JP2013212600A - 積層防湿フィルム - Google Patents

Abstract

【課題】高防湿フィルムを複数使用してバリア性を向上した場合であっても、防湿性が極めて高く、かつシワの発生が少ない等の外観、及び耐候性に優れた積層防湿フィルム、特に太陽電池モジュール用表面保護材に使用し得る積層防湿フィルムを提供する。
【解決手段】下記防湿フィルム（ａ）及び防湿フィルム（ｂ）を含む積層構成を有することを特徴とする積層防湿フィルムである。
（ａ）シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を含有する樹脂層（Ｉ）と、示差走査熱量測定における加熱速度１０℃／分で測定される結晶融解ピーク温度が１００〜１４５℃、結晶融解熱量が１２０〜１９０Ｊ／ｇであるエチレン系樹脂（Ｂ）を含有する樹脂層（ＩＩ）と、を有する構造であって、かつ４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が３．０（ｇ／ｍ²・日）以下である防湿フィルム
（ｂ）基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｂ））の値が１．０（ｇ／ｍ²・日）以下である防湿フィルム
【選択図】なし

Description

本発明は、積層防湿フィルムに関し、詳しくは、太陽電池モジュール用表面保護材に好適に使用することができ、防湿性が極めて高く、かつ外観及び耐候性に優れた積層防湿フィルムに関する。

プラスチックフィルム基材の表面に酸化珪素等の無機層を形成した防湿フィルムは、他のプラスチックフィルムと積層され、さまざまな包装用途に用いられてきた。近年は、液晶表示素子、太陽電池、電磁波シールド、タッチパネル、有機エレクトロルミネッセンス（ＥＬ）素子、有機ＴＦＴ、有機半導体センサー、有機発光デバイス等の有機デバイス、電子ペーパー、フィルムコンデンサー、無機ＥＬ素子、カラーフィルター等で使用する基材や真空断熱材としての新しい用途にも使用されている。
これらの用途において、積層防湿フィルムには、より厳しい性能が求められるようになり、長期使用や高温条件下における防湿性の劣化が少ない優れた積層防湿フィルムの開発がなされてきた。

このような背景の中で、例えば、特許文献１には、金属箔の代わりに、無機酸化物が樹脂のフィルムに蒸着されたバリアフィルムを使用した太陽電池モジュール用の裏面保護材が提案されている。また、特許文献２では、一方の表面に金属酸化物の蒸着膜を有する第１蒸着樹脂層と、中間樹脂層と、一方の表面に金属酸化物の蒸着膜を有する第２蒸着樹脂層とがドライラミネート加工により積層された太陽電池モジュール用裏面保護フィルムであって、前記第１蒸着樹脂層及び前記第２蒸着樹脂層の蒸着膜が前記中間樹脂層側に配置される太陽電池モジュール用裏面保護フィルムが開示されている。また、特許文献３では、一方の表面に金属酸化物の蒸着膜を有する蒸着樹脂層の少なくとも３層を順次ドライラミネート加工により積層し、前記蒸着樹脂層は、それぞれ４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過度が０．０３〜０．５（ｇ／ｍ²・日）である太陽電池モジュール用裏面保護フィルムの製造方法が開示されている。また、特許文献４は、非吸湿性樹脂層の少なくとも片面に無機酸化物若しくは金属の蒸着膜が形成された複合フィルムを２枚以上含有し、該複合フィルムの蒸着膜面が、接着剤層を介して、他の複合フィルムの蒸着膜面と積層された層構成を１〜４の範囲内で含有する防湿性多層フィルムが開示されている。

また、積層防湿フィルムは、真空ラミネーション等に伴い層間にシワが発生するような外観不良が生じ、これによって防湿性の低下を引き起こすことがある。そのため、特許文献５では、ガスバリア基材として、プラスチックフィルム層と軟質蒸着用プライマー層と蒸着層とを含む積層体、又は、プラスチックフィルム層と軟質蒸着用プライマー層と硬質蒸着用プライマー層と蒸着層とを含む積層体を用いた太陽電池裏面防止用シートが開示されている。

特開２００１−４４４７２号公報 特開２０１０−２７２７６１号公報 特開２０１０−２７２７６２号公報 特許第４２６１６８０号公報 特開２００９−３８２３６号公報

しかしながら、上記特許文献１〜４の各々に開示された保護材あるいは多層フィルム等ではいずれも防湿性は十分ではなく、また上記特許文献５に開示されたガスバリア基材であっても根本的な解決には至っておらず、防湿性に優れ、かつ真空ラミネーションや長期間高温多湿にさらされた場合等であってもシワ等の外観不良が生じず、耐候性に優れる積層防湿フィルムであることが要求されている。特に、積層防湿フィルムの側面からの湿気や水分の浸入に対する改善が必要である。

すなわち、本発明は、無機層が基材に積層された高防湿フィルムを複数使用してバリア性を向上した場合であっても、防湿性が極めて高く、かつシワ等が発生せずに外観及び耐候性に優れ、特に側面からの湿気や水分の浸入に対する防湿性に優れた積層防湿フィルム、特に太陽電池モジュール用表面保護材等に使用し得る積層防湿フィルムを提供することを目的とする。

本発明者らは、鋭意研究を重ねた結果、シラン変性エチレン系樹脂を含有する樹脂層と特定のエチレン系樹脂を含有する樹脂層とを有する防湿フィルム及び高防湿性フィルムを用いることにより、上記課題を解決し得ることを見出した。
すなわち、本発明は、

（１）下記防湿フィルム（ａ）及び防湿フィルム（ｂ）を含む積層構成を有することを特徴とする積層防湿フィルム、
防湿フィルム（ａ）：シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を含有する樹脂層（Ｉ）と、示差走査熱量測定における加熱速度１０℃／分で測定される結晶融解ピーク温度が１００〜１４５℃、結晶融解熱量が１２０〜１９０Ｊ／ｇであるエチレン系樹脂（Ｂ）を含有する樹脂層（ＩＩ）と、を有する構造であって、かつ４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が３．０（ｇ／ｍ²・日）以下である防湿フィルム
防湿フィルム（ｂ）：基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｂ））の値が１．０（ｇ／ｍ²・日）以下である防湿フィルム
（２）４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ（Ａ）×ＷＴＲ（Ｂ）］／［ＷＴＲ（Ａ）＋ＷＴＲ（Ｂ）］の値より低い値である上記（１）に記載の積層防湿フィルム、
（３）４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ（Ａ）×ＷＴＲ（Ｂ）］／［ＷＴＲ（Ａ）＋ＷＴＲ（Ｂ）］の８０％以下である上記（２）に記載の積層防湿フィルム、
（４）前記防湿フィルム（ａ）の、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が２．０（ｇ／ｍ²・日）以下である、上記（１）〜（３）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（５）前記防湿フィルム（ａ）の、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が１．０（ｇ／ｍ²・日）以下である、上記（１）〜（３）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（６）太陽電池用表面保護部材として用いられる上記（１）〜（５）のいずれかに記載の積層防湿フィルム、
（７）耐候フィルム、前記防湿フィルム（ｂ）、及び前記防湿フィルム（ａ）を暴露側からこの順に有し、かつ前記防湿フィルム（ｂ）の基材側に前記防湿フィルム（ａ）を有する上記（６）に記載の積層防湿フィルム、
（８）耐候フィルム、前記防湿フィルム（ａ）、及び前記防湿フィルム（ｂ）を暴露側からこの順に有し、かつ前記防湿フィルム（ｂ）の無機層側に前記（ａ）を有する上記（７）に記載の積層防湿フィルム、
（９）化合物系発電素子太陽電池モジュール又はフレキシブル太陽電池モジュールの表面保護部材に用いられる上記（７）又は（８）に記載の積層防湿フィルム、及び
（１０）上記（７）〜（９）のいずれかに記載の積層防湿フィルムを有することを特徴とする太陽電池用表面保護部材、
に関する。

本発明によれば、防湿性の高いフィルムを複数使用してバリア性を向上した場合であっても、表面のみならず側面からの水分侵入を抑制できることで防湿性が極めて高く、かつ真空ラミネーションや長期間高温多湿にさらされたとしても積層したフィルムの間にシワが発生せず外観が良好で、耐候性に優れた積層防湿フィルムが提供される。さらに、本発明の積層防湿フィルムを用いることで、外観及び耐候性に優れた太陽電池モジュール用表面保護材等の太陽電池用表面保護部材を提供することができる。

＜積層防湿フィルム＞
本発明の積層防湿フィルムは、下記防湿フィルム（ａ）及び防湿フィルム（ｂ）を含む積層構成を有することを特徴とする。
防湿フィルム（ａ）：シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を含有する樹脂層（Ｉ）と、示差走査熱量測定における加熱速度１０℃／分で測定される結晶融解ピーク温度が１００〜１４５℃、結晶融解熱量が１２０〜１９０Ｊ／ｇであるエチレン系樹脂（Ｂ）を含有する樹脂層（ＩＩ）と、を有する構造であって、かつ４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が３．０（ｇ／ｍ²・日）以下である防湿フィルム
防湿フィルム（ｂ）：基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｂ））の値が１．０（ｇ／ｍ²・日）以下である防湿フィルム

［防湿フィルム（ａ）］
本発明において、防湿フィルム（ａ）は、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を含有する樹脂層（Ｉ）とエチレン系樹脂（Ｂ）を含有する樹脂層（ＩＩ）とを有する。
（樹脂層（Ｉ））
樹脂層（Ｉ）は、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を主成分とする樹脂層や、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）とエチレン系樹脂（Ｆ）との混合物を主成分とする樹脂層を包含する。また、樹脂層（Ｉ）は、防湿フィルム（ａ）において、主に表面層、封止層や接着層としての機能を発現する役割を有する。このため、防湿フィルム（ａ）の最外層の少なくとも一層は樹脂層（Ｉ）であることが好ましい。

〈シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）〉
本発明に用いられるシラン変性エチレン系樹脂（Ａ）は、通常、エチレン系樹脂とビニルシラン化合物及びラジカル発生剤を高温（１６０℃〜２２０℃程度）で溶融混合し、グラフト重合させることにより得ることができる。

上記エチレン系樹脂としては、特に限定されるものではないが、具体的には、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、又は直鎖状低密度ポリエチレンが挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

本発明においては、透明性や柔軟性が良好となることから密度が低いエチレン系樹脂が好適に用いられる。具体的には、密度が０．８５０〜０．９２０ｇ／ｃｍ³のエチレン系樹脂が好ましく、特には、密度が０．８６０〜０．８８０ｇ／ｃｍ³の直鎖状低密度ポリエチレンが好ましい。また、密度が低いエチレン系樹脂と密度が高いエチレン系樹脂を組み合わせて用いてもかまわない。組み合わせて用いることで、透明性や柔軟性と耐熱性のバランスが比較的容易に調整できるため好ましい。

本発明において好適に用いられる密度の低いエチレン系樹脂は、通常、エチレンと炭素数３〜２０のα−オレフィンとのランダム共重合体が挙げられる。ここでエチレンと共重合するα−オレフィンとしては、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、１−へキセン、１−へプテン、１−オクテン、１−ノネン、１−デセン、３−メチル−ブテン−１、４−メチル−ペンテン−１等が挙げられる。本発明においては、工業的な入手し易さや諸特性、経済性等の観点からエチレンと共重合するα−オレフィンとしては、プロピレン、１−ブテン、１−へキセン、１−オクテンが好適に用いられる。エチレンと共重合するα−オレフィンは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

また、エチレンと共重合するα−オレフィンの含有量としては、エチレン−α−オレフィンランダム共重合体中の全単量体単位に対して、通常、２モル％以上、好ましくは４０モル％以下、より好ましくは３〜３０モル％、さらに好ましくは５〜２５モル％である。該範囲内であれば、共重合成分により結晶性が低減されるため透明性が向上し、また、原料ペレットのブロッキング等の不具合も起こり難いため好ましい。なお、エチレンと共重合するα−オレフィンの種類と含有量は、周知の方法、例えば、核磁気共鳴（ＮＭＲ）測定装置、その他の機器分析装置で定性定量分析することができる。

上記エチレン−α−オレフィンランダム共重合体は、α−オレフィン以外の単量体に基づく単量体単位を含有していてもよい。該単量体としては、例えば、環状オレフィン、ビニル芳香族化合物（スチレン等）、ポリエン化合物等が挙げられる。該単量体単位の含有量は、エチレン−α−オレフィンランダム共重合体中の全単量体単位を１００モル％とした場合、２０モル％以下であり、１５モル％以下であることがより好ましい。また、エチレン−α−オレフィンランダム共重合体の立体構造、分岐、分岐度分布や分子量分布は、特に限定されるものではないが、例えば、長鎖分岐を有する共重合体は、一般に機械特性が良好であり、また、シートを成形する際の溶融張力（メルトテンション）が高くなりカレンダー成形性が向上する等の利点がある。シングルサイト触媒を用いて重合された分子量分布の狭い共重合体は、低分子量成分が少なく原料ペレットのブロッキングが比較的起こり難い等の利点がある。

