CN111354667A - 一种晶圆盒搬运装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆盒搬运装置，X轴运动模块滑动设于Z轴运动模块，搬运机械手滑动设于X轴运动模块；Z轴运动模块包括遮挡防护装置，遮挡防护装置的遮挡带的两端分别与第一端挡板和第二端挡板固定连接，遮挡带覆盖于条形开口上，滑台设于遮挡带上，滑台相对于遮挡带可滑动。上述晶圆盒搬运装置，Z轴运动模块、X轴运动模块、搬运机械手分别实现三个正交方向的直线运动，完成晶圆盒的搬运。Z轴运动模块的遮挡防护装置，通过遮挡带浮动的覆盖在直线运动模块上，比刚性防护罩更节省空间，与波纹罩防护相比，不需要预留容纳波纹罩本体的空间，可以减小Z轴运动模块长度尺寸。从而减小临时存储库的整体尺寸，降低洁净室成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种自动化物料搬运及存储装置，具体涉及一种应用于半导体工厂的晶圆盒搬运装置。
背景技术
目前半导体集成电路制造厂自动化程度很高。其中自动化物料搬运系统(AMHS)广泛应用于各工艺处理模块之间晶圆的移动作业。自动化物料搬运系统存在一个临时存储库(stocker)作为半导体生产工序及工序之间半成品的临时存储，如此可以缩短工艺设备流程结束到下一工艺流程设备开始之间的时间差。但由于洁净室空间受限，以及洁净室超高的建造成本，需要临时存储库在受限的空间范围内，拥有与工艺处理流程相匹配的足够多的库位。
临时存储库尺寸大小与临时存储库内部的晶圆搬运装置结构尺寸有关。临时存储库尺寸还与库位间距有关，参考图1、图2，搬运机械手厚度会影响库位竖直方向间距d1；搬运机械手回转半径和晶圆盒大小会影响库位水平间距d2。现有一些洁净室临时存储库晶圆盒搬运装置，为保证刚度、增加防护，导致晶圆搬运装置尺寸过大，临时存储库尺寸增加，占用洁净室空间多，洁净室成本增加。
发明内容
为解决上述问题，提出一种晶圆盒搬运装置，在保证装置刚性的前提下，Z轴运动模块的遮挡防护装置，不需要预留容纳遮挡防护件的空间，减小了装置尺寸。从而减小临时存储库的整体尺寸，降低洁净室成本。
一种晶圆盒搬运装置，包括Z轴运动模块、X轴运动模块和搬运机械手，所述X轴运动模块滑动设于所述Z轴运动模块，所述搬运机械手滑动设于所述X轴运动模块；
所述Z轴运动模块包括遮挡防护装置，所述遮挡防护装置包括挡板组件、遮挡带和滑台，所述挡板组件包括第一端挡板、第二端挡板、第一侧挡板、第二侧挡板、第一上挡板和第二上挡板，所述第一端挡板、所述第一侧挡板、所述第二端挡板和所述第二侧挡板依次收尾相连，所述第一上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第一侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第二上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第二侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第一上挡板和所述第二上挡板之间设有条形开口，所述遮挡带的两端分别与所述第一端挡板和所述第二端挡板固定连接，所述遮挡带覆盖于所述条形开口上，所述滑台设于所述遮挡带上，所述滑台相对于所述遮挡带可滑动；
所述X轴运动模块包括导轨，所述导轨的一端和所述滑台固定连接；
所述搬运机械手滑动设于所述导轨上。
在一个实施例中，所述滑台的两端均设有导向轮，所述遮挡带和所述导向轮接触。
在一个实施例中，所述滑台的两端设有压紧装置，所述遮挡带从所述滑台和所述压紧装置之间穿过。
在一个实施例中，所述压紧装置包括压紧支架、摆杆组件和第一弹性件，所述压紧支架的两端分别和所述滑台固定连接，所述摆杆组件的两端分别设于所述压紧支架上，所述第一弹性件设于所述摆杆组件和所述压紧支架之间，所述摆杆组件相对于所述压紧支架可摆动，所述第一弹性件用于限制所述摆杆组件的摆动。
在一个实施例中，所述压紧支架包括连接架和设于所述连接架中部的压紧件，所述连接架的两端分别和所述滑台固定连接；
所述摆杆组件包括连接杆、连接片和压杆，所述连接杆的一端与所述压紧件的一端转动连接，所述连接杆的另一端与所述压紧件的另一端转动连接，所述压杆和所述连接杆平行设置，所述连接片的一端和所述连接杆固定连接，所述连接片的另一端和所述压杆固定连接；
