KR20150112895A - 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치에 관한 것이다. 성형체를 사용한 용융 유리의 성형 시, 용융 유리에 실투 및 이질의 용융 유리가 발생하는 일이 없고, 고품질의 유리판을 제조할 수 있는 유리판의 제조 방법 등을 제공한다.
성형체에 용융 유리를 흘려 유리판을 제조하는 유리판의 제조 방법으로서, 유리 원료를 용해하여 용융 유리를 생성하는 용해 공정과, 용융 유리를, 이송관을 통해 성형체에 공급하는 공급 공정과, 성형체의 홈부에 용융 유리를 흘리면서 다운드로우법에 의해 용융 유리로부터 유리판을 성형하는 성형 공정을 구비하고, 공급 공정에 있어서, 용융 유리를 이송관으로부터 성형체의 홈부에 공급할 때, 상류보다 하류의 정압이 높은 역압력 구배의 구간을 특정하고, 역압력 구배의 구간의 상류측 단부인 박리점으로부터, 역압력 구배의 구간의 하류측 단부인 재부착점까지의 범위에 있어서, 용융 유리를 가열하여, 박리점의 정압과 재부착점의 정압의 차를, 기준값 이하로 되도록 제어한다.

Description

유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치{METHOD AND APPARATUS FOR MAKING GLASS SHEET}
본 발명은, 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치에 관한 것이다.
종래부터, 유리판을 제조할 때, 오버플로우 다운드로우법을 이용하여 유리판을 성형하는 것이 행해지고 있다. 오버플로우 다운드로우법에서는, 유리 원료를 용해조에서 용융하여 용융 유리를 만들고, 이 용융 유리에 청징 처리, 균질화 처리를 실시한 후, 용융 유리는 이송관을 통해 장척 형상의 성형체에 공급된다. 장척 형상의 성형체에서는, 성형체의 상부에 길이 방향으로 연장되는 홈부가 형성되어 있고, 이 홈부의 일단부에 용융 유리가 공급된다. 이 홈부는, 용융 유리의 공급측으로부터 길이 방향의 반대측으로 진행할수록 홈 깊이가 얕아지고 있으므로, 용융 유리는, 성형체의 홈부로부터 넘쳐 나와, 성형체의 양측의 측벽을 타고 하방으로 유하한다. 성형체의 양측의 측벽을 하방으로 유하하는 용융 유리는 성형체의 하단부에서 합류하여 하나로 맞대어져 유리판(시트 유리)으로 된다.
그런데, 용융 유리를 성형체에 공급하는 이송관의 유로 단면 형상은 일반적으로 원 형상이며, 성형체의 홈부의 유로 단면 형상은, 직사각형 혹은 다각형 형상이다. 이송관의 유로 단면 형상을 원 형상으로 하는 것은, 이송관 내에 고온의 용융 유리를 충전해도 굴곡되는 부분이 없어, 강도를 유지할 수 있는 것이 바람직하기 때문이다. 한편, 성형체의 홈부의 유로 단면 형상을 직사각형 혹은 다각형 형상으로 하는 것은, 홈부의 가공의 용이성 때문이다. 예를 들어, 특허문헌 1의 도 1, 도 3에는, 유로 단면 형상이 원 형상인 이송관과, 유로 단면 형상이 직사각형 형상인 홈부를 갖는 성형체가 개시되어 있다. 이 경우, 원 형상의 이송관으로부터, 성형체의 홈부에 용융 유리가 공급될 때, 용융 유리의 유로 단면이 단차를 갖고 급격하게 확대된다.
일본 특허 공표 제2008-501609호 공보
이와 같이, 일반적으로, 용융 유리를 성형체에 공급하는 이송관의 유로 단면 형상은 원 형상이며, 성형체의 홈부의 유로 단면 형상은 직사각형 혹은 다각형 형상이므로, 이송관으로부터, 성형체의 홈부에 용융 유리가 공급될 때, 용융 유리의 유로 단면이 단차를 갖고 급격하게 확대된다. 이로 인해, 용융 유리의 유로의 급격한 확대에 의해, 성형체의 홈부 내에서 용융 유리의 흐름이 부분적으로 정류(체류)하기 쉬워지는 경우가 있다. 용융 유리의 흐름의 정류는, 용융 유리의 실투(失透)로 이어지기 쉽다. 또한, 용융 유리의 흐름의 정류는 이질(異質) 소지(이질의 용융 유리)를 발생시키기 쉽고, 맥리의 발생으로도 이어지기 쉽다. 보다 상세하게 설명하면, 용융 유리의 흐름이 정류하면, 다른 부분의 용융 유리에 비해 성형체와 접촉하는 시간이 길어지므로, 성형체의 표면으로부터 성형체의 성분이 용출되어, 용융 유리의 유리 조성이 부분적으로 변화되기 쉽다. 또한, 성형체의 온도의 영향을 받아, 용융 유리의 점도가 부분적으로 변화되기 쉽다. 즉, 용융 유리 중에 이질 소지(이질의 용융 유리)가 발생하기 쉬워지고, 이 결과, 최종 제품의 유리판에, 맥리가 발생하기 쉬워지고, 또한 유리판의 두께가 불균일해지기 쉽다.
또한, 플랫 패널 디스플레이용 유리판에는, TFT(Thin Film Transistor) 등의 반도체 소자가, 유리판 상에 형성된다. 최근, 디스플레이 표시의 가일층의 고정밀화를 실현하기 위해, 종래부터 사용되어 온 α-Si·TFT 대신에, p-Si(저온 폴리실리콘)·TFT나 산화물 반도체를 유리판에 형성하는 것이 요구되고 있다. p-Si·TFT나 산화물 반도체의 형성 공정에서는, α-Si·TFT의 형성 공정보다도 고온의 열처리 공정이 존재한다. 그로 인해, p-Si(저온 폴리실리콘) TFT나 산화물 반도체가 형성되는 유리판에는, 열수축률이 작은 것이 요구되고 있다. 열수축률을 작게 하기 위해서는, 유리의 스트레인점을 높게 하는 것이 바람직하지만, 스트레인점이 높은 유리는, 액상 온도가 높아지는 경향이 있고, 액상 점도(액상 온도에 있어서의 점도)가 낮아지는 경향이 있다. 이로 인해, 유리판(시트 유리)의 성형에 필요한 용융 유리의 점도(성형 점도)와, 액상 점도의 차가 적어지거나, 혹은 성형 점도가 액상 점도보다 커지는 경우도 있고, 그 결과 유리가 실투하기 쉬워진다. 따라서, p-Si(저온 폴리실리콘)·TFT 형성용 혹은 산화물 반도체 형성용 등의 특히 액상 점도가 낮은 유리로 시트 유리를 제조하는 경우, 성형체의 표면으로부터 성형체의 성분이 용출되어, 액상 점도의 상승(실투의 생성)의 우려가 있는 성형체의 홈부 내에서 용융 유리의 일부의 흐름이 정류하기 쉬워지는 것은 최대한 피해야 한다.
따라서, 본 발명은 종래의 문제점을 해결하기 위해, 성형체를 사용한 용융 유리의 성형 시, 성형체의 홈부를 통과하는 용융 유리의 흐름이 정류하기 어려워, 용융 유리에 실투 및 이질의 용융 유리가 발생하는 일이 없고, 맥리가 없고, 균일한 판 두께의 고품질의 유리판을 제조할 수 있는 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 형태는, 성형체에 용융 유리를 흘려 유리판을 제조하는 유리판의 제조 방법으로서,
유리 원료를 용해하여 용융 유리를 생성하는 용해 공정과,
상기 용융 유리를, 이송관을 통해 상기 성형체에 공급하는 공급 공정과,
상기 성형체의 홈부에 상기 용융 유리를 흘리면서 다운드로우법에 의해 상기 용융 유리로부터 유리판을 성형하는 성형 공정을 구비하고,
상기 공급 공정에 있어서, 상기 용융 유리를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 홈부에 공급할 때, 상류보다 하류의 정압이 높은 역압력 구배의 구간을 특정하고, 상기 역압력 구배의 구간의 상류측 단부인 박리점으로부터, 상기 역압력 구배의 구간의 하류측 단부인 재부착점까지의 범위에 있어서, 상기 용융 유리를 가열하여, 상기 박리점의 정압과 상기 재부착점의 정압의 차를, 기준값 이하로 되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
상기 기준값은, 500㎩인 것이 바람직하다.
상기 박리점으로부터 상기 재부착점에 있는 용융 유리의 점성을, 5450㎩·s 이하로 하는 것이 바람직하다.
상기 박리점으로부터 상기 재부착점까지의 거리를, 100㎜ 이하로 하는 것이 바람직하다.