上記エチレン−α−オレフィンランダム共重合体のメルトフローレート（ＭＦＲ）は、特に制限されるものではないが、通常、ＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ７２１０、温度：１９０℃、荷重：２１．１８Ｎ）が、０．１〜１００ｇ／１０ｍｉｎ程度であるもの、成形性や諸特性から０．３〜１０ｇ／１０ｍｉｎであるものが好適に用いられる。

上記エチレン−α−オレフィンランダム共重合体の製造方法は、特に限定されるものではなく、公知のオレフィン重合用触媒を用いた公知の重合方法が採用できる。例えば、チーグラー・ナッタ型触媒に代表されるマルチサイト触媒やメタロセン系触媒やポストメタロセン系触媒に代表されるシングルサイト触媒を用いた、スラリー重合法、溶液重合法、塊状重合法、気相重合法等、またラジカル開始剤を用いた塊状重合法等が挙げられる。本発明においては、好適に用いられる密度の低いエチレン−α−オレフィンランダム共重合体が比較的軟質の樹脂であるため、重合後の造粒（ペレタイズ）のし易さや原料ペレット同士のブロッキング防止等の観点から低分子量成分が少なく分子量分布の狭い原料が重合できるシングルサイト触媒を用いた重合方法が好適に用いられる。

ビニルシラン化合物としては、上記エチレン系樹脂とグラフト重合するものであれば特に限定されるものではないが、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリプロポキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、ビニルトリブトキシシラン、ビニルトリペンチロキシシラン、ビニルトリフェノキシシラン、ビニルトリベンジルオキシシラン、ビニルトリメチレンジオキシシラン、ビニルトリエチレンジオキシシラン、ビニルプロピオニルオキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、及びビニルトリカルボキシシランが挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明においては、反応性、接着性や色調等の観点からビニルトリメトキシシランが好適に用いられる。

また、上記ビニルシラン化合物の添加量は、特に限定されるものではないが、用いるエチレン系樹脂１００質量部に対し、通常、０．０１〜１０．０質量部程度であり、０．３〜８．０質量部添加することが好ましく、１．０〜５．０質量部添加することがより好ましい。

ラジカル発生剤としては、特に限定されるものではないが、例えば、ジイソプロピルベンゼンヒドロパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ヒドロパーオキシ）ヘキサン等のヒドロパーオキサイド類；ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、ｔ−ブチルクミルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ｔ−パーオキシ）ヘキシン−３等のジアルキルパーオキサイド類；ビス−３，５，５−トリメチルヘキサノイルパーオキサイド、オクタノイルパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ｏ−メチルベンゾイルパーオキサイド、２，４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド等のジアシルパーオキサイド類；ｔ−ブチルパーオキシアセテート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔ−ブチルパーオキシオクトエート、ｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネート、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ジ−ｔ−ブチルパーオキシフタレート、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ベンゾイルパーオキシ）ヘキサン、２，５−ジメチル−２，５−ジ（ベンゾイルパーオキシ）ヘキシン−３等のパーオキシエステル類；メチルエチルケトンパーオキサイド、シクロヘキサノンパーオキサイド等のケトンパーオキサイド類等の有機過酸化物、又はアゾビスイソブチロニトリル、アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）等のアゾ化合物等が挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

また、上記ラジカル発生剤の添加量は、特に限定されるものではないが、用いるエチレン系樹脂１００質量部に対し、通常、０．０１〜５．０質量部程度であり、０．０２〜１．０質量部添加することが好ましく、０．０３〜０．５質量部添加することがより好ましい。さらに、該ラジカル発生剤の残存量は、本発明の太陽電池用多層体を構成する各樹脂層中に０．００１質量％以下であることが好ましく、ゲル分率が３０％以下であることが好ましく、１０％以下であることがより好ましく、５％以下であることがさらに好ましく、実質的に含有していないことが好ましい特に好ましい。

本発明で用いるシラン変性エチレン系樹脂（Ａ）や各樹脂層中には、シラノール間の縮合反応を促進するシラノール縮合触媒を実質的に含有していないことが好ましい。該シラノール縮合触媒の具体例としては、例えば、ジブチル錫ジアセテート、ジブチル錫ジラウテート、ジブチル錫ジオクテート、ジオクチル錫ジラウテート等が挙げられる。ここで、実質的に含有していないとは、樹脂１００質量部に対して、好ましくは０．０５質量部以下、より好ましくは０．０３質量部以下、特に実質的に含有していないことが好ましい。

ここで、シラノール縮合触媒を実質的に含有していないことが好ましい理由は、本発明においては、シラノール架橋反応を積極的に進行させず、用いるエチレン系樹脂にグラフトされたシラノール基等の極性基と被着体（ガラス、各種プラスチックシート（コロナ処理等の表面処理を適宜施し、濡れ指数が５０ｍＮ／ｍ以上のものが好適に用いられる）、金属等）との水素結合や共有結合等の相互作用により接着性を発現させることを目的としているためである。

〈エチレン系樹脂（Ｆ）〉
樹脂層（Ｉ）は、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を主成分とする樹脂層や、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）とエチレン系樹脂（Ｆ）との混合物を主成分とする樹脂層であってもかまわない。
シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）は前記したように、通常、エチレン系樹脂とビニルシラン化合物及びラジカル発生剤を高温で溶融混合し、グラフト重合させることにより得ることができるが、該工程においては、ラジカル発生剤を用いるため用いるエチレン系樹脂が部分的に架橋することによりゲルやフィッシュアイが混入したり、用いるビニルシラン化合物やラジカル発生剤が反応せずに残留してしまうことがある。そのため、本発明においては、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）とエチレン系樹脂（Ｆ）との混合物を主成分とする樹脂層であることがより好ましい。該混合物とすることにより、経済性が向上するとともに、柔軟性、透明性や耐熱性等の諸特性の調整も比較的容易にできるため好ましい。

ここで、エチレン系樹脂（Ｆ）としては、特に限定されるものではないが、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）と混合し、樹脂層（Ｉ）中のシラン変性エチレン系樹脂（Ａ）の含有量を調整するとともに、樹脂層（Ｉ）の柔軟性、透明性、封止性や耐熱性等の諸特性を調整するものである。具体的には、前記シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を得る際に用いるエチレン系樹脂と同様の樹脂、すなわち、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン、超低密度ポリエチレン、又は直鎖状低密度ポリエチレンが挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

本発明に用いるエチレン系樹脂（Ｆ）のメルトフローレート（ＭＦＲ）は、特に制限されるものではないが、通常、ＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ７２１０、温度：１９０℃、荷重：２１．１８Ｎ）が、０．５〜１００ｇ／１０ｍｉｎ程度、好ましくは２〜５０ｇ／１０ｍｉｎ、より好ましくは３〜３０ｇ／１０ｍｉｎであるものが用いられる。ここで、ＭＦＲは、シートを成形する際の成形加工性や太陽電池素子（セル）を封止する時の密着性、回り込み具合等を考慮して選択すればよい。例えば、シートをカレンダー成形する場合には、シートを成形ロールから引き剥がす際のハンドリング性からＭＦＲは、比較的低い方、具体的には０．５〜５ｇ／１０ｍｉｎ程度が好ましく、また、Ｔダイを用いて押出成形する場合には、押出負荷を低減させ押出量を向上させる観点からＭＦＲは、２〜５０ｇ／１０ｍｉｎが好ましく、より好ましくは３〜３０ｇ／１０ｍｉｎであるものを用いればよい。さらに、太陽電池素子（セル）を封止する時の密着性や回り込み易さの観点からは、ＭＦＲは、２〜５０ｇ／１０ｍｉｎが好ましく、より好ましくは３〜３０ｇ／１０ｍｉｎであるものを用いればよい。

上記エチレン系樹脂（Ｆ）は、本発明においては、前記シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を得る際に用いるエチレン系樹脂と同一の樹脂を用いても、異なる樹脂を用いてもかまわないが、混合した際の相溶性や透明性等の観点から同一の樹脂であることが好ましい。また、本発明においては、透明性や柔軟性が良好となることから密度が低いエチレン系樹脂が好適に用いられる。具体的には、密度が０．８５０〜０．９２０ｇ／ｃｍ³のエチレン系樹脂が好ましく、密度が０．８６０〜０．８８０ｇ／ｃｍ³の直鎖状低密度ポリエチレンがより好ましい。さらに、該直鎖状低密度ポリエチレンにおいて、共重合成分であるα−オレフィンの種類がシラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を得る際に用いるエチレン系樹脂と同一であることが特に好ましい。

本発明において、好適に用いられる密度が低いエチレン系樹脂（Ｆ）の具体例としては、ダウ・ケミカル（株）製の商品名「エンゲージ（Ｅｎｇａｇｅ）」、「アフィニティー（Ａｆｆｉｎｉｔｙ）」、「インフューズ（Ｉｎｆｕｓｅ）」、三井化学（株）製の商品名「タフマーＡ（ＴＡＦＭＥＲ Ａ）」、「タフマーＰ（ＴＡＦＭＥＲ Ｐ）」、「タフマーＨ（ＴＡＦＭＥＲ Ｈ）」、日本ポリエチレン（株）製の商品名「カーネル（Ｋａｒｎｅｌ）」等が挙げられる。

樹脂層（Ｉ）をシラン変性エチレン系樹脂（Ａ）とエチレン系樹脂（Ｆ）との混合物を主成分とする樹脂層とする場合の混合質量比は、特に限定されるものではないが、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）／エチレン系樹脂（Ｆ）比で、好ましくは１〜９９／９９〜１であり、より好ましくは２〜７０／９８〜３０、さらに好ましくは３〜４０／９７〜６０である。該範囲内であれば、樹脂層（Ｉ）中のシラン変性エチレン系樹脂（Ａ）の含有量、すなわち、シラン変性基濃度が調整し易く、樹脂層（Ｉ）の主な役割である接着層としての機能を保持しつつ、表面層、封止層としての柔軟性、透明性、封止性や耐熱性等の諸特性の調整が比較的容易にできるため好ましい。

樹脂層（Ｉ）は、防湿フィルム（ａ）において、主に表面層、封止層や接着層としての機能を発現する役割を有する。このため、樹脂層（Ｉ）に用いる樹脂は、柔軟性を有するものであることが好ましい。一方、樹脂層（Ｉ）は表面層として、軟化によるブロッキングを防止することも要求される。本発明においては、特に限定されるものではないが、樹脂層（Ｉ）のビカット軟化温度が６０℃以下であることが好ましく、３０℃以上、６０℃未満であることがより好ましく、３５℃以上、５５℃以下であることがさらに好ましい。該範囲内であれば、樹脂層（Ｉ）の柔軟性が十分確保されるとともに、通常の保管環境（温度３０℃、湿度５０％程度）においてブロッキングし難いため好ましい。なお、ビカット軟化温度は、ＪＩＳ Ｋ７２０６に準拠して測定することができる。具体的には、加熱浴槽中の試験片に垂直に置いた先端断面積１ｍｍ²の針状圧子を通じて１０Ｎ（Ａ法）の総荷重を加えながら、５０℃／時間の速度で伝熱媒体を昇温させ、圧子先端が試験片中に１ｍｍ侵入した時の温度である。

樹脂層（Ｉ）にシラン変性エチレン系樹脂（Ａ）とエチレン系樹脂（Ｆ）との混合物を用いる場合の混合方法は、特に限定されるものではないが、予め樹脂とともにドライブレンドしてからホッパーに供給しても良いし、予め全ての材料を溶融混合してペレットを作製してから供給しても良い。また、本発明においては、前記したようにシラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を得る際に添加したビニルシラン化合物及びラジカル発生剤が反応せずに残存してしまうことがあるため、シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）とエチレン系樹脂（Ｆ）とを混合する際には、真空ベントで揮発分を除去することが好ましい。

樹脂層（Ｉ）の厚みは、特に制限されるものではないが、太陽電池素子（セル）の封止性や経済性等の観点から、０．０２〜０．７ｍｍであることが好ましく、０．０５〜０．６ｍｍであることがより好ましい。

（樹脂層（ＩＩ））
樹脂層（ＩＩ）は、樹脂層（Ｉ）の少なくとも一方の側に設けられ、示差走査熱量測定における加熱速度１０℃／分で測定される結晶融解ピーク温度が１００〜１４５℃、結晶融解熱量が１２０〜１９０Ｊ／ｇであるエチレン系樹脂（Ｂ）を含有する樹脂層である。また、樹脂層（ＩＩ）は、本発明の積層防湿フィルムを太陽電池用として用いた際に、主に太陽電池素子（セル）や配線等の水分による劣化を抑制するための優れた防湿性（水蒸気バリア性）、太陽電池モジュール製造時におけるハンドリング性（剛性）、フレキシブルタイプの太陽電池モジュールに剛性（腰）や、太陽電池に十分な発電効率を発現するための優れた透明性を付与する役割を有する。