所述第一弹性件为扭转弹簧，所述扭转弹簧套设于所述连接杆上，且所述扭转弹簧的一个扭转臂和所述压杆抵接，所述扭转弹簧的另一个扭转臂和所述压紧件抵接。
在一个实施例中，所述第一端挡板或所述第二端挡板上设有张紧装置，所述遮挡带的一端通过所述张紧装置固定在所述第一端挡板或所述第二端挡板上；或
所述第一端挡板和所述第二端挡板上均设有张紧装置，所述遮挡带的两端分别通过所述张紧装置固定在所述第一端挡板和所述第二端挡板上。
在一个实施例中，所述张紧装置包括张紧支架和压板，所述遮挡带的一端通过压板固定在张紧支架上；
所述第一端挡板或所述第二端挡板上设有张紧装置时，所述张紧支架与所述第一端挡板之间设有紧定螺钉，或所述张紧支架与所述第二端挡板之间设有紧定螺钉；
所述第一端挡板和所述第二端挡板上设有张紧装置时，所述张紧支架与所述第一端挡板之间设有紧定螺钉，所述张紧支架与所述第二端挡板之间设有紧定螺钉。
在一个实施例中，所述搬运机械手为SCARA型机械手。
在一个实施例中，所述搬运机械手包括基座、大臂、小臂和末端承载，所述基座设于所述导轨上，所述大臂相对于所述基座可转动，所述小臂相对于所述大臂可转动，所述末端承载相对于所述小臂可转动。
在一个实施例中，所述基座内设有驱动机构，所述驱动机构驱动所述大臂；所述的大臂212内部设置第一带轮和第二带轮，所述第一带轮固定设置在基座上，所述第二带轮以大臂212为机架驱动所述小臂213，所述小臂213内部设置第三带轮和第四带轮，所述的第三带轮固定设置在大臂212上，所述的第四带轮以小臂213为机架驱动末端承载。
所述的大臂212内部设置第一带轮和第二带轮，所述第一带轮固定设置在基座上，所述第二带轮以大臂212为机架驱动所述小臂213，所述小臂213内部设置第三带轮和第四带轮，所述的第三带轮固定设置在大臂212上，所述的第四带轮以小臂213为机架驱动末端承载。
上述晶圆盒搬运装置，Z轴运动模块安装于临时存储库。Z轴运动模块、X轴运动模块、搬运机械手分别实现三个正交方向的直线运动，完成晶圆盒的搬运。Z轴运动模块的遮挡防护装置，通过遮挡带浮动的覆盖在直线运动模块上，比刚性防护罩更节省空间，与波纹罩防护相比，不需要预留容纳波纹罩本体的空间，可以减小Z轴运动模块长度尺寸。从而减小临时存储库的整体尺寸，降低洁净室成本。
附图说明
图1为临时存储库透视结构示意图；
图2为临时存储库库位间距的结构示意图；
图3为一实施方式的晶圆盒搬运装置的结构示意图；
图4为一实施方式的Z轴运动模块的遮挡防护装置示意图；
图5为图4所示的遮挡防护装置的滑台的结构示意图；
图6为图4所示的遮挡防护装置的局部结构示意图；
图7为图4所示的遮挡防护装置的压紧装置的结构示意图；
图8为图4所示的遮挡防护装置的张紧装置的结构示意图；
图9为图8所示的张紧装置的侧面结构示意图；
图10为图3所示的晶圆盒搬运装置的搬运机械手的结构示意图；
图11为图10所示的搬运机械手初始位置肩关节、腕关节剖视图；
图12为图10所示的搬运机械手的肘部关节输出轮示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清晰，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
参考图1，其显示了晶圆盒传输装置20所应用的环境，即临时存储库00。其中，晶圆盒传输装置20设于框架10上，框架10上还设有和晶圆盒F和晶圆盒载入端口30。由于洁净室造价昂贵，临时存储库00空间有限，晶圆盒传输装置20需要在狭小空间内进行晶圆盒F的搬运操作。
请参考图3，本申请提供一种晶圆盒搬运装置，包括Z轴运动模块23、X轴运动模块22和搬运机械手21，X轴运动模块22滑动设于Z轴运动模块23，搬运机械手21滑动设于X轴运动模块22。
请同时参考图4，Z轴运动模块23包括遮挡防护装置。遮挡防护装置包括挡板组件、遮挡带235和滑台238，挡板组件包括第一端挡板231、第二端挡板(图未标)、第一侧挡板23232、第二侧挡板(图未标)、第一上挡板234和第二上挡板233。第一端挡板231、第一侧挡板23232、第二端挡板和第二侧挡板依次收尾相连。第一上挡板234的三条边分别与第一端挡板231、第一侧挡板23232和第二端挡板连接。第二上挡板233的三条边分别与第一端挡板231、第二侧挡板和第二端挡板连接。第一上挡板234和第二上挡板233之间设有条形开口。遮挡带235的两端分别与第一端挡板231和第二端挡板固定连接。遮挡带235覆盖于条形开口上，滑台238设于遮挡带235上，滑台238相对于遮挡带235可滑动。
