JP7220788B2

JP7220788B2 - 部品の形状を計測するシステム及び方法

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Publication number: JP7220788B2
Application number: JP2021529129A
Authority: JP
Inventors: ジャコー・フィリップ; ラポルト・セバスチャン; ペレ・フレデリク
Original assignee: エルデイ・フィナンス
Priority date: 2018-12-04
Filing date: 2019-11-28
Publication date: 2023-02-10
Anticipated expiration: 2039-11-28
Also published as: TW202028692A; US20220028106A1; CA3157829A1; CN113260482B; JP2022510150A; KR20210131993A; EP3890922A1; US11854220B2; EP3890922B1; CN113260482A; CH715610A1; WO2020115621A1

Description

本発明は、物体や部品の寸法を計測する分野に関するものである。特に、本発明は、センサを用いた（接触又は非接触による）物体又は部品の寸法決定の分野に関するものである。

このタイプの計測は、寸法計測を適用する多くの分野で使用されていて、特に工作機械による部品の機械加工の分野や、材料の除去による任意の機械加工の分野を含むが、それだけではなく、材料の添加による製造にも使用されている。そのような計測は、特に摩耗監視や維持管理作業の際にも有用である。

工作機械の分野では、開発時に作成した加工計画に適合する加工手順を提供するため、部品の寸法や形状を正確に知る必要がある。

対象物の座標を光学的に計測する様々なシステムが提案されていて、特に、柔軟なプローブを備えるシステムが提案されている。

特許文献１（ＵＳ２００５２５９２７１Ａ）は、柔軟なプローブ拡張部に取り付けられたフィーラヘッドの形でスキャナーを使用している。スキャナーと一体化した第１光学系がフィーラヘッドのｘ、ｙ平面上の位置を検出し、独立した第２光学系がフィーラヘッドのｚ方向の位置を検出する。

特許文献２（ＵＳ２０１６３７０１７２Ａ）及び特許文献３（ＵＳ２００５０００１０２Ａ）は、プローブと同軸線に取り付けられた光学センサによって位置が追跡されるフィーラヘッドを備える座標計測システムを提示している。特許文献２では、プローブは、部品と接触し、プローブの接触感度のある部分と垂直位置決めする基準マークを持つ接触要素を持つ柔軟な延長部を備える。特許文献３では、座標計測器は延長部に取り付けられたフィーラヘッドを備え、フィーラヘッドの位置は、光軸がフィーラヘッドと一致する光学系によって特定される。

これらの解決手段では、特にフィーラヘッドが部品のくぼみや穴の中などに隠れている場合、３つの空間方向全てにおいてフィーラヘッドの移動を計測することは不可能であるか、常に可能ではない。

特許文献４（ＵＳ２００９１４４９９９Ａ）には、中空の部品の内側の輪郭を計測するためのプローブが記載されている。このプローブは棒部を備え、その下端には計測対象の表面に接触するフィーラヘッドがあり、上端は一部から出てきて対象物を運び、その位置は光学センサ、特にレーザセンサによって識別される。棒部はボールジョイントに取り付けて可動とし、移動の自由度をもたせている。この配置では、ボールジョイントを被計測物に取り付けるための支持体が必要となり、追加の操作を増やすことになる。さらに、プローブの較正には、プローブ／支持体を部品に正確かつ繰り返して取り付けることが必要である。

先行技術の解決策は、部品と計測システムの外側にある基準点に対して行われる計測に依存していて、すなわち、精密軸線に対する中間的な計測が計測手順に関与している。これにより、計測プロセスにステップが追加され、不確かさや計測エラーが蓄積され、最終的な計測結果が求められる精度にならないことがある。

そのため、これら（従来）の解決手段は、セットアップや使用が簡単で、何よりも物体や部品、特に中空部品の形状、特に内部形状を簡単に計測できる装置を提供していない。

さらに、これら（従来）の解決手段は、特定の適用に対する十分な精度を常に持っているわけではない。

米国特許出願公開第２００５／２５９２７１号明細書米国特許出願公開第２０１６／３７０１７２号明細書米国特許出願公開第２００５／０００１０２号明細書米国特許出願公開第２００９／１４４９９９号明細書

本発明の課題は、既知の計測技術の制限から解放された、物体又は部品の形状、特に内部形状の計測を可能にする計測技術を提供することである。

本発明の別の課題は、形状の計測、特に物体又は部品の内部形状の計測を可能にする技術であって、部品の一部の高精度な計測を提供する技術を提供することである。

本発明の別の課題は、最小限の計測ステップで形状の計測、特に物体又は部品の内部形状の計測を可能にする技術を提供することである。

本発明によれば、これらの課題は、特に、部品の外部形状又は中空の部品の内部形状を計測するシステムによって達成される。このシステムは
－その内部形状又は外部形状を計測したい部品（５０）と、
－プローブと、プローブに固定されている第１基準要素と、プローブを基部に接続し、１計測方向を画定する少なくとも１つの自由度に応じて両者間の相対的な移動を可能にするガイドシステムとを備えるセンサと、
を備え、
－センサが前記計測方向とは異なる方向に前記部品に対して相対的に移動するときに、前記第１基準要素が前記部品の外側にある間に、前記プローブが前記部品の内部又は外部の輪郭に沿って、前記プローブの経路を再現する経路を形成するように配置されているセンサと、
－部品の外側の少なくとも一部と前記第１基準要素を表す画像を撮影するように適合された画像化装置であって、前記画像化装置によって撮影された画像を比較することによって、前記第１基準要素と前記部品の外側の一部との間の前記計測方向における相対的な移動が検出され、前記部品の計測された形状に沿った前記計測方向におけるずれに対応する前記プローブと前記基部との間の相対的な移動が導出される、画像化装置と
を備える。

特に、この解決手段は、プローブの位置又は部品の形状と接触するフィーラヘッドの位置を直接識別する必要がないという先行技術に対する有利点を有する。その理由は、プローブの移動を再現可能であり、部品の面とプローブの間の接触点の位置を決定するための基準要素として機能する、計測中に全ての場合に部品の外側に留まっている第１基準要素であるからである。このように、第１基準要素は、部品自体である基準システムに対するプローブの位置の基準要素として機能する。

これは、部品の外部形状を決定する際、又は中空部品の内部形状を決定する際に、中空部品が貫通孔であるか否か（貫通穴又は止まり穴）に関わらず、最初に起こる。また、第２に、部品の内部形状を計測する場合、プローブと第１基準要素との間の空間的なずれのため、第１基準要素を部品の外側に置いたまま、プローブを部品の内側の中空部分に残せる。これにより、第１基準要素へのアクセス（例えば、光学的又は接触による）の維持が可能になり、部品に対する第１基準要素の位置の決定を介してプローブの位置の決定を大幅に容易にできる。

したがって、プローブは、計測システムが静止しているとき、部品の形状を計測するための位置にあるとき、及び計測システムに対する部品の移動中に、部品に対して少なくとも１つの自由度を有する。計測システムの他の部分に対してプローブ（又はセンサの可動部）を動かせるため、検査対象物の輪郭（内部又は外部形状）に沿って移動可能である。画像化装置は、部品の外側の一部と第１基準要素の両方を含む画像を取得可能であり、そのために画像を撮影可能な視野を有していることが理解される。このようにして、計測システムに対する部品の移動中に連続した画像を撮影することで、画像化装置は、視野内の第１基準要素の移動によって、第１基準要素のこの経路に対応する形状を見られる。

ある配置によれば、部品の内側の輪郭、外側の輪郭、又は内側の輪郭と外側の輪郭の両方が、ある軸線を中心とした回転の面をなしている。この軸線は、例えば、センサの主軸線と平行な軸線である。

ある配置によれば、センサは、基部と、プローブと基部を接続するガイドシステムとをさらに備える。このようにして、計測システムが部品に対して計測位置にあるときに、計測システムの残りの部分に対するプローブの制御された移動が得られる。

取り得る１配置によれば、前記ガイドシステムは、プローブと基部の間に単一の自由度だけを可能にする。このように、設計が簡単で、自由度が許す方向に部品の輪郭の変化にプローブを追従可能であり、多くの場合に適していて、十分な機能を持つ計測システムが提供される。

別の配置によれば、前記計測システムは、前記基部と一体で、前記部品の外側に配置された第２基準要素をさらに備え、前記第２基準要素は、前記画像化装置が前記第１基準要素、前記第２基準要素、及び前記部品の外側の前記部分を同時に見られるように配置されている。実際、第２基準要素は、どのような場合でも、内部又は外部の形状が計測される部品の外側に残る。この配置により、第２基準要素を計測システムの不動要素にできるので、第１基準要素の移動、ひいてはプローブの移動、特にガイドシステムによって承認された少なくとも１つの方向の移動を（画像化装置を介して）視覚化できる別の固定基準点として機能する。

本発明の第１の可能な実施態様によれば、プローブは、接触によって部品の内部又は外部の輪郭に追従して検出可能なフィーラヘッドを備える。このようなフィーラヘッドは、被計測物の輪郭、特に内部の輪郭を計測する際には、内部の、つまり隠れれている輪郭を物理的に追従する。

本発明の第２の可能な実施態様によれば、プローブは、部品の内部又は外部の輪郭を非接触で追従して検出可能である検出ヘッドを備える。例えば、非限定的であるが、光学的に動作するプローブ（光学式検出ヘッド）や、例えば、近接センサ（距離又は近接検出ヘッド）、電磁又は音響センサ（電磁又は音響検出ヘッド）などが挙げられる。

一態様によれば、画像化装置は、ビデオカメラと、部屋の外部の前記部分と第１基準要素とを同時に照らせる光源とを備える。この配置により、特にプローブが中空部に配置され、第１基準要素が中空部の外側に配置されている場合に、ビデオカメラが十分に高いコントラストの画像を提供することが可能になる。

一態様によれば、ビデオカメラは、部品の外側の前記部分及び第１基準要素を見られる視野を有する。この配置により、特に、プローブが中空の部品に配置され、第１基準要素が部品の外側に配置されている場合、ビデオカメラが部品の外側の部分と第１基準要素の画像を提供可能である。