〈エチレン系樹脂（Ｂ）〉
エチレン系樹脂（Ｂ）としては、前記熱特性を満足すれば特に限定されるものではないが、エチレン単独重合体やエチレンと炭素数３〜２０のα−オレフィンとの共重合体、あるいは、これらの混合物が好適に用いられる。ここでエチレンと共重合するα−オレフィンとしては、例えば、プロピレン、１−ブテン、１−ペンテン、１−へキセン、１−へプテン、１−オクテン、１−ノネン、１−デセン、３−メチル−ブテン−１、４−メチル−ペンテン−１等が挙げられる。本発明においては、工業的な入手し易さや諸特性、経済性等の観点からエチレンと共重合するα−オレフィンとしては、プロピレン、１−ブテン、１−へキセン、１−オクテンが好適に用いられる。エチレンと共重合するα−オレフィンは、１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。
本発明においては、前記熱特性を満足するエチレン単独重合体、あるいは、エチレンと、１−ブテン、１−へキセン及び１−オクテンから選ばれる少なくとも１種、好ましくは２種以上のα−オレフィンとの共重合体が結晶核剤（Ｃ）との組合せにおいて、太陽電池素子（セル）や配線等の水分による劣化を抑制するための優れた防湿性（水蒸気バリア性）、太陽電池モジュール製造時におけるハンドリング性（剛性）、フレキシブルタイプの太陽電池モジュールに剛性（腰）や、太陽電池に十分な発電効率を発現するための優れた透明性等樹脂層（ＩＩ）としての諸特性が効率的に付与できるため好ましい。

該エチレンとα−オレフィンとの共重合体を用いる場合、α−オレフィンの含有量としては、エチレン−α−オレフィン共重合体中の全単量体単位に対して、０．１〜３．０質量％であることが好ましく、０．３質量％以上あるいは２．８質量％以下であることがより好ましく、０．５質量％以上あるいは２．６質量％以下であることがさらに好ましい。α−オレフィンが該範囲内であれば、防湿性と透明性及び耐熱性や剛性とのバランスに優れた防湿フィルム（ａ）を提供することができるため好ましい。

また、前記エチレン系樹脂（Ｂ）の重合に用いる触媒は、特に限定されるものではないが、例えば、塩化チタンと有機アルミニウム化合物からなるチーグラー・ナッタ型触媒や酸化クロム等のクロム化合物からなるフィリップス型触媒に代表されるマルチサイト触媒と、メタロセン系触媒やポストメタロセン系触媒に代表されるシングルサイト触媒等が挙げられる。本発明においては、後記する理由からシングルサイト触媒を用いることが好ましい。

ここで、シングルサイト触媒を用いて重合されるエチレン単独重合体やエチレン−α−オレフィン共重合体は、分子量分布指数（Ｍｗ／Ｍｎ）が小さく、分子の長さが比較的均一であるため、後述する結晶核剤（Ｃ）を添加した場合に、微細な結晶を形成することが可能となるため、透明性、防湿性を効率的に向上させることができる。これらのことから、前記エチレン系樹脂（Ｂ）の分子量分布指数（Ｍｗ／Ｍｎ）は２．５〜５．０であることが好ましく、２．６〜４．８であることがより好ましく、２．８〜４．５であることがさらに好ましい。なお、該分子量分布指数（Ｍｗ／Ｍｎ）は、周知の方法、例えば、高温ＧＰＣシステムを用いて重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比から求めることができる。

該シングルサイト触媒の例としては、メタロセン化合物とメチルアルミノオキサンとを組み合わせたメタロセン触媒が挙げられる。シングルサイト触媒を用いて重合されるエチレン単独重合体やエチレン−α−オレフィン共重合体の特徴としては、前記した分子量分布が狭いことに加えて、同じ密度で比較すれば、マルチサイト触媒を用いて重合された樹脂よりも結晶融解熱量が低い点等も挙げることができる。

本発明に用いるエチレン系樹脂（Ｂ）は、特定の熱特性、すなわち示差走査熱量測定における加熱速度１０℃／分で測定される結晶融解ピーク温度が１００〜１４５℃、結晶融解熱量が１２０〜１９０Ｊ／ｇであることが必要である。より好ましくは結晶融解ピーク温度が１０５℃以上、さらに好ましくは１１０℃以上であり、上限は１４５℃である。また、より好ましくは結晶融解熱量が１３０〜１８５Ｊ／ｇ、さらに好ましくは１４０〜１８３Ｊ／ｇである。
ここで、結晶融解ピーク温度及び結晶融解熱量が該範囲内であれば、結晶核剤（Ｃ）との組合せにおいて、防湿フィルム（ａ）に優れた防湿性と透明性及び耐熱性や剛性を付与することができるため好ましい。なお、該結晶融解ピーク温度及び結晶融解熱量は、示差走査熱量計を用いて、各々ＪＩＳ Ｋ７１２１、ＪＩＳ Ｋ７１２２に準拠して測定することができる。

また、上記エチレン系樹脂（Ｂ）の密度が、０．９１０〜０．９４８ｇ／ｃｍ³であることが好ましく、０．９１５〜０．９４７ｇ／ｃｍ³であることがより好ましく、０．９２０〜０．９４２ｇ／ｃｍ³であることがさらに好ましい。ここで、密度が該範囲内であれば、防湿フィルム（ａ）に優れた防湿性と透明性及び耐熱性や剛性をバランス良く付与することができるため好ましい。

また、上記エチレン系樹脂（Ｂ）のメルトフローレート（ＭＦＲ）は、特に制限されるものではないが、通常、ＭＦＲ（ＪＩＳ Ｋ７２１０、温度：１９０℃、荷重：２１．１８Ｎ）が、０．１〜１００ｇ／１０ｍｉｎ程度であるもの、成形性や諸特性から０．３〜１０ｇ／１０ｍｉｎであるものが好適に用いられる。

上記エチレン系樹脂（Ｂ）の具体例としては、シングルサイト触媒で重合されたものとして、旭化成ケミカルズ（株）製の商品名「クレオレックス（ＣＲＥＯＬＥＸ）」、ＴＯＴＡＬ ＰＥＴＲＯＣＨＥＭＩＣＡＬＳ社の商品名「Ｌｕｍｉｃｅｎｅ」、宇部丸善ポリエチレン（株）製の商品名「ユメリット（ＵＭＥＲＩＴ）」やマルチサイト触媒で重合されたものとして、旭化成ケミカルズ（株）製の商品名「サンテックＨＤ（Ｓｕｎｔｅｃ ＨＤ）」、日本ポリエチレン（株）製の商品名「ノバテックＨＤ（Ｎｏｖａｔｅｃ ＨＤ）」等が挙げられる。

〈結晶核剤（Ｃ）〉
また樹脂層（ＩＩ）は、結晶核剤（Ｃ）を含有させることが好ましい。結晶核剤（Ｃ）は、主に前記エチレン系樹脂（Ｂ）の球晶サイズの微細化による透明性向上や、結晶融解熱量の増大、剛性向上効果を有するものであれば、その種類は特に制限されるものではない。

上記結晶核剤（Ｃ）としては、例えば、ジベンジリデンソルビトール（ＤＢＳ）化合物、１，３−Ｏ−ビス（３，４ジメチルベンジリデン）ソルビトール、ジアルキルベンジリデンソルビトール、少なくとも一つの塩素又は臭素置換基を有するソルビトールのジアセタール、ジ（メチル又はエチル置換ベンジリデン）ソルビトール、炭素環を形成する置換基を有するビス（３，４−ジアルキルベンジリデン）ソルビトール、脂肪族、脂環族、及び芳香族のカルボン酸、ジカルボン酸又は多塩基性ポリカルボン酸、相当する無水物及び金属塩等の有機酸の金属塩化合物、環式ビス−フェノールホスフェート、２ナトリウムビシクロ［２．２．１］ヘプテンジカルボン酸等の二環式ジカルボン酸及び塩化合物、ビシクロ［２．２．１］ヘプタン−ジカルボキシレート等の二環式ジカルボキシレートの飽和の金属又は有機の塩化合物、１，３：２，４−Ｏ−ジベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｍ−メチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｍ−エチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｍ−イソプロピルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｍ−ｎ−プロピルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｍ−ｎ−ブチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−メチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−エチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−イソプロピルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−ｎ−プロピルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−ｎ−ブチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（２，３−ジメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（２，４−ジメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（２，５−ジメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（３，４−ジメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（３，５−ジメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（２，３−ジエチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（２，４−ジエチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（２，５−ジエチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（３，４−ジエチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（３，５−ジエチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（２，４，５−トリメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（３，４，５−トリメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（２，４，５−トリエチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（３，４，５−トリエチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−メチルオキシカルボニルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−エチルオキシカルボニルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−イソプロピルオキシカルボニルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｏ−ｎ−プロピルオキシカルボニルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｏ−ｎ−ブチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｏ−クロロベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−（ｐ−クロロベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−［（５，６，７，８,−テトラヒドロ−１−ナフタレン）−１−メチレン］−Ｄ−ソルビトール、１，３：２，４−ビス−Ｏ−［（５，６，７，８,−テトラヒドロ−２−ナフタレン）−１−メチレン］−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ベンジリデン−２，４−Ｏ−ｐ−メチルベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ｐ−メチルベンジリデン−２，４−Ｏ−ベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ベンジリデン−２，４−Ｏ−ｐ−エチルベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ｐ−エチルベンジリデン−２，４−Ｏ−ベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ベンジリデン−２，４−Ｏ−ｐ−クロルベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ｐ−クロルベンジリデン−２，４−Ｏ−ベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ベンジリデン−２，４−Ｏ−（２，４−ジメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−（２，４−ジメチルベンジリデン）−２，４−Ｏ−ベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ベンジリデン−２，４−Ｏ−（３，４−ジメチルベンジリデン）−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−（３，４−ジメチルベンジリデン）−２，４−Ｏ−ベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ｐ−メチル−ベンジリデン−２，４−Ｏ−ｐ−エチルベンジリデンソルビトール、１，３−ｐ−エチル−ベンジリデン−２，４−ｐ−メチルベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ｐ−メチル−ベンジリデン−２，４−Ｏ−ｐ−クロルベンジリデン−Ｄ−ソルビトール、１，３−Ｏ−ｐ−クロル− ベンジリデン−２，４−Ｏ−ｐ−メチルベンジリデン−Ｄ−ソルビトール等のジアセタール化合物、ナトリウム２，２’−メチレン−ビス−（４，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ホスフェート、アルミニウムビス［２，２’−メチレン−ビス−（４−６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ホスフェート］、燐酸２，２−メチレンビス（４，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ナトリウムや、カプロン酸、エナント酸、カプリル酸、ペラルゴン酸、カプリン酸、ウンデカン酸、ラウリン酸、トリデカン酸、ミリスチン酸、ペンタデカン酸、パルミチン酸、マーガリン酸、ステアリン酸、ノナデカン酸、アラキン酸、ベヘニン酸、モンタン酸等の脂肪酸、オレイン酸アミド、エルカ酸アミド、ステアリン酸アミド、ヘベニン酸アミド等の脂肪酸アミド、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸カルシウム等の脂肪酸金属塩、シリカ、タルク、カオリン、炭化カルシウム等の無機粒子、グリセロール、グリセリンモノエステル等の高級脂肪酸エステル、及び類似物が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

上記のなかでも結晶核剤（Ｃ）は、透明性や剛性の向上効果から、オレイン酸アミド、エルカ酸アミド、ステアリン酸アミド、ヘベニン酸アミド等の脂肪酸アミド、ステアリン酸マグネシウム、ステアリン酸亜鉛、ステアリン酸カルシウム等の脂肪酸金属塩が特に好ましい。

結晶核剤（Ｃ）の具体例としては、新日本理化（株）製の商品名「ゲルオールＤ」シリーズ、旭電化工業（株）製の商品名「アデカスタブ」、ミリケンケミカル（株）製の商品名「Ｍｉｌｌａｄ」、「Ｈｙｐｅｒｆｏｒｍ」、ＢＡＳＦ（株）製の商品名「ＩＲＧＡＣＬＥＡＲ」等が挙げられ、また結晶核剤のマスターバッチとしては理研ビタミン（株）製の商品名「リケマスターＣＮ」、ミリケンケミカル（株）製の商品名「Ｈｙｐｅｒｆｏｒｍ Ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｅ」等が挙げられる。このなかでも特に透明性を向上する効果が高いものとして、ミリケンケミカル（株）製の商品名「Ｈｙｐｅｒｆｏｒｍ ＨＰＮ−２０Ｅ」、「Ｈｙｐｅｒｆｏｒｍ Ｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｅ ＨＬ３−４」、理研ビタミン（株）製の商品名「リケマスターＣＮ−００１」、「リケマスターＣＮ−００２」が挙げられる。

〈オレフィン相溶樹脂（Ｄ）〉
樹脂層（ＩＩ）はさらに、オレフィン相溶樹脂（Ｄ）を含有させることが、本発明の積層防湿フィルムの防湿性や透明性をさらに向上できるため好ましい。
上記オレフィン相溶樹脂（Ｄ）としては、例えば、石油樹脂、テルペン樹脂、クマロン−インデン樹脂、ロジン系樹脂、及びこれらの水素添加誘導体等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。本発明においては、後記する理由から石油樹脂又はテルペン樹脂が好適に用いられる。

