JP2013219250A - 圧電セラミック電子部品、及び該圧電セラミック電子部品の製造方法 - Google Patents
圧電セラミック電子部品、及び該圧電セラミック電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013219250A JP2013219250A JP2012089603A JP2012089603A JP2013219250A JP 2013219250 A JP2013219250 A JP 2013219250A JP 2012089603 A JP2012089603 A JP 2012089603A JP 2012089603 A JP2012089603 A JP 2012089603A JP 2013219250 A JP2013219250 A JP 2013219250A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- metal plate
- piezoelectric ceramic
- metal element
- alkali metal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】金属板1の一方の主面に圧電体層2が形成され、該圧電体層2の表面で電極3が形成されている。圧電体層2は、ニオブ酸アルカリ化合物を主成分とし、該主成分100モル部に対し30〜200モル部のNa、K、Li等のアルカリ金属元素Mが含有されている。また、ニオブ酸アルカリ化合物を主成分とし、該主成分100モル部に対し30〜200モル部の前記アルカリ金属元素Mを添加した圧電体ペーストを作製し、金属板1の一方の表面に圧電体ペーストを塗布した後、非酸化性雰囲気で焼成処理を行い、金属板の一方の表面に圧電体層2を形成して製造する。
【選択図】図1
Description
まず、セラミック素原料として、K2CO3、Na2CO3、Li2CO3、Nb2O5、CaCO3、ZrO2、MnCO3、及びYb2O3を用意した。
試料番号1〜8の各試料について、直流電流電圧計を使用し、絶縁抵抗logρ(ρ:Ω・cm)を測定した。
2 圧電体
Claims (8)
- 金属板の少なくとも一方の主面に圧電体層が形成された圧電セラミック電子部品であって、
前記圧電体層が、ペロブスカイト型構造を有するニオブ酸アルカリ化合物を主成分とし、該主成分100モル部に対し30〜200モル部のアルカリ金属元素Mが含有されていることを特徴とする圧電セラミック電子部品。 - 前記アルカリ金属元素Mは、K、Nb、及びLiのうちの少なくとも1種であることを特徴とする請求項1記載の圧電セラミック電子部品。
- 前記ニオブ酸アルカリ化合物を形成するアルカリ金属元素Aは、K及びNaのうちの少なくとも1種を主体とすることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の圧電セラミック電子部品。
- ペロブスカイト型構造を有するニオブ酸アルカリ化合物を主成分とし、該主成分100モル部に対し30〜200モル部のアルカリ金属元素Mを添加した圧電体ペーストを作製し、
金属板の少なくとも一方の表面に前記圧電体ペーストを塗布した後、非酸化性雰囲気で焼成処理を行い、前記金属板の少なくとも一方の表面に圧電体層を形成することを特徴とする圧電セラミック電子部品の製造方法。 - 少なくともニオブ化合物とアルカリ化合物とを含む所定量のセラミック素原料を混合して熱処理し、粉末状の主成分を作製し、該主成分100モル部に対し30〜200モル部のアルカリ金属元素Mを含有したM化合物を添加し混合処理を行って前記圧電体ペーストを作製することを特徴とする請求項4記載の圧電セラミック電子部品の製造方法。
- 前記金属板は、卑金属材料で形成されていることを特徴とする請求項4又は請求項5記載の圧電セラミック電子部品の製造方法。
- 前記アルカリ金属元素Mは、K、Nb、及びLiのうちの少なくとも1種であることを特徴とする請求項4乃至請求項6のいずれかに記載の圧電セラミック電子部品の製造方法。
- 前記セラミック素原料中のアルカリ化合物を形成するアルカリ金属元素Aは、K及びNaのうちの少なくとも1種を主体とすることを特徴とする請求項4乃至請求項7のいずれかに記載の圧電セラミック電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012089603A JP2013219250A (ja) | 2012-04-10 | 2012-04-10 | 圧電セラミック電子部品、及び該圧電セラミック電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012089603A JP2013219250A (ja) | 2012-04-10 | 2012-04-10 | 圧電セラミック電子部品、及び該圧電セラミック電子部品の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013219250A true JP2013219250A (ja) | 2013-10-24 |
Family
ID=49591012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012089603A Pending JP2013219250A (ja) | 2012-04-10 | 2012-04-10 | 圧電セラミック電子部品、及び該圧電セラミック電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013219250A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015166914A1 (ja) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子、圧電素子の製造方法、および圧電素子を備える圧電振動子 |
JP2018126701A (ja) * | 2017-02-09 | 2018-08-16 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
JP2021005627A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物、圧電磁器組成物の製造方法及び圧電セラミック電子部品 |
US10897005B2 (en) | 2017-02-09 | 2021-01-19 | Tdk Corporation | Vibrating device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6317574A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 圧電バイモルフ素子 |
WO2007080684A1 (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 異方形状セラミック粒子及びその製造方法 |
JP2009046373A (ja) * | 2006-09-04 | 2009-03-05 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪体、その製造方法、及び圧電/電歪素子 |
WO2010050258A1 (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-06 | 株式会社 村田製作所 | 圧電磁器組成物、及び圧電セラミック電子部品 |
JP2011032157A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-02-17 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪セラミックス焼結体 |