본 발명의 다른 형태는, 성형체에 용융 유리를 흘려 유리판을 제조하는 유리판의 제조 장치로서,
유리 원료를 용해하여 용융 유리를 생성하는 용해 장치와,
상기 용융 유리를 통해 상기 성형체에 공급하는 이송관과,
상기 이송관을 가열하여, 상기 이송관을 흐르는 용융 유리를 가열하는 가열 장치와,
상기 이송관 내의 압력을 측정하는 측정 장치와,
상기 성형체의 홈부에 상기 용융 유리를 흘리면서 다운드로우법에 의해 상기 용융 유리로부터 유리판을 성형하는 성형 장치를 구비하고,
상기 측정 장치는, 상기 이송관에 있어서 상류보다 하류의 정압이 높은 역압력 구배의 구간을 특정하고,
상기 가열 장치는, 상기 역압력 구배의 구간의 상류측 단부인 박리점으로부터, 상기 역압력 구배의 구간의 하류측 단부인 재부착점까지의 범위에 있어서, 상기 용융 유리를 가열하여, 상기 역압력 구배를, 기준값 이하로 되도록 제어하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 성형체를 사용한 용융 유리의 성형 시, 성형체의 홈부를 통과하는 용융 유리의 흐름이 정류하기 어려워, 용융 유리에 실투 및 이질의 용융 유리가 발생하는 일이 없고, 맥리가 없고, 균일한 판 두께의 고품질의 유리판을 제조할 수 있다.
도 1은 본 실시 형태의 유리판의 제조 방법의 공정의 일례를 나타내는 도면.
도 2는 본 실시 형태에 있어서의 용해 공정∼절단 공정을 행하는 장치의 일례를 모식적으로 나타내는 도면.
도 3의 (a)는 본 실시 형태에 있어서의 성형체와 유리 공급관의 접속 부분을 도시하는 분해 사시도, (b)는 본 실시 형태의 관 확장부가 홈부와 접속할 때의 접속 영역과 홈부 사이의 상대 위치를 도시하는 도면.
도 4는 본 실시 형태에 있어서의 유리 공급관 및 성형체의 접속 위치 주변을 상방에서 보았을 때의 용융 유리의 흐름을 설명하는 도면.
도 5는 본 실시 형태에 있어서의 유리 공급관 및 성형체의 접속 위치 주변을 측면에서 보았을 때의 용융 유리의 흐름을 설명하는 도면.
도 6은 용융 유리의 유선을 모식적으로 도시한 도면.
도 7의 (a), (b)는 성형체의 홈부와 유리 공급관의 종래의 접속 상태를 설명하는 도면.
이하, 본 실시 형태의 유리판의 제조 방법 및 유리판의 제조 장치에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시 형태의 유리판의 제조 방법의 공정의 일례를 나타내는 도면이다.
(유리판의 제조 방법의 전체 개요)
유리판의 제조 방법은, 용해 공정(ST1)과, 청징 공정(ST2)과, 균질화 공정(ST3)과, 공급 공정(ST4)과, 성형 공정(ST5)과, 서냉 공정(ST6)과, 절단 공정(ST7)을 주로 갖는다. 이 밖에, 연삭 공정, 연마 공정, 세정 공정, 검사 공정, 포장 공정 등을 갖고, 포장 공정에서 적층된 복수의 유리판은, 납입처의 업자에게 반송된다.
용해 공정(ST1)은 용해조에서 행해진다. 용해조에서는, 유리 원료를, 용해조에 축적된 용융 유리의 액면에 투입하고, 가열함으로써 용융 유리를 만든다. 또한, 용해조의 내측 측벽의 1개의 저부에 형성된 유출구로부터 하류 공정을 향해 용융 유리를 흘린다.
용해조의 용융 유리의 가열은, 용융 유리 자신에 전기가 흘러 스스로 발열하여 가열하는 방법에 더하여, 버너에 의한 화염을 보조적으로 부여하여 유리 원료를 용해할 수도 있다. 또한, 유리 원료에는 청징제가 첨가된다. 청징제로서, SnO2, As2O3, Sb2O3 등이 알려져 있지만, 특별히 제한되지 않는다. 그러나, 환경 부하 저감의 관점에서, 청징제로서 SnO2(산화주석)를 사용할 수 있다.
청징 공정(ST2)은, 적어도 청징조에 있어서 행해진다. 청징 공정에서는, 청징조 내의 용융 유리가 승온됨으로써, 용융 유리 중에 포함되는 O2, CO2 혹은 SO2를 포함한 기포가, 청징제의 환원 반응에 의해 발생한 O2를 흡수하여 성장하고, 용융 유리의 액면으로 기포는 부상하여 방출된다. 또한, 청징 공정에서는, 용융 유리의 온도를 저하시킴으로써, 청징제의 환원 반응에 의해 얻어진 환원 물질이 산화 반응을 한다. 이에 의해, 용융 유리에 잔존하는 기포 중의 O2 등의 가스 성분이 용융 유리 중에 재흡수되어, 기포가 소멸된다. 청징제에 의한 산화 반응 및 환원 반응은, 용융 유리의 온도를 제어함으로써 행해진다. 또한, 청징 공정은, 감압 분위기의 공간을 청징조에 만들고, 용융 유리에 존재하는 기포를 감압 분위기에서 성장시켜 탈포시키는 감압 탈포 방식을 이용할 수도 있다. 또한, 청징 공정에서는, 예를 들어, 산화주석을 청징제로서 사용한 청징 방법을 이용한다.
균질화 공정(ST3)에서는, 청징조로부터 연장되는 배관을 통해 공급된 교반조 내의 용융 유리를, 교반기를 사용하여 교반함으로써, 유리 성분의 균질화를 행한다. 이에 의해, 맥리 등의 원인인 유리의 조성 불균일을 저감시킬 수 있다.
공급 공정(ST4)에서는, 교반조로부터 연장되는 배관을 통해 용융 유리가 성형 장치에 공급된다.
성형 장치에서는, 성형 공정(ST5) 및 서냉 공정(ST6)이 행해진다.
성형 공정(ST5)에서는, 용융 유리를 시트 유리(유리판)로 성형하여, 시트 유리의 흐름을 만든다. 성형은, 오버플로우 다운드로우법이 이용된다.
서냉 공정(ST6)에서는, 성형되어 흐르는 시트 유리가 원하는 두께로 되어, 내부 변형이 발생하지 않도록, 또한 휨이 발생하지 않도록 냉각된다.
절단 공정(ST7)에서는, 절단 장치에 있어서, 성형 장치로부터 공급된 시트 유리를 소정의 길이로 절단함으로써, 판상의 유리판을 얻는다. 절단된 유리판은 다시 소정의 크기로 절단되어, 목표 사이즈의 유리판이 만들어진다. 이후, 유리판의 단부면의 연삭, 연마가 행해지고, 유리판의 세정이 행해지고, 또한 기포나 맥리 등의 이상 결함의 유무가 검사된 후, 검사 합격품의 유리판이 최종 제품으로서 포장된다.
도 2는 본 실시 형태에 있어서의 용해 공정(ST1)∼절단 공정(ST7)을 행하는 유리판의 제조 장치의 일례를 모식적으로 나타내는 도면이다. 당해 장치는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 주로 용해 장치(100)와, 성형 장치(200)와, 절단 장치(300)를 갖는다. 용해 장치(100)는, 용해조(101)와, 청징조(102)와, 교반조(103)와, 유리 공급관(104, 105, 106)을 갖는다.
도 2에 도시하는 용해 장치(101)에서는, 유리 원료의 투입이 버킷(101d)을 사용하여 행해진다. 청징조(102)에서는, 용융 유리(MG)의 온도를 조정하여, 청징제의 산화 환원 반응을 이용하여 용융 유리(MG)의 청징이 행해진다. 또한, 교반조(103)에서는, 스터러(stirrer)(103a)에 의해 용융 유리(MG)가 교반되어 균질화된다. 성형 장치(200)에서는, 성형체(210)를 사용한 오버플로우 다운드로우법에 의해, 용융 유리(MG)로부터 시트 유리(SG)가 성형된다.
(유리 공급관과 성형체의 접속)
도 3의 (a)는 성형체(210)와 유리 공급관(106)의 접속 부분을 도시하는 분해 사시도이고, 도 3의 (b)는 관 확장부(106b)의 개구 단부가 홈부(210a)의 개구 단부와 접속할 때의 접속 영역(Z1)과 홈부(210a) 사이의 상대 위치를 도시하는 도면이다.
성형체(210)는, 그 상부에 홈부(210a)가 형성된 일방향(도면 중 X 방향)으로 연장되는 장척 형상의 구조체이다. 홈부(210a)는, X 방향으로 진행됨에 따라 홈 깊이가 얕아지고 있다. 이로 인해, 홈부(210a)에 공급된 용융 유리(MG)는, 홈부(210a)로부터 넘쳐 나와, 성형체(210)의 양측에 설치된 측벽(210b)을 연직 하방으로 흐른다. 양측의 측벽(210b)을 유하하는 용융 유리(MG)는, 성형체(210)의 연직 하방에 설치된 하방 선단(210c)에서 합류하고, 하나로 맞대어져 시트 유리(유리판)(SG)로 된다. 이러한 성형체(210)의 홈부(210a)에는, 용융 유리(MG)가 원활하게 공급되는[용융 유리(MG)의 흐름이 정류(체류)하기 어려운] 것이, 실투나 맥리를 발생시키지 않는 점에서 바람직하다. 특히, 액상 온도가 높고, 액상 점도가 성형 공정 시의 용융 유리의 점도(성형 점도)에 근접하거나, 혹은, 액상 점도가 성형 점도보다 작아지는 것과 같은 실투하기 쉬운 유리에서는, 유리 공급관(106)으로부터 홈부(210a)에 공급되는 용융 유리(MG)의 흐름이 정류하는 것을 피해야 한다.