一配置によれば、ガイドシステムは、プローブが部品の内側又は外側の輪郭と相互作用しなくなったときに、センサの可動部、ひいてはプローブを基部に対する静止位置に戻すための戻り手段を備える。このように、プローブと部品の輪郭との間の相互作用、すなわちプローブがフィーラヘッドである場合のプロービング又は支持体との接触の間、有効な相互作用（特に効果的な接触）が確保され、プローブの位置、ひいては第１基準要素の位置が部品の輪郭に対応することが保証される。非接触式であれば、プローブと第１基準要素の間の効果的な検出が保証され、計測が可能になる。さらに、計測が行われると、これらの復帰手段によって、センサの可動部、つまりプローブは、システムに（機械的又はその他の）ストレスがかからない静止位置に戻れる。計測システム、特に第１基準要素とプローブの間の伝達チェーン（特にキネマティックチェーン）における（機械的又はその他の）問題を解決する。これらの復帰手段はいくつかの形態を取り、変形可能な弾性要素、板ばね（平板、曲線、螺旋状など）、コイルばねの少なくとも１つ以上が含まれるが、これに限定されるものではない。このような復帰手段は、単純な重力によって自然にこの静止位置に戻るようなガイドシステムの構造から導かれるものでもよい。

一例を挙げると、ガイドシステムは、プローブ（センサの可動部）と基部の間に、摺動の接続、あるいは機械的要素、磁気的要素、油圧要素などを持つピボットのような揺動の接続を備えている。

本発明はまた、特に本文中に記載されているような部品形状計測又は決定システムを用いて、部品の形状を計測するための方法に関するものである。具体的には本発明は、本文に記載されているような計測システムを用いて部品の内部形状を計測する方法に関するものである。一実施形態によれば、中空部品の形状を計測する方法は、以下のステップを備える。
ｉ）プローブと、プローブに固定した第１基準要素と、前記プローブと基部とを、計測方向を規定する少なくとも１つの自由度に応じて両者間の相対的な移動を許容しつつ接続する基部及びガイドシステムと、画像化装置とを備えたセンサを提供するステップ。
ｉｉ）形状を決定したい中空の部品を提供するステップ。
ｉｉｉ）第１基準要素が部品の外側で画像化装置の視野内にある間に、プローブが部品の輪郭上の点を検出するようにセンサを配置するステップ。
ｉｖ）画像化装置を起動して、部品の外側の少なくとも一部と前記基準要素を表す画像を形成するステップ。
ｖ）計測方向とは異なる方向にセンサを部品に対して相対的に移動させ、プローブを部品の内側にとどめて部品の輪郭に沿わせ、一方、第１基準要素はプローブと同じ移動で部品の外側にとどめるステップ。
ｖｉ）ステップｉｖ）とｖ）を部品の輪郭の他のポイントに対して行うステップ。

本発明は、特に本明細書に記載された計測システムを用いて、部品の外部形状を計測する方法にも関する。一実施形態によれば、部品の外部形状を計測する方法は、以下のステップを備える。
ｉ）プローブと、プローブと一体化した第１基準要素と、基部と、プローブと基部を接続し、計測方向を規定する少なくとも１つの自由度に従って両者の間の相対的な移動を可能にするガイドシステムとを備えたセンサを提供し、画像化装置を提供するステップ。
ｉｉ）外部形状を決定したい部品を提供するステップ。
ｉｉｉ）プローブが部品の外側にあり、部品の外部形状のポイントを検出するようにセンサを配置する一方、第１基準要素も部品の外側にあり、画像化装置の視野内にあるステップ。
ｉｖ）画像化装置を起動し、部品と前記基準要素の外観の少なくとも一部を表す画像を形成するステップ。
ｖ）計測方向とは異なる方向にセンサを部品に対して相対的に移動させ、プローブが部品の外側の輪郭に沿うようにし、一方、第１基準要素はプローブと同じ移動で部品の外側にとどめるステップ。
ｖｉ）部品の外側の輪郭の他の点について、ステップｉｖ）及びｖ）を実行するステップ。

一般的には、本発明は、部品の形状、特に内部形状又は外部形状を計測する方法にも関する。ある可能性によれば、部品の形状を計測するためのこのような方法は、以下のステップを備える。
ｉ）プローブと、プローブと一体化した第１基準要素と、基部と、プローブと基部を接続し、計測方向を定める少なくとも１つの自由度に応じて両者間の相対的な移動を可能にするガイドシステムとを備えたセンサと、画像化装置を提供するステップ。
ｉｉ）形状を決定したい中空の部品を提供するステップ。
ｉｉｉ）第１基準要素が部品の外側で画像化装置の視野内にある間に、プローブが部品の輪郭上の点を検出するようにセンサを配置するステップ。
ｉｖ）画像化装置を起動して、部品の外側の少なくとも一部と前記基準要素を表す画像を形成するステップ。
ｖ）計測方向とは異なる方向にセンサを部品に対して相対的に移動させ、プローブが部品の輪郭に沿うようにし、一方、第１基準要素はプローブと同じ移動で部品の外側にとどめるステップ。
ｖｉ）ステップｉｖ）とｖ）を部品の輪郭の他のポイントに対して行うステップ。

これらの計測方法のいずれかの構成によると、以下のステップがさらに実行される。
ａ）前記画像化装置によって形成された各画像について、前記第１基準要素と前記部品の外装の一部との間の相対的な位置を算出するステップ。
ｂ）前記連続して計算された第１基準要素の相対的な位置から、部品の計測された（内部又は外部）形状を再構成するステップ。

本発明の実施形態の例は、添付の図によって描かれる説明の中で示される。

図１は、本発明による計測システムの第１実施形態を示す斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態による計測システムの図１の矢印ＩＩに沿った部分断面図である。図３は、図１の計測システムによる計測の様々なステップの１つの正面図である。図４は、図１の計測システムによる計測の様々なステップの１つの正面図である。図５は、図１の計測システムによる計測の様々なステップの１つの正面図である。図６は、部品の内部形状を計測するために図１の計測システムを使用する原理を示す正面断面図である。図７は、図１の本発明の第１実施の形態による計測システムを用いて、部品の内部形状を計測する場合の計測プロセスの原理の模式的な斜視図である。図８は、本発明による計測システムの第１実施形態の変形態様の正面図である。図９は、本発明による計測システムの第１実施形態の変形態様のより模式的正面図であり、部品の内部形状の場合に実施される計測の原理を示す。図１０Ａは、本発明による計測システムの第１実施形態の図９による変形態様による計測プロセスのステップを示す。図１０Ｂは、本発明による計測システムの第１実施形態の図９による変形態様による計測プロセスのステップを示す。図１１は、本発明による計測システムの一般原理を模式的に示す。図１２は、本発明による計測システムの一般原理を模式的に示す。図１３Ａは、本発明による計測システムの第２実施形態による計測ステップを示す。図１３Ｂは、本発明による計測システムの第２実施形態による計測ステップを示す。図１４Ａは、本発明による計測システムの第３の実施形態による計測ステップを示す。図１４Ｂは、本発明による計測システムの第３の実施形態による計測ステップを示す。図１５Ａは、本発明による計測システムの第４の実施形態による計測ステップを示す。図１５Ｂは、本発明による計測システムの第４の実施形態による計測ステップを示す。図１６は、本発明による計測システムで使用可能な画像化装置を示す。図１７Ａから図１７Ｆはそれぞれ、本発明による計測方法を実施する際に画像化装置で撮影した画像の可能な処理又は分析ステップを示す。

図１を参照すると、本発明によるセンサ１１０を備える計測システム１００が、計測対象の部品と接触していない静止位置で示されている。センサ１１０は、ここでは長方形の平行六面体の形をしたプリズムの形をした基部１１２を備え、この基部は、硬く実質的に変形しない。この基部１１２の最大の寸法が、Ｙ軸線又は計測軸線を画定する。この基部１１２には、このＹ軸線に沿って、第１端部１１２ａ（図１から図７では右側）と第２端部１１２ｂ（図１から図７では左側）が見えている。

基部１１２について鉛直線上に、センサ１１０は、基部１１２の形状に近い形状及び寸法を有する支持部１１４を備える。支持部１１４も、硬く実質的に変形しない。この支持部１１４には、このＹ軸線に沿って、第１端部１１４ａ（図１から図７では右側）と第２端部１１４ｂ（図１から図７では左側）とが見えている。

変形可能で弾力性のあるガイドシステム１４０は、センサ１１０のＺ軸線又はセンサ１１０の主軸線に沿って、センサ１１０の基部１１２と支持部１１４とを接続し、このＺ軸線は、図中及び計測を行う際には鉛直である。基部１１２と支持部１１４とは、センサ１１０の静止位置において、Ｚ軸線に沿って互いに整列している。

センサ１１０の主なＺ軸線と整列して、支持部１１４は、基部１１２から離れて対面する側から、フィーラロッド１２２と、同じくセンサ１１０の部品である第１基準要素１３１のロッドとによって延在している。このセンシングロッド１２２と第１基準要素１３１のロッドは、その自由端の一方が支持部１１４に取り付けられている。休止位置では、フィーラロッド１２２と第１基準要素１３１のロッドは、互いに、かつ主軸線Ｚに対して平行である。フィーラロッド１２２と第１基準要素のロッド１３１は、計測軸線Ｙに沿って互いに距離Ｙ０（図６参照）離れている（等距離である）。したがって、フィーラロッド１２２と第１基準要素のロッド１３１は、（Ｙ、Ｚ）平面を画定する。

センサ１１０の静止位置では、フィーラロッド１２２及び第１基準要素１３１に直交し、これら２つのロッド１２２及び１３１を通過する方向が、計測軸線Ｙとなる。Ｚ、Ｙ）平面に直交し、フィーラロッド１２２及び第１基準要素１３１のロッドに直交する横軸線Ｘが画定される。Ｘ軸線、Ｙ軸線、Ｚ軸線は、直交する、好ましくは３軸線の正規直交系を、画定する。これらのロッド１２２、１３１は、例えば、金属製のロッド、特に鋼製のロッドである。

