JP2013234996A - 機械要素の形状、位置、サイズに関する特徴を測定するための装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学式測定ユニット(3)は、機械要素(5)を軸線方向に測定するための接触式測定子(42)を備えた補助的な機械式測定ユニット(4)を有している。前記機械式測定ユニット(4)は、前記光学式測定ユニット(3)に固定され、且つ前記接触式測定子(42)を前記機械要素(5)の回転軸線(6)に対し直交する直交面内で回動させるための回動機構(41)を有している。
【選択図】図1
Description
を含んでいる前記装置においては、前記光学式測定ユニットが、前記機械要素を軸線方向に測定するための接触式測定子を備えた補助的な機械式測定ユニットを有し、前記機械式測定ユニットが、前記光学式測定ユニットに固定され、且つ前記接触式測定子を前記機械要素の前記回転軸線に対し直交する直交面内で回動させるための回動機構を有していることによって解決される。
a)前記機械要素を少なくとも1つの回転可能な締め付け手段で締め付け固定して前記機械要素を回転軸線のまわりに回転させるステップと、
b)前記機械要素を前記回転軸線のまわりに回転させながら、前記回転軸線に対し直交するように方向づけられた光学式測定ユニットの光路内でシャドーイメージを検知することにより前記機械要素の複数の部分を光学式に測定して、前記シャドーイメージから、軸線方向にプローブ検査可能な面の形状、位置、サイズに関する特徴を検出するステップと、
c)前記光学式測定ユニットによって検出した前記機械要素の前記軸線方向にプローブ検査可能な面の位置のほうへ前記光学式測定ユニットを移動させ、光学式に検出した前記軸線方向にプローブ検査可能な面の位置に対応する位置へ、接触式測定子を備えた機械式測定ユニットを位置決めするステップと、
d)前記光学式測定ユニットに連結された接触式測定子をプローブ検査される面に対向する直交面内で回動させ、このプローブ検査される面を前記接触式測定子を用いてプローブ検査することにより、軸線方向に互いに対向しあっている前記機械要素の面の軸線方向間隔値を接触式に測定するステップと、
を含んでいることによって解決される。
添付の図面において、
11 リニアガイド
12 リニアガイドシステム
2 工作物保持部
21 主軸台
22 駆動されるセンタ
23 心押し台
24 連動するセンタ
25 ジョーチャック
3 光学式測定ユニット
31 照明モジュール
32 光束
33 カメラモジュール
34 光軸
4 機械式測定ユニット
40 基板
41 回動機構
42 接触式測定子
421 測定値収集器
422 スタイラスアーム
423 プローブ要素
43 回動軸線
5 機械要素
6 回転軸線
7 校正される長さ基準
8 回転体
M 間隔値
O 光学式測定ユニットと機械式測定ユニットとの間のオフセット値
R/R1/R2 参照面
Claims (14)
- 回転可能な機械要素の形状、位置またはサイズに関する特徴を測定するための装置であって、
機械台に沿って配置されるリニアガイドと、これに対し平行に配置されるリニアガイドシステムとを備えた、機械的に安定な前記機械台と、
前記機械要素(5)を該機械要素(5)の回転軸線(6)のまわりに回転可能に受容し、前記リニアガイドで受容される少なくとも1つの締め付け手段を有し、前記機械要素(5)を前記回転軸線(6)のまわりに回転可能であるように保持している工作物保持部(2)と、
照明モジュール(31)とカメラモジュール(33)とを備え、リニアガイドシステム(12)に可動に配置され、前記照明モジュール(31)とこれに対向している前記カメラモジュール(33)との間に回転可能に配置される前記機械要素(5)から該機械要素(5)の2次元のシャドーイメージを撮影可能にする光学式測定ユニット(3)と、
を含んでいる前記装置において、
前記光学式測定ユニット(3)が、前記機械要素(5)を軸線方向に測定するための接触式測定子(42)を備えた補助的な機械式測定ユニット(4)を有し、
前記機械式測定ユニット(4)が、前記光学式測定ユニット(3)に固定され、且つ前記接触式測定子(42)を前記機械要素(5)の前記回転軸線(6)に対し直交する直交面内で回動させるための回動機構(41)を有している、
ことを特徴とする装置。 - 前記接触式測定子(42)が前記機械要素(5)の前記回転軸線(6)に対し平行に2つの方向において測定する1次元の測定値収集器(421)を有し、該測定値収集器がスタイラスアーム(422)と少なくとも1つのプローブ要素(423)とを備え、前記スタイラスアーム(422)の長さは、前記接触式測定子(42)の回動の際に前記少なくとも1つのプローブ要素(423)が少なくとも前記機械要素(5)の前記回転軸線(6)を横切る円弧を描くように選定されていることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記接触式測定子(42)が、前記機械要素(5)の前記回転軸線(6)に対し平行な方向に間隔をもって位置する2つのプローブ球(423)を備えたスタイラスアーム(422)を有し、その結果取り囲んでいる材料によって隠れた面が軸線方向に測定可能であることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- 前記回動機構(41)が、前記接触式測定子(42)の少なくとも1つの前記プローブ球(423)を位置決めするため、前記回転軸線(6)に関し半径方向に無段階に位置調整可能であることを特徴とする、請求項2に記載の装置。
