JP2013251544A - その場バリア酸化法と構成 - Google Patents
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Abstract
【課題】ゲートとチャネル間の界面におけるトラップが低減された、エンハンスメントモードの窒化ガリウム系高電子移動度トランジスタ、集積回路(IC)装置、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ガリウム(Ga)と窒素(N)を含み、基板102上に配置されたバッファ層104と、アルミニウム(Al)と窒素(N)を含んでバッファ層104上に配置され、酸化部分110を備えたバリア層106と、バリア層106の酸化部分110上に配置されたゲート誘電体118bと、ゲート誘電体118b上に配置されたゲート電極118aと、を備え、バリア層106の酸化部分110は、ゲート電極118aとバッファ層104間のゲート領域に配置されている。
【選択図】図1
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【選択図】図1
Description
本開示の実施形態は、広くは集積回路分野に関し、具体的にはその場(in−situ)バリア酸化法と構成に関する。
現在、窒化ガリウム(GaN)系高電子移動度トランジスタ(HEMT)などのIII族窒化物系トランジスタは、典型的には、トランジスタチャネル内の電流を低減するために、電源電圧に対して負のゲート電圧を用いるデプレションモード(Dモード)デバイスである。しかしながら、電流を低減するために電源電圧に対して正のゲート電圧を用いるエンハンスメントモード(Eモード)デバイスは、パワースイッチングなどの用途には望ましいものであり得る。しかしながら、Eモードデバイスを形成する従来の凹部プロセスおよび堆積プロセスでは、トランジスタのゲート端子とチャネル間の界面におけるトラップやその他の欠陥が生じ得る。
以下の詳細な説明と添付図面によって実施形態は容易に理解されるであろう。説明を容易にするために、同じ符号は同じ構成要素を示す。実施形態は例示として示されるものであり、添付図面の形状を限定するものではない。
本開示の実施形態によって、その場(in−situ)バリア酸化法と構成が提供される。以下の詳細な説明では、本明細書の一部を成す添付図面を参照する。図面中、同じ符号は同じ部品を示し、本開示の主題が実施され得る実施形態が例示される。他の実施形態を用いることも可能であり、また、構造や論理的な変更が本開示の範囲を逸脱することなく可能であることは理解されるべきである。従って、以下の詳細な説明は制限的な意味合いで捉えられるものではなく、実施形態の範囲は、添付の請求項およびその均等物によって画定されるものである。
本開示の目的のために、「AおよびまたはB」は、(A)、(B)または(AおよびB)を意味する。本開示の目的のために、「A、BおよびまたはC」は、(A)、(B)、(C)、(AおよびB)、(AおよびC)、(BおよびC)または(A、BおよびC)を意味する。
以下の説明では、「ある実施形態では」または「実施形態では」が使用されるが、これらはそれぞれ、1つまたは複数の同じであっても異なっていてもよい実施形態を指す。また、本開示の実施形態に関して使用される「備える」、「含む」、「有する」などは同意語である。また、「接続された」は、直接接続、間接接続あるいは間接的な伝達を指す。
「接続された」とその派生語も本明細書で使用されるが、この「接続された」は、以下の1つまたは複数を意味する。すなわち、2つ以上の要素が直接物理的または電気的に接触しているか、あるいは、2つ以上の要素が互いに間接的に接触し、さらには互いに協働もしくは相互作用しているか、あるいは、互いに接続しているとされる要素間に、1つまたは複数の他の要素が接続されていることを意味する。
種々の実施形態において、「第2の層上に形成、配置または構成された第1の層」とは、前記第2の層上に前記第1の層が形成、配置または構成されており、第1の層の少なくとも一部が、第2の層の少なくとも一部と直接接触(例えば、物理的およびまたは電気的な直接接触)しているか、あるいは間接接触(例えば、第1の層と第2の層間に他の1層または複層を有するなど)していることを意味する。
図1は、種々の実施形態による、集積回路(IC)デバイス100の概略横断面図である。ICデバイス100は基板102上に形成されてもよい。基板102は一般に、その上に層スタック(あるいは単に「スタック101」)が堆積される支持材を含む。ある実施形態では、基板102は、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、酸化アルミニウム(Al2O3)、「サファイア」、窒化ガリウム(GaN)およびまたは窒化アルミニウム(AlN)を含む。他の実施形態では、基板102用として、好適なII〜VI族半導体材料系およびIII〜V族半導体材料系を含む他の材料も使用される。ある実施形態では、その上にバッファ層104の材料がエピタキシャル成長できる任意の材料または材料の任意の組み合わせで基板102を構成してもよい。
基板102上に形成されるスタック101は、1つまたは複数のヘテロ接合/ヘテロ構造を形成する異なる材料系で構成されるエピタキシャル堆積層を備えていてもよい。スタック101の層は、その場で形成されてもよい。すなわち、スタック101は、基板102を取り出さずにその構成層を形成する(例えばエピタキシャル成長させる)製造装置(例えばチャンバ)内で、基板102上に形成されてもよい。
一実施形態では、ICデバイス100のスタック101は、基板102上に形成されたバッファ層104を備える。バッファ層104は、ICデバイス100の基板102と他の構成要素(例えばバリア層106)間に結晶構造転移を与えてもよく、それによって、これら2つの間のバッファ層または絶縁層として作用する。例えば、バッファ層104によって、基板102と他の格子不整合材料(例えばバリア層106)間の応力が緩和され得る。一部の実施形態では、バッファ層104を、トランジスタの可動電荷キャリア用のチャネルとして機能させてもよい。バッファ層104を、基板102にエピタキシャルに接続してもよい。他の実施形態では、核形成層(図示せず)を基板102とバッファ層104間に介在させてもよい。一部の実施形態では、バッファ層104を複数の堆積膜あるいは層で構成してもよい。
一部の実施形態では、バッファ層104は、例えば窒化ガリウム(GaN)などのIII族窒化物系材料を含んでいてもよい。バッファ層104の厚みは、その下の基板102の表面に実質的に垂直な方向において1〜2μmであってもよい。他の実施形態では、バッファ層104は、他の好適な材料およびまたは厚みを有していてもよい。
