JP2013501228A - 対象検査システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
本出願は、2009年8月4日に出願された米国仮出願(61/231161)の優先権の利益を享受する。その仮出願は参照によりその全体が本明細書に組み入れられる。
1.対象の検査方法であって、
対象を放射ビームで照らすことと、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析することと、
パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定することと、を含む方法。
2.前記対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析するステップは、光ルミネッセンス信号を記録することを含む、クローズ1に記載の方法。
3.検査対象はパターニングデバイスを含む、クローズ1または2に記載の方法。
4.パターニングデバイスはレチクルまたはEUVレチクルである、クローズ3に記載の方法。
5.対象からの二次光子放出をエネルギ分解分光解析で解析するステップをさらに含む、クローズ1から4のいずれかに記載の方法。
6.対象の表面上の、金属、金属酸化物、または有機物のパーティクルの存在を決定するために使用されるクローズ1から5のいずれかに記載の方法。
7.ノイズ低減技術をさらに含むクローズ1から6のいずれかに記載の方法。
8.前記ノイズ低減技術は、放出スペクトルからノイズを除去するための相関技術を含む、クローズ7に記載の方法。
9.前記ノイズ低減技術は、カオス理論手法を含む、クローズ7に記載の方法。
10.前記対象を放射ビームで照らすことは、前記対象を法線入射で照らすことを含む、クローズ1から9のいずれかに記載の方法。
11.放射はシュヴァルツシルト型のコレクタで集められる、クローズ10に記載の方法。
12.前記対象を放射ビームで照らすことは、複数の方向からのオフアクシス照明を提供することを含む、クローズ1から9のいずれかに記載の方法。
13.前記オフアクシス照明は4つの異なる方向から提供される、クローズ12に記載の方法。
14.前記オフアクシス照明は輪帯放射ビームとして提供される、クローズ12または13に記載の方法。
15.前記対象を放射ビームで照らすことは、前記放射ビームを複数のスプリットビームに分けることを含み、複数のスプリットビームのそれぞれは他のスプリットビームとは異なる方向から対象に入射する、クローズ12から14のいずれかに記載の方法。
16.前記対象の第1領域に亘って実行され、パーティクルが検出された場合、前記第1領域の部分について繰り返される、クローズ1から15のいずれかに記載の方法。
17.所望の空間分解能の限界に到達するまでさらに繰り返しを行うことを含む、クローズ16に記載の方法。
18.対象の検査装置であって、
対象に放射ビームを放出するよう構成された放射源と、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析し、パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定するよう構成されたスペクトロメータと、を含む装置。
19.前記スペクトロメータは、時間分解分光を光ルミネッセンス信号に関して解析するよう構成される、クローズ18に記載の装置。
20.検査対象はパターニングデバイスを含む、クローズ18または19に記載の装置。
21.パターニングデバイスはレチクルまたはEUVレチクルである、クローズ20に記載の装置。
22.前記スペクトロメータはさらに、対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析するよう構成される、クローズ18から21のいずれかに記載の装置。
23.ノイズ低減モジュールをさらに備える、クローズ18から22のいずれかに記載の装置。
24.前記ノイズ低減モジュールは相関器を含む、クローズ23に記載の装置。
25.前記ノイズ低減モジュールはカオス理論モジュールを含む、クローズ23に記載の装置。
26.前記放射源は、対象を法線入射の放射ビームで照らすよう構成される、クローズ18から25のいずれかに記載の装置。
27.放射を集めるためのシュヴァルツシルト型のコレクタを備える、クローズ26に記載の装置。
28.複数の方向から対象に放射を導く手段を備える、クローズ18から25のいずれかに記載の装置。
29.前記オフアクシス照明は4つの異なる方向から提供される、クローズ28に記載の装置。
30.前記オフアクシス照明は輪帯放射ビームとして提供される、クローズ28または29に記載の装置。
31.前記放射ビームを複数のスプリットビームに分けるための1つ以上のビームスプリッタを備え、複数のスプリットビームのそれぞれは、他のスプリットビームとは異なる方向から対象に入射する、クローズ28から30のいずれかに記載の装置。
32.前記対象の第1領域に亘って検出を行い、パーティクルが検出された場合、前記第1領域の部分について検出を繰り返す制御手段を備える、クローズ18から31のいずれかに記載の装置。
33.前記制御手段は、所望の空間分解能の限界に到達するまでさらに繰り返しを行う、クローズ32に記載の装置。
34.対象の検査装置を備えるリソグラフィ装置であって、
前記検査装置は、
対象に放射ビームを放出するよう構成された放射源と、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析し、対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定するよう構成されたスペクトロメータと、を含む、リソグラフィ装置。