X轴运动模块22包括导轨222，导轨222的一端和滑台238固定连接。
搬运机械手21滑动设于导轨222上。
上述遮挡防护装置，通过在挡板组件上设置遮挡带235，遮挡带235浮动的覆盖在挡板组件形成的直线运动模块上，刚性防护与柔性防护相结合，第一端挡板231和第二端挡板可以对遮挡带235进行张紧，维持遮挡带235处于“伸直”状态，保证运行的稳定性，比刚性防护罩更节省空间，与波纹罩防护相比，不需要预留容纳波纹罩本体的空间。上述遮挡防护结构，在满足有效行程的基础上，不会增加其在运动方向上的空间，进而减小临时存储库的空间。
上述晶圆盒搬运装置，Z轴运动模块23安装于临时存储库00。Z轴运动模块23、X轴运动模块22、搬运机械手21分别实现三个正交方向的直线运动，完成晶圆盒F的搬运。Z轴运动模块23的遮挡防护装置，通过遮挡带235浮动的覆盖在直线运动模块上，比刚性防护罩更节省空间，与波纹罩防护相比，不需要预留容纳波纹罩本体的空间，可以减小Z轴运动模块23长度尺寸。从而减小临时存储库的整体尺寸，降低洁净室成本。
其中，第一端挡板231、第一侧挡板232、第二端挡板和第二侧挡板通过螺纹固定于地基或基座上，彼此之间也通过螺纹连接。
在一个实施例中，滑台238上设有凹槽，遮挡带235从滑台238的凹槽穿过。
在另一个实施例中，滑台238呈中空设置，遮挡带235从滑台238的中间穿过。
上述滑台238中空或者设有凹槽结构，遮挡带235从滑台238的中间或滑台中的凹槽穿过，不影响滑台238与其他部件的连接。
其中，请参考图5，滑台238的两端均设有导向轮2381，遮挡带235和导向轮2381接触。通过设置导向轮2381，可以减少滑台238和遮挡带235之间的摩擦力。
其中，请您同时参考图6，滑台238的两端设有压紧装置237，遮挡带235从滑台238和压紧装置237之间穿过。压紧装置237用于给遮挡带235提供一个压向挡板组件的底部的作用力。压紧装置237用于对遮挡带235进行压紧，保证遮挡带235运行稳定。
进一步的，请参考图7，压紧装置237包括压紧支架、摆杆组件和第一弹性件2374，压紧支架的两端分别和滑台238固定连接，摆杆组件的两端分别设于压紧支架上，第一弹性件2374设于摆杆组件和压紧支架之间，摆杆组件相对于压紧支架可摆动，第一弹性件2374用于限制摆杆组件的摆动。
更进一步的，压紧支架包括连接架2375和设于连接架2375中部的压紧件2371，连接架2375的两端分别和滑台238固定连接。
摆杆组件包括连接杆2376、连接片2372和压杆2378，连接杆2376的一端与压紧件2371的一端转动连接，连接杆2376的另一端与压紧件2371的另一端转动连接。压杆2378和连接杆2376平行设置，连接片2372的一端和连接杆2376固定连接，连接片2372的另一端和压杆2378固定连接。
其中，第一弹性件2374为扭转弹簧，扭转弹簧套设于连接杆2376上，且扭转弹簧的一个扭转臂和压杆2378抵接，扭转弹簧的另一个扭转臂和压紧件2371抵接。通过扭转弹簧，可以对压杆2378施加一定的弹性力，依靠弹性力对遮挡带235进行压紧，从而保证遮挡带235运行的稳定性。
进一步的，压紧支架还包括滚轮2373，滚轮2373套设于压杆2378上。通过设置滚轮2373，可以减小压紧支架和遮挡带235之间的摩擦，使滑台238的移动更加容易。
其中，请参考图8和图9，在一个实施例中，第一端挡板231或第二端挡板上设有张紧装置236，遮挡带235的一端通过张紧装置236固定在第一端挡板231或第二端挡板上。
在另一个实施例中，第一端挡板231和第二端挡板上均设有张紧装置236，遮挡带235的两端分别通过张紧装置236固定在第一端挡板231和第二端挡板上。张紧装置236用于将遮挡带235进行张紧。
进一步的，请参考图9，张紧装置236包括张紧支架2361和压板2362，遮挡带235的一端通过压板2362固定在张紧支架2361上。
第一端挡板231或第二端挡板上设有张紧装置236时，张紧支架2361与第一端挡板231之间设有紧定螺钉2363，或张紧支架2361与第二端挡板之间设有紧定螺钉2363。通过紧定螺钉2363对张紧支架2361施加推力，实现遮挡带235的张紧。可以理解，紧定螺钉2363可以替换为第二弹性件，通过设置第二弹性件可以对张紧支架2361施加持续推力，实现对遮挡带235的持续张紧。
