JP6412356B2 - クリーニング装置 - Google Patents

Description

本発明は、スクリーン印刷機に搭載されたクリーニング装置に関する。

スクリーン印刷機では、マスクに形成された印刷パターン（パターン孔）を通して回路基板にクリームはんだが印刷される。その際、マスクに対して上面からクリームはんだを塗り延ばすため、はんだがパターン孔を通してマスク下面に回り込んでしまい汚れとなる。そして、この汚れは、印刷に際して回路基板に付着などして不良の原因になる。そのため、スクリーン印刷機には汚れの除去を行うクリーニング装置が搭載されている。下記特許文献１にはそうしたクリーニング装置の一例が開示されている。

同公報に開示されたクリーニング装置は、クリーニングペーパをマスクの下面に押し当てた後、摺動させて汚れを拭き取るものである。その際、クリーニング用の溶剤がノズルから吐出され、クリーニングペーパに塗布される。クリーニング装置にはそのための溶剤供給部が構成されている。溶剤供給部では、溶剤タンクに収容された溶剤がポンプによって汲み上げられ、上方に位置するノズルからクリーニングペーパに対して溶剤が滴下される。

特開２００７−１２５８４６号公報

前記汲み上げ式のクリーニング装置では、ポンプに設けられたバルブで圧力を調整することにより、クリーニングペーパへ塗布する溶剤の量の調整が行われる。つまり、一回に塗布する量の溶剤を調整して汲み上げ、ノズルから吐出している。そのため、クリーニングペーパに塗布する量が微量（数ｃｃ）であっても、容量の調整をしながら行う汲み上げには時間がかかってしまう。また、塗布される溶剤量の調整には高い精度が求められるが、ポンプの駆動制御だけではそれが困難であった。そこで、正確な量の溶剤塗布を行うには絞り弁やポンプ作動圧の調整弁など複数の機器が必要になり、構成及び制御が複雑になってしまう。そして、やはり塗布量を調整した汲み上げに時間がかかってしまうという問題が残る。

そこで、本発明は、かかる課題を解決すべく、溶剤の塗布量の調整が容易なクリーニング装置を提供することを目的とする。

本発明に係るクリーニング装置は、複数の貫通孔からなる印刷パターンが形成されたマスクを用いて回路基板にクリームはんだの印刷を行うスクリーン印刷機に設けられ、前記マスクの下面を溶剤が塗布されたクリーニングペーパによって拭き取り清掃するものであり、前記クリーニングペーパに対して溶剤を吐出するノズルと、前記ノズルに供給する溶剤を収容し、前記ノズルとの間に配管された供給管を介して接続され、スクリーン印刷機のカバーに形成された凹部に挿入された溶剤タンクと、前記溶剤タンクと前記ノズルとの間の前記供給管に接続され、前記ノズルより高い位置に設置された二次タンクと、前記溶剤タンクと前記二次タンクとの間の前記供給管に接続され、前記溶剤タンク内の溶剤を前記二次タンクへ汲み上げるポンプと、
前記二次タンクと前記ノズルとの間の前記供給管に接続された開閉弁と、前記溶剤タンクの前記凹部からの取り出し姿勢に合わせて前傾するように斜めに切られ、前記溶剤タンクに接続された前記供給管の折り曲げを防止する保護管とを有する。

本発明のクリーニング装置によれば、溶剤を収容した溶剤タンクからポンプによって二次タンクへと予め溶剤を汲み上げておき、クリーニングペーパに溶剤を塗布するに当たり、開閉弁の開くことにより、水頭圧によって二次タンクからノズルへと送られた溶剤がほぼ一定の状態で吐出されるため、クリーニングペーパに対する溶剤の塗布量の調整が容易に行える。

クリーニング装置の拭き取り部を示した断面図である。 クリーニング装置の移動機構を示した斜視図である。 クリーニング装置の溶剤供給部を示した概念図である。 クリーニング装置の溶剤供給部を具体的に示した斜視図である。 クリーニング装置を搭載したスクリーン印刷機を示した正面図である。 装着時の溶剤タンクの挿入口部分を示した図である。

次に、本発明に係るクリーニング装置の一実施形態について、図面を参照しながら以下に説明する。本実施形態のクリーニング装置はスクリーン印刷機に搭載されたものである。そのスクリーン印刷機は、回路基板に対してクリームはんだのスクリーン印刷を行うものであり、例えば、印刷状態を検査する検査機や回路基板に電子部品の装着を行う部品装着機などを組み合わせた基板生産ラインの一部を構成するものである。その基板生産ラインには、スクリーン印刷機、検査機および部品装着機の各機内部を通って回路基板を搬送する搬送装置も設けられている。

スクリーン印刷機は、機内にマスクが設置され、その下側に回路基板が搬送装置によって搬送される。そして、そのスクリーン印刷機には、搬送された回路基板を保持して印刷箇所に位置決めするための基板保持装置のほか、マスクを位置決めして保持するためのマスク保持装置および、マスクに対して上面からクリームはんだを塗り延ばすスキージ装置が設けられている。更に、溶剤を塗布したクリーニングペーパによってマスクの汚れを下面側から拭き取るクリーニング装置も設けられている。

ここで、図１はクリーニング装置の拭き取り部を示した断面図である。この拭き取り部では、拭き取りを行う使用前のクリーニングペーパが第１ローラから巻き出され、使用済み部分が第２ローラによって巻きとられるよう構成されている。第１ローラ１１と第２ローラ１２とが平行に回転支持され、クリーニングペーパ１３が両者にまたがって巻かれている。第１及び第２ローラ１１，１２は不図示のサーボモータによって回転し、両ローラ１１，１２の間の渡り部１５において、クリーニングペーパ１３に張力や弛みが与えられるようになっている。

そうした第１及び第２ロール１１，１２間の渡り部１５には、クリーニングペーパ１３をマスク下面に押し付ける機構が設けられている。第１及び第２ローラ１１，１２は図面を貫く方向に回転軸を有しており、その回転軸方向に見たクリーニングペーパの長さに合わせた寸法の押付部材１６が配置されている。発泡材からなる押付部材１６は、エアシリンダ１７によって昇降可能であり、また、全長に亘って吸引口１６１が形成され、負圧によって、マスクのパターン孔に残ったはんだや余分な溶剤の吸引などが可能な構成を有している。

こうした拭き取り部には、上方のノズルから吐出された溶剤がクリーニングペーパ１３の所定範囲にわたって塗布される。すなわち、クリーニングペーパ１３に対する溶剤の塗布は、渡り部１５上を第１及び第２ロール１１，１２の回転軸方向に沿ってノズルを移動させることにより行われる。その際、溶剤に無駄が生じないように、マスク全体ではなく印刷パターンに対応した範囲で行われる。そこでクリーニング装置には、ノズルを所定の範囲で移動させることが可能な移動機構が設けられている。図２は、その移動機構を示した斜視図である。

先ず、ノズル３１を搭載した走行台２１を有し、その走行台２１が直動ガイドによって直線方向（第１及び第２ロール１１，１２の回転軸と平行な方向）に移動が可能な状態で取り付けられている。直動ガイドは、起立した支持プレート２２の側面にガイドレール２３が水平に固定され、そのガイドレール２３に対して摺動可能なガイドブロック２４が嵌め合わされている。走行台２１は、そのガイドブロック２４と一体に形成され、ガイドレール２３に沿った直線移動が可能になっている。一方、支持プレート２２にはサーボモータ２５が固定され、その回転軸に固定されたプーリに回転ベルト２６が掛け渡されている。更に回転ベルト２６は、支持プレート２２に取り付けられた他のプーリ２７１，２７２やテンションローラ２７５などにも掛け渡されている。

走行台２１は、プーリ２７１，２７２の間に形成された回転ベルト２６の直線部分２６１に連結され、回転する回転ベルト２６に引っ張られるようにして直線移動する。こうした走行台２１は、溶剤をクリーニングペーパに吐出するためのノズル３１が搭載され、ノズル３１にはノズル３１からの吐出を制御するための開閉弁３６が接続されている。また、ノズル３１には、溶剤を供給するための供給チューブが、開閉弁３６を介して接続されている。そうした供給チューブやケーブルが絡まないように、走行台２１には、その移動に追従して変形するケーブルガイド２８が連結されている。

次に、クリーニングペーパ１３へ溶剤を塗布する場合、その塗布範囲に応じて溶剤の吐出量を調整する必要がある。吐出量が多ければマスクに溶剤が残ってしまったり、逆に少なければ汚れを適切に除去できないなどの不具合が生じてしまうからである。また、塗布する溶剤の量は、溶剤の種類によっても微妙な調整が必要である。従って、クリーニング装置では、設定された適量の溶剤を吐出することが重要であるが、従来の汲み上げ式では、前述したように１回分の塗布に必要な溶剤を正確に汲み上げてノズルから適量ずつ吐出させることが困難であった。

そこで、例えば別の従来例では、溶剤タンクを上方に配置し、水頭圧によってノズルから溶剤を吐出する方式を採用するものもある。そうした装置では、溶剤タンクとノズルの間に開閉弁を設け、その開閉を制御することによりクリーニングペーパに塗布する溶剤の量を調整することができる。しかしながら、溶剤タンク内の溶剤の量が変化すれば、水頭圧が変化してしまいノズルからの吐出量が安定しない。そのため、依然として微妙な量の調整が困難である。そこで、本実施形態のクリーニング装置では、クリーニングペーパに塗布する溶剤の量の調整を容易にすべく、次のような構成の溶剤供給部を有している。

図３は、本実施形態のクリーニング装置を構成する溶剤供給部について示した概念図である。クリーニング装置は、前述したようにノズル３１が移動可能であり、通常は実線で示す待避位置に配置され、清掃時には矢印で示す方向に移動し、所定の範囲で下方のクリーニングペーパ１３に対して溶剤が吐出される。本実施形態では、そうしたノズル３１に対して溶剤タンク３２からの溶剤が直接送り込まれるのではなく、別の小型タンクを介して二段階で送り込まれるよう構成されている。

すなわち、溶剤タンク３２はスクリーン印刷機の下方部分に配置され、上方に位置するノズル３１へとポンプ３３によって溶剤が汲み上げられるが、溶剤はノズル３１より高い位置の二次タンク３４へと一旦供給され、そこからノズル３１へと送られるようになっている。そのため、溶剤タンク３２は供給チューブ３５１によってポンプ３３に接続され、そのポンプ３３には供給チューブ３５２によって二次タンク３４が接続されている。そして、二次タンク３４とノズル３１が供給チューブ３５３によって接続されている。なお、供給チューブ３５３は、ノズル３１の移動に合わせて変形するフレキシブルチューブである。

二次タンク３４は小さい容器であり、少なくとも１回の塗布に使われる量の溶剤が収容されていればよい。つまり、数ｃｃの溶剤が収容できる程度の大きさの容器であればよい。こうした二次タンク３４は、ノズル３１よりも高い位置にあり、しかもこうして容量が非常に小さいため、水頭高さＨおよび、それに伴う水頭圧が常にほぼ一定であり、ノズル３１から吐出される溶剤の単位時間当たりの吐出量もほぼ一定になる。

ノズル３１は開閉弁３６と一体に形成され、開閉弁３６の開閉によって二次タンク３４からの溶剤を吐出できるようになっている。この開閉弁３６はソレノイド弁であり、電源のＯＮ／ＯＦＦ制御によって開閉が行われる。そして、この開閉弁３６は、図２に示す移動機構のサーボモータ２５とともに不図示の制御装置に電気的に接続され、ノズル３１の移動位置と溶剤の吐出のタイミングとが制御できるようになっている。

二次タンク３４には、ノズル３１から溶剤が吐出されるたびにポンプ３３が作動し、溶剤タンク３２から溶剤が汲み上げられるようになっている。ここでは、二次タンク３４に溶剤の有無を確認する溶剤確認センサ３７が設けられ、その溶剤確認センサ３７が不図示の制御装置に接続されている。従って、溶剤確認センサ３７からの検出信号によって溶剤の有無が確認され、溶剤が無いと判断された場合にポンプ３３が作動して二次タンク３４へと溶剤が汲み上げられるようになっている。

ところで、ポンプ３３や開閉弁３６に故障が生じた場合には、二次タンク３４内は溶剤の無い状態が継続する。このような状況は溶剤確認センサ３７からの検出信号によって確認できるため、一定時間以上溶剤の無い状態が確認された場合には、スクリーン印刷機に設置されている不図示のモニタにエラー表示を行うなどの報知方法がとられるようになっている。

また、開閉弁３６が故障した場合には、ノズル３１から溶剤が漏れてしまうため、その溶剤を受ける受け容器３８がノズル３１の退避位置に設けられている。そして、その受け容器３８には、回収チューブ４１を介して溶剤タンク３２が接続され、溶剤が溶剤タンク３２へと戻るようになっている。また、二次タンク３４は小型であるため、その容量を超えて溶剤が送り込まれることもあり得る。そこで、二次タンク３４にはエア抜きチューブ４２が接続され、その他端が溶剤タンク３２に接続されている。エア抜きチューブ４２は、溶剤タンク３２側で二次タンク３４を大気解放させると共に、二次タンク３４の許容量を超えてしまった超過分の溶剤が溶剤タンク３２へと戻すものである。

こうしたクリーニング装置の溶剤供給部は、更に具体的には図４に示すように構成されている。図４は、クリーニング装置の溶剤供給部を具体的に示した斜視図であり、図２に示した支持プレート２２の反対側から示したものである。図３に示すものと同じ構成については同じ符号を付している。

ノズル３１及び開閉弁３６は走行台２１に搭載され、前述したように直動ガイドによって直線方向に移動可能な状態で取り付けられている。一方、二次タンク３４は支持ブラケット４５に取り付けられている。その二次タンク３４は半透明のチューブであり、供給チューブ３５１などよりは太いものの、直径１５ｍｍ程度の管部材である。本実施形態では安価な構成とするため、入手が容易な市販のチューブが使用されている。

半透明チューブで構成された二次タンク３４には、その中に所定量の溶剤が入っているか否かの確認ができるように、光学式の溶剤確認センサ３７が取り付けられている。クリーニングペーパに塗布する１回分の量の溶剤がノズル３１から吐出できればよいため、溶剤確認センサ３７は、１回分の容量が検出できる位置に合わせて二次タンク３４に取り付けられている。

二次タンク３４には、下部継手４６に供給チューブ３５３が接続されており、その供給チューブ３５３がケーブルガイド２８（図２参照）を介して走行台２１へと延びている。走行台２１には、開閉弁３６と一体のノズル３１が搭載され、その開閉弁３６に供給チューブ３５３が接続されている。溶剤タンク３２は、こうしたノズル３１や二次タンク３４の位置よりも低い位置にある。具体的には、図５に示すように、スクリーン印刷機１の下方前面部に設置されている。図５は、スクリーン印刷機１を示した正面図である。

スクリーン印刷機１を構成する各装置は印刷機本体２の内部に組み込まれているが、溶剤タンク３２は着脱がしやすいように、カバー２０１を切欠いて形成された凹部空間２０２内に挿入されている。溶剤タンク３２は半透明の容器であり、その中には溶剤に浮かぶフロート３２０が入れられ、内部容量が目視でも分かるようになっている。凹部空間２０２内には機内から延びた供給チューブ３５１のほか、回収チューブ４１やエア抜きチューブ４２の先端部分が上方から突き出している。溶剤タンク３２は、上方に開口した挿入口３２１をもった瓶形状であり、３本のチューブ３５１，４１，４２の先端部分が、図６に示すように挿入されている。ここで、図６は、装着時の溶剤タンク３２の挿入口３２１の部分を示した図である。

溶剤タンク３２を凹部空間２０２から取り外すには、３本のチューブ３５１，４１，４２を溶剤タンク３２から相対的に抜き取らなければいけない。その際、溶剤タンク３２は、底部側が手前下方に引き抜かれるようにして凹部空間２０２から取り出される。フッ素樹脂からなるチューブ３５１，４１，４２は弾性によってある程度の撓みが生じるが、取り出し方が悪い場合には折れ曲がってしまい、その個所で溶剤を詰まらせてしまうおそれがある。そこで、図６に示すように折り曲げ防止措置がとられている。

３本のチューブ３５１，４１，４２は、集合管４７によって束ねられるようにして位置決めされ、その集合管４７には、バンド４９によって保護管４８が一体に取り付けられている。この保護管４８は、凹部空間２０２内に突き出した回収チューブ４１やエア抜きチューブ４２の長さに合わせた長さを有し、先端４８１は、溶剤タンク３２の取り出し姿勢に合わせて前傾するように斜めに切られている。保護管４８は、溶剤タンク３２の取り出し時に挿入口３２１の移動を案内することともに、チューブ３５１，４１，４２に無理な力が加わらないようにすることで、そのチューブ３５１，４１，４２が折り曲げられないようにしている。

図４に戻って、供給チューブ３５１はポンプ３３に接続され、そのポンプ３３から供給チューブ３５２が上方に延びて二次タンク３４の上部継手５１へと接続されている。その上部継手５１にはエア抜きチューブ４２も接続されており、エア抜きチューブ４２は下方へと延びて溶剤タンク３２へと接続されている。また、ノズル３１の下方に配置された受け容器３８は、底部の貫通孔を介して回収チューブ４１が接続されている。そして、その回収チューブ４１は、下方へと延びて溶剤タンク３２へと接続されている。

以上説明した本実施形態のクリーニング装置では、次のようにしてマスクの清掃作動が行われる。スクリーン印刷機１では、印刷の繰返しによりマスクの下面が汚れ、あるいはパターン孔にはんだが残って印刷品質が低下してしまう。そこで、定期的にクリーニング装置によりマスクの清掃が行われる。その際、図１に示す拭き取り部では、エアシリンダ１７によって押付部材１６が上昇し、渡り部１５のクリーニングペーパ１３がマスクの下面に押し当てられる。その状態で、拭き取り部がボールネジなどの移動機構により移動し、クリーニングペーパ１３によってマスクの汚れが拭き取られる。

そうした拭き取り作動に当たってクリーニングペーパ１３に溶剤が塗布される。すなわち、走行台２１が移動する間にノズル３１から溶剤が吐出され、クリーニングペーパ１３の所定範囲に溶剤が塗布される。それには、図２に示すサーボモータ２５の回転制御により回転ベルト２６に回転が伝達され、ガイドブロック２４がガイドレール２３を摺動して走行台２１の直線運動となる。そして、走行台２１の移動に合わせて開閉弁３６の開閉制御が行われる。

開閉弁３６が開けば、二次タンク３４に収容された溶剤は、水頭圧によってノズル３１へと送られて吐出される。ノズル３１の移動に合わせて溶剤が吐出されることで、クリーニングペーパ１３の所定範囲に溶剤が塗布されることとなる。このとき、クリーニングペーパ１３に含浸される溶剤の量が決められているため、そうした塗布調整に関して本実施形態では、ノズル３１（走行台２１）の移動速度と開閉弁３６の開閉周期が制御される。

そして、溶剤がノズル３１から吐出されると、二次タンク３４内の溶剤がなくなるため、その状態を検出した溶剤確認センサ３７の検出信号に従いポンプ３３が駆動制御され、溶剤タンク３２から所定量の溶剤が汲み上げられる。この場合、概ね１回分の塗布に使用する量の溶剤が汲み上げられる。ただし、二次タンク３４は容量が小さいため、その量を超えてしまったような場合、またポンプ３３の不具合により設定量以上に汲み上げてしまったような場合は、二次タンク３４の容量を超えた溶剤がエア抜きチューブ４２を通って溶剤タンク３２へと戻されることとなる。

また、何らかの原因によって開閉弁３６に故障が生じた場合には、ノズル３１から溶剤が漏れ出してしまうが、その溶剤は受け容器３８から回収チューブ４１を介して溶剤タンク３２へと戻される。その際、二次タンク３４には溶剤が溜まらないため、溶剤確認センサ３７からの検出信号によってポンプ３３の汲み上げ制御が連続することとなる。そうした場合は、溶剤確認センサ３７からの検出信号により異常と判定され、そのことがモニタなどに警報表示として示される。また、二次タンク３４に溶剤が溜まらない原因としてポンプ３３の故障であることもある。

以上説明した本実施形態のクリーニング装置によれば、二次タンク３４に予め溶剤を汲み上げておき、ノズル３１との間の水頭圧によって溶剤を吐出させるようにしたため、従来例に比べてクリーニングペーパ１３への塗布調整が容易である。すなわち、従来のような絞り弁や圧力制御弁等の様々な機器やその制御が必要なくなり、二次タンク３４への溶剤供給は単純な汲み上げだけでよい。そして、ほぼ一定の水頭圧によって吐出される溶剤はその吐出量も一定である。そのため、走行台２１の移動速度と開閉弁３６の開閉周期の２つの制御だけで精度の高い塗布調整が可能になる。

ノズル３１は開閉弁３６と一体に構成され、常に溶剤がノズル３１の直前まで送り込まれている。そのため、吐出準備に時間を要することが無く、クリーニングペーパ１３への塗布を短時間で済ますことができ、生産性を向上させることができる。また、溶剤確認センサ３７を設けたことにより、ポンプ３３や開閉弁３６の不具合も確認することができる。その開閉弁３６が故障した場合でも、受け容器３８によって溶剤を受けて溶剤タンク３２へと戻すため、漏れ出た溶剤によって機内の電装機器を破損させたり、汚してしまうことを回避できる。また、二次タンク３４は容量が非常に小さいものであるため、機内の設置スペースを小さくすることができる。

溶剤タンク３２は、図５に示すように、スクリーン印刷機の前面部下方に配置されている。特に、機体前面の凹部空間２０２内入れられて外から視認可能であるため、溶剤の残量確認が容易である。また、カバー２０１を開閉させることなく溶剤の補給作業ができ、その取扱いも容易である。その際、狭い凹部空間２０２内で溶剤タンク３２を出し入れするため、作業者が注意を怠るとチューブ４１，４２を折り曲げてしまうおそれがあるが、保護管４８によって保護が図られている。そして、ノズル３１から吐出される溶剤は二次タンク３４に収容されたものであるため、溶剤タンク３２への溶剤の補充作業がスクリーン印刷機の稼働中であっても可能である。つまり、生産を止めることなく溶剤補給が行えるため、生産性の向上にもつながる。

ところで、受け容器３８と溶剤タンク３２を接続する回収チューブ４１には、その中を流れる溶剤を確認するための回収側センサを設けることが好ましい。これによれば、開閉弁３６の開閉に合わせて回収側センサで溶剤の流れを確認することにより、開閉弁３６の不具合が検出できるからである。

以上、本発明の部品回収装置の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、その趣旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。
例えば、前記実施形態では、溶剤確認センサ３７からの検出信号に従ってポンプ３３を駆動させて二次タンク３４に溶剤を供給するようにしたが、開閉弁３６の開閉に従ってポンプ３３を駆動させるようにしてもよい。
また、例えば、前記実施形態では溶剤タンク３１を下方に設置したが、上方に配置するようにしても良い。
また、前記実施形態のように、二次タンク３４が半透明チューブであったり、溶剤確認センサ３７が光学式センサであることに限定されるわけではなく、また二次タンク３４の容量も塗布１回分以上であってもよい。

１…スクリーン印刷機 １３…クリーニングペーパ ２１…走行台 ３１…ノズル ３２…溶剤タンク ３３…ポンプ ３４…二次タンク ３６…開閉弁 ３７…溶剤確認センサ ４１…回収チューブ ４２…エア抜きチューブ ３５１，３５２，３５３…供給チューブ

Claims (9)

1. 複数の貫通孔からなる印刷パターンが形成されたマスクを用いて回路基板にクリームはんだの印刷を行うスクリーン印刷機に設けられ、前記マスクの下面を溶剤が塗布されたクリーニングペーパによって拭き取り清掃するクリーニング装置において、
   前記クリーニングペーパに対して溶剤を吐出するノズルと、
   前記ノズルに供給する溶剤を収容し、前記ノズルとの間に配管された供給管を介して接続され、スクリーン印刷機のカバーに形成された凹部に挿入された溶剤タンクと、
   前記溶剤タンクと前記ノズルとの間の前記供給管に接続され、前記ノズルより高い位置に設置された二次タンクと、
   前記溶剤タンクと前記二次タンクとの間の前記供給管に接続され、前記溶剤タンク内の溶剤を前記二次タンクへ汲み上げるポンプと、
   前記二次タンクと前記ノズルとの間の前記供給管に接続された開閉弁と、
   前記溶剤タンクの前記凹部からの取り出し姿勢に合わせて前傾するように斜めに切られ、前記溶剤タンクに接続された前記供給管の折り曲げを防止する保護管と
   を有するものであることを特徴とするクリーニング装置。
2. 複数の貫通孔からなる印刷パターンが形成されたマスクを用いて回路基板にクリームはんだの印刷を行うスクリーン印刷機に設けられ、前記マスクの下面を溶剤が塗布されたクリーニングペーパによって拭き取り清掃するクリーニング装置において、
   前記クリーニングペーパに対して溶剤を吐出するノズルと、
   前記ノズルに供給する溶剤を収容し、前記ノズルとの間に配管された供給管を介して接続された溶剤タンクと、
   前記溶剤タンクと前記ノズルとの間の前記供給管に接続され、前記ノズルより高い位置に設置された二次タンクと、
   前記溶剤タンクと前記二次タンクとの間の前記供給管に接続され、前記溶剤タンク内の溶剤を前記二次タンクへ汲み上げるポンプと、
   前記二次タンクと前記ノズルとの間の前記供給管に接続された開閉弁と、
   前記ノズルから前記クリーニングペーパに塗布する１回分の量の溶剤が前記二次タンク内に収容されているか否かを検出できる位置に合わせて前記二次タンクに取り付けられた溶剤確認センサと
   を有するものであることを特徴とするクリーニング装置。
3. 前記二次タンク内に収容されている溶剤の量を確認するための溶剤確認センサを有することを特徴とする請求項１に記載のクリーニング装置。
4. 前記溶剤確認センサは、前記ノズルから前記クリーニングペーパへ塗布する少なくとも１回分の容量の溶剤が収容されていることを確認するものであることを特徴とする請求項３に記載のクリーニング装置。
5. 前記二次タンクは、前記供給管よりも太い管部材であることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のクリーニング装置。
6. 前記二次タンクは透明又は半透明のチューブであり、前記溶剤確認センサがその半透明チューブに取り付けられた光学式センサであることを特徴とする請求項２乃至請求項５のいずれかに記載のクリーニング装置。
7. 前記二次タンクと前記溶剤タンクとを接続するエア抜き管を有するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のクリーニング装置。
8. 前記ノズルは、駆動手段によって退避位置から前記クリーニングペーパに対する所定の塗布範囲での移動が可能なものであり、退避位置には溶剤受けが設置され、その溶剤受けと前記溶剤タンクとを接続する回収管を有するものであることを特徴とする請求項１乃至請求項７のいずれかに記載のクリーニング装置。
9. 前記回収管内と通過する溶剤を確認するための回収側センサを有することを特徴とする請求項８に記載のクリーニング装置。
   
   
   

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