성형체(210)의 홈부(210a)의 유로 단면은 직사각형 형상을 이루고 있다. 한편, 성형체(210)의 홈부(210a)와 접속하는 유리 공급관(106)은 이송관이며, 일정한 유로 단면을 갖는 유리 공급관 본체(106a)와, 유리 공급관 본체(106a)의 유로 단면이 서서히 넓어지는 테이퍼 형상을 포함하는 관 확장부(106b)를 포함한다. 관 확장부(106b)의 한쪽의 단부는, 유리 공급관 본체(106a)와 접속되고, 관 확장부(106b)의 다른 쪽의 단부는, 홈부(210a)의 개구 단부와 접속되어 있다. 유리 공급관 본체(106a)의 유로 단면은 원 형상을 이루고, 관 확장부(106b)의 유로 단면은, 원 형상으로부터 직사각 형상으로 서서히 변화되도록 구성되어 있다. 또한, 유리 공급관 본체(106a)의 유로 단면 형상인 원의 직경은, 홈부(210a)의 홈 폭에 비해 작다. 용융 유리(MG)를 유리 공급관 본체(106a)로부터, 관 확장부(106b)를 통해 성형체(210)의 홈부(210a)에 공급할 때, 유리 공급관(106)을 흐르는 용융 유리(MG)의 유로 단면의 가로 폭, 세로 폭(단면적)은, 유리 공급관(106)의 개구 단부와 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구 단부의 접속 위치에 근접함에 따라 서서히 넓어져, 접속 위치에서 홈부(210a)의 홈 폭으로 되어 있다. 또한, 이 접속 위치에 있어서, 유리 공급관(106)의 개구 단부의 테두리는, 홈부(210a)의 개구 단부에 있어서의 적어도 저면의 테두리 형상[도 3의 (a)의 경우 직선 형상]에 일치하는 형상을 갖고, 유리 공급관(106)[관 확장부(106b)]의 벽면은 홈부(210a)의 저면과 단차 없이 접속되어 있다. 여기서, 용융 유리(MG)의 유로 단면의 가로 폭이라 함은, 홈부(210a)의 홈 폭 방향에 있어서의 폭을 말하고, 용융 유리(MG)의 유로 단면의 세로 폭이라 함은, 용융 유리(MG)가 홈부(210a)로부터 넘쳐 나오는 연직 방향에 있어서의 폭을 말한다.
구체적으로는, 유리 공급관 본체(106a)와 접속하는 관 확장부(106b)의 단부에 있어서, 관 확장부(106b)의 단면 형상은, 원 형상이며, 관 확장부(106b)의 원 형상의 저부(107b)와 유리 공급관 본체(106a)의 저부는 동일 위치(동일 높이)에 있고, 저부끼리가 단차 없이 접속되어 있다. 관 확장부(106b)의 유로 단면은 원 형상으로부터 직사각 형상으로 변화되지만, 이때의 직사각 형상은 저부와 대향하는 헤드 정상부에 있어서, 가로 폭 및 세로 폭이 홈부(210a)에 근접함에 따라 넓어진다. 이로 인해, 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)를 포함하는 상부의 공간이 넓어지고 있다. 즉, 관 확장부(106b)의 단면 형상은, 유리 공급관 본체(106a)의 원 형상의 유로 단면 형상으로부터, 그 단면 형상의 일부가 홈부(210a)의 저면의 테두리 형상에 일치하는 형상으로 변화된다. 여기서, 도 3의 (b)에 나타내는 예에서는, 홈부(210a)의 저면의 테두리 형상은 직선 형상이며, 관 확장부(106b)의 단면 형상은, 홈부(210a)와 접속하는 단부에 있어서, 직선 형상으로 되어 있다. 또한, 홈부(210a)의 저면이라 함은, 홈부(210a)의 단면 형상이 직사각 형상인 경우의 홈 저부에 닿는 평면의 부분 외에, 일정한 홈 폭으로 깊이 방향으로 연장되는 부분보다 하방이며, 홈 폭이 단계적으로 혹은 연속적으로 좁아져 홈이 종료되는 부분의 면도 포함된다.
또한, 홈부(210a)와 접속하는 관 확장부(106b)의 개구 단부에 있어서의 단면 형상은, 홈부(210a)의 개구 단부에 있어서의 측면(측벽면)의 테두리 형상(직선 형상)의 일부에 일치하는 형상을 갖고 있다.
또한, 유리 공급관(106)에 있어서의 용융 유리(MG)의 유로 단면의 폭 혹은 단면적의 변화는, 연속적으로 혹은 단계적으로 행해져도 되지만, 연속적인 폭 혹은 단면적의 변화가, 용융 유리(MG)의 흐름을 가능한 한 정류시키지 않는 점에서 바람직하다.
또한, 성형체(210)의 홈부(210a)와 유리 공급관(106)[관 확장부(106b)]의 접속에 대해서는, 예를 들어 일본 특허 출원 공개 제2013-234107호 공보에 기재되는 내용을 포함하고, 당해 내용이 참작된다.
상술한 바와 같이, 관 확장부(106b)는, 홈부(210a)와 접속할 때, 홈부(210a)의 홈 폭과 동일한 폭을 갖고 홈부(210a)와 접속된다. 도 3의 (b)에 도시하는 바와 같이, 관 확장부(106b)의 개구 단부의 테두리는, 홈부(210a)의 저면을 포함하는 홈 하부의 테두리와 일치하도록 관 확장부(106b)는 설치된다. 이에 의해, 관 확장부(106b)로부터 홈부(210a)로 유입되는 용융 유리(MG)는, 관 확장부(106b)로부터 홈(210a)으로 원활하게 흐르므로, 용융 유리(MG)의 흐름은 정류하기 어려워진다. 만일 관 확장부(106b)가 없는 경우, 유리 공급관 본체(106a)로부터 홈부(210a)로 진행할 때, 유로 단면이 급확대되므로, 용융 유리(MG)의 흐름의 정류가 발생하는 경우가 있다. 이 경우, 용융 유리(MG)는 특히 저부, 헤드 정상부에 정류하기 쉬워, 실투의 원인, 이질 소지(이질의 용융 유리)의 생성의 원인으로 되기 쉽다. 이로 인해, 유리 공급관(106)의 개구부의 테두리, 즉, 관 확장부(106b)의, 홈부(210a)와 접속하는 부분은, 홈부(210a)의 저면을 포함하는 홈 하부의 테두리의 형상과 일치하도록 관 확장부(106b)가 설치된다.
또한, 도 3의 (b)에 도시하는 바와 같이, 성형체(210)의 홈부(210a)에는, 용융 유리(MG)가 홈부(210a)의 저면을 포함하는 홈 하부로부터 공급되고, 접속 위치에 있어서, 홈부(210a) 중 홈 하부의 상방에 위치하는 홈 상부는, 도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이 판상 부재를 이용하여 폐색되어 있다. 이로 인해, 용융 유리(MG)는 홈부(210a)의 홈 하부로부터 공급되고, 또한 저면에 있어서 용융 유리(MG)가 정류하지 않고 원활하게 흐르므로 홈부(210a)로부터 용융 유리(MG)는 원활하게 넘쳐 나온다.