上記石油樹脂としては、例えば、シクロペンタジエンもしくはその二量体からの脂環式石油樹脂、Ｃ９成分からの芳香族石油樹脂等が挙げられる。
上記テルペン樹脂としては、例えば、β−ピネンからのテルペン−フェノール樹脂等が挙げられる。
上記クマロン−インデン樹脂としては、例えば、クマロン−インデン共重合体や、クマロン−インデン−スチレン共重合体等が挙げられる。
上記ロジン系樹脂としては、例えば、ガムロジン、ウッドロジン等のロジン樹脂、グリセリン、ペンタエリスリトール等で変性したエステル化ロジン樹脂等が挙げられる。

オレフィン相溶樹脂（Ｄ）は、前記エチレン系樹脂（Ｂ）と混合した場合の相溶性、色調、熱安定性、耐湿熱性等の観点から、水素添加物誘導体、特に水素添加率（以下「水添率」と略することがある、¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルからフェニル基を基準とした共役ジエンの不飽和二重結合の割合から求められる）が９５％以上であり、また水酸基、カルボキシル基、ハロゲン等の極性基、あるいは二重結合等の不飽和結合を実質上含有しない、水添石油樹脂又は水添テルペン樹脂を用いることが好ましい。

本発明の積層防湿フィルムにおいて、オレフィン相溶樹脂（Ｄ）のＪＩＳ Ｋ２２０７に準拠して測定した軟化温度Ｔｓ（Ｄ）は、［前記エチレン系樹脂（Ｂ）のＪＩＳ Ｋ７１２１に準拠して測定した示差走査熱量測定における冷却速度１０℃／分で測定される結晶化ピーク温度Ｔｃ（Ｂ）＋５℃］以下であることが好ましく、より好ましくは［該Ｔｃ（Ｂ）＋３℃］以下であり、さらに好ましくは［該Ｔｃ（Ｂ）＋２℃］以下である。なお、該Ｔｓ（Ｄ）の下限は８０℃である。ここで、軟化温度Ｔｓ（Ｄ）の上限が該条件を満たすことで、エチレン系樹脂（Ｂ）の結晶化過程においては、オレフィン相溶樹脂（Ｄ）の分子鎖の自由度が高いため、エチレン系樹脂（Ｂ）の結晶化が阻害されにくく、微細な結晶が形成され、防湿性や透明性等に優れた太陽電池用多層体が得られるため好ましい。また、オレフィン相溶樹脂（Ｄ）の軟化温度Ｔｓ（Ｄ）の下限が、８０℃以上であることが好ましく、さらに９０℃以上であれば、成形時における原料のブロッキングや、二次加工時、あるいは、輸送時、使用時において太陽電池用多層体の表面へのブリードアウトが生じにくいためより好ましい。
該オレフィン相溶樹脂（Ｄ）の軟化温度Ｔｓ（Ｄ）は、主に、分子量を選択することにより、所望の軟化温度のものを得ることができる。

オレフィン相溶樹脂（Ｄ）の具体例としては、三井化学（株）製の商品名「ハイレッツ（Ｈｉｒｅｚ）」、「ペトロジン（ＰＥＴＲＯＳＩＮ）」、荒川化学工業（株）製の商品名「アルコン（Ａｒｋｏｎ）」、ヤスハラケミカル（株）製の商品名「クリアロン（Ｃｌｅａｒｏｎ）」、出光興産（株）製の商品名「アイマーブ（Ｉ−ＭＡＲＶ）」、トーネックス（株）製の商品名「エスコレッツ（Ｅｓｃｏｒｅｚ）」等が挙げられる。

〈環状オレフィン系樹脂（Ｅ）〉
樹脂層（ＩＩ）にはさらに、環状オレフィン系樹脂（Ｅ）を含有させることが透明性をさらに向上できるため好ましい。
本発明に用いる環状オレフィン系樹脂（Ｅ）としては、（ｉ）環状オレフィンの開環（共）重合体を必要に応じ水素添加した重合体、（ｉｉ）環状オレフィンの付加（共）重合体、（ｉｉｉ）環状オレフィンとエチレン、プロピレン等のα−オレフィンとのランダム共重合体、（ｉｖ）前記（ｉ）〜（ｉｉｉ）を無水マレイン酸、マレイン酸、無水イタコン酸、イタコン酸、（メタ）アクリル酸等の不飽和カルボン酸あるいはその無水物の変性剤で変性したグラフト共重合体等が例示できる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

環状オレフィン系樹脂（Ｅ）のガラス転移温度（Ｔｇ）は、好ましくは５０〜１１０℃であり、より好ましくは６０〜９０℃、さらに好ましくは６５〜８５℃である。ここで、ガラス転移温度（Ｔｇ）が該範囲内であれば耐熱性、加工性を大幅に低下させることなく、防湿フィルム（ａ）の透明性を向上させることができるため好ましい。

環状オレフィン系樹脂（Ｅ）は、樹脂層（ＩＩ）を構成する前記エチレン系樹脂（Ｂ）との相溶性が低いため、透明性を考慮すると、常温における平均屈折率が１．５１〜１．５４であることが好ましく、より好ましくは１．５１５〜１．５３５であり、また用いるエチレン系樹脂（Ｂ）の平均屈折率との差の絶対値が０．０１以下であることが好ましく、より好ましくは０．００５以下であり、さらに好ましくは０．００３以下である。ここで、平均屈折率差の絶対値が該範囲内であれば、樹脂層（ＩＩ）中における環状オレフィン系樹脂（Ｅ）の分散径に大きく影響されることなく、透明性が向上できるため好ましい。なお、平均屈折率は、周知の方法、例えば、アッベ屈折計を用いて測定することができる。

環状オレフィン系樹脂（Ｅ）の具体例としては、日本ゼオン（株）製の商品名「ゼオノア（ＺＥＯＮＯＲ）」、三井化学（株）製の商品名「アペル（ＡＰＥＬ）」、ポリプラスチックス（株）製の商品名「トパス（ＴＯＰＡＳ）」が挙げられる。なお、環状オレフィン系樹脂（Ｅ）は、例えば、特開昭６０−１６８７０８号公報、特開昭６１−１１５９１６号公報、特開昭６１−２７１３０８号公報、特開昭６１−２５２４０７号公報等に記載されている公知の方法に準拠して製造することもできる。

〈含有量〉
前記樹脂層（ＩＩ）におけるエチレン系樹脂（Ｂ）の含有量は、通常、３０質量％以上であり、３０〜９９．９質量％であることが好ましく、４０〜８５質量％であることがより好ましい。ここで、エチレン系樹脂（Ｂ）が該範囲内であれば、防湿性と透明性を両立することができるため好ましい。

次に、前記樹脂層（ＩＩ）における結晶核剤（Ｃ）の含有量は、透明性、防湿性が良好となる範囲で適宜決定することが可能であるが、０．０１〜３．０質量％であることが好ましく、０．０３〜２．０質量％であることがより好ましく、０．０５〜１．０質量％であることがさらに好ましい。ここで、結晶核剤（Ｃ）が該範囲内であれば、過剰な添加による界面散乱による透明性の大幅な低下がなく、防湿フィルム（ａ）の透明性と防湿性を向上させることができるため好ましい。

次に、前記樹脂層（ＩＩ）におけるオレフィン相溶樹脂（Ｄ）の含有量は、０〜４０質量％であることが好ましく、１０〜３０質量％であることがより好ましく、１０〜２５質量％であることがさらに好ましい。ここで、オレフィン相溶樹脂（Ｄ）が該範囲内であれば、表面へのブリードや機械物性の大幅な低下がなく、防湿フィルム（ａ）の透明性と防湿性をさらに向上させることができるため好ましい。

次に、前記樹脂層（ＩＩ）における環状オレフィン系樹脂（Ｅ）の含有量は、０〜４５質量％であることが好ましく、１５〜４０質量％であることがより好ましく、２０〜３５質量％であることがさらに好ましい。ここで、環状オレフィン系樹脂（Ｅ）が該範囲内であれば、防湿性を大幅に低下させることなく、透明性をさらに向上させることができるため好ましい。

本発明においては、樹脂層（ＩＩ）の厚みは、特に制限されるものではないが、防湿性と透明性及び剛性のバランスの観点から、０．０１〜０．３０ｍｍであることが好ましく、０．０３〜０．２５ｍｍであることがより好ましく、０．０５〜０．１５ｍｍであることがさらに好ましい。

（その他の成分）
〈その他の樹脂〉
また、防湿フィルム（ａ）を構成する樹脂層（Ｉ）及び樹脂層（ＩＩ）には、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、諸特性（柔軟性、剛性、耐熱性、透明性、接着性等）や成形加工性あるいは経済性等をさらに向上させる目的で、その他の樹脂を含有させることができる。例えば、樹脂層（Ｉ）であれば前記シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）やエチレン系樹脂（Ｆ）以外、樹脂層（ＩＩ）であれば前記エチレン系樹脂（Ｂ）、前記オレフィン相溶樹脂（Ｄ）、及び前記環状オレフィン系樹脂（Ｅ）以外のその他の樹脂を混合することができる。
その他の樹脂としては、例えば、他のポリオレフィン系樹脂や各種エラストマー（オレフィン系、スチレン系等）、カルボキシル基、アミノ基、イミド基、水酸基、エポキシ基、オキサゾリン基、チオール基等の極性基で変性された樹脂等が挙げられる。

〈添加剤〉
また、防湿フィルム（ａ）を構成する樹脂層（Ｉ）及び／又は樹脂層（ＩＩ）には、必要に応じて、種々の添加剤を添加することができる。添加剤としては、例えば、シランカップリング剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、耐候安定剤、光拡散剤、造核剤、顔料（例えば白色顔料）、難燃剤、変色防止剤等が挙げられる。本発明においては、酸化防止剤、紫外線吸収剤、耐候安定剤から選ばれる少なくとも一種の添加剤が添加されていることが後記する理由等から好ましい。

シランカップリング剤
シランカップリング剤は、封止材の保護材（ガラス、樹脂製のフロントシート、バックシート等）や太陽電池素子等に対する接着性を向上させるのに有用であり、例えば、ビニル基、アクリロキシ基、メタクリロキシ基のような不飽和基、アミノ基、エポキシ基等とともに、アルコキシ基のような加水分解可能な基を有する化合物が挙げられる。
シランカップリング剤の具体例としては、Ｎ−（β−アミノエチル）−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−（β−アミノエチル）−γ−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。添加する場合には、接着性が良好であり、黄変等の変色が少ないこと等からγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン及びγ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシランが好ましく用いられる。

上記シランカップリング剤の添加量は、各樹脂層を構成する樹脂組成物１００質量部に対し、通常、０．０〜５．０質量部程度であり、またシランカップリング剤と同様に、有機チタネート化合物等のカップリング剤も有効に活用できるが、本発明においては添加しないことが好ましい。

酸化防止剤
酸化防止剤としては、種々の市販品が適用でき、モノフェノール系、ビスフェノール系、高分子型フェノール系等のフェノール系、ホスファイト系等各種タイプのものが挙げられる。
モノフェノール系としては、例えば、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ブチル化ヒドロキシアニゾール、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−エチルフェノール等が挙げられる。ビスフェノール系としては、２，２’−メチレン−ビス−（４−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレン−ビス−（４−エチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、４，４’−チオビス−（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、４，４’−ブチリデン−ビス−（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェノール）、３，９−ビス〔｛１，１−ジメチル−２−｛β−（３−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）プロピオニルオキシ｝エチル｝２，４，９，１０−テトラオキサスピロ〕５，５−ウンデカン等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

高分子フェノール系としては、例えば、１，１，３−トリス−（２−メチル−４−ヒドロキシ−５−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ブタン、１，３，５−トリメチル−２，４，６−トリス（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ビドロキシベンジル）ベンゼン、テトラキス−｛メチレン−３−（３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４’−ヒドロキスフェニル）プロピオネート｝メタン、ビス｛（３，３’−ビス−４’−ヒドロキシ−３’−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ブチリックアシッド｝グルコールエステル、１，３，５−トリス（３’，５’−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４’−ヒドロキシベンジル）−ｓ−トリアジン−２，４，６−（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）トリオン、トコフェノール（ビタミンＥ）等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

ホスファイト系としては、例えば、トリフェニルホスファイト、ジフェニルイソデシルホスファイト、フェニルジイソデシルホスファイト、４，４’−ブチリデン−ビス（３−メチル−６−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル−ジ−トリデシル）ホスファイト、サイクリックネオペンタンテトライルビス（オクタデシルホスファイト）、トリス（モノ及び／又はジ）フェニルホスファイト、ジイソデシルペンタエリスリトールジホスファイト、９，１０−ジヒドロ−９−オキサ−１０−ホスファフェナスレン−１０−オキサイド、１０−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンジル）−９，１０−ジヒドロ−９−オキサ−１０−ホスファフェナンスレン−１０−オキサイド、１０−デシロキシ−９，１０−ジヒドロ−９−オキサ−１０−ホスファフェナンスレン、サイクリックネオペンタンテトライルビス（２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ホスファイト、サイクリックネオペンタンテトライルビス（２，６−ジ−ｔｅｒｔ−メチルフェニル）ホスファイト、２，２−メチレンビス（４，６−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）オクチルホスファイト等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