フィーラロッド１２２の自由端（図１、図２から図８では下端）は、計測システム１００のセンサ１１０のフィーラヘッド１２０を形成するフィーラヘッド１２３の中に終端がある。このフィーラヘッド１２３は、例えば金属製であり、特にフィーラロッド１２２と同じ金属又は金属合金製である。フィーラヘッド１２３は、例えば（図６参照）、フィーラロッド２１の軸線がその中心を通る球体として形成されている。図１、図３から図５及び図７に見える代替的な実施形態では、フィーラヘッド１２３は、フィーラロッド１２２の自由端の側に取り付けられた球体の一部、この例では半球体、で形成されていて、この半球体は、第１基準要素１３１のロッドの方向に回転している。換言すると、半球体（フィーラヘッド１２３）の軸は、Ｙ軸線に沿って配向されている。いわば、フィーラヘッド１２３は、フィーラロッド１２２からＹ方向に、第１基準要素１３１の軸線に向かって突出する部分を有する。すなわち、フィーラヘッド１２３には、Ｙ軸方向に沿ってフィーラロッド１２２を越えて突出している部分があり、この突出している部分が基準ロッド２４（基準ヘッド２５）に対面している。このようにして、後述するように、フィーラロッド１２２も部品の表面に接触させることなく、フィーラヘッド１２３を部品の表面に接触させるようにできる。

第１基準要素ロッド１３１の自由端（図１と、図３から図８とでは下端）は、第１基準要素１３０で終端している。この第１基準要素１３０は、例えば、金属でできていて、特に、第１基準要素のロッド１３１と同じ金属又は金属合金で作られている。第１基準要素１３０は、例えば（図１から図７参照）、第１基準要素１３１の軸線がその中心を通る球体として形成されている。

このように、図１から図８に示す実施形態では、フィーラヘッド１２３がフィーラロッド１２２の自由端に取り付けられ、第１基準要素１３０が第１基準要素のロッド１３１の自由端に取り付けられている。また、図１から図８に示す実施形態では、フィーラロッド１２２と第１基準要素１３１のロッドとは、同じ長さであり、より正確には、Ｚ軸線に沿って同じ長さだけ支持部１１４から突出している。このようにして、フィーラヘッド１２３と第１基準要素１３０は、支持部１１４から同じ距離Ｚ０離れている（図６参照）。換言すると、フィーラヘッド１２３及び第１基準要素１３０は、支持部１１４の下方に、支持部１１４から同じ距離で存在している。

フィーラヘッド１２３のＹ軸方向の移動を第１基準要素１３０に伝達できるようにするために、支持部１１４と基部１１２とを連結するガイドシステム１４０は少なくともＹ軸方向には変形可能な弾性を有する。支持部１１４と基部１１２との間に取り付けられた１つ又はそれ以上の弾性要素を含む、様々な実施形態が可能である。図１から図８に示した実施形態の場合、ガイドシステム１４０として２つの板ばね１４１、１４２が用いられている。これら２つの板ばね１４１、１４２は同一であり、センサ１１０の静止位置では、互いに、主軸線Ｚ及び横軸線Ｘに対して平行である。換言すると、静止状態の板ばね１４１、１４２の平面はＸ、Ｚ平面に平行であり、かつ静止状態の板ばね１４１、１４２の平面はＹ軸線に直交している。図１に見られるように、第１板ばね１４１は、基部１１２の第１端部１１２ａと支持部１１４の第１端部１１４ａとの間に取り付けられている。第２板ばね１４２は、基部１１２の第２端部１１２ｂと支持部１１４の第２端部１１４ｂとの間に取り付けられている。代替的に、１対の板ばねを基部１１２の第１端部１１２ａと支持部１１４の第１端部１１４ａの間に取り付け、別の１対の板ばねを基部１１２の第２端部１１２ｂと支持部１１４の第２端部１１４ｂの間に取り付けるように、互いに平行でＺ軸線とＸ軸線に平行な４つの板ばねを２対２で取り付けてもよい。

この配置により、センサ１１０の静止位置（計測システム１００の静止位置）では、基部１１２、支持部１１４、及び２つの板ばね１４１、１４２で枠が形成されることになる。この枠は、センサ１１０の静止位置において、（Ｙ、Ｚ）平面上に長方形を形成していて、長方形の長さはＺ軸線と平行で、長方形の幅はＹ軸線と平行である。この配置により、センサ１１０の計測位置では、図５に見られるように、この長方形を変形可能である。この状況では、基部１１２と支持部１１４は、支持部１１４と第１基準要素１３１（１３０）のロッド（ヘッド）と第２基準要素１５１（１５０）のロッド（ヘッド）のＹ軸線に沿ったオフセットｄＹ１で、互いにＹ軸線に平行なままであり、板ばね１４１、１４２が変形していることになる。この計測位置では、板ばね１４１及び１４２の変形形状は、（Ｘ、Ｚ）平面において、２つの実質的に直線的な端部部分と、変曲点を持つ曲線を形成する中央部分とを備える。

このように、センサ１１０の可動部は、支持部１１４とそれに取り付けられた要素であるフィーラロッド１２２と、フィーラヘッド１２３と、第１基準要素（ロッド１３０及びヘッド１３１）と、ガイドシステム１４０（板ばね１４１及び１４２）とを備えるプローブ１２０を形成している。計測位置が静止位置に戻されると、すなわちフィーラヘッド１２３が部品の面に接触しなくなると、板ばね１４１、１４２は当初の直線的な形状に戻り、支持部１１４は基部１１２に垂直な位置関係に戻る。

図１から図５と図８とに代表される実施形態によれば、ガイドシステム１４０は棒部１４３をさらに備え、棒部１４３の第１端部１４３ａ（それらの図では上端）は基部１１２にしっかりと固定され、棒部１４３の第２端部１４３ｂ（それらの図では下端）は、少なくともＹ方向に沿って摺動できる接続によって、支持部１１４に取り付けられている。本実施形態では、棒部１４０ｃの第２端部１４３ｂと支持部１１４との接続部もＺ方向に沿った摺動できる接続であるため、Ｚ方向に沿った板ばね１４１、１４２の変形、あるいはより全体的にはガイド装置１４０の変形を吸収可能としている。

実際には、図１から図５と、図８とに代表される配置において、支持部１１４は、支持部１１４の上側に開いた、基部１１２に対向する溝１１４ｃを備える。図２に見られるように、溝１１４ｃは、軸線Ｘに沿って、棒部１４３の自由端又は第２端部１４３ａのあそびなしに収容するのに十分な幅Ｉ０を有する。図２に見られるように、溝１１４ｃは、最大許容ずれｄＹ１（ｄＹ１ｍａｘ）に対応する予め設定された最大距離だけ、棒部１４３の自由端又は第２端部１４３ｂが支持部１１４の第１端部１１４ａ又は第２端部１１４ｂに向かって移動するのを収容して許容するために、Ｙ軸線に沿った長さＬ０を有する。このように、棒部１４３が直径Ｄの円形断面を有する円柱形状を有する場合、溝１１４ｃは、Ｄに等しいか実質的にＤより大きい幅Ｉ０（Ｉ０はＤと１．０５Ｄの間）を有し、Ｄ＋２（ｄＹ１ｍａｘ）に等しい長さＬ０を有することになる。このため、この溝１１４ｃは、Ｙ軸線に沿って全体的に細長くなっている。一例として、この溝１１４ｃは、長方形、楕円形又は長円形（ボタンホール）であり得る。この溝１１４ｃは、支持部１１４の下面に開放又は非開放（止まり溝）となっている。一例として、最大ずれｄＹ１（ｄＹ１ｍａｘ）は、図２から図５の右側と左側で、数ミリメートル、例えば２、５、７、１０ミリメートルとなっている。

図３から図５を参照すると、部品５０の外面形状、よって、部品の外面５１をなす面、を計測する場合のセンサ１１０が示されている。好ましくは、この部品５０は、計測対象の面、すなわち外面５１（場合によっては内面５４も）のため、Ｚ軸線を中心に回転する部品である。

より一般的には、部品の外部形状を計測する上記のような方法は、以下のステップを備える。
ａ）本明細書に記載のセンサ１１０が調達される。
ｂ）外部形状を決定したい、すなわち面５１（外面）を計測したい部品５０が調達される。
ｃ）第１基準要素１３０の位置を決定するように適合されている画像化装置１６０（図７のような外部センサ）が調達される。（ここでは、図３に見られるように、センサ１１０は、支持部１１４及び基部１１２が初期位置にあり、Ｚ軸線に沿って一方が他方の上に整列している。）
ｄ）フィーラヘッド１２３を外面５１に対して配置する一方、第１基準要素１３０は、部品５０からある距離（すなわち外側）に維持する。（図３の矢印Ｆ１に沿った移動で、センサ１１０と部品５０の外面５１とをＹ軸線に沿って近づけることにより、ガイドシステム１４０が変形していない図４の中間位置に到達する。）
ｅ）フィーラヘッド１２３が部品の外面５１に接触したまま、基部１１２が支持部１１４に対して、Ｙ軸線に沿って部品５０に対して移動する（プローブ１２０と基部１２との間の相対移動）ように、センサ１１０を移動させる（図４の矢印Ｆ１に従った移動で、センサ１１０の基部１１２がＹ軸線に沿って部品５０に対して距離ｄＹ１だけ移動して、センサ１１０の計測位置に到達する）。そして
ｆ）前記画像化装置１６０によって第１基準要素１３０の位置が特定され、これにより、部品５０の面５１上のフィーラヘッド１２３の位置の決定が可能となる。そして
ｇ）プローブ１２０のフィーラヘッド１２３が部品５０の外面５１の別の場所に来るように、フィーラヘッド１２３と部品５０の外面５１との間の接触を維持しながら、センサ１１０を移動させる（図５では、Ｚ軸線に沿い矢印Ｆ２の方向の鉛直方向の移動である。しかし、これは部品５０の幾何形状に応じて、Ｘ方向及び／又はＹ方向に沿った移動となり得る。）。この後、部品５０の外部形状（又は外部形状の一部）の決定が完了するまで、ステップｆ）及びｇ）が繰り返される。