도 4는 유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b) 및 성형체(210)의 접속 위치 주변을 상방에서 보았을 때의 용융 유리(MG)의 흐름을 설명하는 도면이다. 도 4에 도시하는 바와 같이, 용융 유리(MG)를 유리 공급관(106)으로부터 성형체(210)에 공급할 때, 유리 공급관(106)을 흐르는 용융 유리(MG)의 유로 단면의 폭이, 성형체(210)에 근접함에 따라 확장되고 있다. 관 확장부(106b)의 유로 단면의 폭은, 유리 공급관 본체(106a)의 유로 단면의 폭 W1로부터 성형체(210)의 홈부(210a)의 유로 단면의 폭 W2를 향해 서서히 확장되고 있다. 여기서, 관 확장부(106b)의 유로 단면의 가로 폭 및 세로 폭이 확장되는 부분이 유리 공급관 본체(106a) 및 홈부(201a)와 접속하는 부분, 즉, 유리 공급관 본체(106a)와 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)의 접합부, 관 확장부(106b)와 헤드 정상부(108)의 높이에 대응하는 홈부(210a)의 헤드 정상 대응부(211a)(도 5 참조)의 접합부에서는, 용융 유리(MG)의 흐름이 정류하기 쉽다. 용융 유리(MG)의 유속은, 유리 공급관(106)의 직경 방향의 중심 부근이 가장 빠르고, 유리 공급관(106)의 외주 부근, 예를 들어 헤드 정상부 부근, 저부 부근에서는 느려진다. 유리 공급관(106)의 유로 단면이 급확대되면, 유로 단면의 급확대 이후를 흐르는 용융 유리(MG)의 유속은, 이 확대 전과 비교하여 급격하게 저하된다. 유로 단면의 폭(관로, 단면적)이 급확대되면, 유체의 점성보다도 유체의 관성의 영향이 강하게 작용하고, 상류로부터의 연장상에서는 유속이 빠르지만, 그곳으로부터 이격되면 유속은 느려져, 흐름의 정류가 발생하기 쉬워진다. 여기서, 유체의 관성이라 함은, 그때까지 흐르고 있었던 속도(속도·흐름 방향)를 유지하려고 하는 성질을 말하며, 유체의 점성이라 함은, 점성 응력에 기인하는 압력 손실의 원인이고, 유체는 압력 손실을 작게 하려고 하여, 속도 구배를 작게 하려고 하는, 또한 그 결과, 흐름이 관로의 단면 가득히 확대되는 성질을 말한다. 관로가 완만하게 확대되면, 유체의 관성보다도 유체의 점성의 영향이 강해지고, 흐름은 관로의 단면 가득히 확대되려고 하여, 저류는 발생하기 어렵다. 특히, 용융 유리(MG)의 온도를 낮추어 가는 공급 공정(ST4)에 있어서는, 용융 유리(MG)의 유속이 느리면, 그 부분에서의 상류로부터의 용융 유리(MG)의 반입 현열이 저하되어, 온도가 내려간다. 온도가 내려가면 용융 유리(MG)의 점성이 상승하므로, 유속이 더욱 낮아진다. 이 악순환을 방지하기 위해서는, 관로 설계에 주의를 기울여, 유속이 느린 저류점을 만들지 않는 것이 중요하다. 용융 유리(MG)의 유속이 저하된 부근에, 정류, 저류가 발생하면, 성형체(210)로 성형하는 시트 유리(유리판)에, 변형, 판 두께 편차, 맥리 등이 발생하는 원인이 된다. 예를 들어, SiO2는 가벼워, 유리 공급관(106)의 상부에 저류되기 쉽고, ZrO2는 무거워, 유리 공급관(106)의 하부(저부)에 저류되기 쉽다. 유리 공급관(106) 내에 있어서, 용융 유리(MG) 중에 이들과 같은 성분의 불균일성이 발생하여, 맥리의 원인이 된다. 유리 공급관(106)에서의 유로 단면의 급격 변화를 방지하기 위해, 예를 들어 폭의 비율 W2/W1, W4/W3을, 1.1∼2로 하는 것이 바람직하고, 1.2∼1.8로 하는 것이 보다 바람직하다. 이에 의해, 용융 유리(MG)는, 체류가 억제되고, 원활하게 성형체(210)의 홈부(210a)로 유입된다. 또한, 관 확장부(106b)의 길이는, 폭의 비율에 따라 임의로 변경할 수 있지만, 예를 들어 0.1m∼2m가 바람직하고, 0.1m∼1m가 보다 바람직하다.
도 5는 유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b) 및 성형체(210)의 접속 위치 주변을 측면에서 보았을 때의 용융 유리(MG)의 흐름을 설명하는 도면이다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b) 및 성형체(210)의 저면은, 동일 위치(동일 높이)에 있고, 저면끼리가 단차 없이 접속되어 있으므로, 용융 유리(MG)의 정류는 발생하기 어렵다. 이에 반해, 유리 공급관 본체(106a)와 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)의 접합부에서는, 유로 단면의 세로 폭이 넓어지므로, 용융 유리(MG)의 흐름이 정류하기 쉽다. 이로 인해, 헤드 정상부(108b)의 접합부에 있어서, 유로 단면의 세로 폭이 넓어지는 경우라도, 정류를 방지할 필요가 있다. 본 실시 형태에서는, 관 확장부(106b)의 유로 단면의 세로 폭은, 폭 W3으로부터 폭 W4로 서서히 확장되고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 박리점으로부터 재부착점의 사이에, 가열 장치(212)를 구비한다. 박리점, 재부착점에 대해서는 후술한다. 가열 장치(212)는, 예를 들어, 저항 가열, 유전 가열, 마이크로파 가열에 의해 발열하는 시즈 히터, 카트리지 히터, 세라믹 히터를 포함하고, 용융 유리(MG)를 가열함으로써, 용융 유리(MG)의 정류를 억제한다. 가열 장치(212)의 설치 위치는, 박리점, 재부착점을 흐르는 용융 유리(MG)를 가열할 수 있는 위치라면 임의이다. 또한, 통전 가열에 의해, 박리점, 재부착점을 흐르는 용융 유리(MG)를 가열할 수도 있다.
(용융 유리의 가열)
용융 유리(MG)의 흐름의 정류는, 유로 단면이 확대됨으로써 발생하는 경우가 있지만, 정류가 발생하기 쉬운 유리 공급관(106)의 직경 방향의 외주 부근(예를 들어, 헤드 정상부, 저부)의 용융 유리(MG)의 온도가, 유리 공급관(106)의 직경 방향의 중심 부근의 용융 유리(MG)의 온도와 비교하여, 일정 이상 낮게 되어 있는(온도차가 일정 이상 있는) 경우에 대해서도, 정류가 발생하기 쉽다. 용융 유리(MG)의 온도와 용융 유리(MG)의 점성은 상관 관계가 있어, 용융 유리(MG)의 온도차가 일정 이상 있는 경우, 즉, 용융 유리(MG)의 압력차가 일정 이상 있는 경우에, 정류가 발생할 가능성이 있다. 유리 공급관(106) 내에 있어서는, 상류로부터 하류를 향해 압력이 저하되는 압력 구배로 되는 경우, 정류는 발생하지 않고, 상류로부터 하류를 향해 압력이 상승하는 역압력 구배로 되는 경우, 정류가 발생할 가능성이 있다. 용융 유리(MG)가 역압력 구배로 되는 위치, 즉, 정류가 발생할 가능성이 있는 위치는, 용융 유리(MG)의 유선에 의해 판단할 수 있다. 도 6은, 용융 유리(MG)의 유선(220)을 모식적으로 도시한 도면이다. 유로가 확대되는 유리 공급관 본체(106a)와 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)의 접합부 부근, 관 확장부(106b)와 홈부(210a)의 헤드 정상 대응부(211a)의 접합부 부근에 있어서, 용융 유리(MG)의 정류, 저류가 발생하기 쉽지만, 특히 도 6에 도시하는 바와 같이, 박리점(221) 부근(근방)으로부터 재부착점(222) 부근(근방)의 사이에서 발생할 가능성이 높다. 여기서, 박리점이라 함은, 용융 유리(MG)의 유선(220)이, 물체[유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b)] 표면으로부터 이격되는 점을 말하고, 상류보다 하류의 정압이 높아지는 역압력 구배의 구간의 상류측 단부점을 말한다. 또한, 재부착점이라 함은, 박리점 이후(하류)에 있어서, 용융 유리(MG)의 유선(220)이, 물체[유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b)] 표면을 다시 따르는 점을 말하고, 역압력 구배의 구간의 하류측 단부점을 말한다. 또한, 정압이라 함은, 유체의 흐름으로 만들어지는 동압에 대한 압력이며, 정지하고 있는 유체의 압력을 말한다. 또한, 용융 유리(MG)의 유선(220)이라 함은, 용융 유리(MG)의 속도 벡터를 접선으로 하는 곡선(군)을 말하며, 용융 유리(MG)의 흐름을 나타내는 것이다. 또한, 부근(근방)이라 함은, 대상[박리점(221), 재부착점(222)]의 위치로부터 30㎝의 범위 내를 의미한다. 박리점(221) 부근에서는, 용융 유리(MG)는, 유리 공급관(106)[유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b)]의 내벽 표면으로부터 이격되는 방향으로 흐른다. 이로 인해, 박리점(221) 부근에서는, 다른 부분[예를 들어, 유리 공급관(106)의 직경 방향의 중심부, 유리 공급관(106)의 저면(107) 등]의 압력보다 낮은, 부압 상태에 있다. 이에 반해, 재부착점(222) 부근에서는, 다른 부분의 압력보다 높은, 정압 상태에 있다. 여기서, 점도(점성)는, 분자 운동론에 의하면, 압력과 상관 관계가 있다. 압력이 높아진 상태(정압 상태)에서는, 점도는 높아지고, 압력이 낮아진 상태(부압 상태)에서는, 점도는 낮아진다. 이러한 압력차가 있는 부분, 바꾸어 말하면, 점도에 차가 발생한 부분, 다시 바꾸어 말하면, 온도차가 발생한 부분에 있어서, 용융 유리(MG)의 정류, 저류가 발생하기 쉽다. 이로 인해, 본 실시 형태에서는, 박리점(221) 부근으로부터 재부착점(222) 부근까지의 범위에 있어서, 가열 장치(212)를 사용하여 용융 유리(MG)를 가열함으로써, 박리점(221) 부근으로부터 재부착점(222) 부근까지의 용융 유리(MG)의 온도차를 저감시킨다. 온도차가 저감됨으로써, 점도차, 압력차(역압력 구배)도 해소되어, 용융 유리(MG)의 정류, 저류의 발생을 억제할 수 있다.
