JP2013216551A - ガラス板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガラス板を製造するとき、成形体の溝部が移送管と接続する接続端部において前記溝部は、前記溝部の深さ方向に向かって段階的にあるいは連続的に溝幅が狭くなる溝幅狭小部分を有する。前記溝幅狭小部分における溝幅は、前記成形体の熔融ガラスが流れる方向において前記移送管から離れるに従って大きくなる。
【選択図】 図3
Description
長尺状の成形体では、成形体の上部に長手方向に延びる溝部が設けられており、この溝部の一端に熔融ガラスが供給される。この溝部は、熔融ガラスの供給側から長手方向の反対側に進むほど溝深さが浅くなっているため、熔融ガラスは、成形体の溝部からあふれ出し、成形体の両側の側壁を伝って下方に流下する。成形体の両側の側壁を下方に流下する熔融ガラスは成形体の下端で合流して1つに張り合わせられシートガラスとなる。
例えば、下記特許文献1の図1,図3には、流路断面形状が円形状の移送管と、流路断面形状が矩形形状の溝部を有する成形体が開示されている。この場合、円形形状の移送管から、成形体の溝部に熔融ガラスが供給されるとき、熔融ガラスの流路断面が段差を持って急激に拡大する。
ガラス原料を熔解して熔融ガラスをつくる工程と、
前記熔融ガラスを、移送管を通して成形体に供給する供給工程と、
前記成形体の溝部に前記熔融ガラスを流しつつオーバーフローダウンドロー法で前記熔融ガラスを成形して、シートガラスをつくる成形工程と、を含む。
前記成形体の前記溝部が前記移送管と接続する接続端部において前記溝部は、前記溝部の深さ方向に向かって段階的にあるいは連続的に溝幅が狭くなる溝幅狭小部分を有する。
前記溝幅狭小部分における溝幅は、前記成形体の熔融ガラスが流れる方向において前記移送管から離れるに従って大きくなる。
このように、前記溝部は接続端部において前記溝幅狭小部分を有するので、前記移送管から前記溝部へ、熔融ガラスが停留することなく滑らかに流れる。したがって、熔融ガラスの前記溝部における滞在時間を比較的一定範囲内に揃えて前記溝部から熔融ガラスを溢れ出させることができる。このため、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく、均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。
この場合、前記溝部の溝底面近傍を流れる熔融ガラスの流れの停留が生じ難い。このため、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく、均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。
この場合、前記溝部における熔融ガラスの流路断面は熔融ガラスの流れる方向に進むほど拡がって、前記溝幅狭小部分の溝幅は、前記溝幅一定部分の溝幅に徐々に近づくので、熔融ガラスは前記溝部を滑らかに流れ停留が生じ難い。このため、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく、板厚が一定の高品質なガラス板を製造することができる。
この場合、前記溝部の溝底面近傍を流れる熔融ガラスの流路断面の拡大の程度は従来に比べて小さくなり、熔融ガラスの流れの停留が生じ難い。このため、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく、板厚が一定の高品質なガラス板を製造することができる。
このようなガラスは、歪点が高いガラスであり、液相温度(失透温度)が高くなる傾向にある。この歪点が655℃以上であるガラスを用いた場合、成形工程における熔融ガラスの適正な粘度(例えば、40000poise以上)と、ガラスの液相粘度が近づくので失透し易くなる。特に、溶融ガラスが成形時に停留すると、成形体の表面から成形体の成分が溶出し、さらに失透し易くなる。上記製造方法では、前記成形体の前記溝部において熔融ガラスの流れを停留させ難いので、ガラスの失透を抑制することができる。
前記熔融ガラスの歪点が675℃以上のガラスであっても、前記ガラス板の製造方法に適用することができ、失透が生じ難い。また、前記熔融ガラスの歪点が680℃以上のガラスであっても、前記ガラス板の製造方法に適用することができ失透が生じ難い。さらに、前記熔融ガラスの歪点が690℃以上のガラスであっても、前記ガラス板の製造方法に適用することができ、失透が生じ難い。
前記熔融ガラスの液相粘度が50000poise以上であれば、前記ガラス板の製造方法に適用することで、より失透が生じ難くなり、さらに、前記熔融ガラスの液相粘度が60000poise以上であれば、前記ガラス板の製造方法に適用することで、さらに失透が生じ難くなり、高品質なガラスシートを製造することができる。