本発明においては、酸化防止剤の効果、熱安定性、経済性等からフェノール系及びホスファイト系の酸化防止剤が好ましく用いられ、両者を組み合わせて用いることがより好ましい。上記酸化防止剤の添加量は、各樹脂層を構成する樹脂組成物１００質量部に対し、通常、０．１〜１．０質量部程度であり、０．２〜０．５質量部添加することが好ましい。

紫外線吸収剤
紫外線吸収剤としては、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、トリアジン系、サリチル酸エステル系等各種タイプのものを挙げることができ、種々の市販品が適用できる。
ベンゾフェノン系紫外線吸収剤としては、例えば、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシ−２’−カルボキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−オクトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−ドデシルオキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクタデシルオキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ベンジルオキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシ−５−スルホベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−５−クロロベンゾフェノン、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２，２’−ジヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２，２’−ジヒドロキシ−４，４’−ジメトキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

ベンゾトリアゾール系紫外線吸収剤としては、ヒドロキシフェニル置換ベンゾトリアゾール化合物であって、例えば、２−（２−ヒドロキシ−５−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２−ヒドロキシ−５−ｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２−ヒドロキシ−３，５−ジメチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２−メチル−４−ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２−ヒドロキシ−３−メチル−５−ｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔ−アミルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２−ヒドロキシ−３，５−ジ−ｔ−ブチルフェニル）ベンゾトリアゾール等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。またトリアジン系紫外線吸収剤としては、例えば、２−［４，６−ビス（２，４−ジメチルフェニル）−１，３，５−トリアジン−２−イル］−５−（オクチルオキシ）フェノール、２−（４，６−ジフェニル−１，３，５−トリアジン−２−イル）−５−（ヘキシルオキシ）フェノール等が挙げられる。サリチル酸エステル系としては、フェニルサリチレート、ｐ−オクチルフェニルサリチレート等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

上記紫外線吸収剤の添加量は、各樹脂層を構成する樹脂組成物１００質量部に対し、通常、０．０１〜２．０質量部程度であり、０．０５〜０．５質量部添加することが好ましい。

耐候安定剤
上記の紫外線吸収剤以外に耐候性を付与する耐候安定剤としては、ヒンダードアミン系光安定化剤が好適に用いられる。ヒンダードアミン系光安定化剤は、紫外線吸収剤のようには紫外線を吸収しないが、紫外線吸収剤と併用することによって著しい相乗効果を示す。ヒンダードアミン系以外にも光安定化剤として機能するものはあるが、着色している場合が多く防湿フィルム（ａ）には好ましくない。

ヒンダードアミン系光安定化剤としては、例えば、コハク酸ジメチル−１−（２−ヒドロキシエチル）−４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン重縮合物、ポリ［｛６−（１，１，３，３−テトラメチルブチル）アミノ−１，３，５−トリアジン−２，４−ジイル｝｛（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル）イミノ｝ヘキサメチレン｛｛２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル｝イミノ｝］、Ｎ，Ｎ’−ビス（３−アミノプロピル）エチレンジアミン−２，４−ビス［Ｎ−ブチル−Ｎ−（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジル）アミノ］−６−クロロ−１，３，５−トリアジン縮合物、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリジル）セバケート、２−（３，５−ジ−ｔｅｒｔ−４−ヒドロキシベンジル）−２−ｎ−ブチルマロン酸ビス（１，２，２，６，６−ペンタメチル−４−ピペリジル）等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

上記ヒンダードアミン系光安定化剤の添加量は、各樹脂層を構成する樹脂組成物１００質量部に対し、通常、０．０１〜０．５質量部程度であり、０．０５〜０．３質量部添加することが好ましい。

本発明において防湿フィルム（ａ）は、防湿性に優れるものであり、温度４０℃、相対湿度９０％で測定した防湿フィルム（ａ）の水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が３．０(ｇ／ｍ²・日)以下であり、耐久性や長期信頼性等の観点から２．０(ｇ／ｍ²・日)以下であることが好ましく、１．０(ｇ／ｍ²・日)以下であることがより好ましく、０．５(ｇ／ｍ²・日)以下であることがさらに好ましい。
このような優れた防湿性は、主として、例えば、前記エチレン系樹脂（Ｂ）と結晶核剤（Ｃ）との組合せ、さらには、オレフィン相溶樹脂（Ｄ）及び／又は、環状オレフィン系樹脂（Ｅ）の添加により達成することができる。

防湿フィルム（ａ）は、適用される太陽電池の形状や厚み、設置場所等を考慮して、その柔軟性や剛性を適宜調整することができる。
例えば、シート形状で防湿フィルム（ａ）を採取した場合のハンドリング性やシート表面同士のブロッキング防止、あるいは、太陽電池モジュールにおける軽量化（通常３ｍｍ程度に対して、薄膜ガラス（１．１ｍｍ程度）が適用可能、あるいはガラスレスの構成が適用可能）等を考慮すると、動的粘弾性測定における振動周波数１０Ｈｚ、温度２０℃の貯蔵弾性率（Ｅ’）が１００〜１０００ＭＰａであることが好ましく、２５０〜９００ＭＰａであることがより好ましく、３００〜７００ＭＰａであることがさらに好ましく、４００〜６００ＭＰａであることが特に好ましい。
なお、該貯蔵弾性率（Ｅ’）は、動的粘弾性測定装置を用いて、振動周波数１０Ｈｚで所定温度範囲を測定し、温度２０℃における値を求めることで得られる。

防湿フィルム（ａ）は、最外層の少なくとも一層として有する樹脂層（Ｉ）と樹脂層（ＩＩ）とを有する多層構成である態様が好ましく、該好ましい態様によって接着性や柔軟性等の表面層に求められる特性と防湿性やハンドリング性（剛性）等の多層体全体に求められる特性とをバランス良く両立することが可能となる。

例えば、柔軟性とハンドリング性（剛性）を例に説明すると、防湿フィルム（ａ）は、樹脂層（Ｉ）として軟質層、樹脂層（ＩＩ）として硬質層を採用し、これらの厚み比を適宜調整することにより、柔軟性とハンドリング性（剛性）をバランス良く両立することが可能となる。防湿フィルム（ａ）は、樹脂層（Ｉ）と樹脂層（ＩＩ）の２層以上の積層構成であればかまわないが、多層体としてのカール防止（平面性の保持）や製膜性等の観点から、樹脂層（Ｉ）／樹脂層（ＩＩ）／樹脂層（Ｉ）、言い換えれば、軟質層／硬質層／軟質層の２種３層構成等の対称構成が好ましい。

上記軟質層とは、特に限定はされないが、動的粘弾性測定における振動周波数１０Ｈｚ、温度２０℃の貯蔵弾性率（Ｅ’）が好ましくは１００ＭＰａ以下、より好ましくは、５〜５０ＭＰａの層であり、硬質層とは、貯蔵弾性率（Ｅ’）が好ましくは１００ＭＰａを越え、より好ましくは２００〜３０００ＭＰａ、さらに好ましくは５００〜２０００ＭＰａの層である。このような積層構成を採用することにより、防湿フィルム（ａ）を例えば、太陽電池封止材として用いる場合、太陽電池素子の保護性（クッション性）と封止材全体としてのハンドリング性（常温での弾性率等）の両立が比較的容易に実現することが出来るため好ましい。

防湿フィルム（ａ）の総厚み０．３ｍｍにおける全光線透過率は、適用する太陽電池の種類、例えばアモルファスの薄膜系シリコン型等や太陽電子素子に届く太陽光を遮らない部位に適用する場合には、あまり重視されないこともあるが、太陽電池の光電変換効率や各種部材を重ね合わせる時の作業性等を考慮し、８５％以上であることが好ましく、８８％以上であることがより好ましく、９０％以上であることがさらに好ましい。なお、該全光線透過率は、公知の種々の方法で測定することが可能であるが、本発明においては、ＪＩＳ Ｋ７１０５に準拠して、村上色彩技術研究所（株）製「反射・透過率計」を用いて、総厚み０．３ｍｍの多層シートの全光線透過率を測定したものである。

防湿フィルム（ａ）は、太陽電池モジュールの形成が容易であり、架橋工程が省略可能でかつ透明性、防湿性、封止性及びハンドリング性（剛性）等に優れた太陽電池封止材として好適に用いられる。これらの特性を同時に満足させるため、総厚み０．３ｍｍの太陽電池用多層体を測定した場合、動的粘弾性測定における振動周波数１０Ｈｚ、温度２０℃の貯蔵弾性率（Ｅ’）が３００〜７００ＭＰａ、温度４０℃、相対湿度９０％で測定した水蒸気透過率が３．０(ｇ／ｍ²・日)以下、かつ全光線透過率が８５％以上であることが好ましい。より好ましくは動的粘弾性測定における振動周波数１０Ｈｚ、温度２０℃の貯蔵弾性率（Ｅ’）が４００〜６００ＭＰａ、温度４０℃、相対湿度９０％で測定した水蒸気透過率が２．０(ｇ／ｍ²・日)以下、かつ全光線透過率が８７％以上であり、さらに好ましくは動的粘弾性測定における振動周波数１０Ｈｚ、温度２０℃の貯蔵弾性率（Ｅ’）が４００〜６００ＭＰａ、温度４０℃、相対湿度９０％で測定した水蒸気透過率が１．０(ｇ／ｍ²・日)以下、かつ全光線透過率が８８％以上である。

防湿フィルム（ａ）の耐熱性は、樹脂層（Ｉ）と樹脂層（ＩＩ）に用いる樹脂の諸特性（結晶融解ピーク温度、結晶融解熱量、ＭＦＲ、分子量等）に影響される。一般に、太陽電池モジュールは発電時の発熱や太陽光の輻射熱等で８５〜９０℃程度まで昇温するが、結晶融解ピーク温度が１００℃以上であれば、防湿フィルム（ａ）の耐熱性が確保できるため好ましい。

防湿フィルム（ａ）の総厚みは、特に限定されるものではないが、通常、０．０３〜１．０ｍｍ程度であり、透明性、防湿性及びハンドリング性等の点から、好ましくは０．１０〜０．７５ｍｍのシート状で用いられる。

［防湿フィルム（ｂ）］
本発明において、防湿フィルム（ｂ）は、基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｂ））の値が１．０(ｇ／ｍ²・日)以下であるものである。
防湿フィルム（ｂ）においても、無機層により、湿気、水の透過による太陽電池の内面側を保護することができ、また高い透明性を確保することにより太陽電池用表面保護材においては発電効率の向上が達成できる。

防湿フィルムにおいて上記無機層を有する基材としては、透明熱可塑性高分子フィルムが好ましく、その材料としては、通常の包装材料に使用しうる樹脂であれば特に制限なく用いることができる。具体的には、エチレン、プロピレン、ブテン等の単独重合体又は共重合体等のポリオレフィン、環状ポリオレフィン等の非晶質ポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステル、ナイロン６、ナイロン６６、ナイロン１２、共重合ナイロン等のポリアミド、エチレン−酢酸ビニル共重合体部分加水分解物（ＥＶＯＨ）、ポリイミド、ポリエーテルイミド、ポリサルホン、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリカーボネート、ポリビニルブチラール、ポリアリレート、フッ素樹脂、アクリレート樹脂、生分解性樹脂等が挙げられ、これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を組み合わせて用いてもよい。これらの中では、フィルム物性、コスト等の点から、ポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィンが好ましく、フィルム物性の点から、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等のポリエステルが特に好ましい。

また、上記基材は、公知の添加剤、例えば、帯電防止剤、光線遮断剤、紫外線吸収剤、可塑剤、滑剤、フィラー、着色剤、安定剤、潤滑剤、架橋剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等を含有することができる。
上記基材としての熱可塑性高分子フィルムは、上記の原料を用いて成形してなるものであるが、基材として用いる際は、未延伸であってもよいし延伸したものであってもよい。また、他のプラスチック基材と積層されていてもよい。
かかる基材は、従来公知の方法により製造することができ、例えば、原料樹脂を押出機により溶融し、環状ダイやＴダイにより押出して、急冷することにより実質的に無定型で配向していない未延伸フィルムを製造することができる。また、多層ダイを用いることにより、１種の樹脂からなる単層フィルム、１種の樹脂からなる多層フィルム、多種の樹脂からなる多層フィルム等を製造することができる。

この未延伸フィルムを一軸延伸、テンター式逐次二軸延伸、テンター式同時二軸延伸、チューブラー式同時二軸延伸等の公知の方法により、フィルムの流れ（縦軸）方向又はフィルムの流れ方向とそれに直角な（横軸）方向に延伸することにより、一軸方向又は二軸方向に延伸したフィルムを製造することができる。延伸倍率は任意に設定できるが、１５０℃熱収縮率が、０．０１〜５％であることが好ましく、０．０１〜２％であることがより好ましい。なかでもフィルム物性の点から、二軸延伸ポリエチレンナフタレートフィルムや、ポリエチレンテレフタレート及び／又はポリエチレンナフタレートと他のプラスチックの共押出二軸延伸フィルムが好ましい。