- 前記接触式測定子(42)が、前記リニアガイドシステム(12)に沿った前記光学式測定ユニット(3)の移動により前記機械要素(5)のどの軸線方向位置にも位置決め可能であり、軸線方向にプローブ検査可能な面においてプローブ検査運動が実施可能であることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか一つに記載の装置。
- 前記回転軸線(6)の軸線方向に前記接触式測定子(42)の校正を行なうための校正体(7;8)が設けられ、該校正体が、前記回転軸線(6)に対し直交し且つ互いに軸線方向に対向しあっている少なくとも2つの参照面(R1,R2)を有し、且つ前記工作物保持部(2)に固定され、前記少なくとも2つの参照面(R1,R2)のうちそれぞれ少なくとも1つが前記光学式測定ユニット(3)と前記機械式測定ユニット(4)とによってプローブ検査可能であることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか一つに記載の装置。
- 前記校正体がU字状プロファイル部材であり、該U字状プロファイル部材が、前記回転軸線(6)に対し直交するように参照面(R1;R2)として配置される2つの平行な内面を有していることを特徴とする、請求項6に記載の装置。
- 前記校正体が前記回転軸線(6)に対し同心に配置される回転体(8)であり、該回転体が周回するように延在する長方形溝を備え、該長方形溝の、互いに平行に対向しあっている内面が、前記回転軸線(6)に対し直交するように配置される前記参照面(R1;R2)であり、前記回転体(8)が締め付け手段に同心に固定されていることを特徴とする、請求項6に記載の装置。
- 前記校正体(7;8)の温度を温度センサを用いて検知し、前記参照面(R1)と前記参照面(R2)との間で測定した長さ基準を、前記校正体(7;8)の温度依存性を考慮して且つ熱膨張係数を考慮して参照温度へ校正することを特徴とする、請求項6から8までのいずれか一つに記載の装置。
- 回転可能な機械要素の形状、位置、サイズに関する特徴を測定する方法であって、
a)前記機械要素(5)を少なくとも1つの回転可能な締め付け手段で締め付け固定して前記機械要素(5)を回転軸線(6)のまわりに回転させるステップと、
b)前記機械要素(5)を前記回転軸線(6)のまわりに回転させながら、前記回転軸線(6)に対し直交するように方向づけられた光学式測定ユニット(3)の光路内でシャドーイメージを検知することにより前記機械要素(5)の複数の部分を光学式に測定して、前記シャドーイメージから、軸線方向にプローブ検査可能な面の形状、位置、サイズに関する特徴を検出するステップと、
c)前記光学式測定ユニット(3)によって検出した前記機械要素(5)の前記軸線方向にプローブ検査可能な面の位置のほうへ前記光学式測定ユニット(3)を移動させ、光学式に検出した前記軸線方向にプローブ検査可能な面の位置に対応する位置へ、接触式測定子(42)を備えた機械式測定ユニット(4)を位置決めするステップと、
d)前記光学式測定ユニット(3)に連結された接触式測定子(42)をプローブ検査される面に対向する直交面内で回動させ、このプローブ検査される面を前記接触式測定子(42)を用いてプローブ検査することにより、軸線方向に互いに対向しあっている前記機械要素(5)の面の軸線方向間隔値(M)を接触式に測定するステップと、
を含んでいる前記方法。 - 軸線方向に対向しあって空気により互いに分離されている面の接触式測定を次のように行い、すなわち前記軸線方向に対向しあっている面の、前記回転軸線(6)から半径方向に同じ間隔を有し且つ選定したそれぞれの半径方向の間隔に対し長さ測定値を表わす点を、前記接触式測定子(42)用いて交互にプローブ検査するように行い、その際校正された長さ基準部(7)において、予め前記接触式測定子(42)を、互いに平行に対向しあって前記回転軸線(6)に対し直交するように方向づけられた2つの参照面(R)を用いて校正することを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 軸線方向に対向しあっている面の接触式測定を次のように行い、すなわち前記軸線方向に対向しあっている面のうちの1つの面の軸線方向位置を光学式測定ユニット(3)を用いて検出し、他の面を接触式測定子(42)を用いて検出するように行い、その際前記光学式測定ユニット(3)の測定位置と前記機械式測定ユニット(4)の測定位置との間のオフセット値(O)を1つの参照面(R)にて特定することにより、予め前記光学式測定ユニット(3)と前記機械式測定ユニット(4)とを互いに校正することを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 前記回転軸線(6)に対し同心の1つまたは複数の軌道内で前記接触式測定子(42)の測定値を収集して形状に関する特徴の算出に使用し、その際前記機械要素(5)を前記回転軸線(6)のまわりに回転させることを特徴とする、請求項10に記載の方法。
- 前記校正された長さ基準部(7)を、少なくとも光学式測定の開始前に、少なくとも1つの校正ステップのために使用することを特徴とする、請求項11に記載の方法。
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