35.コンピュータにおいて実行された場合、そのコンピュータがクローズ1から17のいずれかに記載の方法で使用されるデータ解析方法を実行できるようにするインストラクションを含むコンピュータプログラム製品。
36.対象の検査方法であって、
対象を放射ビームで照らすことと、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析することと、
パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定することと、を含む方法。
37.前記対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析するステップは、光ルミネッセンス信号を記録することを含む、クローズ36に記載の方法。
38.検査対象はパターニングデバイスを含む、クローズ36に記載の方法。
39.パターニングデバイスはレチクルまたはEUVレチクルである、クローズ38に記載の方法。
40.対象からの二次光子放出をエネルギ分解分光解析で解析するステップをさらに含む、クローズ36に記載の方法。
41.前記決定ステップは、対象の表面上の、金属、金属酸化物、または有機物のパーティクルの存在を決定する、クローズ36に記載の方法。
42.ノイズ低減技術にしたがってノイズを低減することをさらに含むクローズ36に記載の方法。
43.前記ノイズ低減技術は、放出スペクトルからノイズを除去するための相関技術を含む、クローズ42に記載の方法。
44.前記ノイズ低減技術は、カオス理論手法を含む、クローズ42に記載の方法。
45.前記対象を放射ビームで照らすことは、前記対象を法線入射で照らすことを含む、クローズ36に記載の方法。
46.放射はシュヴァルツシルト型のコレクタで集められる、クローズ45に記載の方法。
47.前記対象を放射ビームで照らすことは、複数の方向からのオフアクシス照明を提供することを含む、クローズ36に記載の方法。
48.前記オフアクシス照明は4つの異なる方向から提供される、クローズ47に記載の方法。
49.前記オフアクシス照明は輪帯放射ビームとして提供される、クローズ48に記載の方法。
50.前記対象を放射ビームで照らすことは、前記放射ビームを複数のスプリットビームに分けることを含み、複数のスプリットビームのそれぞれは他のスプリットビームとは異なる方向から対象に入射する、クローズ47に記載の方法。
51.前記対象の第1領域に亘って実行され、パーティクルが検出された場合、前記第1領域の部分について繰り返される、クローズ36に記載の方法。
52.所望の空間分解能の限界に到達するまでさらに繰り返しを行うことを含む、クローズ51に記載の方法。
53.対象の検査装置であって、
対象に放射ビームを放出するよう構成された放射源と、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析し、パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定するよう構成されたスペクトロメータと、を含む装置。
54.前記スペクトロメータは、時間分解分光を光ルミネッセンス信号に関して解析するよう構成される、クローズ53に記載の装置。
55.検査対象はパターニングデバイスを含む、クローズ53に記載の装置。
56.パターニングデバイスはレチクルまたはEUVレチクルである、クローズ55に記載の装置。
57.前記スペクトロメータはさらに、対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析するよう構成される、クローズ53に記載の装置。
58.ノイズ低減モジュールをさらに備える、クローズ53に記載の装置。
59.前記ノイズ低減モジュールは相関器を含む、クローズ58に記載の装置。
60.前記ノイズ低減モジュールはカオス理論モジュールを含む、クローズ58に記載の装置。
61.前記放射源は、対象を法線入射の放射ビームで照らすよう構成される、クローズ53に記載の装置。
62.放射を集めるためのシュヴァルツシルト型のコレクタを備える、クローズ61に記載の装置。
63.複数の方向から対象に放射を導く手段を備える、クローズ53に記載の装置。
64.前記オフアクシス照明は4つの異なる方向から提供される、クローズ63に記載の装置。
65.前記オフアクシス照明は輪帯放射ビームとして提供される、クローズ63に記載の装置。
66.前記放射ビームを複数のスプリットビームに分けるための1つ以上のビームスプリッタを備え、複数のスプリットビームのそれぞれは、他のスプリットビームとは異なる方向から対象に入射する、クローズ63に記載の装置。
67.前記対象の第1領域に亘って検出を行い、パーティクルが検出された場合、前記第1領域の部分について検出を繰り返す制御手段を備える、クローズ53に記載の装置。
68.前記制御手段は、所望の空間分解能の限界に到達するまでさらに繰り返しを行う、クローズ67に記載の装置。
69.対象の検査装置を備えるリソグラフィ装置であって、
前記検査装置は、
対象に放射ビームを放出するよう構成された放射源と、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析し、対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定するよう構成されたスペクトロメータと、を含む、リソグラフィ装置。
70.コンピュータによって実行された場合、そのコンピュータにデータ解析方法を実行させるコンピュータ実行可能インストラクションを保持するコンピュータ読み取り可能媒体であって、前記データ解析方法は、
対象を放射ビームで照らすことと、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析することと、
パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定することと、を含む、コンピュータ読み取り可能媒体。
Claims (70)
- 対象の検査方法であって、
対象を放射ビームで照らすことと、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析することと、
パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定することと、を含む方法。 - 前記対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析するステップは、光ルミネッセンス信号を記録することを含む、請求項1に記載の方法。
- 検査対象はパターニングデバイスを含む、請求項1または2に記載の方法。
- パターニングデバイスはレチクルまたはEUVレチクルである、請求項3に記載の方法。
- 対象からの二次光子放出をエネルギ分解分光解析で解析するステップをさらに含む、請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 対象の表面上の、金属、金属酸化物、または有機物のパーティクルの存在を決定するために使用される請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- ノイズ低減技術をさらに含む請求項1から6のいずれかに記載の方法。
- 前記ノイズ低減技術は、放出スペクトルからノイズを除去するための相関技術を含む、請求項7に記載の方法。
- 前記ノイズ低減技術は、カオス理論手法を含む、請求項7に記載の方法。
- 前記対象を放射ビームで照らすことは、前記対象を法線入射で照らすことを含む、請求項1から9のいずれかに記載の方法。
- 放射はシュヴァルツシルト型のコレクタで集められる、請求項10に記載の方法。
- 前記対象を放射ビームで照らすことは、複数の方向からのオフアクシス照明を提供することを含む、請求項1から9のいずれかに記載の方法。
- 前記オフアクシス照明は4つの異なる方向から提供される、請求項12に記載の方法。
- 前記オフアクシス照明は輪帯放射ビームとして提供される、請求項12または13に記載の方法。
- 前記対象を放射ビームで照らすことは、前記放射ビームを複数のスプリットビームに分けることを含み、複数のスプリットビームのそれぞれは他のスプリットビームとは異なる方向から対象に入射する、請求項12から14のいずれかに記載の方法。
- 前記対象の第1領域に亘って実行され、パーティクルが検出された場合、前記第1領域の部分について繰り返される、請求項1から15のいずれかに記載の方法。
- 所望の空間分解能の限界に到達するまでさらに繰り返しを行うことを含む、請求項16に記載の方法。
- 対象の検査装置であって、
対象に放射ビームを放出するよう構成された放射源と、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析し、パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定するよう構成されたスペクトロメータと、を含む装置。 - 前記スペクトロメータは、時間分解分光を光ルミネッセンス信号に関して解析するよう構成される、請求項18に記載の装置。
- 検査対象はパターニングデバイスを含む、請求項18または19に記載の装置。
- パターニングデバイスはレチクルまたはEUVレチクルである、請求項20に記載の装置。
- 前記スペクトロメータはさらに、対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析するよう構成される、請求項18から21のいずれかに記載の装置。
- ノイズ低減モジュールをさらに備える、請求項18から22のいずれかに記載の装置。
- 前記ノイズ低減モジュールは相関器を含む、請求項23に記載の装置。
- 前記ノイズ低減モジュールはカオス理論モジュールを含む、請求項23に記載の装置。
- 前記放射源は、対象を法線入射の放射ビームで照らすよう構成される、請求項18から25のいずれかに記載の装置。
- 放射を集めるためのシュヴァルツシルト型のコレクタを備える、請求項26に記載の装置。
- 複数の方向から対象に放射を導く手段を備える、請求項18から25のいずれかに記載の装置。
- 前記オフアクシス照明は4つの異なる方向から提供される、請求項28に記載の装置。
- 前記オフアクシス照明は輪帯放射ビームとして提供される、請求項28または29に記載の装置。
- 前記放射ビームを複数のスプリットビームに分けるための1つ以上のビームスプリッタを備え、複数のスプリットビームのそれぞれは、他のスプリットビームとは異なる方向から対象に入射する、請求項28から30のいずれかに記載の装置。
- 前記対象の第1領域に亘って検出を行い、パーティクルが検出された場合、前記第1領域の部分について検出を繰り返す制御手段を備える、請求項18から31のいずれかに記載の装置。
- 前記制御手段は、所望の空間分解能の限界に到達するまでさらに繰り返しを行う、請求項32に記載の装置。
- 対象の検査装置を備えるリソグラフィ装置であって、
前記検査装置は、
対象に放射ビームを放出するよう構成された放射源と、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析し、対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定するよう構成されたスペクトロメータと、を含む、リソグラフィ装置。 - コンピュータにおいて実行された場合、そのコンピュータが請求項1から17のいずれかに記載の方法で使用されるデータ解析方法を実行できるようにするインストラクションを含むコンピュータプログラム製品。