第一端挡板231和第二端挡板上设有张紧装置236时，张紧支架2361与第一端挡板231之间设有紧定螺钉2363，张紧支架2361与第二端挡板之间设有紧定螺钉2363。可以理解，紧定螺钉2363可以替换为第二弹性件，通过设置第二弹性件可以对张紧支架2361施加持续推力，实现对遮挡带235的持续张紧。
其中，遮挡带235为橡胶平带、聚氨酯平带或钢带。遮挡带235的材质可以根据实际需要进行选择。
上述遮挡防护装置，电机、传动部件、直线导轨、传感器等全部封闭在遮挡防护装置内部。
上述遮挡防护装置，通过遮挡带235浮动进行遮挡防护，其结构尺寸视直线运动模块的行程而定，无需预留容纳防护物的空间，利于减小直线运动模块尺寸。张紧装置236和压紧装置237增加运行的稳定性，并且可以根据进行情况，调节张紧。
其中，搬运机械手为SCARA型机械手。
进一步的，请参考图10，搬运机械手包括基座211、大臂212、小臂213和末端承载214，基座211设于导轨222上，大臂212相对于基座211可转动，小臂213相对于大臂212可转动，末端承载214相对于小臂213可转动。
更进一步的，请同时参考图11，基座211内设有驱动机构2111，驱动机构2111直接驱动大臂212。
所述的大臂212内部设置第一带轮和第二带轮，所述第一带轮固定设置在基座上，所述第二带轮以大臂212为机架驱动所述小臂213，所述小臂213内部设置第三带轮和第四带轮，所述的第三带轮固定设置在大臂212上，所述的第四带轮以小臂213为机架驱动末端承载。
上述搬运机械手，基座211与大臂212组成肩部关节，大臂212与小臂213组成肘部关节，小臂213与末端承载214组成腕部关节。
上述搬运机械手，肩部关节采用驱动机构2111直接与大臂盖板2122连接固定的方式驱动大臂212旋转，省略了与大臂212直接连接时所需要的转接结构，减小了大臂212尺寸，减小了肩部关节尺寸以及大臂部分厚度。
参考图12，腕部关节输出轮2131有内腔结构，用于安装轴承，节省内部空间，减小轴承安装间距，减小了小臂尺寸。肘部关节输出轮有类似结构，不再重复叙述。肩关节处轴承为薄型或超薄型交叉滚子轴承。其他关节类似，不再重复叙述。
上述搬运机械手的关节布置方式，能够充分利用关节空间，省略多余的转接结构或支撑结构，减小搬运机械手厚度尺寸，可有效减小库位竖直方向间距，进而减小临时存储库00的空间。
以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种晶圆盒搬运装置，其特征在于，包括Z轴运动模块、X轴运动模块和搬运机械手，所述X轴运动模块滑动设于所述Z轴运动模块，所述搬运机械手滑动设于所述X轴运动模块；
所述Z轴运动模块包括遮挡防护装置，所述遮挡防护装置包括挡板组件、遮挡带和滑台，所述挡板组件包括第一端挡板、第二端挡板、第一侧挡板、第二侧挡板、第一上挡板和第二上挡板，所述第一端挡板、所述第一侧挡板、所述第二端挡板和所述第二侧挡板依次收尾相连，所述第一上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第一侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第二上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第二侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第一上挡板和所述第二上挡板之间设有条形开口，所述遮挡带的两端分别与所述第一端挡板和所述第二端挡板固定连接，所述遮挡带覆盖于所述条形开口上，所述滑台设于所述遮挡带上，所述滑台相对于所述遮挡带可滑动；
所述X轴运动模块包括导轨，所述导轨的一端和所述滑台固定连接；
所述搬运机械手滑动设于所述导轨上。
2.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述滑台的两端均设有导向轮，所述遮挡带和所述导向轮接触。
3.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述滑台的两端设有压紧装置，所述遮挡带从所述滑台和所述压紧装置之间穿过。