p−Si(低温ポリシリコン)TFT形成用あるいは酸化物半導体形成用のガラス板は、歪点が高い。歪点が高いと液相温度は高くなる傾向があり、液相粘度(液相温度における粘度)が低くなる傾向にある。このため、シートガラスの成形に必要な熔融ガラスの粘度(成形粘度)と、液相粘度との差が少なくなり、あるいは、成型粘度が液相粘度より大きくなる場合もあり、その結果ガラスが失透し易くなる。特に、成形体で溶融ガラスが停留すると、さらに失透しやすい。したがって、成形体の溝部において停留し難く滑らかに熔融ガラスを流すことができる上述の態様のガラス板の製造方法を、フラットパネルディスプレイ用ガラス板、特に、p−Si(低温ポリシリコン)TFT形成用あるいは酸化物半導体形成用のガラス板に適用しても、失透は生じ難くなる。
ガラス基板の製造方法は、熔解工程(ST1)と、清澄工程(ST2)と、均質化工程(ST3)と、供給工程(ST4)と、成形工程(ST5)と、徐冷工程(ST6)と、切断工程(ST7)と、を主に有する。この他に、研削工程、研磨工程、洗浄工程、検査工程、梱包工程等を有し、梱包工程で積層された複数のガラス基板は、納入先の業者に搬送される。
熔解槽の熔融ガラスの加熱は、熔融ガラス自身に電気が流れて自ら発熱し加熱する方法に加えて、バーナーによる火焔を補助的に与えてガラス原料を熔解することもできる。なお、ガラス原料には清澄剤が添加される。清澄剤として、SnO2,As2O3,Sb2O3等が知られているが、特に制限されない。しかし、環境負荷低減の点から、清澄剤としてSnO2(酸化錫)を用いることができる。
供給工程(ST4)では、攪拌槽から延びる配管を通して熔融ガラスが成形装置に供給される。
成形工程(ST5)では、熔融ガラスをシートガラスに成形し、シートガラスの流れを作る。成形は、オーバーフローダウンドロー法が用いられる。
徐冷工程(ST6)では、成形されて流れるシートガラスが所望の厚さになり、内部歪が生じないように、さらに、反りが生じないように冷却される。
切断工程(ST7)では、切断装置において、成形装置から供給されたシートガラスを所定の長さに切断することで、板状のガラス板を得る。切断されたガラス板はさらに、所定のサイズに切断され、目標サイズのガラス基板が作られる。この後、ガラス基板の端面の研削、研磨が行われ、ガラス基板の洗浄が行われ、さらに、気泡等の異常欠陥の有無が検査された後、検査合格品のガラス板が最終製品として梱包される。
図2に示す熔解装置101では、ガラス原料の投入がバケット101dを用いて行われる。清澄槽102では、熔融ガラスMGの温度を調整して、清澄剤の酸化還元反応を利用して熔融ガラスMGの清澄が行われる。さらに、攪拌槽103では、スターラ103aによって熔融ガラスMGが攪拌されて均質化される。成形装置200では、成形体210を用いたオーバーフローダウンドロー法により、熔融ガラスMGからシートガラスSGが成形される。
図3(a)は、成形体210とガラス供給管106との接続部分を示す分解斜視図である。図3(b)は、ガラス供給管106が溝部210aと接続するときの接続端部と溝部210aとの間の相対位置を示す正面図であり、(c)はその上面図である。
成形体210は、その上部に溝部210aが形成された一方向(図中X方向)に延びる長尺状の構造体である。溝部210aは、X方向に進むにつれて溝深さが浅くなっている。このため、溝部210aに供給された熔融ガラスMGは、溝部210aから溢れ出して、成形体210の両側に設けられた側壁210bを鉛直下方に流れる。両側の側壁210bを流下する熔融ガラスMGは、成形体210の鉛直下方に設けられた下方先端210cで合流し、1つに張り合わされてシートガラスSGとなる。
このような成形体210の溝部210aには、熔融ガラスMGが円滑に供給される(熔融ガラスMGの流れが停留し難い)ことが、失透や脈理を生じさせない点で好ましい。特に、液相温度が高く、液相粘度が成形工程時の熔融ガラスの粘度(成型粘度)に近づく、あるいは、液相粘度が成型粘度より小さくなるような失透し易いガラスでは、溝部210aにおける熔融ガラスMGの流れが停留することを避けなければならない。
図5(a),(b)は、上記実施形態と異なる溝部の形状を有する変形例を示す図である。図5(a)に示すように、溝部210aがガラス供給管106と接続する接続端における断面において、溝部210aは、溝部210aの図中上方に設けられる溝幅一定部分と、下方に設けられる溝幅狭小部分とを有する。溝幅狭小部分の断面形状は、半円弧形状であり、円形状の断面形状を有するガラス供給管本体106aに対応して曲面210fによって形成されている。また、図5(b)に示すように、溝部210aの曲面210fの領域は、ガラス供給管106(ガラス供給管本体106a)から遠ざかる程(X方向に進む程)、曲面210fの領域は徐々に狭くなっている。すなわち、溝幅狭小部分における溝幅は、成形体210の熔融ガラスMGが流れる方向においてガラス供給管106から離れるに従って大きくなっている。
また、溝部210aの曲面210fの領域は、ガラス供給管106(ガラス供給管本体106a)から遠ざかる程(X方向に進む程)、曲面210fの領域は狭くなっている。このため、溝部210aを流れる熔融ガラスMGの流路断面は徐々に拡がって溝幅一定部分の流路断面になるので、熔融ガラスMGの流れの停留が生じ難い。このため、本実施形態は、ガラスの失透や異質素地が生じ難く、脈理がなく、均一な板厚の高品質なガラス板を製造することができる。