박리점(221), 재부착점(222)의 위치에 대해서는, 유리 공급관(106)[유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b)] 내에, 복수의 온도계, 액면 레벨계, 유속계, 압력계(도시하지 않음)를 구비함으로써 특정할 수 있다. 예를 들어, 용융 유리(MG)의 온도와 액면 높이를 측정하여, 측정한 온도·액면 높이의 데이터를 사용하여 시뮬레이션에 의해 역압력 구배의 구간을 특정한다. 이 시뮬레이션에서는, 용융 유리(MG)의 유로 형상을 컴퓨터(특정 장치)상에서 모델화하고, 다수(예를 들어, 100만개 정도)의 격자로 유체 영역을 분할한다. 시뮬레이션을 행하기 위해 물성값, 경계 조건을 설정한다. 여기에서는, 압력 손실을 계산하기 위해, 용융 유리(MG)의 밀도(㎏/㎥), 점도(Pa·s)를 물성값으로서 설정한다. 또한, 경계 조건으로서, 입구, 벽, 출구를 설정한다. 입구는, 예를 들면, 관 확장부(106b)보다도 충분히 상류에, 입구 경계를 설정한다. 그리고, 용융 유리(MG)의 질량 유량(㎏/s) 또는 용융 유리(MG)의 입구 유속(m/s)을 부여한다. 용융 유리(MG)와 성형체(210)의 홈부(210a)의 벽면의 계면으로 되는 벽은, 고정벽이므로, 점착 조건(경계에서 유속 제로)으로 하고, 용융 유리(MG)와 성형체(210)의 홈부(210a)의 공간면(공동면)의 계면으로 되는 벽은, 자유 액면이므로, 미끄러짐 조건(벽에 평행한 전단 응력 제로)으로 한다. 출구는, 용융 유리(MG)가 홈부(210a)로부터 오버플로우한(넘쳐 나온) 후의 적당한 위치에, 출구 경계를 설정하고, 등압면 조건으로 한다. 그리고, 각 격자에 있어서 유속에 관해 적당한 초기값을 부여하여, 반복 계산(예를 들어, SIMPLE 알고리즘)에 의해 유속값의 갱신을 반복함으로써, 엄밀해에 가까운 근사해를 얻는다.
또한, 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)에, 상류로부터 하류까지 복수의 온도계, 유속계를 구비하고, 실측한 온도, 유속으로부터 유속 분포를 구함으로써, 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)의 내벽 표면의 압력, 압력 구배를 구할 수도 있다. 이에 의해, 상류보다 하류의 정압이 높아지는 역압력 구배의 구간을 특정할 수도 있다. 박리점(221)은, 역압력 구배의 구간의 상류측의 위치이며, 역압력 구배의 구간 중에서 상대적으로 압력이 낮은 위치이다. 재부착점(222)은, 역압력 구배의 구간의 하류측의 위치이며, 역압력 구배의 구간 중에서 상대적으로 압력이 높은 위치이다. 또한, 상술한 바와 같이, 유리 공급관(106) 내의 압력, 용융 유리(MG)의 점도, 용융 유리(MG)의 온도는 상관 관계가 있으므로, 용융 유리(MG)의 점도, 용융 유리(MG)의 온도를 측정함으로써도, 박리점(221), 재부착점(222)의 위치를 특정할 수 있다.
가열 장치(212)는, 박리점(221) 부근의 정압과 재부착점(222) 부근의 정압의 차(역압력 구배)를, 기준값 이하로 되도록 제어한다. 여기서, 기준값은, 예를 들어 500㎩로, 역압력 구배라도, 용융 유리(MG)가 저류되지 않을 정도의 값이다. 500㎩을 초과하는 역압력 구배는, 계산의 오차의 정도를 초과하여 의미가 있다. 유의한 역압력 구배에 의해, 용융 유리(MG)가 재부착점(222)으로부터 박리점(221)을 향하는 2차 흐름이 발생한다. 이로 인해, 유량의 미소 변동 등의 원인으로 한번 저류부에 유입된 용융 유리(MG)는, 2차 흐름에 의해 저류 영역 중을 순환하고, 저류 영역으로부터 탈출하는 것은 곤란해진다. 이로 인해, 실투 등의 중대한 품질 불량을 발생시킬 가능성이 있다. 역압력 구배를 제어하기 위해 가열 장치(212)가 가하는 열량은, 유리 공급관(106)의 열전도율, 용융 유리(MG)의 양, 용융 유리(MG)의 조성, 가열 장치(212)로부터 용융 유리(MG)까지의 거리 등으로 변화된다. 이로 인해, 가열 장치(212)는, 점도계(도시하지 않음)가 측정한 측정 결과에 기초하여, 용융 유리(MG)를 적절히 가열하여, 역압력 구배를 기준값 이하로 되도록 제어한다. 박리점(221) 부근으로부터 재부착점(222) 부근까지의 역압력 구배(압력차)를 저감시킴으로써, 용융 유리(MG)의 정류, 저류의 발생을 억제할 수 있다.
용융 유리(MG)의 온도는, 성형체(210)로 성형을 행하기 위해 적합한 온도에 근접시키기 위해, 하류를 향함에 따라 서서히 강하한다. 용융 유리(MG)가 성형체(210)의 홈부(210a)로부터 넘쳐 나오기 전 단계에서는, 홈부(210a)에 있는 용융 유리(MG)의 액면(표면) 온도가 가장 낮다. 즉, 도 5에 도시되는, 성형체(210)의 홈부(210a) 입구의 유로 단면에 있어서, 관 확장부(106b)와 홈부(210a)의 헤드 정상 대응부(211a)의 접합부 부근의 용융 유리(MG)의 온도가 가장 낮아진다. 이로 인해, 홈부(210a)에 있는 용융 유리(MG)의 액면(표면), 즉, 헤드 정상 대응부(211a)의 접합부 부근에서의 온도 저하를 방지함으로써, 정류, 저류를 억제할 필요가 있다. 본 실시 형태에서는, 홈부(210a)의 상부 부근, 성형체(210)의 상부(상면) 부근, 특히 관 확장부(106b)와 홈부(210a)의 헤드 정상 대응부(211a)의 접합부 부근에, 가열 장치(212)를 설치함으로써, 홈부(210a)에 있는 용융 유리(MG)의 액면의 온도[성형체(210)의 홈부(210a) 입구의 유로 단면에 있어서의 최저 온도]의 저하를 억제하여, 박리점(221) 부근으로부터 재부착점(222) 부근까지의 역압력 구배를, 기준값 이하로 되도록 제어하고 있다. 용융 유리(MG)의 온도가 저하되는 위치, 즉, 박리점(221) 부근으로부터 재부착점(222) 부근까지의 위치를 가열함으로써, 홈부(210a)에 공급된 용융 유리(MG)의 정류, 저류를 억제할 수 있다.
용융 유리(MG)의 정류, 저류를 억제할 수 있는, 용융 유리(MG)의 가열량, 설정 온도는, 이하와 같이 구할 수 있다. 우선, 유리 공급관(106)[유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b)]의 구조를 결정하는 설계 단계에서, 유체 해석 시뮬레이션을 행하여, 역압력 구배가 가능한 한 작아지도록 유리 공급관(106)의 구조(단면적이 변화하는 구조)를 설계한다. 이 유체 해석 시뮬레이션에서는, 예를 들어 용융 유리(MG)의 예상 온도를 이용하여 유로의 압력을 예측(산출)한다. 예상 온도는, 열전도와 용융 유리의 흐름을 동시에 해석(풀므로써)함으로써 얻어진다. 열전도와 용융 유리의 흐름을 동시에 계산하기 위해, 유리, 백금, 노 내 공기, 각 내화물을 해석 영역으로 한다. 해석 시뮬레이션을 행하기 위해 물성값, 생성 조건, 경계 조건을 설정한다. 여기서, 물성값으로서, 유리의 밀도[㎏/㎥], 점도[㎩·s], 비열[J/㎏·K], 열전도율[W/m·K], 및, 백금, 가열 장치(212)(히터), 각 내화물의 밀도[㎏/㎥], 비열[J/㎏·K], 열전도율[W/m·K]을 설정한다. 또한, 생성 조건으로서, 백금, 가열 장치(212)(히터)의 발열 부위에, 발열 밀도[W/㎥]를 설정한다. 또한, 입구, 벽, 출구를 설정하고, 이 부분에 경계 조건을 부여한다. 입구는, 예를 들면, 관 확장부(106b)보다도 충분히 상류에, 입구 경계를 설정한다. 입구는, 예를 들면, 관 확장부(106b)보다도 충분히 상류에, 입구 경계를 설정한다. 그리고, 용융 유리(MG)의 질량 유량(㎏/s) 또는 용융 유리(MG)의 입구 유속(m/s), 및, 유입 온도(℃)를 부여한다. 용융 유리(MG)와 성형체(210)의 홈부(210a)의 벽면의 계면으로 되는 벽은, 고정벽이므로, 점착 조건(경계에서 유속 제로)으로 하고, 용융 유리(MG)와 성형체(210)의 홈부(210a)의 공간면(공동면)의 계면으로 되는 벽은, 자유 액면이므로, 미끄러짐 조건(벽에 평행한 전단 응력 제로)으로 한다. 내화물 외벽은, 온도가 30℃ 정도로 되도록 방열 조건을 설정한다. 유리나 내화물이 공기와 접하는 면에, 복사 경계를 설정한다. 출구는, 용융 유리(MG)가 홈부(210a)로부터 오버플로우한(넘쳐 나온) 후의 적당한 위치에, 출구 경계를 설정하고, 등압면 조건으로 한다. 이들 조건을 설정하고, 해석 시뮬레이션을 행함으로써, 유리 공급관(106)에 있어서의 용융 유리의 예측 압력이 산출된다. 그러나, 실제의 유리판의 성형 시(조업 중)의 압력은, 유리 공급관(106)에서의 역압력 구배와, 그것에 의한 박리점·재부착점의 압력은, 용융 유리(MG)의 온도에 의존하므로, 유체 해석 시뮬레이션에서 예측한 예측 압력으로부터 어긋날 가능성이 있다. 이로 인해, 실제의 유리판의 성형 시에 측정한 용융 유리(MG)의 온도를 이용하여, 유체 해석 시뮬레이션을 다시 행하여, 역압력 구배의 구간의 압력차를 구한다. 그리고, 구한 역압력 구배의 구간의 압력차가, 기준값 500㎩ 이하로 되는 용융 유리(MG)의 온도를 시뮬레이션 등으로 구하여, 용융 유리(MG)의 목표 온도, 가열량을 결정한다. 가열 장치(212)가, 용융 유리(MG)가 목표 온도로 되도록, 용융 유리(MG)를 가열함으로써, 용융 유리(MG)의 정류, 저류를 억제할 수 있다.