4.如权利要求3所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述压紧装置包括压紧支架、摆杆组件和第一弹性件，所述压紧支架的两端分别和所述滑台固定连接，所述摆杆组件的两端分别设于所述压紧支架上，所述第一弹性件设于所述摆杆组件和所述压紧支架之间，所述摆杆组件相对于所述压紧支架可摆动，所述第一弹性件用于限制所述摆杆组件的摆动。
5.如权利要求4所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述压紧支架包括连接架和设于所述连接架中部的压紧件，所述连接架的两端分别和所述滑台固定连接；
所述摆杆组件包括连接杆、连接片和压杆，所述连接杆的一端与所述压紧件的一端转动连接，所述连接杆的另一端与所述压紧件的另一端转动连接，所述压杆和所述连接杆平行设置，所述连接片的一端和所述连接杆固定连接，所述连接片的另一端和所述压杆固定连接；
所述第一弹性件为扭转弹簧，所述扭转弹簧套设于所述连接杆上，且所述扭转弹簧的一个扭转臂和所述压杆抵接，所述扭转弹簧的另一个扭转臂和所述压紧件抵接。
6.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述第一端挡板或所述第二端挡板上设有张紧装置，所述遮挡带的一端通过所述张紧装置固定在所述第一端挡板或所述第二端挡板上；或
所述第一端挡板和所述第二端挡板上均设有张紧装置，所述遮挡带的两端分别通过所述张紧装置固定在所述第一端挡板和所述第二端挡板上。
7.如权利要求6所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述张紧装置包括张紧支架和压板，所述遮挡带的一端通过压板固定在张紧支架上；
所述第一端挡板或所述第二端挡板上设有张紧装置时，所述张紧支架与所述第一端挡板之间设有紧定螺钉，或所述张紧支架与所述第二端挡板之间设有紧定螺钉；
所述第一端挡板和所述第二端挡板上设有张紧装置时，所述张紧支架与所述第一端挡板之间设有紧定螺钉，所述张紧支架与所述第二端挡板之间设有紧定螺钉。
8.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述搬运机械手为SCARA型机械手。
9.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述搬运机械手包括基座、大臂、小臂和末端承载，所述基座设于所述导轨上，所述大臂相对于所述基座可转动，所述小臂相对于所述大臂可转动，所述末端承载相对于所述小臂可转动。
10.如权利要求9所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述基座内设有驱动机构，所述驱动机构驱动所述大臂；
所述的大臂212内部设置第一带轮和第二带轮，所述第一带轮固定设置在基座上，所述第二带轮以大臂212为机架驱动所述小臂213，所述小臂213内部设置第三带轮和第四带轮，所述的第三带轮固定设置在大臂212上，所述的第四带轮以小臂213为机架驱动末端承载。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116130393A (zh) * | 2022-12-14 | 2023-05-16 | 弥费科技(上海)股份有限公司 | 晶圆盒移载机构及方法、系统、存储库 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1380238A (zh) * | 2001-04-11 | 2002-11-20 | 株式会社爱科技 | 标量机器人的臂 |
| JP2008160076A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-07-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
| US20130236838A1 (en) * | 2010-06-08 | 2013-09-12 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium |
| CN103377966A (zh) * | 2012-04-12 | 2013-10-30 | 东京毅力科创株式会社 | 基板交接装置和基板交接方法 |