中空の部品５０（中ぐり、溝、穴、開口、ハウジング５２）の場合、図６及び図７に関連して説明したように、第１基準要素１３０を部品５０の外側に維持しつつ、部品５０の内側の面５４に対して、プローブ１２０のフィーラヘッド１２３を部品５０の内側（ハウジング５２の中）に配置する、同様の手順が行われる。図６では、部品５０はハウジングとしての貫通孔５２を備え、図７では、部品はハウジングとしての止まり穴５２を備える。好ましくは、この部品５０は、計測対象の面、すなわち内面５４（場合によっては外面５１も）のため、Ｚ軸線を中心として回転する部品である。

この場合、部品５０の内部形状を計測するこの種類の方法は、以下のステップを備える（図６及び図７参照）。
ａ）センサ１１０を調達する。
ｂ）内部形状（ハウジング５２の内面５４）を決定したい中空部品５０を調達する。
ｃ）第１基準要素１３０の位置を決定可能である画像化装置１６０を調達する（図７の外部センサ）。
ｄ）フィーラヘッド１２３を内側の面５４に当てた状態で、前記中空部５０の内部に配置する一方、第１基準要素１３０は前記中空部５０の外側に維持する。（ここでは、図６に見られるように、センサ１１０は静止位置にあり、プローブ１２０、特に支持部１１４及び基部１１２は初期位置にあり、支持部１１４及び基部１１２はＺ軸線に沿って一方が他方の上に整列している。）
ｅ）フィーラヘッド１２３が部品５０の内側の面５４に接触する（又は接触したままである）ように、センサ１１０を移動させ、そして
ｆ）前記画像化装置１６０によって第１基準要素１３０の新たな位置が特定され、これにより、部品５０におけるフィーラヘッド１２３の新たな位置を決定することが可能となる。
ｇ）フィーラヘッド１２３と部品５０の内側の面５４との間の接触を維持しながら、センサ１１０を部品５０の内側の面５４上の別の場所に移動し、その後、部品５０の内側の形状の決定が完了するまで、ステップｆ）及びｇ）を繰り返す。

画像化装置１６０（外部センサ）は、センサ１１０が被計測部品５０の面５１又は５４に対して相対的に移動し、したがってフィーラヘッド１２３が被計測面５１又は５４上を移動するたびに、第１基準要素１３０の位置を特定し、その位置の変動を決定するために使用される。実際、図７の場合、第１基準要素１３０の新たな位置が、センサ１１０の移動に応じたＺに沿った移動に厳格に対応する場合、フィーラヘッド１２３の新たな位置、したがって部品５０の内部形状の新たな計測点は、以前と同じＹの位置に留まる（ｄＹ＝０）。図示されていない別のケースでは、計測される面５４が鉛直方向Ｚに平行ではなく、例えば軸線Ｚの円錐台の錐台に対応している場合、センサ１１０の垂直軸線Ｚに沿った移動の後、第１基準要素１３０の新たな位置が、センサ１１０の位置に応じたＺに沿った移動だけでなく、Ｙに沿った移動にも対応している場合、フィーラヘッド１２３の新たな位置、ひいては部品５０の内部形状の新たな計測点が、センサの以前の位置に対してＹの新たな位置になる（ｄＹは０ではない）。このため、画像化装置１６０は、光学センサを備える。この場合、光軸Ｏが（Ｙ、Ｚ）平面（図７参照）に直交して配置される画像化装置１６０を使用してもよい。これは、Ｙ軸線に沿った第１基準要素１３０（したがって、間接的にフィーラヘッド１２３）の移動を検出できるようにするためである。

このような画像化装置１６０は、一組の光学部品と、画像取得システムとを備える光学系、特にセンタリングされた光学系、で形成される。この種の画像取得システムは、写真及び／又は動画の取得を可能にするもので、例えば、スチルカメラ、特にデジタルスチルカメラである。

画像化装置１６０は、部品５０の外側に位置する第１基準要素１３０をその範囲に含む視野１６２を持てる、固有の特性を有する。視野１６２の（Ｙ、Ｚ）平面への投影、又は画像キャプチャ装置１６０が電磁放射（光）に感応する固体角度を図６に示す。図６に示す場合、画像化装置１６０の視野１６２は、第１基準要素１３０を備えるとともに、部品５０又は少なくとも被計測面５４（内側面５４）を備える部品５０の部分、特に視野１６２の平面（Ｙ、Ｚ）内に位置し、被計測面に対応する（外側面５１であれば）、又は被計測面５４に対向する（内側面５４であれば）外側面の部分を範囲に含む又は包囲している。

図８に示された第１実施形態の１変形態様によれば、センサ１１０’は、基部１１２に一体的に取り付けられ、第１基準要素１３０の近くに位置し、いずれの場合も部品５０の外側（図８の配置では第１基準要素１３０の前と上）に位置する第２基準要素１５０をさらに備えている。より詳細には、第２基準要素１５１のステムは、基部の第１端部１１２ａを形成する基部１１２の側面に取り付けられていて、これは、支持部１１４の第１端部及び第１基準要素１３０と一致して配置されている。また、基部１１２と第２基準要素１５０を剛体的に連結する第２基準要素１５１の軸の形状や長さは、第１基準要素１３０と第２基準要素１５０の接触や衝突を避けるように配置されている。本実施形態例では、第２基準要素１５０は、第１基準要素１３０を構成する球体と同程度の大きさの球体である。本明細書では、基準１１０’を有するセンサは、したがって、計測を可能にするために第１基準要素１３０と協働する第２基準要素１５０が存在する場合に対応している。実際、第２基準要素１５０は基部１１２と一体であるため、この基部１１２に対して固定されていて、一方、センサ１２０、特に第１基準要素１３は基部１１２に対して可動であることが理解される。

この第２基準要素１５０により、フィーラヘッド１２３のＹ軸線に沿ったずれを検出可能であり、前記ずれ（図示せず）は、フィーラヘッド１２３が被計測面５１又は５４に押し付けられたときのフィーラロッド１２２の曲がりに起因する。この場合、既述の計測方法において、基部１１２に一体的に取り付けられていて、第１基準要素１３０の近傍に位置する第２基準要素１５０がさらに設けられている。そして計測ステップｆ）の際には第１基準要素１３０と第２基準要素１５０との間の（特にＹ軸線に沿った）相対的な移動を、第２基準要素１５０が検出して、この相対的な移動がフィーラヘッド１２３の位置を決定する際に考慮される。したがって、撮像要素１６０の視野１６２には、第２基準要素１５０も含まれることが明らかである。

このような第２基準要素１５０も、外部形状の計測にも有用である。その理由は、フィーラロッド１２２がＹ軸線に沿って曲がるという現象が発生しやすいため、第１基準要素１３０が表面と接触していなければ、したがって、表面からの戻り力を発生させて第１基準要素のロッド１３１の曲がりによる変形を発生させる可能性のある支持力を受けないためである。

第１実施形態の本変形態様では、部品５０の内部形状を計測する方法は、以下のステップを備える（図９、図１０Ａ及び図１０Ｂ参照）。
ａ）上述のように、センサ１１０’が調達される。
ｂ）内部形状（ハウジング５２の内面５４）を決定したい中空部品５０が調達される。
ｃ）第１基準要素１３０と第２基準要素１５０との間の相対的な位置を決定可能な画像化装置１６０が調達される（図９のような外部センサ）。
ｄ）フィーラヘッド１２３を中空の部品５０の内部に配置し、フィーラヘッド１２３を内面５４に当て、一方で、第１基準要素１３０及び第２基準要素１５０は中空の部品５０の外側に留める（ここでは、図１０Ａに見られるように、センサ１１０’は、支持部１１４及び基部１１２が初期位置にある静止位置にある）。
ｅ）センサ１１０’をＹ軸線に沿って部品５０に対して相対的に移動させ（矢印Ｆ１、図１０Ｂ）、フィーラヘッド１２３を部品５０の内面５４に接触させる（又は接触したままにする）。これにより、内面５４に対する第１基準要素１３０の支持力（矢印Ａ）と、基部１１２に対する支持部１１４の同一強度の反対移動（矢印Ｆ３）を伴う板ばね１４１、１４２の変形とが発生し、これにより、第２基準要素１５０に対する第１基準要素１３０のＹ方向の移動ｄＹ１が発生し（プローブ１２０全体の矢印Ｆ３方向のＹ方向に沿ったずれを伴う図１０Ｂ）、そして
ｆ）第２基準要素１５０に対する第１基準要素１３０の位置が、前記画像化装置１６０によって特定され、これにより、部品５０におけるフィーラヘッド１２３の位置の決定が可能となる。
ｇ）フィーラヘッド１２３と部品５０の内面５４との間の接触を維持しながら、センサ１１０’を部品５０の内面５４上の別の場所にＺ方向（垂直方向）に移動させ、その後、部品５０の内部輪郭が決定されるまで、ステップｆ）及びｇ）を繰り返す。このようにして、図９に見られるように、内面５４の内部輪郭を表す計測線Ｍは、第１基準要素１３０によって連続した位置が取られることにより、点ごとに構築される。第２基準要素１５０を通る（例えば、その中心又は別の点を通る）垂直基準線Ｒが基準として使用され、計測線Ｍは、計測したい内部輪郭（内部形状）の線Ｃ（図９）の部分５０の外側に転置されたものであることが理解される。

この第１実施形態では、センサ１１０又は１１０’は、基部１１２がセンサ内の固定基準を形成している状態で、それぞれ変形可能ではない基部１１２及び支持部１１４と、水平方向Ｙに沿って変形可能な２つの板ばね１４１及び１４２とが、平行に互いの上に配置されてなる平行変形構造を形成している。これにより、計測軸、ここではＹ軸、の画定が可能となり、フィーラヘッド１２３の支持力を部品５０に加えられるようになる。この支持力は、板ばね１４１、１４２の特性（長さ、幅、厚さ）とその変形に依存する。