スタック101は、バッファ層104上に形成されたバリア層106(「供給層」とも呼ぶ)をさらに備えていてもよい。バリア層106とバッファ層104間には、ヘテロ接合が形成されていてもよい。バリア層106のバンドギャップエネルギーは、バッファ層104のそれより大きくてもよい。バリア層106は、可動電荷キャリアを供給するより広いバンドギャップ層であってもよく、バッファ層104は、該可動電荷キャリア用のチャネルまたは経路を提供するより狭いバンドギャップ層であってもよい。
バリア層106は、例えばIII族窒化物系材料などの種々の好適な材料系のうちの任意のもので構成されてもよい。バリア層106は、例えばアルミニウム(Al)、インジウム(In)、ガリウム(Ga)およびまたは窒素(N)を含んでいてもよい。一部の実施形態では、バリア層106は、単一材料から成る単独層で構成されてもよい。一実施形態では、バリア層106は、例えば、窒化アルミニウムインジウムガリウム(AlxIn1−xGayN)(x、yはそれぞれの成分の相対量を表わす0〜1の値)から成る単独層で構成されてもよい。一部の実施形態では、xは、ここで説明する酸化プロセス用のアルミニウム含量を得るために0.5以上であってもよい。種々の実施形態では、バリア層106は、2元材料(例えばAlN)、3元材料(例えばAlInNまたはAlGaN)あるいは4元材料(例えばAlInGaN)を含んでいてもよい。
一部の実施形態では、バリア層106を複数の堆積膜あるいは層で構成してもよい。例えば、図2に示すように、ICデバイス200は、バッファ層104上に配置された第1のバリア層107と、第1バリア層107上に配置された第2のバリア層108とから成るバリア層106を備えていてもよい。一部の実施形態では、第1バリア層107は窒化アルミニウム(AlN)で構成され、第2バリア層108は、窒化インジウムアルミニウム(InAlN)、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)または窒化インジウムガリウムアルミニウム(InGaAlN)で構成されてもよい。他の実施形態では、バリア層106は、他の材料あるいは3層以上(例えば、図8および図10の第3のバリア層109)を含んでいてもよい。ICデバイス200は、図1のICデバイス100に関して説明した実施形態に適合していてもよい。
図1に戻り、二次元電子ガス(2DEG)がバッファ層104とバリア層106間の界面(例えばヘテロ接合)に形成されていてもよく、これによって、電流(例えば可動電荷キャリア)がソース端子(以後、ソース112)とドレイン端子(以後、ドレイン114)間に流れる。一部の実施形態では、ICデバイス100は、その中の電流を低減するために電源電圧に対して正のゲート電圧を用いるエンハンスメントモード(Eモード)デバイスエンハンスメントモード(Eモード)デバイスであってもよい。こうした実施形態では、バリア層106の酸化部分(以後、「バリア酸化」あるいは単に「酸化110」)とバッファ層104間におけるバリア層106の厚みTは、2DEG形成の臨界厚みT0(例えば、臨界厚みT0未満では2DEGは形成し得ない)未満であってもよい。例えば、厚みTは、ゲート端子(以後、「ゲート118」)とバッファ層104間に配置されたチャネルのゲート領域において、2DEGの形成を阻止するように構成され、一方、該ゲート領域とソース112間および該ゲート領域とドレイン114間のチャネルのアクセス領域には2DEGが形成されるように構成されてもよい。一部の実施形態では、バリア層106の厚みとアルミニウム含量は、ショットキー(Schottky)ゲートデバイスか金属−絶縁体−半導体(MIS)ゲートデバイスのいずれかのデバイス100に対しては、該ゲート領域における2DEGをすべて確実に除去するように選択されてもよい。他の実施形態では、デバイス100は、その中の電流を低減するために、電源電圧に対して負のゲート電圧を用いるデプレションモード(Dモード)デバイスであってもよい。
一部の実施形態では、該ゲート領域におけるバリア層106の厚みTは30Å以下である。例えば、AlGaNの単独層から成るバリア層106のゲート領域における厚みTは20Å以下であってもよい。AlNおよびまたはInAlNからなるバリア層106のゲート領域における厚みTは15Å以下であってもよい。一部の実施形態では、バリア層106の厚みTは10Å〜20Åであってもよい。一部の実施形態では、バリア層106のゲート領域外の領域における厚みは、その下のバッファ層104の表面に実質的に垂直な方向において160Å〜300Åであってもよい。他の実施形態では、バリア層106は、他の好適な材料およびまたは厚みを有していてもよい。
種々の実施形態では、ICデバイス100は、図示のように、バリア層106内に配置された酸化110をさらに備える。バリア層106の材料を酸化プロセス(例えば、熱および酸素を印加して酸化アルミニウムを形成するプロセス)により酸化させて、酸化110を形成してもよい。一部の実施形態では、酸化110をゲート118の絶縁層として機能させて、Eモードデバイスを得てもよい。酸化110はゲート電流を抑制し得る。バリア層106の材料を酸化させて酸化110を形成することによって、バリア層106にバッファ層104に至る凹部を設けバッファ層104上に誘電体材料を堆積するプロセスなどの、絶縁層を形成する従来の凹部形成プロセスまたは堆積プロセスに付随するトラップや他の欠陥を生じることなく、絶縁層(例えば酸化110)を形成し得る。
一部の実施形態では、図示のように、酸化110は、バリア層106(例えば、図2の第1バリア層107および第2バリア層108)の一部である。図示のように、酸化110をゲート118とバッファ層104間に配置してもよい。一部の実施形態では、酸化110の形状は、円形や無定形などの、図示以外の他の形状であってもよい。
種々の実施形態では、酸化110のバンドギャップエネルギーは、バリア層106およびまたはバッファ層104のそれより大きくてもよい。ある実施形態では、酸化110のバンドギャップエネルギーは5eV以上である。一部の実施形態では、酸化110は、ゲート118とバッファ層104間に配置されたゲート領域における2DEGの形成を阻止する動作機能を有していてもよい。酸化110は、ICデバイス100のチャネルを塞ぐように構成されて、ゲート領域(例えばチャネル)内の抵抗率を上昇させてもよい。
一部の実施形態では、酸化110を酸化アルミニウム(例えばAl2O3)で構成してもよい。他の実施形態では、他の好適な金属酸化物を用いてもよい。
種々の実施形態では、酸化110の厚みは200Å以下であってもよい。酸化110の厚みは、バリア層106の下位にあるバッファ層104の表面に実質的に垂直な方向において、例えば25Å〜200Åであってもよい。他の実施形態では、酸化110の厚みおよび材料は他のものであってもよい。