다음으로, 용융 유리(MG)에 정류, 저류가 발생하지 않는 점성에 대해 설명한다. 상술한 바와 같이, 성형체(310)의 홈부(210a) 입구의 유로 단면에 있어서, 관 확장부(106b)의 직경 방향의 중심 부근에서 용융 유리(MG)의 온도가 최고로 되고, 홈부(210a)[관 확장부(106b)]의 헤드 정상 대응부(211a)의 접속부 부근에서 용융 유리(MG)의 온도가 최저로 된다. 용융 유리(MG)의 온도와 용융 유리(MG)의 점성은 상관 관계가 있어, 성형체(310)의 홈부(210a) 입구의 유로 단면에 있어서, 용융 유리(MG)가 최고 온도로 되는 부근에서 용융 유리(MG)의 점성이 최소로 되고, 용융 유리(MG)가 최저 온도로 되는 부근에서 용융 유리(MG)의 점성이 최대로 된다. 용융 유리(MG)의 점성이 최대로 되는 부근에서는, 용융 유리(MG)의 정류, 저류가 발생할 우려가 있으므로, 이 용융 유리(MG)의 최대 점성을 점성 기준값 이하로 되도록 제어함으로써, 정류 등을 억제할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 성형체의 홈부(210a)의 개구 단부에 있어서의 용융 유리의 점성을, 3300㎩·s 내지 5450㎩·s의 범위 내로 되도록 제어하는 것이 바람직하다. 즉, 용융 유리(MG)의 최대 점성을 점성 기준값인 5450㎩·s 이하로 되도록 가열 장치(212)가 제어하는 것이 바람직하고, 용융 유리(MG)의 최소 점성을 3300㎩·s 이상으로 되도록 가열 장치(212)가 제어하는 것이 바람직하다. 또한, 용융 유리(MG)를 가열하여, 용융 유리(MG)의 점성을 저하시켜, 유량, 정압을 증가시킴으로써, 박리점(221)으로부터 재부착점(222)까지의 거리를, 100㎜ 이하로 되도록 제어하는 것이 바람직하다. 가열 장치(212)가 가하는 열량은, 유리 공급관(106)의 열전도율, 용융 유리(MG)의 양, 가열 장치(212)로부터 용융 유리(MG)까지의 거리 등으로 변화된다. 이로 인해, 가열 장치(212)는, 점도계(도시하지 않음)가 측정한 측정 결과에 기초하여, 용융 유리(MG)의 최대 점성을 점성 기준값 이하로 되도록 제어한다. 가열 장치(212)가 용융 유리(MG)를 적절히 가열함으로써, 이러한 용융 유리(MG)의 점성을 실현할 수 있다.
도 7의 (a), (b)는 성형체(210)의 홈부(210a)와 유리 공급관(106)의 종래의 접속 상태를 설명하는 도면이다. 도 7의 (a), (b)에 도시한 바와 같이, 유리 공급관(106)의 접속 위치에 있어서의 유로 단면은, 홈부(210a)의 유로 단면에 비해 작으므로, 용융 유리(MG)의 유로 단면은 접속 위치에서 급확대된다. 이로 인해, 도 7의 (b)에 도시한 바와 같이, 홈부(210a)가 연장되는 방향(X 방향)에 대하여 경사진 방향에 속도 성분을 갖는 용융 유리(MG)의 흐름이 발생하여, 용융 유리(MG)는, 홈부(210a) 내에서 X 방향으로 원활하게 흐르지 않는다. 특히, 홈부(210a)의 저면은, 유리 공급관(106)의 벽면과 단차를 갖고 접하므로, 저면 근방을 흐르는 용융 유리(MG)의 흐름의 정류의 정도는 크다.
이와 같이, 본 실시 형태에서는, 유리 공급관(106)은 그 단부에 관 확장부(106b)를 포함한다. 이때, 유리 공급관(106)을 흐르는 용융 유리(MG)의 유로 단면의 폭이, 유리 공급관(106)의 개구 단부와 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구 단부의 접속 위치에 근접함에 따라 서서히 넓어져, 접속 위치에서 홈부(210a)의 홈 폭으로 되어 있다. 또한, 이 접속 위치에 있어서, 유리 공급관(106)[관 확장부(106b)]의 개구 단부의 테두리는, 성형체(210)의 홈부(210a)의 개구 단부에 있어서의 적어도 저면의 테두리 형상에 일치하는 형상을 갖고, 유리 공급관(106)의 벽면은 홈부(210a)의 저면과 단차 없이 접속되어 있다. 또한, 이 접속 위치, 보다 구체적으로는, 용융 유리(MG)가 정류할 가능성이 있는 박리점(221) 부근으로부터 재부착점(222) 부근에 대향하는 위치에 가열 장치(212)를 구비하고 있다. 이로 인해, 본 실시 형태는, 유리 공급관(106)으로부터 성형체(210)의 홈부(210a)에의 용융 유리(MG)의 흐름을 매끄럽게 할 수 있고, 용융 유리(MG)의 홈부(210a)에 있어서의 체류 시간을 비교적 일정 범위 내에 정렬시켜 홈부(210a)로부터 용융 유리(MG)를 넘쳐 나오게 할 수 있다. 이로 인해, 유리의 실투나 이질의 용융 유리가 발생하기 어려워, 맥리가 없고, 균일한 판 두께의 고품질의 유리판을 제조할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 도 3 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 성형체(210)의 홈부(210a)에 용융 유리(MG)를 공급하기 위해, 관 확장부(106b)를 사용하고 있지만, 도 7의 (a), (b)에 나타내는 종래의 접속 상태라도, 역압력 구배의 구간에 가열 장치(212)를 설치함으로써, 용융 유리(MG)의 정류, 저류를 억제할 수 있다. 종래의 접속 상태는, 관 확장부(106b)를 사용한 접속 상태와 비교하여, 용융 유리(MG)가 정류할 가능성이 높다. 이로 인해, 종래의 접속 상태에 있어서, 복수의 압력계를 구비함으로써, 역압력 구배의 구간인 박리점(221)과 재부착점(222)을 특정하고, 이 구간에 가열 장치(212)를 설치하여 용융 유리(MG)를 가열함으로써, 용융 유리(MG)의 정류, 저류를 효과적으로 억제할 수 있다.
여기서, 성형체(210)의 홈부(210a)에 공급하는 용융 유리(MG)의 유량을 일정하게 유지하는 방법에 대해 설명한다. 도 7의 (a), (b)에 도시되는, 성형체(210)의 홈부(210a)와 유리 공급관(106)의 종래의 접속 상태와, 도 3의 (a), (b)에 도시되는, 관 확장부(106b)를 사용한 본 실시 형태에 있어서의 성형체(210)의 홈부(210a)와 유리 공급관(106)의 접속 상태에 있어서, 성형체(210)의 홈부(210a)에 도달하였을 때의 용융 유리(MG)의 유량을 비교한다. 유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b)를 통과하는 용융 유리(MG)의 압력 손실은, 하겐·푸아죄유의 식에, 용융 유리의 유속, 용융 유리의 점성 계수, 유리 공급관의 관 반경 등을 대입함으로써 구해진다. 여기서, 압력 손실이라 함은, 유체가 배관 등을 통과할 때의 단위 시간 단위 유량당 에너지 손실을 말하며, 압력 손실이 증가하면 유량은 감소하고, 압력 손실이 감소하면 유량은 증가한다. 본 실시 형태에 있어서의 접속 상태에서는, 관 직경이 서서히 확대되는 확장부(106b)를 사용하고 있으므로, 압력 손실은 종래의 접속 상태와 비교하여 감소하고 있다. 압력 손실이 감소되어 있으므로, 본 실시 형태에 있어서의 용융 유리(MG)의 유량은, 종래와 비교하여 증가하고 있다. 본 실시 형태에 있어서의 용융 유리(MG)의 유량과 종래의 용융 유리(MG)의 유량을 동일하게 하기 위해서는(일정하게 유지하기 위함), 본 실시 형태에 있어서의 유리 공급관(106)[유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b)]에서의 압력 손실을 크게 할 필요가 있다. 압력 손실을 크게 하는 방법으로서, 예를 들어 용융 유리(MG)의 유속을 높이는 방법, 또한 용융 유리(MG)의 점성을 높이는 방법이 있다. 따라서, 본 실시 형태에서는, 관 확장부(106b)에 용융 유리(MG)를 공급하는 유리 공급관 본체(106a)를 흐르는 용융 유리(MG)의 유속을 높이기 위해, 유리 공급관 본체(106a)의 관 직경을, 종래보다 작게, 예를 들어 φ50∼150㎜로 한다. 또한, 유리 공급관 본체(106a)로부터 관 확장부(106b)에 흐르는 용융 유리(MG)의 온도를, 종래보다 낮게, 예를 들어 1150℃∼1300℃로 저하시켜, 용융 유리(MG)의 점성을 상승시킨다. 이와 같이 함으로써, 유리 공급관(106)[유리 공급관 본체(106a), 관 확장부(106b)]에서의 압력 손실을 크게 하여, 성형체(210)의 홈부(210a)에 공급하는 용융 유리(MG)의 유량을 일정하게 유지할 수 있다. 또한, 유리 공급관 본체(106a)의 관 직경, 관 확장부(106b)에 흐르는 용융 유리(MG)의 온도는, 용융 유리(MG)의 조성, 관 확장부(106b)의 형상, 폭 길이 등에 따라 변화되는 것이며, 임의이다.