この第１実施形態だけでなく、一般的な方法でも、本発明は、図１１に見られるように、部品５０と接触したままのプローブ１２０のフィーラヘッド１２３によって、内面５４（外面５１）に沿って部品５０の内部（又は外部）の輪郭を非常に正確に追跡することを可能にする。提示された実施形態では、輪郭の再構成及び追跡は、垂直方向Ｚ（計測線Ｍ及び輪郭線Ｃの向きは、次のようになる）に実施される。しかし、この再構成と輪郭の追跡を、別の方向、特に水平方向、例えばＸ方向、又は（Ｘ、Ｙ）平面内の別の方向で実施することもあり得る。また、輪郭部分のためそれらの以前の方向のうちの第１方向で行い、その後、輪郭部分を変更するためにそれらの以前の方向のうちの第２方向で行い、この新しい輪郭部分を視覚化するためにこれらの以前の方向のうちの第１方向に戻ることもあり得る。このフィーラヘッド１２３が、ハウジング５２の内部に位置しているから部品５０の外側から見えないにもかかわらず、本発明では、第１基準要素１３０を介して被計測面５４上のその移動を可視化できる。ガイドシステム１４０は、基部１１２に対するフィーラヘッド１２３の１つ又はそれより多い方向への移動を可能にする。

本発明では、第１基準要素１３０と部品の外郭及び／又は第２基準要素１５０を備える視野１６２を有するように配置された画像化装置１６０を介して、第１基準要素１３０の移動中に連続した画像を撮影し、部品５０の外郭に対する（及び任意に第２基準要素１５０に対する）その相対的な位置を計測可能である。これらの画像により、計測される内部輪郭の線Ｃを再構成する計測線Ｍを点で形成することが可能になる。これが可能になるのは、計測システムが、部品５０の内部（又は外部）の輪郭に追従するフィーラヘッド１２３の移動、ひいては部品５０の内部（又は外部）の輪郭を、部品の外側にある第１基準要素１３０に伝達するからである。図９の計測線Ｍは、平面（Ｘ、Ｙ）に平行な水平面内の（ハウジング５２の）部分の位置（点）における、垂直方向Ｚに沿った部品５０の内部形状に対応している。部品５０の内側（外側）の形状全体、すなわち内面５４（外面５１）のの全面を再構築するためには、計測ステップを繰り返して、必要な数の点を得るため、平面（Ｘ、Ｙ）に平行なこの水平面内の（ハウジング５２の）部分の別の位置（点）を通り、別の計測線Ｍ’を再構成しなければならない。計測線Ｍを再構成するということは、垂直軸線Ｚに平行で平面（Ｘ、Ｙ）に直交する平面内の部品５０の「スライス」の輪郭を部品５０の外側に再現することになる。また、他のスライスを再構成することで、部品２０の輪郭の各スライスは、垂直軸線Ｚに平行で（Ｘ、Ｙ）平面に直交する別の平面に位置し、先に再構成されたスライスの平面から角度シータθずらして、３次元空間における計測線Ｍ、Ｍ’などの並置が画像の追加により得られる。これは、数枚のスライスで再構成されるであろう（対称的な回転で）回転する部品５０の場合には、さらに高速となる。

第１基準要素１３０とフィーラヘッド１２３の位置との間の相対的な位置を正確に決定するために、予備的な較正ステップが実行され、これにより、計測されることが求められ、部品の外側からは見えない内部輪郭の線Ｃを得るために、計測線Ｍを後に移動可能である。この目的のために、一実施形態によれば、センサ１１０又は１１０’の静止位置における第１基準要素１３０及びフィーラヘッド１２３の相対的な位置を画定するために、部品５０のないセンサ１１０又は１１０’の画像が画像化装置１６０で撮影される。

センサ１１０又は１１０’は、（図１２に模式的に示す）把持部材又は支持部材によってその基部１１２に保持され、制御システムによって制御される多関節アームや電動シャフト１７０などの任意の移動システムによって移動され、センサ１１０又は１１０’と部品５０との間の相対的な移動を以下のように許容するようにしてもよい。
－図１２の矢印Ｆ１の方向において、Ｙ軸線に沿った水平方向の移動、及び／又は
－図１２の矢印Ｆ２の方向において、Ｚ軸線に沿った垂直方向の移動。

次に、本発明の第２実施形態による計測システム２００を表す図１３Ａ及び１３Ｂを参照する。この場合、上に提示した第１実施形態（計測システム１００）と同様の計測システム２００の要素には、第１実施形態のそれを１００の値で増加させた参照符号が付されている。また、以下を備えるセンサ２１０がある。
－支持部２１４、そこには、自由端にフィーラヘッド２２３を担持するフィーラロッド２２２と、自由端に第１基準要素２３０を持つ第１基準要素の平行なロッド２３１とが垂直下方に延在している。
－基部２３２（２１２）、そこには、自由単に第２基準要素２５０を持つ第２基準要素のロッド２５１が垂直下方に延在している。非図示の変形態様では、この第２基準要素２５０を備えず、基部２３２（２１２）のみを備えるものがある。

支持部２１４及び基部２１２は、水平方向Ｘに平行な軸線Ｐを中心とした両者間の回転移動を可能にするガイドシステム２４０によって、（水平方向Ｘに沿って）一方が他方の前に配置される。この方向Ｘはフィーラヘッド２２３と第１基準要素２３０とを互いに分離する水平計測方向Ｙに直交する。このため、支持部２１４と基部２１２とを接続するガイドシステム２４０は、様々な設計があり得る。特に、軸線Ｐに平行で、フィーラヘッド２２３に整列して（図１３Ａ及び図１３Ｂにおける垂直方向、すなわち、方向Ｚに沿った方向に）配置された（非図示の）シャフトを備えてよい。このシャフトは、支持部２１４及び基部２１２を貫通して、支持部２１４及び基部２１２の一方に対して固定的に取り付けられ、支持部２１４及び基部２１２の他方に対して移動可能に取り付けられることで、軸受を形成している。ガイドシステム２４０は、任意に、軸線Ｐに平行な軸（任意に軸線Ｐと同軸）を有し、内端が軸線に取り付けられ、外端が支持部２１４及び基部２１２の２つのうちの他方に取り付けられた、前記軸を取り囲むコイルばね（非図示）をさらに備える。この軸線Ｐ（図１３Ａ及び図１３Ｂの矢印Ｆ３参照）を中心としたガイドシステム２４０の回転運動は、支持部２１４の外側に接続された錘２４１の存在によって促進され、支持部２１４と錘２４１との間にはＹ方向に沿ったオフセットが設けられている。したがって、この錘２４１は、フィーラヘッド２２３及び第１基準要素２３０によって形成される組立体に対する拮抗錘として機能し、この錘２４１の質量、及びシャフトから（軸線Ｐから）、したがってフィーラヘッド２２３から離す距離Ｌ１を変更可能であり、調整可能なレバーアームを形成可能である。

この場合、プローブ２２０（フィーラロッド２２２の自由端にあるフィーラヘッド２２３）は、計測の方向Ｙに直交する軸線Ｐを中心とした回転のみを可能にするガイドシステム２４０によって、計測システムの固定部分に接続されている。したがって、この場合は、揺動ガイドシステム２４０である。プローブ２２０とセンサ２１０の固定部分（例えば基部２１２）との間のこの揺動ガイドシステムには、水平方向Ｘに平行な軸線Ｐを中心に両者の間で揺動を可能にするガイドシステム２４０を形成する、他の設計ももちろん可能である。

このようにして、第１実施形態の変形態様によるセンサ１１０’と同様に動作する振り子型構造が形成され、Ｙ方向に沿って、計測軸を定義することが可能になる。この構造により、コイルばねの変形に関わらず、部品の内面５４（又は外面５１）に対するフィーラヘッド２２３の支持力Ａを一定かつ極めて小さくすることが可能となる。この場合、ガイドシステム２４０は、軸線Ｘに平行な軸線Ｐを中心とした回転運動であるプローブ２２０の自由度を許容する。プローブ２２０（特に、支持部２１４及びそれに取り付けられた要素）の静止位置への復帰は、フィーラヘッド２２３が部品５０の面と接触しなくなると、単純な重力によって行われる。このセンサ２１０を画像化装置１６０と関連付けて使用することで、第１実施形態に関連して既に説明したものと同一の計測方法による部品形状計測システムを作り上げられる。

このような配置は、以下のような計測システム２００を形成する。
－部品５０は中空であり、部品５０の内部輪郭は、回転軸線（この回転軸線は、例えば、センサ１１０の主軸線に平行であり、例えば、Ｚ軸線に沿っている）を中心とした回転の面５４を形成している。
－プローブ２２０はフィーラヘッド２２３を備え、フィーラヘッド２２３は、部品５０の内部輪郭を接触して検出可能であり、前記回転軸線に垂直な計測方向（Ｙ方向）に自由度を持って部品５０の内部輪郭に追従可能である。この計測方向（Ｙ方向）は、フィーラヘッド２２３と第１基準要素２３０とを分離している。
－ガイドシステム２４０は、プローブ２２０と基部２１２との間に、前記回転軸線に垂直で計測方向（Ｙ方向）に直交する軸（Ｐ）を中心とした揺動の接続部を備えている。
この計測システム２００は、基部２１２と一体で部品の外側に配置された第２基準要素２５０をさらに備え、画像化装置１６０は、第２基準要素２５０をさらに含む画像を取得可能であり、それによって、第１基準要素２３０と第２基準要素２５０との間の相対的な位置の変動が、部品５０の内部輪郭の形状の計測を可能にすることが理解される。

図１３Ａ及び図１３Ｂによるような配置は、前述のような計測方法の実施を可能にし、ここでは、以下のステップがさらに実行される。
－画像化装置１６０で撮影された画像を比較して、第１基準部材１３０と部品５０の外側の部分との間の前記計測方向における相対移動を検出するステップと、
－部品５０の計測形状に沿った計測方向のオフセットに対応するプローブ１２０と基部１１２の間の相対移動が導き出されるステップである。
特に、部品５０が中空であり、部品５０の内部輪郭が、回転軸線（特に、センサ１１０の前記主軸線Ｚに平行な回転軸線）を中心とした回転の面５４を形成している場合である。
－プローブ２２０は、フィーラヘッド２２３を備え、フィーラヘッド２２３は、部品５０の内部の輪郭を接触して検出可能であり、部品５０の内部の輪郭を計測方向Ｙに自由度を持って追従可能である。前記回転軸線に垂直な計測方向（特に、センサ１１０の主軸線Ｚに垂直な計測方向Ｙ）であって、この計測方向Ｙは、フィーラヘッド２２３と第１基準要素２３０とを互いに分離するものである。
－ガイドシステム２４０は、プローブ２２０と基部２１２の間に、前記回転軸線に垂直でプローブ２２０の回転方向に垂直で、かつ計測方向Ｙに直交する軸線Ｐを中心とした揺動の接続部を備えている。
図１３Ａ及び図１３Ｂに示す実施形態では、センサ２１０は、基部２１２と一体で部品５０の外側に位置する第２基準要素２５０をさらに備え、画像化装置１６０は、第２基準要素２５０をさらに含む画像を取得可能であり、それによって、第１基準要素２３０と第２基準要素２５０との間の相対位置の変動が、部品５０の内部輪郭の形状の計測を可能にしている。