ICデバイス100は、図示のように、酸化110上に配置されたゲート端子(以後、「ゲート118」)をさらに備えていてもよい。ゲート118は、誘電体膜(以後、「ゲート誘電体118b」)と、酸化110に接続されたゲート電極118aとを備えていてもよい。ゲート118は、ICデバイス100のチャネルを制御(例えば、ICデバイス100のオン/オフ状態を制御)するように構成されてもよい。一部の実施形態では、図示のように、ゲート118をICデバイス100の接続端子として機能させてもよく、バリア層106および酸化110と直接物理的接触させてもよい。一部の実施形態では、図示のように、ゲート118を、例えば、バリア層106上に形成された窒化ケイ素(SiN)や別の誘電体材料などの誘電体層116上に形成してもよい。他の実施形態では、ICデバイス100は、ゲート誘電体118bおよびまたは誘電体層116を全く備えていなくてもよい。一部の実施形態では、ゲート118をバリア層106上に形成してもよい。
ゲート118は、図示のように、酸化110に接続されたトランク部すなわち底部と、該トランク部から、その上にスタック101が形成された基板102の表面に実質的に平行な逆方向に離れるように延在する頂部と、を有していてもよい。ゲート118のトランク部および頂部のこうした構成をT形フィールドプレートゲートと呼んでもよい。すなわち、一部の実施形態では、ゲート118は、ゲート118とドレイン114間の絶縁破壊電圧を上昇させ得およびまたはその電界を低減させ得る一体型フィールドプレート(例えばゲート118の頂部)を有していてもよい。該一体型フィールドプレートによって、ICデバイス100の高電圧動作が容易になり得る。
ゲート電極118aによって、ICデバイス100へのしきい値電圧印加用の電気経路が提供され得る。ゲート誘電体118bは、一部の実施形態では、ゲート電極118aとバリア層106間、およびまたはゲート電極118aと酸化110間に、ゲート誘電体118bを配置してもよい。金属などの導電性材料でゲート誘電体118aを構成してもよい。一部の実施形態では、ニッケル(Ni)、プラチナ(Pt)、イリジウム(Ir)、モリブデン(Mo)、金(Au)およびまたはアルミニウム(Al)で、ゲート誘電体118bを構成してもよい。ある実施形態では、バリア層106とのゲートコンタクトを得るために、Ni、Pt、IrまたはMoを含む材料がゲート118のトランク部に配置され、ゲート118の導電性と低抵抗を確実にするために、Auを含む材料がゲート118の頂部に配置される。
種々の実施形態では、ゲート誘電体118bは、例えば、窒化ケイ素(SiN)、酸化シリコン(SiO2)、酸化アルミニウム(Al2O3)およびまたは酸化ハフニウム(HfO2)を含んでいてもよい。他の実施形態では、ゲート絶縁体118bは、他の材料を含んでいてもよい。
例えば化学気相蒸着法(CVD)およびまたは原子層蒸着法(ALD)などの任意の好適なプロセスを用いて、ゲート誘電体118b材料を酸化110上に堆積して、ゲート誘電体118bを形成してもよい。一部の実施形態では、ゲート誘電体118および酸化110はその場で形成される。すなわち、基板102を取り出さずにそのゲート誘電体118bを堆積する製造装置(例えば堆積ツールのチャンバ)内で、酸化110を形成してもよい。一部の実施形態では、該製造装置は、例えばプラズマ増強CVD法(PECVD)ツールなどのALDまたはCVD堆積ツールを備える。こうしたその場法は、ICデバイス100のチャネルとゲート118間の界面におけるトラップや他の欠陥を低減し得る。一部の実施形態では、ゲート誘電体118を全く使用しなくてもよい。一部の実施形態では、酸化110をゲート118の唯一の絶縁層として機能させてもよい。
ICデバイス100は、バリア層106上に形成されたソース112とドレイン114を備えていてもよい。ソース112とドレイン114は、図示のように、バリア層106を通ってバッファ層104内に延在していてもよい。種々の実施形態では、ソース112とドレイン114はオーミックコンタクトである。ソース112とドレイン114は、標準の成長コンタクトよりコンタクト抵抗が比較的小さいものであり得る再成長コンタクトであってもよい。
金属などの導電性材料で、ソース112とドレイン114を構成してもよい。ある実施形態では、ソース112とドレイン114は、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)、モリブデン(Mo)、金(Au)およびまたはシリコン(Si)を含んでいてもよい。
他の実施形態では、他の材料が用いられる。
他の実施形態では、他の材料が用いられる。
ある実施形態では、ドレイン114とゲート118間の距離D1は、ソース112とゲート118間の距離S1より大きい。一部の実施形態では、距離D1は、ドレイン114とゲート118間の最短距離であってもよく、距離S1は、ソース112とゲート118間の最短距離であってもよい。距離S1を距離D1より短くすることによって、ゲート118−ドレイン114間の絶縁破壊電圧を上昇させ得、およびまたはソース112の抵抗を低減させ得る。
一部の実施形態では、図示のように、誘電体層122をゲート118およびまたは誘電体層116上に形成してもよい。誘電体層122は、例えば窒化ケイ素(SiN)を含んでいてもよい。他の実施形態では、誘電体層122には他の材料が使用できる。一部の実施形態では、誘電体層122は、ゲート118の頂部を実質的に封入し、ICデバイス100の保護層として機能する。
ICデバイス100は、ゲート118とドレイン114間の絶縁破壊電圧を上昇させおよびまたは電界を低減するために、誘電体層122上に形成されたフィールドプレート124をさらに備えていてもよい。導電性材料126を用いて、フィールドプレート124をソース112に電気的に接続してもよい。導電性材料126は、誘電体層122上に電極あるいはトレース状の構造物として堆積された、例えば金(Au)などの金属を含んでいてもよい。他の実施形態では、導電性材料126に他の好適な材料を使用してもよい。
フィールドプレート124は、金属などの導電性材料で構成され、ゲート118に関連して説明した材料を含んでいてもよい。フィールドプレート124は、誘電体層122を通してゲート118に容量接続されてもよい。一部の実施形態では、フィールドプレート124とゲート118間の最短距離は1000Å〜2000Åである。フィールドプレート124は、図示のように、オーバーハング領域が得られるように、その一部分がゲート118上に直接形成されないようにしてゲート118上に形成されてもよい。一部の実施形態では、フィールドプレート124のオーバーハング領域は、ゲート118の頂部端部より距離H1だけ延在する。一部の実施形態では、距離H1は0.2μm〜1μmであってもよい。他の実施形態では、H1は他の値であってもよい。