(유리판의 특성, 적용)
본 실시 형태의 유리판을 플랫 패널 디스플레이용 유리판에 사용하는 경우, 이하의 유리 조성을 갖도록 유리 원료를 혼합하는 것이 예시된다.
SiO2:50∼70질량％,
Al2O3:0∼25질량％,
B2O3:1∼15질량％,
MgO:0∼10질량％,
CaO:0∼20질량％,
SrO:0∼20질량％,
BaO:0∼10질량％,
RO:5∼30질량％(단, R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba의 합량),
를 함유하는 무알칼리 유리.
또한, 본 실시 형태에서는 무알칼리 유리로 하였지만, 유리판은 알칼리 금속을 미량 포함한 알칼리 미량 함유 유리여도 된다. 알칼리 금속을 함유시키는 경우, R’2O의 합계가 0.10질량％ 이상 0.5질량％ 이하, 바람직하게는 0.20질량％ 이상 0.5질량％ 이하(단, R’는 Li, Na 및 K로부터 선택되는 적어도 1종이며, 유리판이 함유하는 것임) 포함하는 것이 바람직하다. 물론, R’2O의 합계가 0.10질량％ 보다 낮아도 된다.
또한, 본 발명의 유리판의 제조 방법을 적용하는 경우는, 유리 조성물이, 상기 각 성분에 더하여, SnO2:0.01∼1질량％(바람직하게는 0.01∼0.5질량％), Fe2O3:0∼0.2질량％(바람직하게는, 0.01∼0.08질량％)를 함유하고, 환경 부하를 고려하여, As2O3, Sb2O3 및 PbO를 실질적으로 함유하지 않도록 유리 원료를 제조해도 된다.
또한, 최근 플랫 패널 디스플레이의 화면 표시의 가일층의 고정밀화를 실현하기 위해, α-Si(비정질 실리콘)·TFT가 아닌, p-Si(저온 폴리실리콘)·TFT나 산화물 반도체를 사용한 디스플레이가 요구되고 있다. 여기서, p-Si(저온 폴리실리콘) TFT나 산화물 반도체의 형성 공정에서는, α-Si·TFT의 형성 공정보다도 고온인 열처리 공정이 존재한다. 이로 인해, p-Si·TFT나 산화물 반도체가 형성되는 유리판에는, 열수축률이 작은 것이 요구되고 있다. 열수축률을 작게 하기 위해서는, 스트레인점을 높게 하는 것이 바람직하지만, 스트레인점이 높은 유리는, 상술한 바와 같이 액상 온도가 높고, 액상 점도가 낮아지는 경향이 있다. 즉, 상기 액상 점도는, 성형 공정에서의 용융 유리의 적정한 점도에 근접한다. 이로 인해, 실투를 억제하기 위해서는, 성형체(210)의 홈부(210a)에 있어서 용융 유리(MG)의 흐름을 정류시키지 않는 것이 보다 강하게 요구된다. 본 실시 형태에서는, 용융 유리(MG)의 흐름이 정류하기 어렵다. 따라서, 본 발명의 유리판의 제조 방법은, 예를 들어 스트레인점이 655℃ 이상인 유리를 사용한 유리판에도 적용할 수 있다. 특히, p-Si·TFT나 산화물 반도체에 적합한 스트레인점이 655℃ 이상, 스트레인점이 680℃ 이상, 나아가, 스트레인점이 690℃ 이상인 유리를 사용한 유리판에도, 본 발명의 유리판의 제조 방법은 적용할 수 있고, 실투는 발생하기 어렵다.
또한, 액상 점도가 6000㎩·s 이하인 유리, 나아가, 액상 점도가 5000㎩·s 이하인 유리, 특히 액상 점도가 4500㎩·s 이하인 유리를 사용한 유리판에도 본 발명의 유리판의 제조 방법을 적용할 수 있고, 실투는 발생하기 어렵다.
스트레인점이 655℃ 이상 혹은 액상 점도가 4500㎩·s 이하인 유리를 유리판에 사용하는 경우, 유리 조성으로서는, 예를 들어 유리판이 질량％ 표시로, 이하의 성분을 포함하는 것이 예시된다.
SiO2:52∼78질량％,
Al2O3:3∼25질량％,
B2O3:3∼15질량％,
RO(단, R은 Mg, Ca, Sr 및 Ba로부터 선택되는, 유리판이 함유하는 모든 성분이며, 적어도 1종임) 3∼20질량％를 포함하고,
질량비(SiO2+Al2O3)/B2O3은 7∼20의 범위에 있는 무알칼리 유리 또는 알칼리 미량 함유 유리인 것이 바람직하다.
또한, 스트레인점을 보다 상승시키기 위해, 질량비(SiO2+Al2O3)/RO는 7.5 이상인 것이 바람직하다. 또한, 스트레인점을 상승시키기 위해, β-OH값을 0.1∼0.3㎜-1로 하는 것이 바람직하다. 또한, 높은 스트레인점을 실현하면서 액상 점도의 저하를 방지하기 위해 CaO/RO는 0.65 이상으로 하는 것이 바람직하다. 환경 부하를 고려하여, As2O3, Sb2O3 및 PbO를 실질적으로 함유하지 않도록 유리 원료를 제조해도 된다.
또한, 상술한 성분에 더하여, 본 실시 형태의 유리판에 사용하는 유리는, 유리의 다양한 물리적, 용융, 청징 및 성형의 특성을 조절하기 위해, 다양한 다른 산화물을 함유해도 지장없다. 그러한 다른 산화물의 예로서는, 이하에 한정되지 않지만, SnO2, TiO2, MnO, ZnO, Nb2O5, MoO3, Ta2O5, WO3, Y2O3 및 La2O3을 들 수 있다. 여기서, 액정 디스플레이나 유기 EL 디스플레이 등의 플랫 패널 디스플레이용 유리판은, 기포에 대한 요구가 특히 엄격하므로, 상기 산화물 중에서는 청징 효과가 큰 SnO2를 적어도 함유하는 것이 바람직하다.
상기 RO의 공급원에는, 질산염이나 탄산염을 사용할 수 있다. 또한, 용융 유리의 산화성을 높이기 위해서는, RO의 공급원으로서 질산염을 공정에 적합한 비율로 사용하는 것이 보다 바람직하다.
이상, 본 발명의 유리판의 제조 방법에 대해 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 다양한 개량이나 변경을 해도 되는 것은 물론이다.
[실시예]
이하에, 실시예에 의해 본 발명을 보다 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은 이하의 실시예에 한정되는 것은 아니다.
(실시예 1)
관 확장부(106b) 내의 압력을 측정함으로써, 박리점(221)의 위치 및 재부착점(222)의 위치를 특정하였다. 성형체(210)의 입구에서의, 용융 유리(MG)의 유량이 100kg/1day, 유리 공급관 본체(106a)로부터 관 확장부(106b)로 유입되는 용융 유리(MG)의 온도가 1235℃로 되도록 설정하였다. 또한, 폭의 비율 W2/W1, W4/W3이 1.8, 관 확장부(106b)의 길이가 0.5m인 관 확장부(106b)를 유리 공급관 본체(106a)와 홈부(210a) 사이에 설치하였다. 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)에, 상류로부터 하류까지 복수의 압력계를 구비하고, 각 압력계에 의해, 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)의 내벽 표면의 압력을 측정하였다. 그리고, 각 압력계가 측정한 압력의 평균값보다 낮은 압력 위치를 박리점(221)으로 하고, 평균값보다 높은 압력 위치를 재부착점(222)으로 하였다. 그 결과, 박리점(221)은 유리 공급관 본체(106a)와 관 확장부(106b)의 헤드 정상부(108b)와의 접합부이고, 재부착점(222)은 박리점(221)으로부터 하류로 100㎜∼120㎜의 위치였다.