| CN203409785U (zh) * | 2013-08-14 | 2014-01-29 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种机械手立柱传动机构 |
| CN203717643U (zh) * | 2014-01-21 | 2014-07-16 | 深圳威洛博机器人有限公司 | 一种无尘重载高精度的导轨装置 |
| CN203785647U (zh) * | 2014-01-28 | 2014-08-20 | 西安力德测量设备有限公司 | 一种三坐标测量机的防尘装置 |
| CN205260745U (zh) * | 2015-12-01 | 2016-05-25 | 天津莫德曼机器人有限公司 | 一种直线导轨的皮带张紧装置 |
| WO2017144310A2 (de) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | Kuka Roboter Gmbh | Robotergelenk und roboter mit wenigstens einem solchen robotergelenk |
| CN206513712U (zh) * | 2017-02-27 | 2017-09-22 | 中村精机无锡有限公司 | 线性滑轨用全密封钢带压紧保持机构 |
-
2018
- 2018-12-21 CN CN201811577891.1A patent/CN111354667A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1380238A (zh) * | 2001-04-11 | 2002-11-20 | 株式会社爱科技 | 标量机器人的臂 |
| JP2008160076A (ja) * | 2006-11-27 | 2008-07-10 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
| US20130236838A1 (en) * | 2010-06-08 | 2013-09-12 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium |
| CN103377966A (zh) * | 2012-04-12 | 2013-10-30 | 东京毅力科创株式会社 | 基板交接装置和基板交接方法 |
| CN203409785U (zh) * | 2013-08-14 | 2014-01-29 | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 | 一种机械手立柱传动机构 |
| CN203717643U (zh) * | 2014-01-21 | 2014-07-16 | 深圳威洛博机器人有限公司 | 一种无尘重载高精度的导轨装置 |
| CN203785647U (zh) * | 2014-01-28 | 2014-08-20 | 西安力德测量设备有限公司 | 一种三坐标测量机的防尘装置 |
| CN205260745U (zh) * | 2015-12-01 | 2016-05-25 | 天津莫德曼机器人有限公司 | 一种直线导轨的皮带张紧装置 |
| WO2017144310A2 (de) * | 2016-02-23 | 2017-08-31 | Kuka Roboter Gmbh | Robotergelenk und roboter mit wenigstens einem solchen robotergelenk |
| CN206513712U (zh) * | 2017-02-27 | 2017-09-22 | 中村精机无锡有限公司 | 线性滑轨用全密封钢带压紧保持机构 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116130393A (zh) * | 2022-12-14 | 2023-05-16 | 弥费科技(上海)股份有限公司 | 晶圆盒移载机构及方法、系统、存储库 |
| CN116130393B (zh) * | 2022-12-14 | 2023-12-15 | 弥费科技(上海)股份有限公司 | 晶圆盒移载机构及方法、系统、存储库 |
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