JPS63103951A - ゴミ検査装置 - Google Patents
ゴミ検査装置Info
- Publication number
- JPS63103951A JPS63103951A JP24987586A JP24987586A JPS63103951A JP S63103951 A JPS63103951 A JP S63103951A JP 24987586 A JP24987586 A JP 24987586A JP 24987586 A JP24987586 A JP 24987586A JP S63103951 A JPS63103951 A JP S63103951A
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- JP
- Japan
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- dust
- light
- pellicle film
- inspection device
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- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔皿業上の利用分野〕
本発明は半導体上製造する際、使われるウェーハ、マス
ク、レチクル及びペリクル膜等の表面又は大気中に含ま
れるゴミを検出するゴミ検査装置に関するものである。
ク、レチクル及びペリクル膜等の表面又は大気中に含ま
れるゴミを検出するゴミ検査装置に関するものである。
第１図、第２図を用いて従来の技術について説明する。
従来、この種のゴミ検査装置は第１図の様に可視（特に
Ｈｅ−Ｎｅレーザー光）又は赤外光で被検査物表面を照
射し、直接反射光のとない位置にセンサーを設け、第２
図の様にゴミがあった場合にその散乱光音検出していた
。
Ｈｅ−Ｎｅレーザー光）又は赤外光で被検査物表面を照
射し、直接反射光のとない位置にセンサーを設け、第２
図の様にゴミがあった場合にその散乱光音検出していた
。
しかし半導体の製造工程中の露光工程においては可視又
は赤外光ではなく、紫外線が露光用光源として使われる
ことが多く、ゴミの分光特性のちがいにより、可視又は
赤外光照射で発見され７ζゴミが必らずしも露光に悪影
響がなかったり、逆に可視又は赤外光照射で発見されな
かったゴミが露光に重大な悪影響を及ぼす場合があっ’
ｆＣｏ又、第３図の様にペリクル膜を貼ジつけたレチク
ルの外からペリクル膜とレチクルの中間にあるゴミ？！
−恢出しようとした場合、ペリクル膜は紫外線（！４光
波長）で透過率が最高となる様にできているため、可視
又は赤外光では吸収、反射等が起こり光がレチクル上に
届きにくいたけでなく、散乱光等もセンサーに届きにく
くなり、ゴミの検出感度が低下してしまうという問題が
あった。
は赤外光ではなく、紫外線が露光用光源として使われる
ことが多く、ゴミの分光特性のちがいにより、可視又は
赤外光照射で発見され７ζゴミが必らずしも露光に悪影
響がなかったり、逆に可視又は赤外光照射で発見されな
かったゴミが露光に重大な悪影響を及ぼす場合があっ’
ｆＣｏ又、第３図の様にペリクル膜を貼ジつけたレチク
ルの外からペリクル膜とレチクルの中間にあるゴミ？！
−恢出しようとした場合、ペリクル膜は紫外線（！４光
波長）で透過率が最高となる様にできているため、可視
又は赤外光では吸収、反射等が起こり光がレチクル上に
届きにくいたけでなく、散乱光等もセンサーに届きにく
くなり、ゴミの検出感度が低下してしまうという問題が
あった。
本発明によれば照射光に紫外線を用いていることにより
１ゴミの分光特性やペリクル膜の分光特性の影響上受け
ずにゴミの正確な位置、大きさ、数量等が検出できるも
のである。
１ゴミの分光特性やペリクル膜の分光特性の影響上受け
ずにゴミの正確な位置、大きさ、数量等が検出できるも
のである。
本発明の実施にあたっては第１図から第３図の検査光源
と投光光学系勿紫外線片につくり、受光光学系及び受光
センサ（ＴＶカメラも含む）盆紫外線の散乱光、又は紫
外線がゴミにあたることにより、ゴミから出る螢光上う
まく検出できるものに変えれば良い。
と投光光学系勿紫外線片につくり、受光光学系及び受光
センサ（ＴＶカメラも含む）盆紫外線の散乱光、又は紫
外線がゴミにあたることにより、ゴミから出る螢光上う
まく検出できるものに変えれば良い。
本発明は紫外線でゴミが判別される。
第１図はゴミ検査用光源及びセンサーの位置関係例を示
す。ここで矢印は検査光の光路ｒ示す。 第２図は第１図の仮検査物上にゴミがある場合を示す。 この場合、ゴミにより検査光が散乱されその一部がセン
サーに届くことヶ示す。第３図は第２図の状態にペリク
ル膜【貼りつけである場合？示す。ペリクル膜の分光特
性により、ゴミにうまく検査光が届かないだけでなく、
ゴミによる散乱光もうまくセンサーに届かない様子を示
す。 １・・・・・・検査光光路、２・・・・・・反射光（ゴ
ミのない場合）光路、３・・・・・・検査光源及び投光
光学系、４・・・・・・受光光学系及び受光センサ、５
・・・・・・レチクル又はマスク、６・・・・・・ゴミ
による散乱元元路、７・・・・・・ゴミ、８・・・・・
・ペリクル膜、９・・・・・・ペリクル膜保持用フレー
ム、１０・・・・・・ペリクル膜反射元光路。 代理人 弁理士 内 原 ４ パ−日 −
１ 一、−−− 澄２図 第３図
す。ここで矢印は検査光の光路ｒ示す。 第２図は第１図の仮検査物上にゴミがある場合を示す。 この場合、ゴミにより検査光が散乱されその一部がセン
サーに届くことヶ示す。第３図は第２図の状態にペリク
ル膜【貼りつけである場合？示す。ペリクル膜の分光特
性により、ゴミにうまく検査光が届かないだけでなく、
ゴミによる散乱光もうまくセンサーに届かない様子を示
す。 １・・・・・・検査光光路、２・・・・・・反射光（ゴ
ミのない場合）光路、３・・・・・・検査光源及び投光
光学系、４・・・・・・受光光学系及び受光センサ、５
・・・・・・レチクル又はマスク、６・・・・・・ゴミ
による散乱元元路、７・・・・・・ゴミ、８・・・・・