なお、上記基材には、無機層との密着性向上のため、アンカーコート剤を塗布することによりアンカーコート層を設けることが好ましい。アンカーコート剤としては、溶剤性又は水性のポリエステル樹脂、イソシアネート樹脂、ウレタン樹脂、アクリル樹脂、変性ビニル樹脂、ビニルアルコール樹脂等のアルコール性水酸基含有樹脂、ビニルブチラール樹脂、ニトロセルロース樹脂、オキサゾリン基含有樹脂、カルボジイミド基含有樹脂、メチレン基含有樹脂、エポキシ基含有樹脂、変性スチレン樹脂及び変性シリコーン樹脂等が挙げられる。これらは単独、あるいは２種以上を組み合わせて使用することができる。また、アンカーコート層は必要に応じ、シラン系カップリング剤、チタン系カップリング剤、アルキルチタネート、紫外線吸収剤、耐候安定剤等の安定剤、潤滑剤、ブロッキング防止剤、酸化防止剤等を含有することができる。
紫外線吸収剤及び耐候安定剤としては、前述の基材の説明において挙げたものが使用できる。該紫外線吸収剤及び／または耐候安定剤が前記した樹脂と共重合したポリマータイプのものも使用することもできる。

アンカーコート層の形成方法としては、公知のコーティング方法が適宜採択される。例えば、リバースロールコーター、グラビアコーター、ロッドコーター、エアドクタコーター、スプレイあるいは刷毛を用いたコーティング方法等の方法がいずれも使用できる。また、基材を樹脂液に浸漬して行ってもよい。塗布後は、８０〜２００℃程度の温度での熱風乾燥、熱ロール乾燥等の加熱乾燥や、赤外線乾燥等の公知の乾燥方法を用いて溶媒を蒸発させることができる。また、耐水性、耐久性を高めるために、電子線照射による架橋処理を行うこともできる。また、アンカーコート層の形成は、基材の製造ラインの途中で行う方法（インライン）でも、基材製造後に行う（オフライン）方法でも良い。
アンカーコート層の厚みは無機層との密着性の観点から、１０〜２００ｎｍであることが好ましく、１０〜１００ｎｍであることがより好ましい。

防湿フィルムとしては、該基材にアルミニウム等の金属のコーティング膜を形成したものも使用できるが、太陽電池に適用した場合、電流がリークする等の恐れがない点から、シリカ、アルミナ等の無機酸化物のコーティング膜が好ましく用いられる。
上記無機層の形成方法としては、蒸着法、コーティング法等の方法がいずれも使用できるが、ガスバリア性の高い均一な薄膜が得られるという点で蒸着法が好ましい。この蒸着法には、物理気相蒸着（ＰＶＤ）、あるいは化学気相蒸着（ＣＶＤ）等の方法が含まれる。物理気相蒸着法としては、真空蒸着、イオンプレーティング、スパッタリング等が挙げられ、化学気相蒸着法としては、プラズマを利用したプラズマＣＶＤ、加熱触媒体を用いて材料ガスを接触熱分解する触媒化学気相成長法（Ｃａｔ−ＣＶＤ）等が挙げられる。

また、上記無機層は、上記に挙げられる種々の成膜法を用い多層成膜し、防湿性を高めることが可能である。その場合、同一の成膜法を用いても良いし、各層ごとに異なる成膜法を用いても良いが、何れも減圧下で連続して行うことが、効率的な防湿性向上、生産性の点で好ましい。
また、特に、真空蒸着法により形成した無機層、化学蒸着法により形成した無機層及び真空蒸着法により形成した無機層をこの順で形成した層構成が、多層構成の中に含まれていることが好ましい。
さらには、化学蒸着法により形成した無機層は、真空蒸着法により形成した無機層の中間層として、層間の応力緩和、下層の空隙封止、上層の下地性能の働きをためす点で、該層に含まれる炭化水素官能基量が少ないほど良く、ＥＳＣＡ（ＸＰＳ）分析値として炭素原子組成比が２０原子％未満、より好ましくは１０原子％未満であることが好ましい。また、該層の厚みは２０ｎｍ未満が適し、好ましくは１０ｎｍ未満、より好ましくは５ｎｍ未満が好ましい。

無機層を構成する無機物質としては、珪素、アルミニウム、マグネシウム、亜鉛、錫、ニッケル、チタン、水素化炭素等、あるいはこれらの酸化物、炭化物、窒化物又はそれらの混合物が挙げられるが、好ましくは酸化珪素、酸化窒化珪素及び酸化アルミニウム等の無機酸化物、窒化珪素等の窒化物並びに水素化炭素を主体としたダイアモンドライクカーボンが好ましい。特に、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素、酸化アルミニウムは、高いガスバリア性が安定に維持できる点で好ましい。

無機層の厚さは、高い防湿性能の発現と透明性の点から、４０〜１０００ｎｍであることが好ましく、４０〜８００ｎｍがより好ましく、５０〜６００ｎｍがさらに好ましい。無機層は単層であっても多層であってもよい。
上記基材の片面に無機層を有する防湿フィルムの厚さは、一般に５〜１００μｍ程度であり、生産性や取り扱いやすさの点から８〜５０μｍが好ましく、１２〜２５μｍがさらに好ましい。

防湿フィルム（ａ）の水蒸気透過率の調整は、前記エチレン樹脂（Ｂ）の結晶融解熱量やフィルム厚さを適宜調整することにより行うことができる。

なお、防湿フィルム（ｂ）の水蒸気透過率の調整は、前記のとおり、前記無機層を構成する基材の選択、無機層の厚さ、防湿フィルム（ｂ）の厚さ及び無機層の酸化数等を適宜調整することにより行うことができる。例えば、防湿フィルム（ｂ）の防湿性は、無機層の厚さを、好ましくは４０〜１０００ｎｍ、より好ましくは４０〜８００ｎｍ、さらに好ましくは５０〜６００ｎｍとすることにより、さらに防湿フィルム（ｂ）の厚さを、一般に６〜１００μｍ程度、好ましくは９〜５０μｍ、より好ましくは１２〜２５μｍとすることにより得られる。
以上より、防湿フィルム（ｂ）の４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率は１．０(ｇ／ｍ²・日)以下であり、好ましくは１．０(ｇ／ｍ²・日)未満、より好ましくは０．５(ｇ／ｍ²・日)以下、さらに好ましくは０．２(ｇ／ｍ²・日)以下である。

本発明の積層防湿フィルムは、前記防湿フィルム（ａ）及び前記防湿フィルム（ｂ）を有する。
本発明の積層防湿フィルムは、その４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ(Ａ)×ＷＴＲ(Ｂ)］／［ＷＴＲ(Ａ)＋ＷＴＲ(Ｂ)］の値より低い値であることが好ましい。
接着剤を用いて複数の防湿フィルム又はフィルムを積層した積層体において、使用する接着剤に防湿フィルムの防湿性を低下させている要因である無機層表面内の欠陥を補強する等の防湿性を向上させる効果がない場合、積層体の防湿性は各々の防湿フィルムの防湿性への寄与から直列的に導き出されると考えられる。すなわち、得られる積層防湿フィルムの４０℃、９０％ＲＨにおける理論水蒸気透過率（Ｗ）は、１／Ｗ＝１／ＷＴＲ（Ａ）＋１／ＷＴＲ（Ｂ）と表され、Ｗ＝［ＷＴＲ（Ａ）×ＷＴＲ（Ｂ）］／［ＷＴＲ（Ａ）＋ＷＴＲ（Ｂ）］として理論的に求めることができる。

本発明の積層防湿フィルムは、水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））が、理論値である上記Ｗ＝［ＷＴＲ（Ａ）×ＷＴＲ（Ｂ）］／［ＷＴＲ（Ａ）＋ＷＴＲ（Ｂ）］の値より低い値とすることができ、極めて防湿性に優れた積層防湿フィルムである。このことは、防湿フィルム（ａ）と防湿フィルム（ｂ）の組み合わせによる本発明の積層防湿フィルムが重大な防湿性向上効果を有することを意味する。本発明によれば、高価でかつ加工プロセスにおいて防湿性を損ないやすい高防湿性のフィルムを複数枚使用することなく、比較的安価で取り扱いの容易な低防湿性のフィルムと組み合わせることにより大きな防湿性向上効果を得ることが可能となる。
重大な防湿性向上効果を有する範囲とは、積層防湿フィルムの水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））は、上記Ｗの値の８０％以下であることが好ましく、より好ましくは７８％以下、さらに好ましくは７５％以下である。具体的には、例えば、前記防湿フィルム（ａ）の水蒸気透過率ＷＴＲ（Ａ）が０.５(ｇ／ｍ²・日)、前記防湿フィルム（ｂ）の水蒸気透過率ＷＴＲ（Ｂ）が０.１(ｇ／ｍ²・日)であれば、４０℃、９０％ＲＨにおける積層防湿フィルムの水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））は、好ましくは０.０４(ｇ／ｍ²・日)以下、より好ましくは０.０１(ｇ／ｍ²・日)以下である。

本発明の積層防湿フィルムにおいては、前記防湿フィルム（ａ）に、防湿フィルム（ｂ）を積層するが、その際、これら防湿フィルムの積層方法は任意であるが、防湿フィルム（ａ）と防湿フィルム（ｂ）の無機層面とを貼り合わせ、防湿フィルム（ｂ）の基材側を暴露面とする場合、水蒸気は防湿フィルム（ｂ）の基材側より浸透するため基材強度が加水分解により低下し、それにより無機層の基材への密着性が損なわれ防湿性が著しく低下する。このため、本発明においては、水蒸気の進入方向に無機層面を向けて貼合することが好ましい。

また、本発明の積層防湿フィルムにおいては、上記防湿フィルム（ａ）と防湿フィルム（ｂ）は、接着剤を用いて貼り合わせることが好ましく、上記防湿フィルム（ａ）と防湿フィルム（ｂ）の間に接着剤層を有することが好ましい。
使用できる接着剤としては、特に限定されるものではないが、積層フィルムの層間剥離を防止し強固な接着力が得られるため、反応性の接着剤を使用することが好ましい。反応性の接着剤としては、例えば、ポリウレタン系接着剤が好ましく用いられ、主剤として具体的には、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール、アクリルポリオール、ポリウレタンポリオールあるいはポリエステルポリオールを含む組成物等が挙げられるが、熱安定性、湿度安定性等の観点から、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール、及びポリウレタンポリオールのうち少なくとも１つを含むものがより好ましい。

また、接着剤の主剤は、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール及びポリウレタンポリオールから選ばれる少なくとも１種を２０〜７０質量％含むものが好ましく、３０〜５０質量％含むものがより好ましい。なお上記含有量は、ポリカーボネートポリオール、ポリエーテルポリオール及びポリウレタンポリオールから選ばれる２種以上を併用する場合、それらの合計量を意味する。

ポリカーボネートポリオールは、例えば、ジフェニルカーボネートと、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ネオペンチルグリコール（ＮＰＧ）、シクロヘキサンジオール等のジオールとを原料として得ることができる。

ポリエーテルポリオールは、例えば、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、テトラヒドロフラン等のアルキレンオキサイドを、アルカリ触媒又は酸触媒を触媒として開環重合を行うことで得ることができる。開環重合の出発物質となる活性水素含有化合物としてはエチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，６−へキサンジオール等の多価アルコールを用いることができる。

ポリアクリルポリオールは、水酸基をもった（メタ）アクリル酸エステルと他のモノマーとを共重合させて得ることができる。（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、ヒドロキシブチルアクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレート、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、脂環式構造を有するシクロヘキシルメタクリレート等を挙げることができる。好ましくは、メチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、脂環式構造を有するシクロヘキシルメタクリレート等のモノマーを重合させたポリアクリルポリオール、もしくは、これらのモノマーを共重合させたポリアクリルポリオールが挙げられる。

ポリウレタンポリオールは、ジオールとジイソシアネートを、イソシアネート基に対する水酸基の比が１以上の割合でウレタン化反応させることにより得ることができる。ポリウレタンポリオールの成分として、ジオール成分、ジイソシアネート成分を任意に選ぶことができる。

ジオール成分、ジイソシアネート成分は、ポリウレタンポリオールの流動性や溶剤への溶解性等を考慮して選択することができる。ジオール成分として好ましくは、プロピレングリコール、テトラメチレングリコール、ネオペンチルグリコール等の１級水酸基を有するジオールが挙げられる。また、イソシアネート成分としては、脂肪族ジイソシアネート、脂環系ジイソシアネート、芳香族イソシアネートが挙げられる。

ポリエステルポリオールは、例えば、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、イソフタル酸（ＩＰＡ）、テレフタル酸（ＴＰＡ）等のジカルボン酸化合物と、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、シクロヘキサンジオール等のジオール、又はポリテトラメチレングリコール等とから構成されるものが挙げられる。