(실시예 2)
실시예 1에서 특정한 박리점(221)으로부터 재부착점(222)까지의 범위 내에 가열 장치(212)를 설치하여, 성형체(210)로 성형한 유리판에 있어서의 변형, 판 두께 편차, 맥리 등의 발생을 확인하였다. 용융 유리(MG)의 가열량은, 3000W로 하였다. 다른 조건에 있어서는, 실시예 1과 동일하게 설정하였다. 이 조건에 있어서 성형한 유리판에 있어서의 변형, 판 두께 편차, 맥리의 발생 결과를 표 1에 나타낸다.
Figure pat00001
표 1에 나타내는 바와 같이, 상기한 조건의 경우, 성형한 유리판에서는 요구 스펙을 만족시키지 않는 변형, 판 두께 편차, 맥리는 발생하지 않았다. 이상의 결과로부터, 유리 공급관(106)으로부터 홈부(210a)를 향하여 유로 단면을 서서히 확장하고, 각 관의 접속 위치로부터 하류 위치에 있어서, 용융 유리를 가열함으로써, 유리 공급관(106)에 있어서의 용융 유리의 정류, 저류를 억제하여, 변형, 판 두께 편차, 맥리의 발생을 방지할 수 있는 것을 알 수 있었다.
(실시예 3)
관 확장부(106b)를 사용하지 않고 유리 공급관 본체(106a)를 홈부(210a)에 접속하고, 가열 장치(212)를 설치하지 않은 경우에 있어서의, 성형체(210)로 성형한 유리판에 있어서의 변형, 판 두께 편차, 맥리 등의 발생을 확인하였다. 다른 조건에 있어서는, 실시예 2와 동일하게 설정하였다. 이 조건에 있어서 성형한 유리판에 있어서의 변형, 판 두께 편차, 맥리의 발생 결과를 표 2에 나타낸다.
Figure pat00002
표 2에 나타내는 바와 같이, 상기한 조건의 경우, 변형, 판 두께 편차, 맥리는 요구 스펙을 만족시키지 않는 것이 확인되었다. 이상의 결과로부터, 유리 공급관(106)으로부터 홈부(210a)를 향하여 유로 단면을 서서히 확장하지 않고, 또한 각 관의 접속 위치로부터 하류 위치에 있어서, 용융 유리를 가열하지 않는 경우, 유리 공급관(106)에 있어서의 용융 유리의 정류, 저류를 억제할 수 없어, 변형, 판 두께 편차, 맥리가 발생하는 것을 알 수 있었다.
(실시예 4)
유리 공급관(106), 성형체(210)의 홈부(210a)를 흐르는 용융 유리(MG)의 압력, 온도, 점성과, 성형체(210)로 성형한 유리판에서 발생하는 변형, 판 두께 편차, 맥리의 관계성을 조사하였다. 실시예 2의 조건, 실시예 3의 조건에 있어서, 박리점(221) 및 재부착점(222)에 있어서의, 압력, 용융 유리(MG)의 온도, 점성을 측정하였다. 압력, 용융 유리(MG)의 온도 및 점도는, 압력 측정기, 온도 측정기, 점도 측정기를 사용하여 각각 측정하였다. 압력의 측정 결과를 표 3에 나타낸다. 또한, 용융 유리(MG)의 온도의 측정 결과를 표 4에 나타낸다. 또한, 용융 유리(MG)의 점성의 측정 결과를 표 5에 나타낸다.
Figure pat00003
Figure pat00004
Figure pat00005
표 3에 나타내는 바와 같이, 실시예 2의 조건에서는, 박리점(221)과 재부착점(222)의 압력차(역압력 구배)는 450㎩∼500㎩이고, 실시예 3의 조건에서는, 600㎩∼650㎩이었다. 상술한 바와 같이, 실시예 2에서는, 유리판에 변형, 판 두께 편차, 맥리가 발생하지 않고(요구 스펙을 만족시키고), 실시예 3에서는, 유리판에 변형 등이 발생하였기 때문에(요구 스펙을 만족시키지 않음), 박리점(221)과 재부착점(222)의 압력차(역압력 구배)가 500㎩ 이하인 경우에 변형 등이 발생하지 않고, 600㎩ 정도의 경우에 변형 등이 발생하는 것을 알 수 있었다.
또한, 표 4에 나타내는 바와 같이, 실시예 2의 조건에서는, 박리점(221)으로부터 재부착점(222)까지의 거리는, 80㎜∼100㎜이고, 실시예 3의 조건에서는, 140㎜∼160㎜였다. 상술한 바와 같이, 실시예 2에서는 변형, 판 두께 편차, 맥리가 발생하지 않고, 실시예 3에서는 변형, 판 두께 편차, 맥리가 발생되어 있다. 이로 인해, 박리점(221)으로부터 재부착점(222)까지의 거리가, 100㎜ 이하이면 유리판에 변형, 판 두께 편차, 맥리가 발생하지 않는 것을 알 수 있었다. 용융 유리를 가열하면, 용융 유리의 점성이 저하되어 유량이 증가하고, 박리점과 재부착점의 정압이 변화된다. 박리점의 정압과 재부착점의 정압의 압력차가 작아지는, 즉, 박리점으로부터 재부착점까지의 거리가 가까워져, 이 거리가 100㎜ 이하이면, 용융 유리의 정류, 저류를 억제할 수 있는 것을 알 수 있었다.
또한, 표 5에 나타내는 바와 같이, 실시예 2의 조건에서는, 용융 유리(MG)의 점성은 3300㎩·s∼5450㎩·s이고, 실시예 3의 조건에서는, 용융 유리(MG)의 점성은 2750㎩·s∼7350㎩·s였다. 상술한 바와 같이, 실시예 2에서는 변형, 판 두께 편차, 맥리가 발생하지 않고, 실시예 3에서는 변형, 판 두께 편차, 맥리가 발생되어 있다. 이로 인해, 박리점(221)의 용융 유리(MG)의 점성과 재부착점(222)의 용융 유리(MG)의 점성의 차가, 5450㎩·s 이하이면, 유리판에 변형 등이 발생하지 않는 것을 알 수 있었다.
이상의 결과로부터, 박리점으로부터 재부착점까지의 역압력 구배, 거리, 점성을 제어함으로써, 용융 유리의 정류, 저류를 억제하여, 변형, 판 두께 편차, 맥리의 발생을 방지할 수 있는 것을 알 수 있었다.
100 : 용해 장치
101 : 용해조
101d : 버킷
102 : 청징조
103 : 교반조
103a : 교반기
104, 105, 106 : 유리 공급관
106a : 유리 공급관 본체
106b : 관 확장부
200 : 성형 장치
210 : 성형체
210a : 홈부
210b : 측벽
210c : 하방 선단
210d : 저면
210e : 홈 경사면
212 : 가열 장치
300 : 절단 장치

Claims (5)

  1. 성형체에 용융 유리를 흘려 유리판을 제조하는 유리판의 제조 방법으로서,
    유리 원료를 용해하여 용융 유리를 생성하는 용해 공정과,
    상기 용융 유리를, 이송관을 통하여 상기 성형체에 공급하는 공급 공정과,
    상기 성형체의 홈부에 상기 용융 유리를 흘리면서 다운드로우법에 의해 상기 용융 유리로부터 상기 유리판을 성형하는 성형 공정을 구비하고,
    상기 공급 공정에 있어서, 상기 용융 유리를 상기 이송관으로부터 상기 성형체의 홈부에 공급할 때, 상류보다 하류의 정압이 높은 상기 용융 유리의 역압력 구배의 구간을 특정하고, 상기 역압력 구배의 구간의 상류측 단부인 박리점으로부터, 상기 역압력 구배의 구간의 하류측 단부인 재부착점까지의 범위에 있어서, 상기 용융 유리를 가열하여, 상기 박리점의 정압과 상기 재부착점의 정압의 차를, 기준값 이하로 되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기준값은, 500㎩인 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 박리점으로부터 상기 재부착점에 있는 용융 유리의 점성을, 5450㎩·s 이하로 하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 박리점으로부터 상기 재부착점까지의 거리를, 100㎜ 이하로 하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 방법.
  5. 성형체에 용융 유리를 흘려 유리판을 제조하는 유리판의 제조 장치로서,
    유리 원료를 용해하여 용융 유리를 생성하는 용해 장치와,
    상기 용융 유리를 통하여 상기 성형체에 공급하는 이송관과,
    상기 이송관을 가열하여, 상기 이송관을 흐르는 용융 유리를 가열하는 가열 장치와,
    상기 이송관 내의 압력을 특정하는 특정 장치와,
    상기 성형체의 홈부에 상기 용융 유리를 흘리면서 다운드로우법에 의해 상기 용융 유리로부터 상기 유리판을 성형하는 성형 장치를 구비하고,
    상기 특정 장치는, 상기 이송관에 있어서 상류보다 하류의 정압이 높은 상기 용융 유리의 역압력 구배의 구간을 특정하고,
    상기 가열 장치는, 상기 역압력 구배의 구간의 상류측 단부인 박리점으로부터, 상기 역압력 구배의 구간의 하류측 단부인 재부착점까지의 범위에 있어서, 상기 용융 유리를 가열하여, 상기 역압력 구배를, 기준값 이하로 되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유리판의 제조 장치.
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