種々の実施形態では、ICデバイス100は高電子移動度トランジスタ(HEMT)であってもよい。一部の実施形態では、ICデバイス100はショットキーデバイスであってもよく、他の実施形態では、MIS電界効果トランジスタ(MISFET)であってもよい。一部の実施形態では、ゲート118は、例えば、Eモードスイッチデバイスのスイッチングを制御するように構成されてもよい。ICデバイス100は、無線周波数(RF)用途、ロジック用途およびまたは電力変換用途に使用されてもよい。例えば、ICデバイス100によって、例えば交流(AC)−直流(DC)変換器、DC−DC変換器、DC−AC変換器などの電力調整用途を含む電力スイッチ用途用の効果的なスイッチデバイスが提供され得る。
図3〜12は、種々の製造作業後のICデバイスを示す。図3〜7に関連して説明する方法と構成は、図1〜2に関連して説明した実施形態に適合し得、逆もまたそうである。
図3は、種々の実施形態による、基板102上への層スタック(例えばスタック101)形成後のICデバイス300の概略横断面図である。種々の実施形態では、ICデバイス300は、基板102上にバッファ層104を堆積し、バッファ層104上にバリア層106を堆積して製造されてもよい。バリア層106は、バッファ層104上に堆積された第1のバリア層107と、第1のバリア層107上に堆積された第2のバリア層108とを備えていてもよい。一部の実施形態では、例えば、図8および図10の第3のバリア層109などの付加的なバリア層を、第2のバリア層108上に堆積してもよい。スタック101の層を、例えば分子線エピタキシャル法(MBE)、原子層エピタキシャル法(ALE)、化学ビームエピタキシャル法(CBE)およびまたは有機金属化学気相蒸着法(MOCVD)などのエピタキシャル堆積プロセスを用いて堆積してもよい。他の実施形態では、他の堆積プロセスを用いてもよい。
図4は、種々の実施形態による、ソース112とドレイン114形成後のICデバイス400の概略横断面図である。種々の実施形態では、バリア層106上に(例えば、第2バリア層108上に)、ソース112とドレイン114を形成してもよい。ある実施形態では、ソース112とドレイン114が形成される領域内のバリア層上に、例えば蒸発プロセスを用いて、1つまたは複数の金属などの材料が堆積される。ソース112とドレイン114形成用の材料は、以下の順序で堆積される金属を含んでいてもよい:チタン(Ti)、その後アルミニウム(Al)、その後モリブデン(Mo)、その後チタン(Ti)、その後金(Au)。該堆積材料を加熱(例えば、高速熱アニールプロセスを用いて約850℃×で約30秒間)して、この材料を貫通させて、下部のバリア層106(例えば第1バリア層107および第2バリア層108)およびまたはバッファ層104と溶融させてもよい。実施形態では、ソース112とドレイン114はそれぞれ、バリア層106を経由してバッファ層104内に延在する。ソース112およびドレイン114の厚みは1000Å〜2000Åであってもよい。他の実施形態では、ソース112とドレイン114の厚みはこれ以外であってもよい。
ソース112とドレイン114を再成長プロセスで形成し、低減された接触抵抗または低減されたオン抵抗を有するオーミックコンタクトを得てもよい。該再成長プロセスでは、ソース112とドレイン114が形成される領域において、バリア層106およびまたはバッファ層104の材料を選択的に除去してもよい(例えば、エッチングされる)。これらの層が選択的に除去された領域に、高濃度ドープ材料(例えばn++材料)を堆積してもよい。ソース112とドレイン114の高濃度ドープ材料は、バッファ層104またはバリア層106に使用した材料と同様の材料であってもよい。例えば、バッファ層がGaNを含むシステムでは、前記選択的に除去した領域に、シリコン(Si)で高濃度にドープされたGaN系材料を厚みが400Å〜700Åになるまでエピタキシャルに堆積してもよい。前記高濃度ドープ材料は、分子線エピタキシャル法(MBE)、原子層エピタキシャル法(ALE)、化学ビームエピタキシャル法(CBE)、有機金属化学気相成長法(MOCVD)またはこれらの好適な組み合わせによってエピタキシャルに堆積できる。他の実施形態では、前記高濃度ドープ材料に対して、他の材料、厚みあるいは堆積法が用いられる。例えば、チタン(Ti)およびまたは金(Au)を含む1つまたは複数の金属を、例えばリフトオフプロセスを用いて1000Å〜1500Åの厚みで、該高濃度ドープ材料上に形成/堆積できる。他の実施形態では、該1つまたは複数の金属に対して、他の材料、厚みおよびまたは方法が用いられる。
一部の実施形態では、不純物(例えばシリコン)を導入してソース112とドレイン114に高濃度ドープ材料を提供する注入法を用いた注入プロセスによって、ソース112とドレイン114を形成してもよい。注入後、ソース112とドレイン114を高温(例えば1100℃〜1200℃)でアニールする。前記再成長プロセスでは、前記注入後アニールに伴う高温を好適に避け得る。
図5〜11は、バリア層106の酸化部分(例えば酸化110)を形成するための、代替プロセス方法と構成を示す。一部の実施形態では、図5〜11に関連して説明する方法と構成を適切に組み合わせてもよい。
図5は、種々の実施形態による、バリア層106に凹部を設けずに、その酸化部分(例えば酸化110)を形成した後のICデバイス500の概略横断面図である。一部の実施形態では、誘電体層116をスタック101上に形成してもよい。誘電体層116は、誘電体層116を(例えば、エッチングプロセスおよびまたはリソグラフィプロセスを用いて)パターン化し、誘電体層116に開口部117を設けてもよい。一部の実施形態では、誘電体層116に凹部を設けてバリア層106の材料を露出させる。一部の実施形態では、バリア層106の材料に凹部を設けなくてもよい。
誘電体層116を、酸化110を形成する酸化プロセス中のマスクとして機能させてもよい。例えば、誘電体層116によって、その下にあるバリア層106の酸化を防止または阻止させ、開口部117に隣接するバリア層106領域内の開口部117を通してバリア層106を酸化させてもよい。
一部の実施形態では、バリア層106は複数の層を備えていてもよい。例えば、第1バリア層107をバッファ層104上に形成し、第2バリア層108を第1バリア層107上に形成してもよい。一部の実施形態では、第1バリア層107を窒化アルミニウム(AlN)で構成し、第2バリア層108を窒化アルミニウムインジウム(AlxIn1−xN)で構成してもよい。他の実施形態では、他の材料を用いてもよい。
