JP2013233675A - スクリーン印刷装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】洗浄液をクリーニングシートに安定して供給することができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
【解決手段】スクリーン印刷装置のクリーニング機構に設けられ、液供給タンク33内の洗浄液32をエア駆動のダイヤフラム式のポンプ35によって吸引し、ポンプ35の吐出口37に接続された吐出配管31を介して吐出ノズルに送給する洗浄液供給系において、吐出配管31においてポンプ35よりも高い位置に吐出配管31内における洗浄液32の逆流を防止するバルブ42を設け、吸引配管34に設けられた上に凸形状に湾曲した湾曲部34bの上端部を吐出口37よりも高い高さレベルに位置するように配設する。これにより、ポンプ35の内部や吐出口37に内蔵された逆止弁を常に接液状態に保つことができ、これらの部分が大気暴露されることによる弁作動不良に起因する不具合を防止する。
【選択図】図5

Description

本発明は、基板にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷するスクリーン印刷装置に関するものである。
電子部品実装工程において、基板上にクリーム半田や導電性ペーストなどのペーストを印刷する方法として、マスクプレートに設けられたパターン孔を介して基板上にペーストを転写するスクリーン印刷が広く用いられている。印刷作業中には、マスクプレートの下面には基板上で印刷部位からはみ出したクリーム半田が付着したり、基板上に完全に転写されなかったクリーム半田がマスクプレートの開口部に残留するため、これらのクリーム半田を吸い取ったり拭き取るためのクリーニングを所定インターバルで行う必要がある。
このため従来よりスクリーン印刷装置には、マスクプレートの下面をクリーニングシートによって拭き取って清掃するクリーニング機構が設けられている。そして溶媒成分が蒸発して粘度が上昇したクリーム半田が除去対象となる場合には、良好なクリーニング性能を確保するためIPAなどの洗浄液を含浸させたシートを用いる湿式クリーニングが採用されている(例えば特許文献1参照)。
この特許文献1に示す湿式クリーニング方式のクリーニング機構では、タンク内に貯溜された洗浄液を空圧駆動のポンプによって吸引して吐出し、クリーニングヘッドに設けられた吐出ノズルからクリーニングシートに供給するようにしている。ポンプとしては、構造が簡単で安価なダイヤフラム式のポンプが一般に用いられており、ポンプから吐出ノズルに至る吐出配管には、ポンプ停止時の洗浄液の逆流を防止するための逆止弁が介設されている。
特開2006−7462号公報
しかしながら、上述構成のクリーニング機構には、洗浄液の吐出系の構成に起因して、洗浄液を安定供給する上で次のような難点があった。すなわちダイヤフラム式などの構造が簡単なポンプは、内蔵された吸入弁、吐出弁の作動が不安定になりやすく、特にこれらの部分が大気曝露されて表面に付着した液膜が蒸発すると弁体が便座に固着する不具合を生じやすい。このような現象はポンプと組み合わせて洗浄液の逆流防止のために用いられる逆止弁についても生じ、これらの弁が固着した場合には、ポンプや逆止弁は正常な機能を果たすことができず、正確な吐出量を安定して確保することが難しい。このように、従来のスクリーン印刷装置に備えられた湿式のクリーニング機構には、洗浄液をクリーニング用のシートに安定して供給することが困難であるという課題があった。
そこで本発明は、洗浄液をクリーニング用のシートに安定して供給することができるスクリーン印刷装置を提供することを目的とする。
本発明のスクリーン印刷装置は、パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させペーストが供給されたマスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングシートをクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に押しつけて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有するスクリーン印刷装置であって、前記クリーニング機構は、前記クリーニングヘッドに設けられ前記クリーニングシートに洗浄液を吐出する吐出ノズルと、前記吐出ノズルよりも低い高さレベルに配設されて洗浄液を前記吐出ノズルに供給する洗浄液供給部とを有し、前記洗浄液供給部は、前記洗浄液を貯留する液供給タンクと、前記液供給タンク内の洗浄液を吸引する吸引配管と、この吸引配管に接続された吸引口から洗浄液を吸引し吐出口から吐出するポンプと、前記吐出口に接続され前記吐出ノズルに至る吐出配管と、この吐出配管において前記ポンプよりも高い位置に介設されてこの吐出配管内における洗浄液の逆流を防止するバルブとを備え、前記吸引配管は上に凸形状に湾曲した湾曲部を有し、この湾曲部は上端部が前記吐出口よりも高い高さレベルに位置するように配設されている。
