JP2013251355A - 圧電体膜素子の製造方法、圧電体膜素子、及び圧電体デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電体膜素子1の製造方法は、基板2上にペロブスカイト構造を有する非鉛のアルカリニオブ酸化物系化合物からなる圧電体膜5を形成し、圧電体膜5に対して反応性ガスを含む雰囲気中で電子温度が2.5eV以下のプラズマを用いて反応性イオンエッチングを行う。
【選択図】図1
Description
[2]前記反応性イオンエッチングで用いる前記反応性ガスは、CHF3、C2F6、CF4、SF6、C4F8及びC3F7Iのいずれかから選択されるフッ素系反応性ガスの1種若しくは2種類以上とArとを混合したガス、又は前記フッ素系反応性ガスを2種類以上混合したガスである前記[1]に記載の圧電体膜素子の製造方法。
[3]前記圧電体膜の形成は、前記基板上に(111)に配向したPtを含む金属からなる下部電極を形成し、前記下部電極上に前記圧電体膜を形成する工程を含む前記[1]又は[2]のいずれかに記載の圧電体膜素子の製造方法。
[4]前記圧電体膜は、結晶構造が擬立方晶であり、かつ(001)面方位に優先配向されている前記[1]乃至[3]のいずれかに記載の圧電体膜素子の製造方法。
[5]前記アルカリニオブ酸化物系化合物は、組成式(K1−xNax)NbO3で表され、xを0.425≦x≦0.730の範囲とする前記[1]乃至[4]のいずれかに記載の圧電体膜素子の製造方法。
[7]前記[6]に記載の圧電体膜素子と、前記圧電体膜上に形成された上部電極と、前記下部電極と前記上部電極に接続された電圧印加手段又は電圧検知手段とを備えた圧電体デバイス。
本実施の形態は、基板上に、ペロブスカイト構造を有する非鉛のアルカリニオブ酸化物系化合物からなる圧電体膜を形成し、前記圧電体膜に対して反応性イオンエッチングを行う圧電体膜素子の製造方法において、前記反応性イオンエッチングは、前記圧電体膜に対して反応性ガスを含む雰囲気中で電子温度が2.5eV値以下のプラズマを用いて行うことを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る圧電体膜素子の概略の構成を示す断面図である。
次に、上記圧電体膜素子1の製造方法の一例について説明する。
基板2として、(100)面方位、厚さ0.525mm、熱酸化膜厚さ205nm、直径4インチの熱酸化膜付きSi基板を準備する。
次に、RFマグネトロンスパッタリング法により、基板2上にTiからなる厚さ2.3nmの密着層3を形成し、密着層3上に(111)配向のPtからなる厚さ212nmの下部電極4を形成する。密着層3と下部電極4は、基板温度100〜350℃、放電パワー300W、導入ガスAr、Ar雰囲気の圧力2.5Pa、成膜時間は、密着層3では1〜3分、下部電極4では10分の条件で成膜する。
次に、下部電極4上に、RFマグネトロンスパッタリング法により(K1−xNax)NbO3からなる圧電体膜(KNN膜)5を形成する。以下、圧電体膜5の形成後の基板を「KNN膜付き基板」ともいう。
次に、KNN膜付き基板上にマスクとしてCrマスクパターンを形成する。なお、マスクとしてCrの他に、Ta、W又はTiを用いても同様の微細加工を施すことができる。また、マスクとして、Cr、Ta、W及びTiのいずれかからなる積層体を用いても同様の微細加工を施すことができる。
次に、Crマスクパターンをマスクとして用い、KNN膜付き基板の圧電体膜5を反応性イオンエッチングによる微細加工を行う。
本実施の形態によれば、以下の効果を奏する。
(a)電子温度が2.5eV以下のプラズマを用いてエッチングを行っているので、KN膜の絶縁性の劣化を抑制することができる。本形態による圧電体膜素子のKNN膜の誘電損失(tanδ)は0.1程度まで小さくすることが可能である。tanδが大きい場合、圧電体膜素子を駆動させた際に発熱するため、tanδは小さくすることが好ましく、0.1程度、実用的には0.15以下にすることがより好ましい。なお、圧電体膜を薄膜形成した場合は、バルク材料で圧電体膜を形成した場合に比べてtanδが大きくなる傾向がある。
(b)KNN膜をフッ素系反応性ガスを含む雰囲気中でドライエッチングを行っているので、KNN膜を短時間で微細加工することができる。
図2は、本発明の第2の実施の形態に係る圧電体デバイスの概略の構成を示す断面図である。本実施の形態は、第1の実施の形態の圧電体膜素子1を可変容量キャパシタに適用した場合を示す。
本実施の形態によれば、第1の実施の形態によるKNN膜の微細加工方法を用いることにより、KNN膜の絶縁性が高く十分な圧電特性を発揮することができる圧電体デバイスを提供することができる。また、環境負荷の小さい、インクジェットプリンタ用ヘッドやジャイロセンサを従来品と同等の信頼性かつ製造コストで作製することができる。
次に、本発明の実施例1について説明する。実施例1は、NLD−RIE装置を用い、反応性ガスとしてArとC4F8の混合ガスを用いた。ドライエッチング条件は、アンテナパワー800W、バイアスパワー250W、チャンバー内圧力0.15Pa、ガス流量Ar(50sccm)、C4F8(2.5sccm)、エッチング時間25分間を第1段階とし、これに続いてアンテナパワー400W、バイアスパワー250W、チャンバー内圧力0.15Pa、ガス流量C4F8(20sccm)、エッチング時間10分間を第2段階とした。