一部の実施形態では、酸化110は、図示のように、第2バリア層108内だけに延在してもよい。他の実施形態では、酸化110は、第1バリア層107内に延在してもよい。他の実施形態では、バリア層106は単独層で構成されもよい。一部の実施形態では、図5に関連して説明した第1バリア層107は全く使用されない。
酸化110を形成する酸化プロセスは、制御された温度および圧力条件下で、酸素(O2)およびまたはオゾン(O3)をバリア層106に印加するステップを備えていてもよい。例えば、誘電体層116に開口部117を形成後、ALDまたはPECVD装置などの堆積ツール内に基板102を入れ、温度150℃〜350℃、圧力50トール〜900トールで、O2/O3ガス流を15〜45分間印加してもよい。ある実施形態では、該酸化プロセスは、温度250℃、圧力90トールで、O2/O3ガスを30分間印加するステップを備えていてもよい。該酸化プロセスでは、酸素とバリア層106のアルミニウム(Al)とを結合させて酸化アルミニウムを形成してもよい。図6〜11の酸化110を形成する酸化プロセスは、図5に関連して説明した実施形態と適合してもよい。
図6は、種々実施形態による、バリア層106に凹部を設け、さらにその酸化部分を形成した後のICデバイス600の概略横断面図である。一部の実施形態では、誘電体層116をバリア層106上に堆積し、開口部117でパターン化してもよい。一部の実施形態では、誘電体層116をハードマスクまたはゲートマスクとして機能させてもよい。すなわち、バリア層106の材料を選択的に除去するエッチングプロセスを用いて、バリア層106の材料に開口部117を通して凹部を設けてもよい。図示の実施形態では、該凹部形成によって、第2バリア層108の材料だけを除去する。他の実施形態では、該凹部形成によって、第1バリア層107およびまたは第2バリア層108の材料を除去してもよい。
バリア層106の凹部形成後に、本明細書で説明したようなバリア層106の材料を酸化する酸化プロセスを用いて、酸化110を形成してもよい。一部の実施形態では、図示のように、酸化110は第1バリア層内に延在していてもよい。他の実施形態では、酸化110は、図5に関連して示した実施形態と同様に、第1バリア層107内に延在していなくてもよい。さらに別の実施形態では、酸化110はバッファ層104まで延在していてもよい。一部の実施形態では、バリア層106を単独層で構成してもよい。
図7は、種々の実施形態による、バリア層106に凹部を設けずに、その酸化部分(例えば酸化110)を形成した後の別のICデバイス700の概略横断面図である。誘電体層116をスタック101上に形成して開口部117でパターン化し、下部のバリア層106を酸化して酸化110を形成してもよい。
一部の実施形態では、バッファ層104およびバリア層106の材料は、酸化前部の深さ制御が容易にできるように選択される。例えば、バリア層106のアルミニウム含量は、バッファ層104のそれより著しく高く、それによって、酸化プロセスは、バッファ層104に達した段階で停止あるいはその速度が大きく落ちる。アルミニウム含量が高い層の下部にあるアルミニウム含量の低い層は、酸化停止層と呼ばれ得る。一部の実施形態では、バッファ層104は窒化ガリウム(GaN)を含んでいてもよく、バリア層106は、窒化アルミニウム(AlN)を含んでいてもよい。他の実施形態では、他の好適な材料を用いてもよい。
図8は、種々の実施形態による、酸化プロセス中に酸化停止層として機能するバリア層(例えば第2バリア層108)上に、別のバリア層(例えば第3バリア層109)の酸化部分(例えば酸化110)を形成後のICデバイス800の概略横断面図である。スタック101は、それぞれ図示のように接続された、バッファ層104、第1バリア層107、第2バリア層108および第3バリア層109を備えていてもよい。
一部の実施形態では、第2バリア層108のアルミニウム含量は、第3バリア層のそれに比べて低くてもよく、それによって、第2バリア層108は、酸化110を形成する酸化プロセス中に酸化停止層として機能する。一部の実施形態では、第1バリア層107はAlNで構成されていてもよく、第2バリア層108はAlyGa1−yN(y<0.5)で構成されていてもよく、第3バリア層109はAlxIn1−xN(x>0.5)で構成されてもよい。他の実施形態では、第1バリア層107、第2バリア層108およびまたは第3バリア層109に、それぞれ他の材料を用いてもよい。一部の実施形態では、第1バリア層107を全く用いなくてもよい(例えば、第2バリア層108をバッファ層104上に形成してもよい)。
図9は、種々の実施形態による、凹部形成プロセス中にエッチィング停止層として機能するバリア層106の酸化部分(例えば酸化110)を形成後のICデバイス900の概略横断面図である。スタック101は、それぞれ図示のように接続された、バッファ層104、第1バリア層107および第2バリア層108を備えていてもよい。第2バリア層108のアルミニウム含量は、第1バリア層107のそれに比べて低く、それによって、第1バリア層107は、第2バリア層108の材料を除去する凹部形成プロセス中にエッチング停止層として機能する。例えば、アルミニウム含量が高い材料に比べて低い材料を選択的に除去する選択的なエッチングプロセスを使用してもよい。一部の実施形態では、第1バリア層107はAlNまたはAlxIn1−xNで構成されていてもよく、第2バリア層108はAlyGa1−yNで構成されてもよい。一部の実施形態では、x>0.5、y<0.5である。
誘電体層116は、図9のICデバイス900に関するゲートマスクとして使用されてもされなくてもよい。例えば、写真感光材料を第2バリア層108上に堆積して開口部でパターン化し、この開口部を通して第2バリア層108の凹部を形成してもよい。アルミニウム含量が比較的低い第2バリア層108を、アルミニウム含量が比較的高い第1バリア層107酸化用のマスクとして機能させてもよい。一部の実施形態では、第2バリア層108の開口部117を通して第1バリア層107の材料を酸化して酸化110を形成する酸化プロセス用の酸化停止層として、バッファ層104を機能させてもよい。
図10は、種々の実施形態による、凹部形成プロセス中にエッチング停止層として機能するバリア層106の酸化部分(例えば酸化110)を形成後の別のICデバイス1000の概略横断面図である。スタック101は、それぞれ図示のように接続された、バッファ層104、第1バリア層107、第2バリア層108および第3バリア層109を備えていてもよい。
図9に関連して説明した方法による、第3バリア層109の材料を除去する凹部形成プロセス用のエッチング停止層として、第2バリア層108を機能させてもよい。第2バリア層108に酸化110を形成する酸化プロセス用のマスク(例えば酸化マスク)として、第3バリア層109を機能させてもよい。一部の実施形態では、第1バリア層107はAlNで構成されていてもよく、第2バリア層108はAlxIn1−xNで構成されていてもよく、第3バリア層109はAlyGa1−yNで構成されてもよい。一部の実施形態では、x>0.5、y<0.5である。一部の実施形態では、第1バリア層107を全く使用しなくてもよい。
図11は、種々の実施形態による、トップバリア層(例えば酸化110)酸化後の別のICデバイス1100の概略横断面図である。一部の実施形態では、スタック101は、図示のように、第1バリア層107、第2バリア層108、および酸化されて酸化110を形成する第3バリア層(例えば、図8の酸化前の第3バリア層109)を備えていてもよい。一部の実施形態では、第1バリア層107はAlNで構成されていてもよく、第2バリア層108はAlyGa1−yNで構成されていてもよく、酸化されて酸化110を形成する前の第3バリア層はAlNまたはAlxIn1−xNで構成されてもよい。一部の実施形態では、x>0.5、y<0.5である。第3バリア層(またはトップバリア層)は、酸化110を形成するものとして本明細書で説明した酸化法を用いて、酸素またはオゾンに暴露してもよく。それは保護層として機能し得る。一部の実施形態では、トップバリア層を全面的にまたは部分的に酸化して、保護層を形成してもよい。酸化によって形成される保護層は、例えばPECVD、ALDなどの堆積プロセスを用いて堆積された保護層と比較して、欠陥が少ない(例えば、表面状態欠陥が少ない、電流崩壊が少ないなど)ものにでき得る。
図12は、種々の実施形態による、バリア層106の酸化部分(例えば酸化110)上にゲート端子(例えばゲート118)を形成後のICデバイス1200の概略横断面図である。ゲート118を、図6に関連して説明したように構成された酸化110上に形成されるように図示したが、他の実施形態では、ゲート118を、図5および図7〜11に関連して説明したように構成された酸化110上に同様に形成してもよい。ゲート118は、ゲート電極118aおよびゲート誘電体118bを備えていてもよい。
一部の実施形態では、図示のように、酸化110上に、またある場合には、バリア層106の露出部分上に誘電体材料を堆積してゲート誘電体118bを形成してもよい。ゲート誘電体118bの材料は、例えば、窒化ケイ素(SiN)、酸化シリコン(SiO2)、酸化アルミニウム(Al2O3)およびまたは酸化ハフニウム(HfO2)で構成されてもよい。他の実施形態では、他の材料を用いてゲート誘電体118bを形成してもよい。
一部の実施形態では、ゲート誘電体118bは、酸化110と共にその場で形成される。例えば、ゲート誘電体118bを、酸化110を形成する酸化プロセスを実行するためのALDまたはPECVD装置などの堆積ツール内で形成してもよい。一部の実施形態では、本明細書で説明したように、基板102をALDまたはPECVD装置などの堆積ツール内に入れて、酸化プロセスを用い、制御された温度および圧力条件下で、酸素(O2)およびまたはオゾン(O3)をバリア層106に印加して酸化110を形成してもよい。ゲート誘電体118bが酸化110上に堆積されるまで、基板102は堆積ツールから取り出さなくてもよい。
一部の実施形態では、制御された温度、圧力および時間下で、該酸化上に所望の厚みになるまで材料の層を堆積してゲート誘電体118bを形成してもよい。温度は、例えば150℃〜350℃であってもよく、一部の実施形態では約250℃であってもよい。圧力と時間は、ゲート誘電体材料を堆積する従来の範囲であってもよい。
ゲート誘電体118b上に導電性材料を堆積して、ゲート電極118aを形成してもよい。例えば蒸発、原子層蒸着法(ALD)およびまたは化学気相蒸着法(CVD)を含む任意の好適な堆積プロセスによって、該導電性材料を堆積してもよい。
図13は、種々の実施形態による、ICデバイスの製造方法1300を示すフローチャートである。方法1300は、図1〜12に関連して説明した方法と構成に適合していてもよい。
方法800は、802において、基板(例えば、図1の基板102)上にバッファ層(例えば、図1のバッファ層104)を形成するステップを備える。バッファ層を形成するステップは、基板上にバッファ層材料をエピタキシャルに堆積するステップを備えていてもよい。一部の実施形態では、バッファ層を複数の層で構成してもよい。
方法1300は、1304において、バッファ層(例えば、図1のバッファ層104)上にバリア層(例えば、図1のバリア層106)を形成するステッピをさらに備えていてもよい。バリア層を形成するステップは、バッファ層上にバリア層材料をエピタキシャルに堆積するステップを備えていてもよい。一部の実施形態では、バリア層を、複数の層(例えば、図2の第1バリア層107および図2の第2バリア層108)で構成してもよい。他の実施形態では、バリア層は、材料の単独層を堆積して形成してもよい。
方法1300は、1306において、ソース(例えば、図1のソース112)とドレイン(例えば、図1のドレイン114)を形成するステップをさらに備えていてもよい。一部の実施形態では、ソースとドレインはバリア層に接続され、バリア層を通ってバッファ層内に延在していてもよい。
方法1300は、1308において、バリア層の少なくとも一部分(例えば、図1の酸化110)を酸化するステップをさらに備えていてもよい。バリア層を、ゲート誘電体の堆積に使用する装置と同じ装置内でその場で酸化してもよい。図5〜11に関連して説明した方法に準拠して、バリア層を酸化してもよい。
方法1300は、1310において、バリア層の酸化部分上にゲート誘電体(例えば、図1のゲート誘電体118b)を形成するステップをさらに備えていてもよい。ICデバイスのチャネルインタフェースにおける欠陥低減のために、酸化形成用に使用される装置から基板を取り出さずに、ゲート誘電体を形成してもよい。
方法1300は、1312において、ゲート誘電体上にゲート電極を形成するステップをさらに備えていてもよい。任意の好適な方法を用いて誘電体上に導電性材料を堆積することにより、ゲート電極を形成してもよい。
方法1300は、1314において、ゲート電極上に誘電体層(例えば、図1の誘電体層116およびまたは122)を形成するステップをさらに備えていてもよい。任意の好適な堆積プロセスによって誘電体層を堆積してもよい。種々の実施形態では、誘電体層は、ICデバイスの保護層として機能し得る。一部の実施形態では、すぐに販売または使用される最終製品には、誘電体層が含まれていなくてもよい。
方法1300は、1316において、誘電体層上にフィールドプレートを形成するステップをさらに備えていてもよい。任意の好適な堆積法を用いて導電性材料を前記誘電体層上に堆積することにより、フィールドプレートを形成してもよい。リソグラフィプロセスおよびまたはエッチングプロセスなどのパターン化プロセスを用いて前記堆積した導電性材料部分を選択的に除去して、フィールドプレートを形成できる。他の実施形態では、他の好適な技術を用いてもよい。
