPH11220124A (ja) * | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置 |
US6466489B1 (en) * | 2001-05-18 | 2002-10-15 | International Business Machines Corporation | Use of source/drain asymmetry MOSFET devices in dynamic and analog circuits |
US20030151086A1 (en) * | 2002-02-13 | 2003-08-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
JP2003243670A (ja) * | 2002-02-13 | 2003-08-29 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2004253541A (ja) * | 2003-02-19 | 2004-09-09 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置 |
US20040183119A1 (en) * | 2003-02-19 | 2004-09-23 | Takaaki Negoro | Metal oxide silicon transistor and semiconductor apparatus having high lambda and beta performances |
JP2004356490A (ja) * | 2003-05-30 | 2004-12-16 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2006060208A (ja) * | 2004-08-20 | 2006-03-02 | Sharp Corp | 高性能なサブ0.1マイクロメートルトランジスタ用のソース/ドレイン構造 |
US20070081389A1 (en) * | 2005-09-26 | 2007-04-12 | Tran Hieu V | Method and apparatus for systematic and random variation and mismatch compensation for multilevel flash memory operation |
JP2009301678A (ja) * | 2008-06-17 | 2009-12-24 | Sharp Corp | 半導体記憶装置、表示装置、電子機器および半導体記憶装置の製造方法 |
JP2012059938A (ja) * | 2010-09-09 | 2012-03-22 | Renesas Electronics Corp | 半導体集積回路装置および半導体集積回路装置の製造方法 |
WO2012107970A1 (ja) * | 2011-02-10 | 2012-08-16 | パナソニック株式会社 | 半導体装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017511949A (ja) * | 2014-03-04 | 2017-04-27 | シリコン ストーリッジ テクノロージー インコーポレイテッドSilicon Storage Technology, Inc. | 低電力ナノメートルフラッシュメモリ装置において使用される改良型感知回路 |
KR101903871B1 (ko) * | 2014-03-04 | 2018-11-13 | 실리콘 스토리지 테크놀로지 인크 | 저전력 나노미터 플래시 메모리 디바이스에서 사용하기 위한 개선된 감지 회로 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101517270B1 (ko) | 2015-05-04 |
US20130163363A1 (en) | 2013-06-27 |
CN107093444B (zh) | 2021-03-23 |
SG184371A1 (en) | 2012-11-29 |
IL222207A (en) | 2016-05-31 |
US9548087B2 (en) | 2017-01-17 |
TW201628133A (zh) | 2016-08-01 |
TWI624934B (zh) | 2018-05-21 |
EP2966648B1 (en) | 2016-12-07 |
CN103098137B (zh) | 2016-10-12 |
CN112700803A (zh) | 2021-04-23 |
CN103098137A (zh) | 2013-05-08 |
IL222207A0 (en) | 2012-12-31 |
EP2966648A1 (en) | 2016-01-13 |
EP2553684B1 (en) | 2015-09-16 |
CN107093444A (zh) | 2017-08-25 |
US20110242921A1 (en) | 2011-10-06 |
KR20130018800A (ko) | 2013-02-25 |
TW201203519A (en) | 2012-01-16 |
US20140293724A1 (en) | 2014-10-02 |
EP2553684A1 (en) | 2013-02-06 |
EP2553684A4 (en) | 2013-11-20 |
WO2011123583A1 (en) | 2011-10-06 |
JP6101198B2 (ja) | 2017-03-22 |
US8693274B2 (en) | 2014-04-08 |
US8385147B2 (en) | 2013-02-26 |
TWI538170B (zh) | 2016-06-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6101198B2 (ja) | 選択的/差動閾値電圧機能を含む不揮発性メモリ検知システム及び方法 | |
JP4465009B2 (ja) | マルチレベルの仮想接地メモリのための読出方法 | |
US7349276B2 (en) | Readout circuit and nonvolatile semiconductor memory device | |
JPH03214779A (ja) | 閾値が調整可能なmos集積回路 | |
US20060226464A1 (en) | High voltage gain topology for analog circuits in short channel technologies | |
JP2019067480A (ja) | 高度ナノメートルフラッシュメモリ装置において使用される改良形トランジスタ設計 | |
US5192872A (en) | Cell structure for erasable programmable read-only memories | |
JP2010157728A (ja) | 不揮発性メモリ素子及びその駆動方法 | |
Paolucci et al. | String current in decananometer NAND Flash arrays: A compact-modeling investigation | |
US8436413B2 (en) | Nonvolatile floating gate analog memory cell | |
KR20110025498A (ko) | 반도체 메모리 소자 | |
KR101011670B1 (ko) | 비휘발성 메모리 소자의 프로그램 방법 | |
JPH02355A (ja) | 半導体記憶装置 | |
KR100866405B1 (ko) | 플래시 메모리 소자 및 그 읽기 동작 제어 방법 | |
Raj et al. | Modeling and Analysis of Low Leakage Current AlGaN/GaN High Electron Mobility Transistor for Dynamic Random Access Memory Cell | |
KR100253959B1 (ko) | 반도체 장치, 비휘발성 반도체 메모리 장치, 및 비휘발성 반도체 메모리 장치 판독 방법(a semiconductor device using quantum effect and a method of using the same) | |
KR20100025333A (ko) | 반도체 장치의 프로그램 및 센싱 방법 | |
JPS6322625B2 (ja) | ||
KR20010094596A (ko) | 반도체장치의 메모리 셀 어레이 구성방법 | |
JP2000164733A (ja) | 半導体記憶装置及びその製造方法 | |
JP2006120687A (ja) | 不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140328 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140909 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141008 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150108 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150206 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20150309 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150805 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20151105 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20151207 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160204 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160808 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20161108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170106 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170224 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6101198 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |