JP2013219314A5 - - Google Patents

Description

本発明の基板受け渡し装置は、隔壁に形成された開口部に、基板搬送容器の前面に形成された基板取り出し口を当該隔壁の一面側から対向させ、前記基板搬送容器の蓋体を前記隔壁の他面側から取り外して、基板の受け渡しを行う装置において、
前記開口部を前記隔壁の他面側から開閉するドアと、
前記ドアを、前記開口部を塞ぐ第１の位置と当該位置に対して前記隔壁の一面側から前記開口部に向かって見て前方に離れた第２の位置との間で進退させるための進退部と、
前記ドアを、第２の位置と前記開口部の前方領域から外れた第３の位置との間で、当該ドアの進退方向に沿った回動軸の周りに回動させる回動機構と、を備えたことを特徴とする。

Claims (11)

1. 隔壁に形成された開口部に、基板搬送容器の前面に形成された基板取り出し口を当該隔壁の一面側から対向させ、前記基板搬送容器の蓋体を前記隔壁の他面側から取り外して、基板の受け渡しを行う装置において、
   前記開口部を前記隔壁の他面側から開閉するドアと、
   前記ドアを、前記開口部を塞ぐ第１の位置と当該位置に対して前記隔壁の一面側から前記開口部に向かって見て前方に離れた第２の位置との間で進退させるための進退部と、
   前記ドアを、第２の位置と前記開口部の前方領域から外れた第３の位置との間で、当該ドアの進退方向に沿った回動軸の周りに回動させる回動機構と、を備えたことを特徴とする基板受け渡し装置。
2. 前記前記回動機構は、一端側が前記回動軸に固定され、他端側が前記ドアの中心部から左右方向及び上下方向に偏心した位置に固定された回動部材を備えたことを特徴とする請求項１記載の基板受け渡し装置。
3. 前記開口部、ドア、進退部及び回動機構の組が互いに上下に複数設けられたことを特徴とする請求項１または２記載の基板受け渡し装置。
4. 前記開口部、ドア、進退部及び回動機構の組が互いに左右に複数設けられたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の基板受け渡し装置。
5. 前記第３の位置は、第２の位置の左右方向に離れた位置に設定されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の基板受け渡し装置。
6. 前記第３の位置は、第２の位置の上下方向に離れた位置に設定されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の基板受け渡し装置。
7. 互いに隣接する、前記開口部、ドア、進退部及び回動機構の組のうちの一方の組の第３の位置と、他方の組の第３の位置とは、互いに前後に重なっていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか一項に記載の基板受け渡し装置。
8. 前記隔壁の他面側には、その横方向に位置する基板を検出するためのセンサ部と前記センサ部を昇降させる昇降部と、を備えた基板検出機構が設けられ、
   前記基板検出機構と、前記回動機構とに制御信号を出力してこれら基板検出機構及び回動機構の動作を制御する制御部と、を備え、
   前記制御部は、前記センサ部の上昇または下降と、ドアの回動による前記開口部の開放とが並行して行われるように制御信号を出力することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか一つに記載の基板受け渡し装置。
9. 隔壁に形成された開口部に、基板搬送容器の前面に形成された基板取り出し口を当該隔壁の一面側から対向させる工程と、
   前記基板搬送容器の蓋体を前記隔壁の他面側から取り外す工程と、
   進退部によりドアを前記開口部を塞ぐ第１の位置と当該位置に対して前記隔壁の一面側から前記開口部に向かって見て前方に離れた第２の位置との間で進退させ、回動機構により前記ドアを、第２の位置と前記開口部の前方領域から外れた第３の位置との間で、当該ドアの進退方向に沿った回動軸の周りに回動させることにより、前記開口部を前記隔壁の他面側から開閉する工程と、
   開かれた開口部により前記隔壁の他面側と基板搬送容器との間で基板の受け渡しを行う工程と、
   を備えたことを特徴とする基板受け渡し方法。
10. 前記隔壁の他面側に設けられ、その横方向に位置する基板を検出するためのセンサ部を昇降機構により昇降させる工程を備え、
    ドアの回動によって前記開口部を開放する工程と、前記センサ部を上昇または下降させる工程とが並行して行われることを特徴とする請求項９記載の基板受け渡し方法。
11. 隔壁に形成された開口部に、基板搬送容器の前面に形成された基板取り出し口を当該隔壁の一面側から対向させ、前記基板搬送容器の蓋体を前記隔壁の他面側から取り外して、基板の受け渡しを行う装置に用いられるコンピュータプログラムが記憶された記憶媒体であって、
    前記コンピュータプログラムは、請求項９または１０に記載の基板受け渡し方法を実施するためのものであることを特徴とする記憶媒体。