特許請求された主題の理解に最も有用な順番と方法で、種々の操作が複数の別個の操作として説明される。しかしながら、説明の順番は、これらの操作が必ず順番依存であることを示唆するように解釈されるべきでない。これらの操作は、特に提示の順番に行われなくてもよい。記載の実施形態と異なる順番で、記載された操作を行ってもよい。追加の実施形態では、種々の追加の操作を行ってもよく、およびまたは記載の操作を省略してもよい。
本明細書で説明したICデバイスの実施形態およびこうしたICデバイスを備える装置を、他の種々の装置やシステムに組み込んでもよい。例となるシステム1400のブロック図を図14に示す。システム1400は、図示のように、一部の実施形態では無線周波数(RF)PAモジュールであり得る電力増幅器(PA)モジュール1402を備える。システム1400は、図示のように、電力増幅器モジュール1402に接続されたトランシーバ1404を備えていてもよい。パワーアンプモジュール1402は、ここに説明したICデバイス(例えばICデバイス100あるいは他のICデバイス)を備えていてもよい。
電力増幅器モジュール1402は、トランシーバ1404からRF入力信号(RFin)を受信してもよい。電力増幅器モジュール1402は、該RF入力信号(RFin)を増幅してRF出力信号(RFout)を出力してもよい。RF入力信号(RFin)およびRF出力信号(RFout)は、それぞれ図14のTx−RFinおよびTx−RFoutで示され、共に送信チェーンの一部であり得る。
増幅されたRF出力信号(RFout)は、アンテナスイッチモジュール(ASM)1406に与えられてもよく、このモジュールによって、アンテナ構造1408経由で、RF出力信号(RFout)の無線(OTA)送信が実現される。また、ASM1406は、アンテナ構造1408経由でRF信号を受信し、その受信RF信号(Rx)を受信チェーンに沿ってトランシーバ1404に接続し得る。
種々の実施形態では、アンテナ構造1408は、例えば、ダイポールアンテナ、モノポールアンテナ、パッチアンテナ、ループアンテナ、マイクロストリップアンテナ、あるいはRF信号のOTA送信/受信に好適な任意の他の形式のアンテナを含む指向性アンテナおよびまたは全方向性アンテナの1つまたは複数を備えていてもよい。
システム1400は、電力増幅を含む任意のシステムであってもよい。前記ICデバイス(例えばICデバイス100)は、例えば交流(AC)−直流(DC)変換器やDC−DC変換器、DC−AC変換器などの電力調整用途を含む電力スイッチング用途用の効率的なスイッチングデバイスを提供してもよい。種々の実施形態では、システム1400は、高無線周波数電力と周波数における電力増幅には特に有用であり得る。システム1400は、例えば、陸上および衛星通信、レーダーシステム、および恐らく種々の産業および医学用途におけるいずれか1つまたは複数に対して好適であり得る。より具体的には、種々の実施形態において、システム1400は、レーダー装置、衛星通信装置、携帯電話、携帯電話基地局、ラジオ放送あるいはテレビ増幅器システムから選択された1つであり得る。
説明の目的で実施形態を例示し記載したが、同じ目的を実現するように意図された、広範な代替となるおよびまたは均等な実施形態あるいは実施によって、本開示の範囲を逸脱することなくこれらの実施形態を置換できる。本出願は、本明細書で検討した実施形態に対するいかなる適応や変形もカバーするように意図される。従って、本明細書に記載された実施形態は、請求項とその均等物によってのみ限定されることは明らかである。
例えば化学気相蒸着法(CVD)およびまたは原子層蒸着法(ALD)などの任意の好適なプロセスを用いて、ゲート誘電体118b材料を酸化110上に堆積して、ゲート誘電体118bを形成してもよい。一部の実施形態では、ゲート誘電体118bおよび酸化110はその場で形成される。すなわち、基板102を取り出さずにそのゲート誘電体118bを堆積する製造装置(例えば堆積ツールのチャンバ)内で、酸化110を形成してもよい。一部の実施形態では、該製造装置は、例えばプラズマ増強CVD法(PECVD)ツールなどのALDまたはCVD堆積ツールを備える。こうしたその場法は、ICデバイス100のチャネルとゲート118間の界面におけるトラップや他の欠陥を低減し得る。一部の実施形態では、ゲート誘電体118を全く使用しなくてもよい。一部の実施形態では、酸化110をゲート118の唯一の絶縁層として機能させてもよい。
Claims (29)
- ガリウム(Ga)と窒素(N)を含み、基板上に配置されたバッファ層と、
アルミニウム(Al)と窒素(N)を含んで前記バッファ層上に配置され、酸化部分を備えたバリア層と、
前記バリア層の前記酸化部分上に配置されたゲート誘電体と、
前記ゲート誘電体上に配置されたゲート電極と、を備え、
前記バリア層の前記酸化部分は、前記ゲート電極と前記バッファ層間のゲート領域に配置されていることを特徴とする装置。 - 前記バリア層の前記酸化部分は、酸化アルミニウム(Al2O3)を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記バリア層は、前記バッファ層にエピタキシャルに接続された第1の層と、前記第1の層にエピタキシャルに接続された第2の層を含む複数の層で構成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記第1の層は窒化アルミニウム(AlN)を含み、
前記第2の層は、窒化インジウムアルミニウム(InAlN)、窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)あるいは窒化インジウムガリウムアルミニウム(InGaAlN)を含み、
前記バリア層の前記酸化部分は、前記第1の層の材料と前記第2の層の材料とを含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記第1の層のアルミニウム含量は、前記第2の層のそれより高く、
前記第1の層は、前記第2の層の材料を除去するエッチングプロセス用のエッチング停止層であり、
前記バリア層の前記酸化部分は、前記第1の層の断面を含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記第1の層のアルミニウム含量は、前記第2の層のそれより低く、
前記前記第1の層は、前記バリア層の前記酸化部分を形成する酸化プロセス用の酸化停止層であり、