Scientific Systems社製のプラズマ診断用ラングミュアプローブを用いてプラズマ中の電子温度を測定した。測定はKNN膜からなるダミーウエハを用いた。このダミーウエハの中心から外周方向に20mm、ダミーウエハの表面から上方に38mmの位置を測定位置とした。プラズマ中の電子温度の測定結果は、約2eVであった。
図3は、実施例1に係るKNN膜の断面を示す走査型電子顕微鏡(SEM)写真である。図3から、NLD−RIE装置を用いた場合でも、Ptの下部電極4に対するKNNの圧電体膜5の高い選択比が得られることが分かる。
上記ドライエッチング後に、第二硝酸セリウムアンモンなどのCrエッチング液を用いて残留するCrマクスを除去し、KNN膜上に評価用の直径500μmのPtからなる上部電極をスパッタ法により形成し、これについてP−Eヒステリシス特性を調べた。
次に、比較例1について説明する。比較例1は、反応性イオンエッチングとしてICP−RIE(Inductive Coupled Plasma−Reactive Ion Etching:誘導結合反応性イオンエッチング)装置を用い、反応性ガスとしてArとC4F8の混合ガスを用いたものである。ドライエッチング条件は、アンテナパワー800W、バイアスパワー50W、チャンバー内圧力0.5Pa、ガス流量Ar(50sccm)、C4F8(5sccm)、エッチング時間25分間とした。
プラズマ中の電子温度は、実施例1と同様に測定した結果、約4eVであった。
図5は、比較例1に係るKNN膜の断面を示す走査型電子顕微鏡(SEM)写真である。図5から、ICP−RIE装置を用いた場合でも、Ptの下部電極4に対するKNN膜の圧電体膜5の高い選択比が得られていることが分かる。
図6は、比較例1に係るKNN膜のP−Eヒステリシス特性を示すグラフである。図6において、縦軸は分極(Polarization)、横軸は電界(Electric field)を示す。図6に示すP−Eヒステリシス曲線は、ループが閉じていないことから、KNN膜の絶縁性が劣化していることが分かる。
実施例2〜5、比較例2〜5について、エッチングのアンテナパワー及びバイアスパワーを変えてエッチングを行い、エッチング後のKNN膜についてP−Eヒステリシス測定を行い、絶縁性を評価した。
実施例2〜5については、実施例1同様、P−Eヒステリシス測定の推移を表すP−Eヒステリシス曲線はループが閉じた状態となるように推移しており、絶縁性が劣化していないことが確認された。一方、比較例2〜5のP−Eヒステリシス曲線は、ループが閉じない状態に推移しており、エッチングによりKNN膜の絶縁性が劣化したと考えられる。
また、実施例1〜5、比較例1〜5のKNN膜の誘電損失(tanδ)を測定し、各実施例、比較例のエッチング時のプラズマ中の電子温度とエッチング後のKNN膜の誘電損失(tanδ)の関係を図7に示す。
実施例2〜5の電子温度は、図7に示すように、それぞれ1.5eV、1.9eV、
2.3eV、2.4eVであった。また、比較例2〜5の電子温度は、図7に示すように、それぞれ3.0eV、4.1eV、4.2eV、4.4eVであった。
実施例2〜5の誘電損失は、図7に示すように、それぞれ0.08、0.11、0.12、0.15であった。また、比較例2〜5の誘電損失は、図7に示すように、それぞれ0.65、0.84、0.82、0.98であった。
10…圧電体デバイス、11…デバイス基板、12…絶縁層、13…空隙、
14…下部キャパシタ電極、15…絶縁層、16…上部キャパシタ電極、
17…上部電極、18A、18B…ボンディングワイヤ
Claims (7)
- 基板上に、ペロブスカイト構造を有する非鉛のアルカリニオブ酸化物系化合物からなる圧電体膜を形成し、
前記圧電体膜に対して反応性ガスを含む雰囲気中で電子温度が2.5eV以下のプラズマを用いて反応性イオンエッチングを行う圧電体膜素子の製造方法。 - 前記反応性イオンエッチングで用いる前記反応性ガスは、CHF3、C2F6、CF4、SF6、C4F8及びC3F7Iのいずれかから選択されるフッ素系反応性ガスの1種若しくは2種類以上とArとを混合したガス、又は前記フッ素系反応性ガスを2種類以上混合したガスである請求項1に記載の圧電体膜素子の製造方法。
- 前記圧電体膜の形成は、前記基板上に(111)に配向したPtを含む金属からなる下部電極を形成し、前記下部電極上に前記圧電体膜を形成する工程を含む請求項1又は2に記載の圧電体膜素子の製造方法。
- 前記圧電体膜は、結晶構造が擬立方晶であり、かつ(001)面方位に優先配向されている請求項1乃至3のいずれか1項に記載の圧電体膜素子の製造方法。
- 前記アルカリニオブ酸化物系化合物は、組成式(K1−xNax)NbO3で表され、xを0.425≦x≦0.730の範囲とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の圧電体膜素子の製造方法。
- 基板上に、密着層、下部電極及ペロブスカイト構造を有する非鉛のアルカリニオブ酸化物系化合物からなる圧電体膜を順次積層してなる圧電体膜素子において、
前記圧電体膜の膜厚が4μm以下であるとともに、前記圧電体膜素子の誘電損失が0.15以下であることを特徴とする圧電体膜素子。 - 請求項6に記載の圧電体膜素子と、前記圧電体膜上に形成された上部電極と、前記下部電極と前記上部電極に接続された電圧印加手段又は電圧検知手段とを備えた圧電体デバイス。
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