・ペリクル膜、９・・・・・・ペリクル膜保持用フレー
ム、１０・・・・・・ペリクル膜反射元光路。 代理人 弁理士 内 原 ４ パ−日 −
１ 一、−−− 澄２図 第３図
Claims (1)
- 半導体製造に使うウェーハ、マスク、レチクル及びペリ
クル膜等の表面又は大気中のゴミ検査を行なう際、レー
ザー光を含む紫外線（この場合波長＝１００〜５００ｍ
ｍ）を被検査物表面又は大気中のゴミに照射することに
より得られる散乱光又は螢光により、ゴミの位置とサイ
ズ（形状を含む）及び個数を検出することを特長とする
ゴミ検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24987586A JPS63103951A (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 | ゴミ検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24987586A JPS63103951A (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 | ゴミ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63103951A true JPS63103951A (ja) | 1988-05-09 |
Family
ID=17199493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24987586A Pending JPS63103951A (ja) | 1986-10-20 | 1986-10-20 | ゴミ検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63103951A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02216035A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-28 | Fujitsu Ltd | 微粒子の検出方法 |
| WO1993007470A1 (en) * | 1991-10-01 | 1993-04-15 | Tadahiro Ohmi | Analyzer |
| JP2013501228A (ja) * | 2009-08-04 | 2013-01-10 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 対象検査システムおよび方法 |
| CN113203719A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-08-03 | 河南柴油机重工有限责任公司 | 快速检测曲轴表面清洁度的方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5728904A (en) * | 1980-05-29 | 1982-02-16 | Shell Int Research | Safety device for burner of coal gasifyer |
| JPS5761548B2 (ja) * | 1978-10-18 | 1982-12-24 | Daichiku Co Ltd | |
| JPS6080745A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Hitachi Ltd | 異物自動検出装置 |
-
1986
- 1986-10-20 JP JP24987586A patent/JPS63103951A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5761548B2 (ja) * | 1978-10-18 | 1982-12-24 | Daichiku Co Ltd | |
| JPS5728904A (en) * | 1980-05-29 | 1982-02-16 | Shell Int Research | Safety device for burner of coal gasifyer |
| JPS6080745A (ja) * | 1983-10-11 | 1985-05-08 | Hitachi Ltd | 異物自動検出装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH02216035A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-28 | Fujitsu Ltd | 微粒子の検出方法 |
| WO1993007470A1 (en) * | 1991-10-01 | 1993-04-15 | Tadahiro Ohmi | Analyzer |
| US5578833A (en) * | 1991-10-01 | 1996-11-26 | Tadahiro Ohmi | Analyzer |
| JP2013501228A (ja) * | 2009-08-04 | 2013-01-10 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 対象検査システムおよび方法 |
| TWI477763B (zh) * | 2009-08-04 | 2015-03-21 | Asml Netherlands Bv | 物件檢測系統及方法 |
| US9122178B2 (en) | 2009-08-04 | 2015-09-01 | Asml Netherlands B.V. | Object inspection systems and methods |
| CN113203719A (zh) * | 2021-06-04 | 2021-08-03 | 河南柴油机重工有限责任公司 | 快速检测曲轴表面清洁度的方法 |
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