次に、本発明の第３の実施形態による計測システム３００を描いた図１４Ａ及び１４Ｂを参照する。この場合、上に提示された第１実施形態のものと同様の計測システム３００の要素には、第１実施形態のものを２００の値で増加させた参照符号が付されている。また、以下を備えるセンサ３１０がある。
－支持部３１４、これは、その自由端にフィーラヘッド３２３を持つフィーラロッド３２２と、その自由端に第１基準要素３３０を担持する第１基準要素ロッド３３１とを担持して、フィーラロッド３２２の最下部に向かって延在している。この支持部３１４は、垂直方向Ｚに沿って配向されたＬ字状の幹と、方向Ｙに平行なＬ字状の基部とを有する全体的にＬ字型で、フィーラヘッド３２３と第１基準要素３３０とを担持している。
－基部３１２、これは、自由端に第２基準要素３５０を担持する第２基準要素の最下部分に向かって延在している。非図示の１変形態様は、第２基準要素３５０を備えず、基部３１２のみを備えるものがあり得る。

支持部３１４と基部３１２とは、水平計測軸線Ｙの方向に相対的に並進移動可能である。ここで、基部３１２は、ヨーク形状、特に逆さＵ字型をしていて、Ｕ字の基部がＹ方向に平行で、Ｕ字の２つの脚部がＺ方向に平行となっている。基部３１２のＵの２つの脚部のうちの１つは、第２基準要素ロッド３５１を貫通し、第２基準要素３５０を貫通して延在する。互いにＹ方向に平行な２つのガイド部品は、Ｕの２つの脚部を互いに接続し、支持部３１４の並進移動を可能にする。より正確には、レール３４４は、好ましくは円形の断面を持つロッドの形で第１ガイド部分を形成し、その上には支持部３１４がＬのロッド部分の貫通開口部で取り付けられている。また、摺動部３４５が、レール３４４と平行なロッドの形で第２ガイド部を形成している。摺動部３４５との並進の協働のために、Ｌ状ロッドのこの他の部分は、例えば、摺動部３４５を部分的に取り囲むようなノッチや、摺動部３４５用の通路を形成する貫通開口を備える。

フィーラヘッド３２３による支持力（矢印Ａ）を、例えば垂直方向に向いている部品の内側（又は外側）面５４（５１）に及ぼし、Ｙ軸線に沿った基部に対する支持部３１４の静止位置（図１４Ａ）への復帰を可能にするために、支持部３１４を復帰させるための手段を形成する２つの圧縮ばね３４６及び３４７が使用される。これらのばね３４６、３４８は、支持部３１４の両側のレールに取り付けられている。これらのばね３４６、３４７は、支持部３１４に接触して支持する端部（各面に１つずつのばね）と、基部３１２に接触して支持する端部（基部３１２のＵの異なる分岐部で支持する各ばね）とを持つ。これらは、例えば、図１４Ａ、図１４Ｂに示す例のように、２つのコイルばね３４６と３４７である。図１４Ａ及び図１４Ｂに示す例では、これらは、同じ長さで、単位長さ当たりの圧縮強度が同じ２つのばね３４６及び３４７であり、これにより、支持部３１４の静止位置（図１４Ａ参照）は、基部３１２の２つの腕部（計測方向Ｙに沿った端部）の間に配置される。しかし、各ばね３４６、３４７の幾何学的及び／又は物理的特性とは特定の要求に適合してよい。この配置では、部品５０に対するフィーラヘッド３２３の支持力Ａは、ばね３４６及び３４７の変形に依存することが理解される。それゆえ、図１４Ｂの場合、フィーラヘッド３２３は、画像化装置から見て、図の右側の領域で、部品５０の垂直方向の内面５４を押している。この場合、センサ３１０が部品５０に対して右に並進して、基部３１２に対する支持部３１４を距離ｄＹ１左に移動し（図１４Ｂ参照）、支持部３１４の左側に位置する第１ばね３４６を（さらに）圧縮状態にしている。この距離ｄＹ１は、支持部３１４と一体の第１基準部材３３０と、基部３１２と一体の第２基準部材３５０との間で求められる。

これから、本発明の第４実施形態による計測システム４００を表す図１５Ａ及び１５Ｂを参照する。この場合、先に提示した第３の実施形態による計測システム３００の要素と同様の計測システム４００の要素には、第３の実施形態のものを１００の値で増加させた参照符号が付されている。以下を備えるセンサ４１０がある。
－支持部４１４、ここでは、自由端にフィーラヘッド４２３を有するフィーラロッド４２２の最下部に向かって、自由端に第１基準要素４３０を持つ第１基準要素のロッド４３１に平行に、延在している。この支持部４１４は、Ｕの底部が垂直方向Ｚに沿って配向され、Ｕの上側の分岐部が方向Ｙに沿って配向され、Ｕの下側の分岐部（フィーラヘッド４２３及び第１基準要素４３０を持っているところ）も方向Ｙに平行に向いている、全体的に横向きＵ字状の形を有している。
－基部４１２、これは、自由端に第２基準要素４５０を持つ第２基準要素のロッド４５１の最下部に向かって垂直に延在している。
非図示の代替の実施形態は、第２基準要素４５０を備えず、基部４１２のみを備えるものであってもよい。

支持部４１４と基部４１２とは、計測軸（今回は垂直軸線Ｚ）の方向に、並進運動で相対的に移動可能である。ここで、基部４１２は、あぶみの形状、特に、Ｕ字状の基部が垂直Ｚに平行で、Ｕの２つの脚部がＹ軸の方向に平行な横向きＵ字の形状も有していて、支持部４１４のＵの開口部は、基部４１２の方向を向いていて、基部４１２のＵの開口部は、支持部４１４の方向を向いている。基部４１２のＵの２つの脚部のうちの１つ（下側の脚部）は、第２基準要素ロッド４５１及び第２基準要素４５０によって延長され、少なくとも図１５Ａ又は１５Ｂの平面に投影された状態で、すなわち画像化装置１６０（図示せず）によってＸ方向に見た状態で、支持部４１４によって規定されたハウジング内に部分的に配置されている。互いにＺ方向に平行な２つのガイド片は、支持部４１４の並進移動を可能にするために、基部４１２のＵの２つの脚部を互いに接続する。より具体的には、レール４４４が、好ましくは円形の断面を有するロッドの形態で第１ガイド部を形成し、その上に、支持部４１４が、基部４１２のＵの２つの脚部のうちの他方の脚部（上側の脚部）の部分の貫通開口部に取り付けられている。また、摺動部４４５は、レール４４４と平行な棒状の第２ガイド部材を形成している。摺動部４４５との並進での協働のために、基部４１２のＵの２つの脚部のうちの他方の脚部（上側の脚部）のこの他方の部分は、例えば、摺動部４４５を部分的に取り囲むためのノッチや、摺動部４４５のための通路を形成する貫通開口部を有する。

フィーラヘッド４２３による支持力（矢印Ａ）を、例えば水平方向に向いている部品の内部（又は外部）面５４（５１）の一部に及ぼし、垂直軸線Ｚに沿った基部４１２に対する支持部４１４の静止位置（図１５Ａ）への復帰を可能にするために、支持部４１２を復帰させるための手段を形成する２つの圧縮ばね４４６及び４４７が用いられている。これらのばね４４６、４４７は、支持部４１４の上側分岐部の両側のレール４４４に取り付けられている。これらのばね４４６、４４８は、一端が支持部４１４に接触して支持され、一端が基部４１２に接触して支持されている（各ばねは基部４１２の異なる脚部に支持されている）。これらは、例えば、図１５Ａ及び図１５Ｂに示す例のように、２つのコイルばね４４６及び４４７である。図１５Ａ及び図１５Ｂに示す例では、これらは、同じ長さで単位長さ当たりの圧縮強度が同じである２つのばね４４６及び４４７であり、これにより、支持部４１４の静止位置（図１５Ａ参照）は、基部４１２の２つのアーム（計測方向Ｚに沿った端部）の間に配置される。しかし、各ばね４４６、４４７の幾何学的及び／又は物理的特性は、特定の要求に応じて適合可能である。この配置では、部品５０に対するフィーラヘッド４２３の支持力Ａは、ばねの変形に依存することが理解される。よって、図１５Ｂの場合、フィーラヘッド４２３は、部品５０の内側の面５４を、再入口の肩部を備える図の右側の領域、、ここでは画像化装置で見られる水平面部分に、押し付けている。この場合、センサ４１０は、部品５０に対してＺ方向に上方に移動していて、これにより、基部４１２に対する支持部４１４が距離ｄＺ１（図１５Ｂ参照）だけ下方に移動し、支持部４１４の上側の脚部の下方に位置する第２ばね４４７が（さらに）圧縮されている状態になっている。この距離ｄＺ１は、支持部４１４に取り付けられている第１基準要素４３０と、基部４１２に取り付けられている第２基準要素４５０との間の距離である。

図１６に模式的に示すように、本発明による計測システムで使用されるカメラ装置１６０は、例えば、図に表して上述した実施形態の１つに従って、以下のビデオカメラと複数レンズの組とを備える。
－ビデオカメラと複数レンズの組、これらは、画像化装置１６０の焦点面を部品５０及び第１基準要素１３０（２３０、３３０、４３０）上に配置するだけでなく、必要に応じて第２基準要素１５０（２５０、３５０、４５０）上にも配置するのを可能にする。画像化装置１６０によって撮影された画像のコントラストをその視野１６２内で向上させるために、図１６に示すような実施形態では、画像化装置１６０によって観察される対象物（複数可）に対して光源１６４を逆光状態にする。このようにして、画像化装置１６０の（カメラの）視野１６２に存在する物体は、画像化装置１６０と光源１６４の間に配置される／される。この逆光により、図１７Ａ（例えばフィーラヘッドである球体の一部の場合）のように、部品と部品の外側の間にグレー又は暗／明のグラデーションがある画像が得られる。この画像の処理（図１７Ｂから図１７Ｆ）により、画像化装置１６０（図１７Ｆ）によって可視化されたこの物体又はこれらの物体の輪郭の位置を非常に正確に画定可能な処理後の画像Ｉを得られる。