JP2011144100A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-07-28 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪セラミックス焼結体 |
JP2012049161A (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-08 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の製造方法、および液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2012246178A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Canon Inc | ニオブ酸ナトリウム粉末、ニオブ酸ナトリウム粉末の製造方法、板状粒子、板状粒子の製造方法、配向セラミックスの製造方法 |
-
2012
- 2012-04-10 JP JP2012089603A patent/JP2013219250A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6317574A (ja) * | 1986-07-10 | 1988-01-25 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 圧電バイモルフ素子 |
WO2007080684A1 (ja) * | 2006-01-12 | 2007-07-19 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 異方形状セラミック粒子及びその製造方法 |
JP2009046373A (ja) * | 2006-09-04 | 2009-03-05 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪体、その製造方法、及び圧電/電歪素子 |
WO2010050258A1 (ja) * | 2008-10-28 | 2010-05-06 | 株式会社 村田製作所 | 圧電磁器組成物、及び圧電セラミック電子部品 |
JP2011032157A (ja) * | 2009-07-10 | 2011-02-17 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪セラミックス焼結体 |
JP2011144100A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-07-28 | Ngk Insulators Ltd | 圧電/電歪セラミックス焼結体 |
JP2012049161A (ja) * | 2010-08-24 | 2012-03-08 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の製造方法、および液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP2012246178A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Canon Inc | ニオブ酸ナトリウム粉末、ニオブ酸ナトリウム粉末の製造方法、板状粒子、板状粒子の製造方法、配向セラミックスの製造方法 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015166914A1 (ja) * | 2014-04-28 | 2015-11-05 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子、圧電素子の製造方法、および圧電素子を備える圧電振動子 |
JPWO2015166914A1 (ja) * | 2014-04-28 | 2017-04-20 | 株式会社村田製作所 | 圧電素子、圧電素子の製造方法、および圧電素子を備える圧電振動子 |
JP2018126701A (ja) * | 2017-02-09 | 2018-08-16 | Tdk株式会社 | 振動デバイス |
US10897005B2 (en) | 2017-02-09 | 2021-01-19 | Tdk Corporation | Vibrating device |
JP2021005627A (ja) * | 2019-06-26 | 2021-01-14 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物、圧電磁器組成物の製造方法及び圧電セラミック電子部品 |
JP7352140B2 (ja) | 2019-06-26 | 2023-09-28 | 株式会社村田製作所 | 圧電磁器組成物の製造方法及び圧電セラミック電子部品 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100905886B1 (ko) | 압전체 자기 조성물, 및 압전 세라믹 전자부품 | |
JP3945536B2 (ja) | 圧電体磁器組成物、及び該圧電体磁器組成物の製造方法、並びに圧電セラミック電子部品 | |
JP5662888B2 (ja) | 多積層圧電セラミックス部品 | |
JP5543537B2 (ja) | 圧電素子 | |
WO2010050258A1 (ja) | 圧電磁器組成物、及び圧電セラミック電子部品 | |
JP2006188414A (ja) | 圧電磁器組成物、及び圧電セラミック電子部品 | |
JP4727458B2 (ja) | 圧電セラミックス用焼結助剤、bnt−bt系圧電セラミックス、積層型圧電デバイスおよびbnt−bt系圧電セラミックスの製造方法 | |
TW200839814A (en) | Dielectric ceramic composition and electronic device | |
JP2016050134A (ja) | 圧電組成物および圧電素子 | |
JP2013219250A (ja) | 圧電セラミック電子部品、及び該圧電セラミック電子部品の製造方法 | |
JP7156362B2 (ja) | 圧電アクチュエータ、及び、圧電アクチュエータの駆動方法 | |
JP2015222780A (ja) | 圧電セラミックス、その製造方法及び圧電体素子 | |
JP2007258301A (ja) | 積層型圧電素子及びその製造方法 | |
JP4202657B2 (ja) | 圧電磁器組成物と圧電デバイス | |
JP2006269813A (ja) | 圧電磁器の製造方法及び圧電素子 | |
JP2006265059A (ja) | 圧電材料及び積層型圧電素子の製造方法 | |
JP3971779B1 (ja) | 圧電磁器組成物 | |
JP5190894B2 (ja) | 圧電体又は誘電体磁器組成物並びに圧電体デバイス及び誘電体デバイス | |
JP7415696B2 (ja) | 圧電組成物および電子部品 | |
JP2018032725A (ja) | 圧電セラミックの駆動方法、及び圧電セラミック | |
JP5018602B2 (ja) | 圧電磁器組成物、並びにこれを用いた圧電磁器及び積層型圧電素子 | |
JP5035076B2 (ja) | 圧電磁器及びこれを用いた積層型圧電素子 | |
JP2003277142A (ja) | 圧電セラミックスおよび圧電アクチュエータ | |
JP2015070136A (ja) | 圧電セラミック電子部品、及び圧電セラミック電子部品の製造方法 | |
JP4711083B2 (ja) | 積層型圧電素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160318 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161013 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20161206 |