ポリエステルポリオールを原料とする接着剤は基材との密着性が高いという点で好ましいが、エステル結合の加水分解による熱劣化を抑制する観点から、加水分解点となり得るエステル結合基数が少ないポリエステルポリオールを選択することが望ましい。例えばネオペンチルグリコール（ＮＰＧ）等のアルキル鎖の長いグリコールや、１，４−シクロヘキサンジメタノール等の脂環構造をもつグリコールを有することが望ましい。
さらに、例えばポリテトラメチレングリコール（ＰＴＭＧ）のように主鎖構造にポリエーテル構造を含む、耐加水分解ポリエステルポリオールを選択することが望ましい。このようなポリエステルポリオールとしては、エステル基１個当たりの分子量が、好ましくは１００〜５，０００、より好ましくは１２０〜３，０００である。

接着剤に用いられる硬化剤としてはジイソシアネートが好ましく、例えばヘキサメチレンジイソシアネート（ＨＤＩ）等の脂肪族系、キシリレンジイソシアネート（ＸＤＩ）、ジフェニルメタンジイソシアネート（ＭＤＩ）等の芳香族系、イソホロンジイソシアネート（ＩＰＤＩ）、ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート（Ｈ１２ＭＤＩ）等の脂環系が挙げられる。
硬化後に高い耐熱性をもたせる硬化剤として、例えば芳香族系ジイソシアネートであるＸＤＩ、及び脂環系ジイソシアネートであるＩＰＤＩ等が好ましい。さらに、接着剤の黄変を防ぐためには脂環系ジイソシアネートであるＩＰＤＩ等がより好ましい。
主剤がポリカーボネートポリオールを含む場合は、高い耐熱性、高い防湿性という点で優れているので好ましい。また、黄変しにくい点から、ポリカーボネートポリオールとＨＤＩ系硬化剤を組み合わせて用いることが望ましい。
また、より熱的に安定な接着剤層を得るために、主剤にエポキシ系化合物を含んだものを用いてもよい。

本発明における接着剤の主剤と硬化剤の好ましい配合比は、接着剤中に残留する反応性官能基を減らす観点から、質量比で、主剤／硬化剤＝５〜２５、また官能基のモル比で、ＮＣＯ／ＯＨ＝０．８〜９である。

本発明の積層防湿フィルムは、その高防湿性、耐久性等の点から、太陽電池用表面保護部材として用いることが好ましい。
太陽電池用表面保護部材として用いる場合、その用途に応じ、上記防湿フィルム（ａ）及び防湿フィルム（ｂ）に、さらに、耐加水分解性や耐候性に優れた耐候フィルム、封止材との密着性や耐電圧等を確保する背面フィルム等を備えることが好ましい。

具体的には、積層体としてより高い防湿性を得るとの観点から、前記防湿フィルム（ｂ）側に耐候フィルムを、防湿フィルム（ａ）側に背面フィルム等を備えることが好ましく、暴露側から、耐候フィルム、防湿フィルム（ｂ）、防湿フィルム（ａ）、必要に応じ背面フィルムの順に積層し、防湿フィルム（ｂ）の基材側に防湿フィルム（ａ）を有することが好ましい。また、本発明においては、より積層体からの残留溶剤を透過させるとの観点から、前記防湿フィルム（ａ）側に耐候フィルムを、防湿フィルム（ｂ）側に背面フィルム等を備えることも好ましく、暴露側から、耐候フィルム、防湿フィルム（ａ）、防湿フィルム（ｂ）、必要に応じ背面フィルムの順に積層することも好ましい態様である。さらに本発明においては、積層防湿フィルムの層間強度を確保する観点から、耐候フィルムと防湿フィルム（ａ）又は防湿フィルム（ｂ）、防湿フィルム（ａ）又は防湿フィルム（ｂ）と背面フィルムは、それぞれ接着剤を介して積層されたものであることが好ましい。
本発明の積層防湿フィルムは、その用途にもよるが、太陽電池等に使用する場合は透明であることが好ましいが、他の非透明部材との併用も任意である。

［耐候フィルム］
本発明の積層防湿フィルムを太陽電池用保護材として使用する場合、防湿フィルム（ｂ）の無機層面には、さらに薄膜層の保護のために耐加水分解性や耐候性を備え、長期の耐久性を付与するために、耐候フィルムが積層されることが好ましい。
耐候フィルムは、耐候性を有するものであれば限定されないが、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、ポリクロロトリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）及びポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）等のフッ素樹脂フィルム、あるいは、アクリル、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の樹脂に紫外線吸収剤を練り込んだ樹脂組成物を製膜したものが好ましく用いられる。

長期耐久性の観点からは、上記樹脂としては、エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）、テトラフルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン共重合体（ＦＥＰ）がより好ましく用いられる。
耐候フィルムとしては、真空ラミネーション時や高温高湿時の温度・湿度変化においてもその特性変化が小さいことが好ましいことから、例えば、ポリエチレンナフタレート等の低収縮性耐候基材の使用や、収縮率が大きいポリエチレンテレフタレートフィルムやフッ素系フィルムであっても、事前の熱処理による低収縮率化等が行われたフィルムの使用が好ましい。

長期耐候性とフィルム収縮率のいずれも考慮すると、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ）等の樹脂に紫外線吸収剤を塗布及び練り込んだ樹脂組成物を成膜したものが好ましく用いられる。
また、太陽電池保護材への使用を考えると可撓性に富み、耐熱性、防湿性、紫外線耐久性に優れる性能を有する耐候フィルムであることが望ましく、フッ素系フィルムや紫外線吸収剤を塗布及び練り込んだ耐加水分解性ポリエステルフィルムが好ましく用いられる。

使用する紫外線吸収剤としては、前述の基材の説明において挙げたものが使用できる。
上記紫外線吸収剤の添加量は、耐候フィルム中、通常、０．０１〜２．０質量％程度であり、０．０５〜０．５質量％添加することが好ましい。
上記の紫外線吸収剤以外に耐候性を付与する耐候安定剤としては、前述の基材の説明において挙げたものが使用できる。
上記耐候安定剤の添加量は、耐候フィルム中、通常、０．０１〜０．５質量％程度であり、０．０５〜０．３質量％添加することが好ましい。

前記耐候フィルムの厚さは、一般に２０〜２００μｍ程度であり、フィルムの取り扱いやすさとコストの点から２０〜１００μｍが好ましく、２０〜５０μｍがより好ましい。

［背面フィルム］
背面フィルムは必要に応じ用いられ、好ましくは前記防湿フィルム（ａ）に、また好ましくは接着剤を介して貼合されるフィルムである。
太陽電池モジュールは発電時の発熱や太陽光の輻射熱等で、その使用温度が８５〜９０℃程度まで昇温するため、該背面フィルムの融点が使用温度以下であると背面フィルムは軟化し動作中に本来の太陽電池素子を保護する機能が失われる。従って背面フィルムとしては、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリ乳酸（ＰＬＡ）、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）、酪酢酸セルロース（ＣＡＢ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）等のポリエチレン等の樹脂に紫外線吸収剤や着色剤を練り込んだ樹脂組成物を成膜したものが好ましく用いられるが、これらに限定されるものではない。

前記背面フィルムは、太陽電池表面保護材への使用を考えると、可撓性に富み、紫外線、加湿耐久性に優れることが望ましく、主にポリプロピレン（ＰＰ）樹脂、ポリ乳酸（ＰＬＡ）樹脂及びポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）樹脂のいずれか１つ又は複数の樹脂からなるものが好ましく、これらの樹脂を５０質量％以上含有するものであることが好ましい。

なお、上記紫外線吸収剤としては、前述の耐候性フィルムに含有される紫外線吸収剤と同様のものが使用できる。また、着色剤としては、酸化チタン、炭酸カルシウム等が使用できる。上記樹脂は前記列挙した樹脂の１種を単独で用いてもよく、２種以上組合せて用いてもよい。。
背面フィルムの厚さは、一般に２５〜３００μｍ程度であり、フィルムの取り扱いやすさとコストの点から好ましくは５０〜３００μｍ、より好ましくは５０〜２５０μｍである。

＜太陽電池用表面保護部材＞
本発明の積層防湿フィルムは、長期耐久性を必要とされる太陽電池用途、特に太陽電池用表面保護部材に用いられることが、湿気ないし水の透過による発電素子の劣下、内部の導線や電極の発錆を防止することができ、長期に渡る起電力の保持を達成できることから好ましい。

太陽電池用積層防湿フィルムは、該積層防湿フィルムの構成により、高温条件下においても防湿性、層間強度が劣下しない柔軟性と防湿性に優れた積層防湿フィルムを実現し、同時に太陽電池の性能低下を防止し、太陽電池の軽量化、耐久性、意匠性の向上を図ることができ、有効な太陽電池用積層防湿フィルムを提供することができる。
太陽電池用保護材の厚さとしては、７００〜１０００ボルトの部分放電圧を有する表面保護材が生産効率の観点から望ましく、保護材の部分放電確保の観点から好ましくは１２０〜２００μｍである。

＜太陽電池モジュール、太陽電池の製造方法＞
前記積層防湿フィルムは、そのまま、あるいはガラス板等と貼り合わせて太陽電池用表面保護部材として用いることができる。本発明の積層防湿フィルムを用いて本発明の太陽電池モジュール及び／又は太陽電池を製造するには、公知の方法により、作製すれば良い。

本発明の積層防湿フィルムを太陽電池用上部保護材、下部保護材等の表面保護部材の層構成に使用し、太陽電池素子を封止材とともに固定することにより太陽電池モジュールを製作することができる。このような太陽電池モジュールとしては、種々のタイプのものを例示することができる。例えば、上部保護材（本発明の積層防湿フィルム）／封止材（封止樹脂層）／太陽電池素子／封止材（封止樹脂層）／下部保護材の構成のもの、下部保護材の内周面上に形成させた太陽電池素子上に封止材と上部保護材（本発明の積層防湿フィルム）を形成させるような構成のもの、上部保護材（本発明の積層防湿フィルム）の内周面上に形成させた太陽電池素子、例えばフッ素樹脂系透明保護材上にアモルファス太陽電池素子をスパッタリング等で作製したものの上に封止材と下部保護材を形成させるような構成のもの等を挙げることができる。上記上部保護材として本発明の積層防湿フィルムの外側にガラス板を貼り合わせることは任意である。
太陽電池素子としては、例えば、単結晶シリコン型、多結晶シリコン型、アモルファスシリコン型、ガリウム−砒素、銅−インジウム−セレン、カドミウム−テルルなどのＩＩＩ−Ｖ族やＩＩ−ＶＩ族化合物半導体型、色素増感型、有機薄膜型等が挙げられる。

本発明の積層防湿フィルムを用いて作製された太陽電池モジュールを構成する各部材については、特に限定されるものではないが、封止材としては、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合体を挙げることができる。下部保護材としては、金属や各種熱可塑性樹脂フィルム等の単層もしくは多層のフィルムであり、例えば、錫、アルミ、ステンレス等の金属、ガラス等の無機材料、ポリエステル、無機物蒸着ポリエステル、フッ素含有樹脂、ポリオレフィン等の単層もしくは多層の保護材を挙げることができる。上部及び／又は下部保護材の表面には、封止材や他の部材との接着性を向上させるためにプライマー処理やコロナ処理等公知の表面処理を施すことができる。

本発明の積層防湿フィルムを用いて作製された太陽電池モジュールを既述した上部保護材（本発明の積層防湿フィルム）／封止材／太陽電池素子／封止材／下部保護材のような構成のものを例として説明する。太陽光受光側から順に、本発明の積層防湿フィルム、封止樹脂層、太陽電池素子、封止樹脂層、下部保護材が積層されてなり、さらに、バックシートの下面にジャンクションボックス（太陽電池素子から発電した電気を外部へ取り出すための配線を接続する端子ボックス）が接着されてなる。太陽電池素子は、発電電流を外部へ電導するために配線により連結されている。配線は、下部保護材に設けられた貫通孔を通じて外部へ取り出され、ジャンクションボックスに接続されている。

太陽電池モジュールの製造方法としては、公知の製造方法が適用でき、特に限定されるものではないが、一般的には、本発明の積層防湿フィルム、封止樹脂層、太陽電池素子、封止樹脂層、下部保護材の順に積層する工程と、それらを真空吸引し加熱圧着する工程を有する。また、バッチ式の製造設備やロール・ツー・ロール式の製造設備等も適用することができる。
本発明の太陽電池モジュール及び／又は太陽電池は、この太陽電池用保護フィルム、封止材、発電素子、封止材、下部保護材を、常法に従って、真空ラミネーターで、加熱減圧及び加圧圧着することにより容易に製造することができる。

本発明の積層防湿フィルムを用いて作製された太陽電池モジュールは、適用される太陽電池のタイプとモジュール形状により、モバイル機器に代表される小型太陽電池、屋根や屋上に設置される大型太陽電池等屋内、屋外に関わらず各種用途に適用することができる。
また、本発明の積層防湿フィルムは上記太陽電池の他、液晶表示素子、電磁波シールド、タッチパネル、有機デバイス、カラーフィルター及び真空断熱材等の工業部材としての用途にも展開できる。