本発明によれば、液供給タンク内の洗浄液をエア駆動のダイヤフラム式のポンプによって吸引し、ポンプの吐出口に接続された吐出配管を介して吐出ノズルに送給する洗浄液供給系において、吐出配管においてポンプよりも高い位置に介設されてこの吐出配管内における洗浄液の逆流を防止するバルブを備え、さらに吸引配管に設けられた上に凸形状に湾曲した湾曲部の上端部を吐出口よりも高い高さレベルに位置するように配設することにより、ポンプの内部や吐出口に内蔵された逆止弁を常に接液状態に保つことができ、これらの部分が大気暴露されることによる弁作動不良に起因する不具合を防止して、洗浄液をクリーニングシートに安定して供給することができる。
本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の正面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の側面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置の平面図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置におけるクリーニングユニットの構成説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに備えられた洗浄液供給部の構成説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置のクリーニングユニットに用いられる洗浄液吐出用のポンプの構成説明図 本発明の一実施の形態のスクリーン印刷装置における液供給配管系の機能説明図
まず図1、図2、図3を参照してスクリーン印刷装置の構造を説明する。図1において、スクリーン印刷装置は、基板位置決め部1の上方にスクリーン印刷部10を配設して構成されている。基板位置決め部1は、Y軸テーブル2、X軸テーブル3およびθ軸テーブル4を段積みし、更にその上にZ軸テーブル5を載置して構成されている。Z軸テーブル5上には基板8を下面側から下受けして保持する基板保持部6が設けられている。上流側から搬入コンベア9A(図2)を介して搬入された基板8は印刷コンベア9によって基板保持部6上に搬入され、クランパ7によって両側から挟み込まれて位置が固定される。以下に説明するスクリーン印刷部10によって印刷された後の基板8は、搬出コンベア9B(図2参照)を介して下流側へ搬出される。
基板位置決め部1の上方に配設されたスクリーン印刷部10は、マスク枠11に展張されたマスクプレート12を備えている。マスクプレート12には、印刷対象に応じたパターン孔12a(図3参照)が設けられている。図2に示すように、基板位置決め部1の両側に配設された縦フレーム21の側面には、2本の棒形状のブラケット22が内側に水平に延出して配設されている。2本のブラケット22の上面には、L字断面形状のマスクホルダ23がY方向に架設されている。マスクホルダ23は、マスクプレート12のマスク枠11を位置決めして保持する。
マスクプレート12上にはスキージヘッド13が配設されている。スキージヘッド13は、水平なプレート13aにスキージ15を昇降させるスキージ昇降機構14を配設した構成となっており、図2に示すように、プレート13aの両端は縦フレーム21上に配列されたガイド機構によって、Y方向にスライド自在に支持されている。プレート13aは、ナット16a、送りねじ16bおよび回転駆動モータ(図示省略)より成るスキージ移動手段によりY方向に水平移動する。またスキージ昇降機構14を駆動することによりスキージ15は昇降してマスクプレート12の上面に当接する。
Z軸テーブル5を上昇させてマスクプレート12の下面を基板8に当接させた状態で、ペーストであるクリーム半田が供給されたマスクプレート12上で、スキージ移動手段を駆動してスキージ15をY方向に移動させることにより、パターン孔12aを介して基板8にはクリーム半田が印刷される。すなわちスクリーン印刷部10は、パターン孔12aが設けられたマスクプレート12に基板8を当接させ、マスクプレート12上でスキージ15を摺動させることにより、パターン孔12aを介して基板8にペーストであるクリーム半田を印刷する。
スクリーン印刷部10の上方には、カメラ19が設けられている。図3に示すように、カメラ19はX軸テーブル18およびY軸テーブル17によってXY方向に水平移動する。X軸テーブル18およびY軸テーブル17は、カメラ19を移動させるカメラ移動機構となっている。カメラ19をカメラ移動機構によってマスクプレート12に対して移動させることにより、カメラ19はマスクプレート12の任意の位置を撮像する。基板位置決め部1はY軸テーブル2によってスクリーン印刷部10の下方からY方向に移動して、保持した基板8を基板認識位置まで移動させることができるようになっており、この状態でカメラ19を基板位置決め部1上の基板8に移動させることにより、カメラ19によって基板8の任意の位置を撮像し、基板位置を認識することができる。
Y軸テーブル2上の基板位置決め部1の側方には、クリーニングユニット20(クリーニング機構)が配設されている。クリーニングユニット20は本体部20a内に以下に説明する各要素を配設した構成となっており、本体部20aの上部からはクリーニングヘッド24が突出している。Y軸テーブル2を駆動することにより、クリーニングユニット20は基板位置決め部1とともにY方向に移動し、クリーニングヘッド24によってマスクプレート12の下面をクリーニングする。
本実施の形態においては、クリーニング機構であるクリーニングユニット20は、クリーニングシート27(図4参照)をクリーニングヘッド24によってマスクプレート12の下面に押しつけて摺動させることにより、マスクプレート12をクリーニングする機能を有している。なお本実施の形態においては、基板位置決め部1のY軸テーブル2を駆動することによりクリーニングユニット20を水平移動させる構成例を示しているが、クリーニングユニット20の水平移動を基板位置決め部1と切り離して、独立のクリーニングユニット駆動機構を設けるようにしてもよい。
次に、図4を参照してクリーニングユニット20の構成を説明する。クリーニングユニット20の本体部20aの上面には、クリーニングヘッド24が昇降手段(図示省略)によって昇降自在に配設されている。本体部20aにはクリーニングシート27の供給リール25および回収リール26が設けられている。クリーニングシート27は供給リール25から引き出され、クリーニングヘッド24の上面を周回して回収リール26によって巻き取られる。クリーニングヘッド24を上昇させてクリーニングシート27をマスクプレート12の下面に押し当てた状態で、クリーニングユニット20を水平移動させることにより、マスクプレート12は下面側からクリーニングされる。
供給リール25から引き出されたクリーニングシート27がクリーニングヘッド24の上面に至る送給経路には、複数のガイドローラ28aおよび吐出ノズル29が配置されている。クリーニングシート27はこれらのガイドローラ28aおよび吐出ノズル29を周回してクリーニングヘッド24の上面に送られ、クリーニングに使用された後にガイド部28bを経由して回収リール26に巻き取られる。
吐出ノズル29は中空管状の部材であり、吐出ノズル29の上面側には複数の吐出孔29aが設けられている。吐出ノズル29の中空部は下方に導設された吐出配管31に接続されており、吐出配管31はさらに本体部20a内に配設された洗浄液供給部30に接続されている。洗浄液供給部30はエタノールやイソプロパノールなどマスククリーニングに使用される洗浄液32を貯留し、吐出ノズル29の吐出孔29aから吐出させる機能を有している。
すなわちクリーニングユニット20は、クリーニングヘッド24に設けられクリーニングシート27に洗浄液32を吐出する吐出ノズル29と、洗浄液32を吐出ノズル29に供給する洗浄液供給部30とを有する構成となっている。そして洗浄液供給部30によって吐出ノズル29に供給された洗浄液32は、さらに吐出孔29aから外周部へ吐出されてクリーニングシート27に含浸される。
次に図5を参照して、洗浄液供給部30の構成を説明する。洗浄液供給部30は、ユニット枠30a内に洗浄液32を貯留する液供給タンク33、液供給タンク33から洗浄液32を吸引して吐出するポンプ35、ポンプ35からの吐出を断接するバルブ42およびこれらを駆動・制御するための電磁弁43を配設した構成となっている。
すなわち、ユニット枠30aの下部には洗浄液32を貯留する液供給タンク33が配置されており、液供給タンク33には液供給タンク33内に貯溜された洗浄液32を吸引する吸引配管34が、吸入口34aを洗浄液32内に位置させて上方から挿入されている。吸引配管34は液供給タンク33から上方に延出して、上に凸形状に湾曲した湾曲部34bを経て下垂し、さらに上方に湾曲した端部の接続口34cがポンプ35の吸引口36に接続されている。
電磁弁43のPポート、Rポートはそれぞれエア供給源44、排気ユニット45に接続されており、電磁弁43のPポートには常に駆動エアが供給されている。電磁弁43の開閉動作は制御部46によって制御され、ポンプ35に電磁弁43、エア配管40、エア接続口38を介して駆動エアを供給することにより、液供給タンク33内の洗浄液32は吸引配管34を介してポンプ35内に吸引される。そしてさらにポンプ35の上部に設けられた吐出口37を介して吐出配管31に吐出される。
上述の配管系において、吸引配管34は上に凸形状に湾曲した湾曲部34bを有する形態となっており、この湾曲部34bは上端部がポンプ35の吐出口37よりも所定の高さ差Δhだけ高い高さレベルに位置するように配設されている。なお、液供給タンク33とポンプ35の相対高さは、ポンプ35が極力液供給タンク33と同程度の高さレベル、もしくはポンプ35が液供給タンク33内の液面よりも下方に位置することが望ましい。
吐出配管31には吐出配管31を開閉するためのエア駆動の弁機構を備えた2方弁のバルブ42が介設されており、エア配管41を介して駆動エアを供給することによって、バルブ42のPポート、Aポートを断接することができる。すなわちバルブ42は、吐出口37に接続され吐出ノズル29に至る吐出配管31においてポンプ35よりも高い位置に介設されて、この吐出配管31を駆動エアによって作動する弁機構によって開閉する機能を有している。
そしてバルブ42を駆動して吐出配管31を閉じることにより、吐出配管31においてバルブ42よりも上側の配管内の洗浄液32はバルブ42によって遮断され、洗浄液32が下方に向かって流動する逆流を完全に防止することが可能となっている。これにより、ポンプ35の吐出口37から吐出ノズル29に至る吐出配管31に逆止弁を介設した構成の従来技術における問題、すなわち逆止弁の弁体と弁座との当接面に洗浄液32中の有機異物などが付着することに起因する動作不良が生じることがなく、洗浄液32の逆流防止機能を安定して確保することができる。
さらに、逆止弁は流体が規定のクラッキング圧力を超えた状態でのみ流動が許容される構造であるため、小流量で吐出するために低流体圧で使用する場合には、安定した吐出量が得られないという難点がある。これに対し、本実施の形態に示すように2方弁のバルブ42によって開閉を明確に切換える方式を用いることにより、ポンプ35から吐出された洗浄液32は低圧・低流量の使用条件下においても安定した液供給を行うことが可能となっている。
エア配管41は、エア配管40と同様に同一の電磁弁43のAポートに接続されており、制御部46によって電磁弁43を制御することにより、駆動エアを任意のタイミングにてエア配管40、41を介してそれぞれポンプ35、バルブ42に同時に送給することができる。したがって、ポンプ35による洗浄液の吐出動作とバルブ42による吐出配管31の開動作は常に同期してなされ、またポンプ35が吐出を停止しているときは吐出配管31は常に閉じられている。電磁弁43および制御部46は、ポンプ35およびバルブ42への駆動エアの供給を制御するエア供給制御部を構成する。
次に図6を参照して、ポンプ35の構造および機能を説明する。図6に示すように、ポンプ35はケーシング部35aの内部に形成された吸引吐出空間35b内において、可撓性に富む膜部材であるダイアフラム35fをエア駆動機構39によって矢印方向に往復動させる構造となっている。エア駆動機構39には、エア接続口38から内部流路35cを介して駆動エアが供給される。吸引吐出空間35bは、吸引側流路35d、吐出側流路35eを介してそれぞれ吸引口36、吐出口37と接続されている。吸引口36、吐出口37はいずれも円錐形状の弁座面36b、弁座面37bとボール体36c、37cとを組み合わせ、ボール体36c、37cを弁座面36b、37bに押し付けて導入流路36a、37aを閉塞する構成の逆止弁を内蔵しており、吸引口36、吐出口37はいずれも導入流路36a、37aから上方へ洗浄液32の一方向のみの流動を許容するようになっている。
エア駆動機構39を駆動して吸引吐出空間35b内でダイアフラム35fを往復動させることにより、吸引口36を介して吸引配管34から吸引吐出空間35b内へ洗浄液32を吸引し、また吸引吐出空間35bから吐出口37を介して洗浄液32を吐出配管31に吐出する。すなわち、ポンプ35は、駆動エアによってダイアフラム35fを往復動させることにより、吸引配管34に接続された吸引口36から洗浄液32を吸引し吐出口37から吐出する機能を有している。
洗浄液供給部30によって吐出ノズル29に洗浄液32を供給する液供給動作では、制御部46および電磁弁43より成るエア供給制御部は、以下のように各部を制御する。すなわち吐出配管31に洗浄液32を吐出するためにポンプ35を動作させるポンプ駆動時には、バルブ42を開状態にして吐出口37から吐出された洗浄液32の流動を許容する。これにより、洗浄液32の吐出配管31への供給が可能となる。また、洗浄液32の吐出を止めるためにポンプ35の動作を停止させるポンプ停止時には、バルブ42を閉状態にして吐出配管31内における洗浄液32の逆流を防止する。
図7は、この液供給動作を継続する過程でポンプ35の動作を停止させた状態における配管系各部の洗浄液32の残留状態を示している。すなわち液供給タンク33内の洗浄液32を連続してポンプ35によって吸引して吐出する液供給状態時には、吸引配管34内、ポンプ35の吸引吐出空間35b内および吐出配管31内は、ポンプ35によるポンプ作用によって洗浄液32で満たされている。この状態においてポンプ35を停止すると、ポンプ35の吐出停止と同期してバルブ42が閉状態となる。そしてバルブ42を完全に閉じることにより、配管系内の洗浄液32は流動が制約された状態となる。