前記バリア層の前記酸化部分は、前記第2の層の断面を含むことを特徴とする請求項3に記載の装置。 - 前記第2の層を完全に酸化して保護層を形成することを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記バリア層は単独層で構成されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記バリア層の前記酸化部分およびゲート誘電体は、前記ゲート誘電体の材料の堆積に使用される製造装置内でその場で成形されることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記バリア層の厚みは10Å〜200Åであることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記バリア層は第1のバンドギャップエネルギーを有し、
前記バッファ層は、前記第1のバンドギャップエネルギーより小さい第2のバンドギャップエネルギーを有することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記バリア層に接続されたソースと、
前記バリア層に接続されたドレインと、をさらに備え、
前記ソースと前記ドレインは、前記バリア層を通って前記バッファ層内に延在することを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記バリア層上に配置された誘電体材料をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ゲート誘電体は、酸化ハフニウム(HfO2)または酸化アルミニウム(Al2O3)を含み、
前記ゲート電極は、T形フィールドプレートゲートの一部であり、
前記ゲート電極は、ニッケル(Ni)、プラチナ(Pt)、イリジウム(Ir)、モリブデン(Mo)または金(Au)を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記基板は、シリコン(Si)、炭化ケイ素(SiC)、サファイア(Al2O3)、窒化ガリウム(GaN)または窒化アルミニウム(AlN)を含み、前記バッファ層は窒化ガリウム(GaN)を含むことを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ゲート電極は、前記ゲート誘電体、前記バリア層の前記酸化部分、および前記バッファ層に接続されて、金属−絶縁体−半導体(MIS)接合を形成することを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記ゲート電極は、エンハンスメントモード(Eモード)高電子移動度トランジスタ(HEMT)デバイスのスイッチングを制御するように構成されることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- ガリウム(Ga)と窒素(N)を含むバッファ層を基板上に形成するステップと、
アルミニウム(Al)と窒素(N)を含むバリア層を前記バッファ層上に形成するステップと、
薄膜堆積チャンバ内で前記バリア層の一部分を酸化して、トランジスタデバイス用のゲート絶縁体を得るステップと、を備えることを特徴とする方法。 - 前記バリア層の前記一部分を酸化するステップは、温度200℃〜300℃、圧力50トール〜150トールで、前記バリア層を酸素を含むガスに暴露するステップを備えることを特徴とする請求項18に記載の方法。
- 前記バリア層の前記酸化部分上にゲート誘電体を形成するステップをさらに備え、
前記バリア層の前記部分を酸化するステップと前記ゲート誘電体を形成するステップは、同じ薄膜堆積チャンバ内で行われることを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記部分を酸化するステップと前記ゲート誘電体を形成するステップは、前記薄膜堆積チャンバから前記基板を取り出さずに行われることを特徴とする請求項30に記載の方法。
- 前記ゲート誘電体上にゲート電極を形成するステップをさらに備え、
前記バリア層の前記酸化部分は、前記ゲート電極と前記バッファ層間のゲート領域に配置されることを特徴とする請求項20に記載の方法。 - 前記ゲート誘電体を形成するステップは、原子層蒸着法(ALD)またはプラズマ増強化学気相蒸着法(PECVD)を用いて、ゲート誘電体材料を堆積するステップを備えることを特徴とする請求項20に記載の方法。
- 前記部分の酸化前に、前記バリア層の材料を除去して、前記バリア層内に開口部を形成するステップをさらに備え、
前記バリア層の前記一部の酸化は、前記バリア層の前記開口部内の前記バリア層の材料を酸化することによって行われることを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記バリア層上に誘電体層を堆積するステップと、
前記誘電体層中の材料を除去して、前記誘電体層内に開口部を形成するステップと、をさらに備え、
前記バリア層の材料を除去して前記バリア層内に前記開口部を形成するステップは、前記誘電体層内の開口部を通して、前記バリア層の材料を除去するステップを備えることを特徴とする請求項24に記載の方法。 - 前記バリア層の材料除去は、選択的なエッチングプロセスを用いて行われ、
前記バリア層を形成するステップは、
前記バッファ層上に第1の層をエピタキシャルに堆積するステップと、
前記第1の層上に第2の層をエピタキシャルに堆積するステップと、を備え、
前記第1の層のアルミニウム含量は前記第2の層のそれより高く、前記第1の層は前記選択的エッチングプロセス用のエッチング停止層であることを特徴とする請求項24に記載の方法。 - 前記バッファ層を形成ステップは、前記基板上にバッファ層材料をエピタキシャルに堆積するステップを備え、
前記バリア層を形成するステップは、前記バッファ層上にバリア層材料をエピタキシャルに堆積するステップを備えることを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記バリア層に接続されたソースとドレインを形成するステップをさらに備え、
前記ソースとドレインは、前記バリア層を通って前記バッファ層内に延在することを特徴とする請求項18に記載の方法。 - 前記ゲート電極は、前記ゲート誘電体、前記バリア層の前記酸化部分、および前記バッファ層に接続されて、金属−絶縁体−半導体(MIS)接合を形成し、
前記トランジスタデバイスは、エンハンスメントモード(Eモード)高電子移動度トランジスタ(HEMT)デバイスであり、
前記ゲート電極は、前記EモードHEMTデバイスのスイッチングを制御するように構成されることを特徴とする請求項22に記載の方法。
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