JP2013258520A - 圧電振動片及び圧電デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電振動片(130)は、所定の振動数で振動し、両主面に励振電極(134a、134b)を有し、所定の厚さで形成されている振動部(131)と、振動部の周囲を囲む枠部(132)と、振動部と枠部とを連結する連結部(133)と、を有し、振動部の側面の少なくとも一部が振動部の厚さが振動部の外周に向かうに従って薄くなるようにテーパー状に形成され、各励振電極からはそれぞれ連結部を介して枠部に引き出される引出電極(135a、135b)が形成され、一方の引出電極が振動部のテーパー状に形成された側面を介して一方の主面から他方の主面に引出されている。
【選択図】 図3
Description
<圧電デバイス100の構成>
図1は、圧電デバイス100の分解斜視図である。圧電デバイス100は、リッド板110と、ベース板120と、圧電振動片130と、により構成されている。圧電振動片130には例えばATカットの水晶振動片が用いられる。ATカットの水晶振動片は、主面(YZ面)が結晶軸(XYZ)のY軸に対して、X軸を中心としてZ軸からY軸方向に35度15分傾斜されている。以下の説明では、ATカットの水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をY’軸及びZ’軸として用いる。すなわち、圧電デバイス100においては圧電デバイス100の長辺方向をX軸方向、圧電デバイス100の高さ方向をY’軸方向、X及びY’軸方向に垂直な方向をZ’軸方向として説明する。
図4は、圧電ウエハW130の平面図である。圧電振動片130は、圧電材により形成された圧電ウエハW130に複数の圧電振動片130の外形が形成され、さらに励振電極134a、励振電極134b、引出電極135a、及び引出電極135bが形成されることにより作製される。図4に示された圧電ウエハW130には、複数の圧電振動片130がX軸方向及びZ’軸方向に並んで形成されている。互いに隣接する圧電振動片130の間にはスクライブライン171が示されている。圧電振動片130は、圧電ウエハW130に形成された後に圧電ウエハW130がスクライブライン171に沿って切断されることにより、個々の圧電振動片130に分割される。
圧電振動片は、圧電振動片130とは異なる外形形状に形成されていても良い。以下に圧電振動片の変形例として圧電振動片230及び圧電振動片330について説明する。また、以下の説明では、第1実施形態と同様の部分に関しては、第1実施形態と同様の番号を付してその説明を省略する。
図7(a)は、圧電振動片230の平面図である。圧電振動片230は、振動部231と、枠部132と、連結部233と、により形成されている。振動部231は、平面形状がX軸方向に長辺が伸び、Z’軸方向に短辺が伸びる矩形形状に形成されている。連結部233は、振動部231の−X軸側の辺の中央と、枠部132の−X軸側の内側側面とを連結している。また、振動部231にはメサ領域138aが形成され、連結部233に連結される部分には連結領域238cが形成され、それ以外の領域には周辺領域238bが形成されている。連結領域238cは振動部231の−X軸側の辺の中央に形成されており、連結領域238cとメサ領域138aとは連結されていない。また、圧電振動片230には、励振電極134a、励振電極134b、引出電極135a、及び引出電極135bが形成されている。引出電極135aは主に、振動部231の−X軸側の+Z’軸側の側面137a、連結部233の−Z’軸側の側面237b、及び枠部132の振動部131に面する内側側面の−X軸側の+Z’軸側の側面137cを介して−Y’軸側の面に引き出されている。圧電振動片230の−Y’軸側の面の平面形状は、図3(b)と同様である。また、図7(a)のB−B断面は、図3(c)と同様である。
図8(a)は、圧電振動片330の平面図である。圧電振動片330は、振動部131と、枠部132と、連結部333と、により構成されている。連結部333は、振動部131の−X軸側の辺の+Z’軸側及び−Z’軸側にそれぞれ連結されており、−X軸方向に伸びて枠部132に連結されている。連結部333の厚さは周辺領域138bと同じ厚さに形成されている。また、+Y’軸側の面のメサ領域138aには励振電極134aが形成されており、励振電極134aからは−X軸方向に引出電極335aが引き出されている。引出電極335aは、+Z’軸側の連結部333を通って枠部132の−X軸側の+Z’軸側にまで形成されている。また、引出電極335aは、側面137a、+Z’軸側の連結部333の+Z’軸側の側面337b、及び側面137cを介して+Y’軸側の面から−Y’軸側の面にまで引き出されている。また、図8(a)のB−B断面は、図3(c)と同様である。
110 … リッド板
111 … 凹部
112 … 接合面
120 … ベース板
121 … 凹部
122 … 接合面
123 … 接続電極
124 … 実装端子
125 … キャスタレーション電極
126 … キャスタレーション
130、230、330 … 圧電振動片
131、231 … 振動部
132 … 枠部
133、233、333 … 連結部
134a、134b … 励振電極
135a、135b、335a、335b … 引出電極
136、336 … 貫通溝
137a … 振動部の側面
137b、237b、337b … 連結部の側面
137c … 枠部の側面
138a … メサ領域
138b、238b … 周辺領域
140 … 接合材
141 … 金属膜
142 … フォトレジスト
150 … キャビティ
161、162 … マスク
171 … スクライブライン
238c … 連結領域
W130 … 圧電ウエハ
Claims (6)
- 所定の振動数で振動し、両主面に励振電極を有し、所定の厚さで形成されている振動部と、
前記振動部の周囲を囲む枠部と、
前記振動部と前記枠部とを連結する連結部と、を有し、
前記振動部の側面の少なくとも一部は前記振動部の厚さが前記振動部の外周に向かうに従って薄くなるようにテーパー状に形成され、
前記各励振電極からは、それぞれ前記連結部を介して前記枠部に引き出される引出電極が形成され、
一方の前記引出電極は、前記振動部のテーパー状に形成された側面を介して一方の主面から他方の主面に引出されている圧電振動片。 - 前記引出電極が形成される前記振動部のテーパー状に形成された側面は、前記連結部に隣接して形成される請求項1に記載の圧電振動片。
- 前記一方の引出電極は、前記連結部の側面を介して前記一方の主面から前記他方の主面に引き出されている請求項1又は請求項2に記載の圧電振動片。
- 前記一方の引出電極は、前記枠部の前記振動部に面する側面を介して前記一方の主面から前記他方の主面に引き出されている請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の圧電振動片。
- 前記連結部が、1本又は複数本形成されている請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の圧電振動片。
- 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の圧電振動片と、
前記枠部の他方の主面に接合されるベース板と、
前記枠部の一方の主面に接合され、前記振動部を密封するリッド板と、
を備える圧電デバイス。
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