本実施の形態に示す洗浄液供給部30の配管系においては、吸引配管34に設けた湾曲部34bは上端部がポンプ35の吐出口37よりも所定の高さ差Δhだけ高い高さレベルに位置するように配設されていることから、ポンプ35からバルブ42にいたる吐出配管31内において、洗浄液32の液レベルLは少なくとも湾曲部34bの上端部よりも低くなることはない。したがって、吐出口37、吸引口36内の逆止弁機構は常に洗浄液32に浸された接液状態にあり、ポンプ停止状態においても吐出口37、吸引口36内の逆止弁機構が大気曝露されることによる有機異物の付着が発生せず、吐出口37、吸引口36の逆止弁機能が損なわれることがない。
さらに、吐出口37を含めポンプ35から液供給タンク33内に至る配管系は大部分が洗浄液32によって満たされた接液状態にあることから、ポンプ35を再起動して吐出を開始する際に、エアの吸い込みに起因する空動作が少なく、速やかに通常の吸引・吐出状態に移行することができる。そしてエア吸引が生じた場合においても、エアが吸引配管34やポンプ35内で小さい気泡に分散して洗浄液32内に拡散するため、大容積のエアが塊状態で流動することによる液供給不具合を減少させることが可能となっている。
本発明のスクリーン印刷装置は、洗浄液をクリーニングシートに安定して供給することができるという効果を有し、クリーニングシートに洗浄液を含浸させる湿式のマスククリーニングを行うスクリーン印刷装置に利用可能である。
1 基板位置決め部
8 基板
9 印刷コンベア
10 スクリーン印刷部
12 マスクプレート
15 スキージ
20 クリーニングユニット
24 クリーニングヘッド
27 クリーニングシート
29 吐出ノズル
30 洗浄液供給部
31 吐出配管
32 洗浄液
33 液供給タンク
34 吸引配管
34b 湾曲部
35 ポンプ
35f ダイアフラム
36 吸引口
37 吐出口
39 エア駆動機構
42 バルブ
43 電磁弁
44 エア供給源

Claims (1)

  1. パターン孔が設けられたマスクプレートを基板に当接させペーストが供給されたマスクプレート上でスキージを摺動させることにより、前記パターン孔を介して基板にペーストを印刷するスクリーン印刷部と、クリーニングシートをクリーニングヘッドによって前記マスクプレートの下面に押しつけて摺動させることによりこのマスクプレートをクリーニングするクリーニング機構とを有するスクリーン印刷装置であって、
    前記クリーニング機構は、前記クリーニングヘッドに設けられ前記クリーニングシートに洗浄液を吐出する吐出ノズルと、前記吐出ノズルよりも低い高さレベルに配設されて洗浄液を前記吐出ノズルに供給する洗浄液供給部とを有し、
    前記洗浄液供給部は、前記洗浄液を貯留する液供給タンクと、前記液供給タンク内の洗浄液を吸引する吸引配管と、この吸引配管に接続された吸引口から洗浄液を吸引し吐出口から吐出するポンプと、
    前記吐出口に接続され前記吐出ノズルに至る吐出配管と、この吐出配管において前記ポンプよりも高い位置に介設されてこの吐出配管内における洗浄液の逆流を防止するバルブとを備え、
    前記吸引配管は上に凸形状に湾曲した湾曲部を有し、この湾曲部は上端部が前記吐出口よりも高い高さレベルに位置するように配設されていることを特徴とするスクリーン印刷装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015140982A1 (ja) * 2014-03-20 2015-09-24 ヤマハ発動機株式会社 作業装置およびスクリーン印刷機
WO2019190496A1 (en) * 2018-03-28 2019-10-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Air purge devices for printing devices

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6412356B2 (ja) * 2014-07-10 2018-10-24 株式会社Fuji クリーニング装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015140982A1 (ja) * 2014-03-20 2015-09-24 ヤマハ発動機株式会社 作業装置およびスクリーン印刷機
JPWO2015140982A1 (ja) * 2014-03-20 2017-04-06 ヤマハ発動機株式会社 作業装置およびスクリーン印刷機
KR101822008B1 (ko) 2014-03-20 2018-01-25 야마하하쓰도키 가부시키가이샤 작업장치 및 스크린 인쇄기
WO2019190496A1 (en) * 2018-03-28 2019-10-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Air purge devices for printing devices

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