本実施形態のガラス板をフラットパネルディスプレイ用ガラス板に用いる場合、以下のガラス組成を有するようにガラス原料を混合するものが例示される。
SiO2:50〜70質量%、
Al2O3:0〜25質量%、
B2O3:1〜15質量%、
MgO:0〜10質量%、
CaO:0〜20質量%、
SrO:0〜20質量%、
BaO:0〜10質量%、
RO:5〜30質量%(ただし、RはMg、Ca、Sr及びBaの合量)、
を含有する無アルカリガラス。
なお、本実施形態では無アルカリガラスとしたが、ガラス基板はアルカリ金属を微量含んだアルカリ微量含有ガラスであってもよい。アルカリ金属を含有させる場合、R’2Oの合計が0.10質量%以上0.5質量%以下、好ましくは0.20質量%以上0.5質量%以下(ただし、R’はLi、Na及びKから選ばれる少なくとも1種であり、ガラス基板が含有するものである)含むことが好ましい。勿論、R’2Oの合計が0.10質量%より低くてもよい。
また、本発明のガラス基板の製造方法を適用する場合は、ガラス組成物が、上記各成分に加えて、SnO2:0.01〜1質量%(好ましくは0.01〜0.5質量%)、Fe2O3:0〜0.2質量%(好ましくは0.01〜0.08質量%)を含有し、環境負荷を考慮して、As2O3、Sb2O3及びPbOを実質的に含有しないようにガラス原料を調製してもよい。
また、液相粘度が45000poise以上のガラス、さらには、液相粘度が50000poise以上のガラス、特に、液相粘度が60000poise以上のガラスを用いたガラス板にも本発明のガラス板の製造法を適用でき、失透は生じ難い。
SiO2 52〜78質量%、
Al2O3 3〜25質量%、
B2O3 3〜15質量%、
RO(但し、RはMg、Ca,Sr及びBaから選ばれる、ガラス板が含有する全ての成分であって、少なくとも1種である) 3〜20質量%、
を含み、
質量比(SiO2+Al2O3)/B2O3は7〜20の範囲にある無アルカリガラスまたはアルカリ微量含有ガラスであることが、好ましい。
さらに、歪点をより上昇するために、質量比(SiO2+Al2O3)/ROは7.5以上であることが好ましい。さらに、歪点を上昇させるために、β−OH値を0.1〜0.3mm-1とすることが好ましい。さらに、高い歪点を実現しつつ液相粘度の低下を防止するためにCaO/ROは0.65以上とすることが好ましい。環境負荷を考慮して、As2O3、Sb2O3及びPbOを実質的に含有しないようにガラス原料を調製してもよい。
101 熔解槽
101d バケット
102 清澄槽
103 攪拌槽
103a スターラ
104,105,106,106’ ガラス供給管
106a ガラス供給管本体
106b 管拡張部
200 成形装置
210 成形体
210a,210a’ 溝部
210b 側壁
210c 下方先端
210d 溝底面
210e 傾斜面
210f 曲面
300 切断装置
Claims (7)
- ガラス板を製造するガラス板の製造方法であって、
ガラス原料を熔解して熔融ガラスをつくる工程と、
前記熔融ガラスを、移送管を通して成形体に供給する供給工程と、
前記成形体の溝部に前記熔融ガラスを流しつつオーバーフローダウンドロー法で前記熔融ガラスを成形して、シートガラスをつくる成形工程と、を含み、
前記成形体の前記溝部が前記移送管と接続する接続端部において前記溝部は、前記溝部の深さ方向に向かって段階的にあるいは連続的に溝幅が狭くなる溝幅狭小部分を有し、
前記溝幅狭小部分における溝幅は、前記成形体の熔融ガラスが流れる方向において前記移送管から離れるに従って大きくなる、ことを特徴とするガラス板の製造方法。 - 前記成形体の前記溝部は、前記溝部の深さ方向の位置に関わらず溝幅が一定の溝幅一定部分を有し、前記溝幅狭小部分は、前記溝幅一定部分の前記溝部の溝深さ方向の溝底面側に設けられている、請求項1に記載のガラス板の製造方法。
- 前記溝幅狭小部分は、平面状の溝底面と、前記溝底面に対して傾斜した傾斜面とで形成され、前記傾斜面の領域は、前記熔融ガラスが流れる方向において前記移送管から離れるに従って小さくなる、請求項2に記載のガラス板の製造方法。
- 前記移送管の断面形状は、円形状であり、
前記溝幅狭小部分の前記溝幅は、前記円形状に対応して、前記溝部の底面に向かって段階的にあるいは連続的に溝幅が狭くなる、請求項1〜3のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。 - 前記熔融ガラスの歪点は655℃以上である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。
- 前記熔融ガラスの液相粘度が45000poise以上である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。
- 前記ガラス板は、フラットパネルディスプレイ用ガラス板である、請求項1〜6のいずれか1項に記載のガラス板の製造方法。
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