以下の実施例により、本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、種々の物性の測定及び評価は次のようにして行った。

（物性測定）
（１）防湿性能
フィルム及びその積層体について、防湿性能をＪＩＳ Ｚ ０２２２「防湿包装容器の透湿度試験方法」、ＪＩＳ Ｚ ０２０８「防湿包装材料の透湿度試験方法（カップ法）」の諸条件に順じ、次の手法で評価した。
透湿面積１２ｃｍ×１２ｃｍ角の各試料フィルムをそれぞれ２枚用い、吸湿剤として無水塩化カルシウム約２０ｇを入れ四辺を封じた袋を作製し、その袋を温度４０℃、相対湿度９０％の恒温恒湿装置に入れ、７２時間以上の間隔でおよそ６０日目まで質量測定し、４日目以降の経過時間と袋重量との回帰直線の傾きから水蒸気透過率(ｇ／ｍ²・日)を算出した。

（２）外観（防湿性）
塩化コバルト紙は青緑の色であるが、吸湿すると黄色もしくは褐色に変色する。これにより、フィルムもしくは積層体を水分が透過したことを判定することができる。
そこで、各実施例等で得られたシートについて、（株）トミー精工製、プレッシャークッカー試験ＬＳＫ-５００を用い、１０５℃、湿度１００％、１２０時間の試験条件で、プレッシャークッカー試験を行った後、目視にて塩化コバルト紙の色を確認し、以下の通りの基準で判定した。
なお、塩化コバルト紙は小片にして、ステンレスシートと同じ面及び耐候性フィルムと防湿フィルムとの間に置いた。当該小片は、積層防湿シートの中央及び四隅（縁から２０ｍｍ内側）の合計１０枚を置いた。
（○）塩化コバルト紙の変色なし
（△）塩化コバルト紙の変色（青緑から黄色・褐色）が小片の半数未満
（×）塩化コバルト紙の変色（青緑から黄色・褐色）が小片の半数以上

（３）外観（シワ）
シワの発生は発電性能を低下させるほか、発電素子の劣化・導電体（リード線等）の腐食の原因となる。
そこで、各実施例等で得られたシートについて、（株）トミー精工製、プレッシャークッカー試験ＬＳＫ-５００を用い、１０５℃、湿度１００％、１２０時間の試験条件で、プレッシャークッカー試験を行った後、その外観を観察し、以下の評価基準に従って評価した。なお、シワは数ではなく大きさで判定した。
（○）シワなし、又は大きさ数ｍｍまでの小さなシワが部分的に発生した状態
（△）大きさ数ｃｍの上記よりも大きなシワ（中）が発生した状態
（×）サンプル全体を横断もしくは縦断する程度の大きさのシワが発生した状態

（構成フィルム）
<耐候フィルム>
旭硝子（株）製エチレン−テトラフルオロエチレン共重合体（ＥＴＦＥ）系フィルム
商品名：アフレックス ５０Ｎ １２５０ ＮＴ

＜接着剤塗液＞
三井化学ポリウレタン（株）製
商品名：Ａ１１０２、脂肪族系のヘキサメチレンジイソシアナート成分を含む硬化剤として三井化学ポリウレタン（株）製、商品名Ａ３０７０を使用し、質量比で１６：１となるように混合し、固形分濃度が３０質量％となるように酢酸エチルで希釈して接着剤塗液を調製した。

＜防湿フィルム（ａ）＞
（ａ）−１：シラン変性エチレン−オクテンランダム共重合体（三菱化学（株）製、商品名：リンクロンＳＬ８００Ｎ）とエチレン−オクテンランダム共重合体（ダウ・ケミカル（株）製、商品名：アフィニティーＥＧ８２００Ｇ）とを混合質量比３０：７０の割合でφ４０ｍｍ同方向二軸押出機を用いて２種３層のマルチマニホールド式の口金より両外層となる樹脂層（Ｉ）として設定温度１８０〜２００℃で押出した。また、同時にエチレン−ブテン−オクテンランダム共重合体（旭化成ケミカルズ（株）製、商品名：クレオレックスＫ４１２５）と脂肪酸金属塩（ステアリン酸亜鉛／１，２−シクロヘキサンジカルボン酸カルシウム塩＝３４／６６（質量比））とを混合質量比９９．９：０．１の割合でφ４０ｍｍ同方向二軸押出機を用いて同口金より中間層となる樹脂層（ＩＩ）として設定温度２００〜２３０℃で押出した。次いで、溶融樹脂の吐出量を調整し、この共押出シートを約２０℃のキャストロールにて急冷することにより、各層の厚みが樹脂層（Ｉ）／樹脂層（ＩＩ）／樹脂層（Ｉ）＝０．１／０．１／０．１（ｍｍ）で総厚み０．３ｍｍの多層シートを得た。防湿性能は１．２０(ｇ／ｍ²・日)であった。

（ａ）−２：杭州福斯特光伏材料股分有限公司製、商品名：Ｆｉｒｓｔｅｖａ Ｆ８０６、厚み：０．５ｍｍ、防湿性能：＞１０(ｇ／ｍ²・日)

＜防湿フィルム（ｂ）＞
（ｂ）−１：１２μｍポリエチレンテレフタレート樹脂フィルムにシリカを蒸着した三菱樹脂（株）製、商品名：テックバリアＬＸを使用した。また上述の方法で測定した防湿性能は０.３３(ｇ／ｍ²・日)であった。

（ｂ）−２：基材フィルムとして、厚み１２μｍの二軸延伸ポリエチレンナフタレート樹脂フィルム（帝人デュポン（株）製、商品名：「Ｑ５１Ｃ１２」）を用い、そのコロナ処理面に、下記のコート液を塗布乾燥して厚み０．１μｍのコート層を形成した。次いで、真空蒸着装置を使用して１．３３×１０^-3Ｐａ（１×１０^-5Ｔｏｒｒ）の真空下でＳｉＯを加熱蒸発させ、コート層上に厚さ３０ｎｍのＳｉＯｘ（ｘ＝１．５）無機層を有する防湿フィルムを得た。作製した防湿フィルム（ｂ）−２の防湿性能は０.０４(ｇ／ｍ²・日)であった。

（コート液）
日本合成（株）製、商品名：ゴーセノール（ケン化度：９７.０〜９８.８ｍｏｌ％、重合度：２４００）のポリビニルアルコール樹脂２２０ｇをイオン交換水２８１０ｇに加え加温溶解した水溶液に、２０℃で攪拌しながら３５％塩酸６４５ｇを加えた。次いで、１０℃でブチルアルデヒド３.６ｇを攪拌しながら添加し、５分後に、アセトアルデヒド１４３ｇを攪拌しながら滴下し、樹脂微粒子を析出させた。次いで、６０℃で２時間保持した後、液を冷却し、炭酸水素ナトリウムで中和し、水洗、乾燥し、ポリビニルアセトアセタール樹脂粉末（アセタール化度７５ｍｏｌ％）を得た。
また、架橋剤としてイソシアネート樹脂（住友バイエルウレタン（株）製、商品名：スミジュールＮ−３２００）を用い、水酸基に対するイソシアネート基の当量比が１：２になるように混合し、コート液とした。

（ｂ）−３：ポリエチレンテレフタレート樹脂フィルム。融点：２５３℃、三菱樹脂（株）製、商品名：ダイアホイルＨ１００、厚み：１２μｍ、防湿性能：＞１０(ｇ／ｍ²・日)

（積層防湿シート）
以下の実施例及び比較例においては、防湿フィルム（ａ）−１又は２、防湿フィルム（ｂ）−１又は２、耐候性フィルムをこの順番で、ドライラミネートにより事前に積層防湿シートと成した。ドライラミネートは、上述の接着剤塗液を用い、溶媒乾燥後の塗布重量が１ｍ²当たり８ｇになるようにした。ドライラミネートの後は、室温で２昼夜放置し、さらに５昼夜に渡り５日間４０℃環境にて保管して、試験に供した。

＜実施例１＞
厚み３ｍｍの白板ガラス（サイズ：１５０ｍｍ×１５０ｍｍ）上に、防湿フィルム（ａ）−１、厚み０．３ｍｍのステンレスシート（サイズ：１５０ｍｍ×１５０ｍｍ）、積層防湿シート（ガラス側から、防湿フィルム（ａ）−１、防湿フィルム（ｂ）−１、最後に耐候フィルム（ＥＴＦＥ））をこの順番で載せ、これを真空ラミネーター（（株）エヌ・ピー・シー社製、商品名：ＬＭ３０×３０）を用いて、１５０℃、３０分、圧力０．１ＭＰａの条件で積層プレスし、積層防湿シートＡ-１を得た。
得られた積層防湿シートＡ-１について、上述の物性測定に供し防湿性、外観を評価した。結果を表１に示す。

＜実施例２＞
防湿フィルム（ｂ）−１を防湿フィルム（ｂ）−２、とした以外は、実施例１と同様に積層防湿シートＡ−２を得た。
得られた積層防湿シートＡ−２について、上述の物性測定に供し防湿性、外観を評価した。結果を表１に示す。

＜比較例１＞
防湿フィルム（ｂ）−１を防湿フィルム（ｂ）−３、とした以外は、実施例１と同様に積層防湿シートＢ−１を得た。
得られた積層防湿シートＢ−１について、上述の物性測定に供し防湿性、外観を評価した。結果を表１に示す。

＜比較例２＞
防湿フィルム（ａ）−１を防湿フィルム（ａ）−２とした以外は、実施例１と同様に積層防湿シートＢ-２を得た。
得られた積層防湿シートＢ-２について、上述の物性測定に供し防湿性、外観を評価した。結果を表１に示す。

＜比較例３＞
防湿フィルム（ａ）−１を防湿フィルム（ａ）−２、防湿フィルム（ｂ）−１を防湿フィルム（ｂ）-２、とした以外は、実施例１と同様に積層防湿シートＢ-３を得た。
得られた積層防湿シートＢ−３について、上述の物性測定に供し防湿性、外観を評価した。結果を表１に示す。

表１より明らかなように、本発明の構成を有する積層防湿シートＡ−１及びＡ−２はいずれも、表面のみならず側面からの水分侵入を抑制でき防湿性に優れたものであり、プレッシャークッカー試験後であってもシワがほとんどなく外観に優れることから耐候性にも優れることが分かる。一方、本発明の構成を有しない積層防湿シートＢ−１、Ｂ−２、Ｂ−３はいずれも外観に劣るものとなった。

Claims (10)

1. 下記防湿フィルム（ａ）及び防湿フィルム（ｂ）を含む積層構成を有することを特徴とする積層防湿フィルム。
   防湿フィルム（ａ）：シラン変性エチレン系樹脂（Ａ）を含有する樹脂層（Ｉ）と、示差走査熱量測定における加熱速度１０℃／分で測定される結晶融解ピーク温度が１００〜１４５℃、結晶融解熱量が１２０〜１９０Ｊ／ｇであるエチレン系樹脂（Ｂ）を含有する樹脂層（ＩＩ）と、を有する構造であって、かつ４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が３．０（ｇ／ｍ²・日）以下である防湿フィルム
   防湿フィルム（ｂ）：基材の片面に無機層を有し、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｂ））の値が１．０（ｇ／ｍ²・日）以下である防湿フィルム
2. ４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ（Ａ）×ＷＴＲ（Ｂ）］／［ＷＴＲ（Ａ）＋ＷＴＲ（Ｂ）］の値より低い値である請求項１に記載の積層防湿フィルム。
3. ４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ｌ））が、［ＷＴＲ（Ａ）×ＷＴＲ（Ｂ）］／［ＷＴＲ（Ａ）＋ＷＴＲ（Ｂ）］の８０％以下である請求項２に記載の積層防湿フィルム。
4. 前記防湿フィルム（ａ）の、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が２．０（ｇ／ｍ²・日）以下である、請求項１〜３のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
5. 前記防湿フィルム（ａ）の、４０℃、９０％ＲＨにおける水蒸気透過率（ＷＴＲ（Ａ））が１．０（ｇ／ｍ²・日）以下である、請求項１〜３のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
6. 太陽電池用表面保護部材として用いられる請求項１〜５のいずれかに記載の積層防湿フィルム。
7. 耐候フィルム、前記防湿フィルム（ｂ）、及び前記防湿フィルム（ａ）を暴露側からこの順に有し、かつ前記防湿フィルム（ｂ）の基材側に前記防湿フィルム（ａ）を有する請求項６に記載の積層防湿フィルム。
8. 耐候フィルム、前記防湿フィルム（ａ）、及び前記防湿フィルム（ｂ）を暴露側からこの順に有し、かつ前記防湿フィルム（ｂ）の無機層側に前記（ａ）を有する請求項７に記載の積層防湿フィルム。
9. 化合物系発電素子太陽電池モジュール又はフレキシブル太陽電池モジュールの表面保護部材に用いられる請求項７又は８に記載の積層防湿フィルム。
10. 請求項７〜９のいずれかに記載の積層防湿フィルムを有することを特徴とする太陽電池用表面保護部材。