上記のように、第１基準要素１３０の位置（及び該当する場合の第２基準要素１５０の位置）の決定が画像化装置１６０によって光学的に実行される技術を説明してきた。本発明は、別の方法で、特に、別のタイプのセンサと第１基準要素１３０及び該当する場合の第２基準要素１５０との間の接触によって、第１基準要素１３０の位置（及び該当する場合の第２基準要素１５０の位置）の決定にも適用できる。第１基準要素１３０の位置の決定、及び該当する場合の第２基準要素１５０の位置の決定が光学的に実施される場合、これにより、第１基準要素１３０（第２基準要素１５０）のシャフト１３１（１５１）の追加的な変形、ひいては計測を変化させる第１基準要素１３０（第２基準要素１５０）のずれをなくせることに留意すべきである。

これらの実施形態のいくつか又は全ての間の共通点を述べておくこととする。特に、第１実施形態１００（センサ１１０又は第２基準要素１５０と結合されたセンサ１１０’を有する変形例）、第２実施形態２００及び第３の実施形態３００の計測システムの間では、前記ガイドシステム１４０、２４０、３４０は、少なくともＹ方向において柔軟な（自由度のある）システムであり、第４実施形態４００の計測システムの場合には、前記ガイドシステム４４０は、少なくともＺ方向において柔軟な（自由度のある）システムである。

また、特に第１実施形態１００、第２実施形態２００、第３の実施形態３００、第４の実施形態４００の計測システムの間では、以下の配置Ａから配置Ｊのうち１つ以上の配置が、そのような種類のセンサを備えて、本発明の発明特定事項も構成するセンサ、又は本発明の発明特定事項を構成する計測システムに適用される。

＊配置Ａ。センサは、部品５０の内部形状を決定する際に使用するのに適合された機械的フィーラ装置を形成し、以下を備える。
－基部と
－ガイドシステムによって基部に弾力的に接続された支持部と
－支持部にフィーラロッドを介して取り付けられたフィーラヘッドと
－支持部に基準ピンを介して取り付けられた基準ヘッドとを備える機械的フィーラ装置において、
－基準ヘッドとフィーラヘッドは、支持部の前記基部と反対側の面に配置されていて、
－基準ピン及びフィーラロッドは、装置の静止位置において、互いに平行で、かつＺ方向に平行なＹ、Ｚ平面上に配置されている。

＊配置Ｂ。前記ガイドシステムは、フィーラヘッドが部品の表面に入り込んで接触した状態を維持するときに、フィーラヘッドと基部との間の相対移動が、ガイドシステムを介して基準ヘッドに少なくとも部分的に伝達されるように配置されている。

＊配置Ｃ。前記誘導システムは、フィーラヘッドがＹ、Ｚ平面に平行ではない表面に入り込んで接触したままであるとき、Ｙ方向に沿ったフィーラヘッドと基部との間のあらゆる相対的な移動が、誘導システムを介して基準ヘッドに少なくとも部分的に伝達されるように配置されていることを特徴とする。

＊配置Ｄ。前記ガイドシステムは、少なくとも１つのばね要素を備えている。特に、ガイドシステムは、互いに平行な２つの板ばねを備え、前記支持部と前記基部とを連結し、各板ばねの平面は、装置の静止位置において、Ｙ方向に直交していることを特徴とする。

＊配置Ｅ。フィーラヘッドはフィーラロッドの自由端に取り付けられ、基準ヘッド（第１基準要素）はフィーラロッドの端に取り付けられている。

＊配置Ｆ。フィーラロッドと基準ピンが同じ長さの場合である。

＊配置Ｇ。装置は、基部に一体的に取り付けられ、基準ヘッドの近くに位置する較正指示部（第２基準要素）をさらに備える。
この較正支持部（第２基準要素）は、フィーラヘッドのＹ（又はＺ、Ｘ）方向の移動量を検出するために使用する。

＊配置Ｈ。計測システムは、このような機械的フィーラ装置と、基準ヘッド（第１基準要素）の位置を決定可能である（画像化装置のような）外部センサを備えた外部装置とで構成される。

＊配置Ｉ。外部センサが光センサを備えた光学機器であり、その光軸が（Ｙ、Ｚ）平面に直交して配置されているような計測システム。

＊配置Ｊ。計測方向は、センサ（１１０）の前記主（Ｚ）軸線に直交していて、例えば、水平Ｙ方向に沿っている。

上述した計測システムの第１実施形態１００、第２実施形態２００、第３の実施形態３００及び第４の実施形態４００は、機械的なセンサを備えることにより、接触型形状決定技術の例である。しかし、本発明による計測システムは、非接触システムの形態を取り得る。

本発明によるそのような計測システムは、計測ベンチ、機械加工中の部品検査ステーションを備えてもよいものであり、さらには工作機械のモジュールとして統合可能である。

Ｘ横軸線
Ｙ計測軸線
Ｚ主軸線（鉛直軸線）
Ｙ０フィーラロッドを第１基準要素のロッドから離す距離
Ｚ０フィーラヘッドと第１基準要素を支持部から離す距離
ｄＹ１計測位置における基部と支持部のオフセット
Ｉ０溝１１４ｃの幅
Ｌ０溝１１４ｃの長さ
Ｆ１矢印（センサ１１０の動き）
Ｆ２矢印（センサ１１０の動き）
Ｆ３矢印（基部１１２に対する支持部の動き）
Ａ矢印（第１基準要素１３０の部品５０への支持力）
Ｒ基準線（第２基準要素１５０を通る鉛直線）
Ｍ内面５４の内部形状の計測線
Ｃ計測対象の内部形状に沿った線
５０部品
５１被計測面（外面）
５２ハウジング（穴、中ぐりなど）
５４被計測面（内面）
１００計測システム（第一実施形態）
１１０センサ
１１０’ センサ
１１２基部
１１２ａ第１端部
１１２ｂ第２端部
１１４支持部
１１４ａ支持部の第１端部
１１４ｂ支持部の第２端部
１１４ｃ溝部
１２０プローブ
１２２フィーラロッド
１２３フィーラヘッド
１３０第１基準要素
１３１第１基準要素のロッド
１４０ガイドシステム
１４１第１板ばね
１４２第２板ばね
１４３棒部
１４３ａ棒部の第１端部
１４３ｂ棒部の第２端部
１５０第２基準要素
１５１第２基準要素のロッド
１６０画像化装置
１６２画像化装置の画角
１６４光源
Ｉ加工後の画像
２００計測システム（第２実施形態）
２１０センサ
２１２基部
２１４支持部
２２０プローブ
２２２フィーラロッド
２２３フィーラヘッド
２３０第１基準要素
２３１第１基準要素のロッド
２４０ガイドシステム
２４１錘
２５０第２基準要素
２５１第２基準要素のロッド
Ｐ２１４と２１２の間の回転軸線
Ｌ１レバーアームの長さ
３００計測システム（第３実施形態）
３１０センサ
３１２基部（あぶみ形状）
３１４支持部（Ｌ字状摺動キャリッジ）
３２０プローブ
３２２フィーラロッド
３２３フィーラヘッド
３３０第１基準要素
３３１第１基準要素のロッド
３４０ガイドシステム
３４４レール
３４５摺動部
３４６第１コイルばね
３４７第２コイルばね
３５０第２基準要素
３５１第２基準要素のロッド
４００計測システム（第３実施形態）
４１０センサ
４１２基部（あぶみ形状）
４１４支持部（Ｕ字状摺動キャリッジ）
４２０プローブ
４２２フィーラロッド
４２３フィーラヘッド
４３０第１基準要素
４３１第１基準要素のロッド
４４０ガイドシステム
４４４レール
４４５摺動部
４４６第１コイルばね
４４７第２コイルばね
４５０第２基準要素
４５１第２基準要素のロッド