- 対象の検査方法であって、
対象を放射ビームで照らすことと、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析することと、
パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定することと、を含む方法。 - 前記対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析するステップは、光ルミネッセンス信号を記録することを含む、請求項36に記載の方法。
- 検査対象はパターニングデバイスを含む、請求項36に記載の方法。
- パターニングデバイスはレチクルまたはEUVレチクルである、請求項38に記載の方法。
- 対象からの二次光子放出をエネルギ分解分光解析で解析するステップをさらに含む、請求項36に記載の方法。
- 前記決定ステップは、対象の表面上の、金属、金属酸化物、または有機物のパーティクルの存在を決定する、請求項36に記載の方法。
- ノイズ低減技術にしたがってノイズを低減することをさらに含む請求項36に記載の方法。
- 前記ノイズ低減技術は、放出スペクトルからノイズを除去するための相関技術を含む、請求項42に記載の方法。
- 前記ノイズ低減技術は、カオス理論手法を含む、請求項42に記載の方法。
- 前記対象を放射ビームで照らすことは、前記対象を法線入射で照らすことを含む、請求項36に記載の方法。
- 放射はシュヴァルツシルト型のコレクタで集められる、請求項45に記載の方法。
- 前記対象を放射ビームで照らすことは、複数の方向からのオフアクシス照明を提供することを含む、請求項36に記載の方法。
- 前記オフアクシス照明は4つの異なる方向から提供される、請求項47に記載の方法。
- 前記オフアクシス照明は輪帯放射ビームとして提供される、請求項48に記載の方法。
- 前記対象を放射ビームで照らすことは、前記放射ビームを複数のスプリットビームに分けることを含み、複数のスプリットビームのそれぞれは他のスプリットビームとは異なる方向から対象に入射する、請求項47に記載の方法。
- 前記対象の第1領域に亘って実行され、パーティクルが検出された場合、前記第1領域の部分について繰り返される、請求項36に記載の方法。
- 所望の空間分解能の限界に到達するまでさらに繰り返しを行うことを含む、請求項51に記載の方法。
- 対象の検査装置であって、
対象に放射ビームを放出するよう構成された放射源と、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析し、パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定するよう構成されたスペクトロメータと、を含む装置。 - 前記スペクトロメータは、時間分解分光を光ルミネッセンス信号に関して解析するよう構成される、請求項53に記載の装置。
- 検査対象はパターニングデバイスを含む、請求項53に記載の装置。
- パターニングデバイスはレチクルまたはEUVレチクルである、請求項55に記載の装置。
- 前記スペクトロメータはさらに、対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析するよう構成される、請求項53に記載の装置。
- ノイズ低減モジュールをさらに備える、請求項53に記載の装置。
- 前記ノイズ低減モジュールは相関器を含む、請求項58に記載の装置。
- 前記ノイズ低減モジュールはカオス理論モジュールを含む、請求項58に記載の装置。
- 前記放射源は、対象を法線入射の放射ビームで照らすよう構成される、請求項53に記載の装置。
- 放射を集めるためのシュヴァルツシルト型のコレクタを備える、請求項61に記載の装置。
- 複数の方向から対象に放射を導く手段を備える、請求項53に記載の装置。
- 前記オフアクシス照明は4つの異なる方向から提供される、請求項63に記載の装置。
- 前記オフアクシス照明は輪帯放射ビームとして提供される、請求項63に記載の装置。
- 前記放射ビームを複数のスプリットビームに分けるための1つ以上のビームスプリッタを備え、複数のスプリットビームのそれぞれは、他のスプリットビームとは異なる方向から対象に入射する、請求項63に記載の装置。
- 前記対象の第1領域に亘って検出を行い、パーティクルが検出された場合、前記第1領域の部分について検出を繰り返す制御手段を備える、請求項53に記載の装置。
- 前記制御手段は、所望の空間分解能の限界に到達するまでさらに繰り返しを行う、請求項67に記載の装置。
- 対象の検査装置を備えるリソグラフィ装置であって、
前記検査装置は、
対象に放射ビームを放出するよう構成された放射源と、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析し、対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定するよう構成されたスペクトロメータと、を含む、リソグラフィ装置。 - コンピュータによって実行された場合、そのコンピュータにデータ解析方法を実行させるコンピュータ実行可能インストラクションを保持するコンピュータ読み取り可能媒体であって、前記データ解析方法は、
対象を放射ビームで照らすことと、
対象からの二次光子放出を時間分解分光法で解析することと、
パーティクルがない場合に対象によって放出される信号とは異なる時間分解分光信号が検出された場合にパーティクルが存在すると決定することと、を含む、コンピュータ読み取り可能媒体。
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