Claims

部品（５０）の内部形状又は外部形状を計測したい部品（５０）と、
センサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）と、
画像化装置（１６０）と
を備える、部品（５０）の外部形状又は中空の部品（５０）の内部形状を計測する計測システム（１００、２００、３００、４００）において、前記計測システムが、
センサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）は、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）に固定されている第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と、
基部（１１２、２１２、３１２、４１２）と、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）を基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に接続して、１計測方向を画定する少なくとも１自由度に応じたプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と基部（１１２、２１２、３１２、４１２）との間の相対移動を可能にする、ガイドシステム（１４０、２４０、３４０、４４０）と
を備え、
第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）が部品（５０）の外側にあって、部品（５０）の内部輪郭又は外部輪郭に沿ったプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）の経路を再現する経路を有効にしているのに対して、前記計測方向と異なる１方向における前記部品に相対した前記センサの移動中に、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が部品（５０）の内部輪郭又は外部輪郭を追従可能であるように、センサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）が配列されていて、
前記ガイドシステム（１４０、２４０、３４０、４４０）が、戻り手段を備え、前記戻し手段は、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が部品（５０）の前記内部輪郭又は前記外部輪郭ともはや相互作用しないときに、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が、基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に相対的に、静止位置に戻るのを可能にするものであり、
画像化装置（１６０）は、部品（５０）の外側の少なくとも一部と、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）とを表す画像を取得すべく適合されていて、
画像化装置（１６０）に取得された複数画像の比較によって、前記計測方向における、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と部品（５０）の外側の一部との間の相対移動が検出され、部品（５０）の計測された外形に沿った前記計測方向におけるずれに相当するプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と基部（１１２、２１２、３１２、４１２）との間の相対移動が推定されることを特徴とする、
部品（５０）の外部形状又は中空の部品（５０）の内部形状を計測する計測システム（１００、２００、３００、４００）。
部品（５０）の内部輪郭又は外部輪郭が、軸線周りの回転面をなしている、請求項１に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
ガイドシステム（１４０、２４０、３４０、４４０）は、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と基部（１１２、２１２、３１２、４１２）との間に１自由度だけを許容している、請求項２に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
前記計測システムが、基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に固定されていて、基部（１１２、２１２、３１２、４１２）について相対移動不能であって、部品（５０）の外側に配置されている第２基準要素（１５０、２５０、３５０、４５０）をさらに備え、第２基準要素（１５０、２５０、３５０、４５０）は、画像化装置（１６０）が第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と、第２基準要素（１５０、２５０、３５０、４５０）と、部品（５０）の外側の前記一部とを同時に見られるように位置している、請求項２又は３に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）は、接触によって部品（５０）の内部輪郭又は外部輪郭を追従して検出すべく適合された検出ヘッドを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）は、非接触で部品（５０）の内部輪郭又は外部輪郭を追従して検出すべく適合された検出ヘッドを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
画像化装置（１６０）は、ビデオカメラと、部品（５０）の外側の前記一部及び第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）を同時に照らすべく適合された光源（１６４）を備える、請求項１から６のいずれか一項に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
前記ビデオカメラは、部品（５０）の外側の前記一部及び第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）を見られる視野（１６２）を持つ、請求項７に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
前記画像装置（１６０）は、前記部品（５０）の外側の前記一部と、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と、また第２基準要素（１５０、２５０、３５０、４５０）とを少なくとも表す画像を撮影するように適合されていて、
前記画像装置（１６０）によって撮影された複数の画像の比較によって、前記１計測方向における、
第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と部品（５０）の外側の前記一部との間の相対移動と、
第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と第２基準要素（１５０、２５０、３５０、４５０）の間の相対移動と
が検出される、請求項４に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
ガイドシステム（１４０、２４０、３４０、４４０）は、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と基部（１１２、２１２、３１２、４１２）との間に摺動接続部又は揺動接続部を備える、請求項１から９のいずれか一項に記載の計測システム（１００、２００、３００、４００）。
部品（５０）は中空であり、部品（５０）の内部輪郭は回転軸線の周りの回転の面（５４）をなしていて、
プローブ（２２０）は、部品（５０）の内部輪郭を接触で検出可能であり、部品（５０）の内部輪郭を追従可能であるフィーラヘッド（２２３）を備え、計測方向（Ｙ）がフィーラヘッド（２２３）と第１基準要素（２３０）を互いに分離していて、
ガイドシステム（２４０）が、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と基部（１１２、２１２、３１２、４１２）との間に、前記回転軸線に垂直でありかつ計測方向（Ｙ）に直交する軸線（Ｐ）についての揺動の接続部を備える、請求項１から９のいずれか一項に記載の計測システム（２００）。
前記計測システムが、基部（２１２）に固定されていて、部品（５０）の外側に位置している第２基準要素（２５０）と、第２基準要素（２５０）をさらに含む画像を取得可能な画像化装置（１６０）とをさらに備え、第１基準要素（２３０）と第２基準要素（２５０）との相対位置の変化が部品（５０）の内部輪郭の形状の測定を可能にする、請求項１１に記載の計測システム（２００）。
ｉ）プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）に固定されている第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と、
基部（１１２、２１２、３１２、４１２）と、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）を基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に接続して、１計測方向を画定する少なくとも１自由度に応じてプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）及び基部（１１２、２１２、３１２、４１２）の間の相対移動ができるようにするガイドシステムと
を備えるセンサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）を提供し、かつ画像化装置（１６０）を提供するステップと、
ｉｉ）内部形状を計測したい中空の部品（５０）を提供するステップと、
ｉｉｉ）センサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）を置いて、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）が部品（５０）の外側にありかつ画像化装置（１６０）の視野内にある一方で、部品（５０）の内側にプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）があって、部品（５０）の内部形状上の点を検出するようにするステップと、
ｉｖ）画像化システムを起動して、部品（５０）の外側の少なくとも一部と第１基準要素を表す画像を形成するステップと、
ｖ）前記計測方向とは異なる方向における移動において、センサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）を部品（５０）について相対的に動かして、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）は部品（５０）の外側に留まりプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と同じ動きをしながら、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が部品の内側に留まりかつ内部輪郭を追従できるようにするステップと、
ｖｉ）部品（５０）の内部輪郭の他の点のためステップｉｖ）及びステップｖ）を行うステップと
を備える、中空の部品（５０）の内部形状を計測する方法において、
前記ガイドシステム（１４０、２４０、３４０、４４０）が、戻り手段を備え、前記戻し手段は、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が部品（５０）の前記内部輪郭ともはや相互作用しないときに、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が、基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に相対的に、静止位置に戻るのを可能にするものである、中空の部品（５０）の内部形状を計測する方法。
ｉ）プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）に固定されている第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と、
基部（１１２、２１２、３１２、４１２）と、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）を基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に接続して、１計測方向を画定する少なくとも１自由度に応じてプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）及び基部（１１２、２１２、３１２、４１２）の間の相対移動ができるようにするガイドシステムとを備えるセンサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）を提供し、かつ画像化装置（１６０）を提供するステップと
ｉｉ）外部形状を計測したい部品（５０）を提供するステップと、
ｉｉｉ）センサを置いて、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）が部品（５０）の外側にありかつ画像化装置（１６０）の視野内にある一方で、部品（５０）の外側にプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）があって、部品（５０）の外部形状上の点を検出するようにするステップと、
ｉｖ）画像化システムを起動して、部品（５０）の外側の少なくとも一部と第１基準要素とを表す画像を形成するステップと、
ｖ）前記計測方向とは異なる方向における移動において、センサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）を部品（５０）について相対的に動かして、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）は部品（５０）の外側に留まりプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と同じ動きをしながら、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が部品の外部輪郭を追従できるようにするステップと、
ｖｉ）部品（５０）の外部輪郭の他の点のためステップｉｖ）及びステップｖ）を行うステップと
を備える、部品（５０）の外部形状を計測する方法において、
前記ガイドシステム（１４０、２４０、３４０、４４０）が、戻り手段を備え、前記戻し手段は、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が部品（５０）の前記外部輪郭ともはや相互作用しないときに、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が、基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に相対的に、静止位置に戻るのを可能にするものである、部品（５０）の外部形状を計測する方法。
ｉ）プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）に固定されている第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と、
基部（１１２、２１２、３１２、４１２）と、
プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）を基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に接続して、１計測方向を画定する少なくとも１自由度に応じてプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）及び基部（１１２、２１２、３１２、４１２）の間の相対移動を可能にするガイドシステムと
を備えるセンサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）を提供し、かつ画像化装置（１６０）を提供するステップと
ｉｉ）形状を計測したい部品（５０）を提供するステップと、
ｉｉｉ）センサを置いて、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）が部品（５０）の外側にありかつ画像化装置（１６０）の視野内にある一方で、部品（５０）の外側にプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）があって、部品（５０）の形状上の点を検出するようにするステップと、
ｉｖ）画像化システムを起動して、部品（５０）の外側の少なくとも一部と第１基準要素を表す画像を形成するステップと、
ｖ）前記計測方向とは異なる方向における移動において、センサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）を部品（５０）について相対的に動かして、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）は部品（５０）の外側に留まりプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と同じ動きをしながら、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が部品の輪郭を追従できるようにするステップと、
ｖｉ）部品（５０）の輪郭の他の点のためステップｉｖ）及びステップｖ）を行うステップと
を備える、部品（５０）の形状を計測する方法において、
前記ガイドシステム（１４０、２４０、３４０、４４０）が、戻り手段を備え、前記戻し手段は、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が部品（５０）の前記輪郭ともはや相互作用しないときに、プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）が、基部（１１２、２１２、３１２、４１２）に相対的に、静止位置に戻るのを可能にするものである、部品（５０）の形状を計測する方法。
ａ）画像化装置（１６０）によって形成された各画像に、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と部品（５０）の外側の前記一部との間の相対位置を計算するステップと、
ｂ）連続して計算された、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）の前記相対位置に基づいて、部品（５０）の計測された形状を再構築するステップと
をさらに行う、請求項１３から１５のいずれか一項に記載の計測方法。
－前記計測方向における、第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と部品（５０）の外側の前記一部との間の相対移動を検出するために、画像化装置（１６０）によって取得された画像を比較するステップと、
－プローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）及び基部（１１２、２１２、３１２、４１２）の間の相対移動を、前記計測方向における部品（５０）の計測された形状に沿ったずれに対応するものから推定するステップと
をさらに行う、請求項１３から１６のいずれか一項に記載の計測方法。
部品（５０）が中空であり、部品（５０）の内部輪郭が１回転軸線周りの回転の面（５４）をなしていて、
－プローブ（２２０）は、部品（５０）の内部輪郭を接触により検出可能であり、かつ前記１回転軸線に垂直な１計測方向（Ｙ）における１自由度を持って部品（５０）の内部輪郭を追従可能であるフィーラヘッド（２２３）であって、前記計測方向（Ｙ）はフィーラヘッド（２２３）と第１基準要素（２３０）とを互いに分けている、フィーラヘッド（２２３）とを備え、
－ガイドシステム（２４）は、前記１回転軸線に垂直であり計測方向（Ｙ）に直交する軸線（Ｐ）の周りのプローブ（１２０、２２０、３２０、４２０）と基部（１１２、２１２、３１２、４１２）との間の揺動の接続部を備える、
請求項１４に記載の計測方法。
センサ（１１０、１１０’、２１０、３１０、４１０）が、
基部（２１２）に固定されていて、前記基部（１１２、２１２、３１２、４１２）について相対移動不能であって、前記部品（５０）の外側に位置する第２基準要素（２５０）と、
第２基準要素（２５０）をさらに含む画像を取得可能な画像化装置（１６０）とをさらに備えることにより、
第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と部品（５０）の外側の一部の間の前記相対位置と、
第１基準要素（１３０、２３０、３３０、４３０）と第２基準要素（１５０、２５０、３５０、４５０）の間の前記相対位置との変動を使うことで、前記部品（５０）の前記輪郭が取得される、請求項１３から１５のいずれか一項に記載の計測方法。