JP2013211389A - ガイドマーク設置装置、露光装置および多層配線基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 多層配線基板の表層側から内層導体を観察するX線観察手段と、このX線観察手段により得られた画像を処理する画像処理手段と、この画像処理手段を用いて内層導体の基準位置を決定する基準位置決定手段と、前記基準位置に対応する位置の前記多層配線基板の表層にUV光をスポット照射するUVスポット照射手段と、を有するガイドマーク設置装置、露光装置およびこれらを用いる多層配線基板の製造方法。
【選択図】図1
Description
1. 多層配線基板の表層側から内層ガイドマークを観察するX線観察手段と、このX線観察手段により得られた画像から、前記内層ガイドマークよりも外層のガイドマークの基準となる位置を決定する画像処理手段と、前記基準となる位置に対応する位置の前記多層配線基板の表層にUV光をスポット照射するUVスポット照射手段と、を有するガイドマーク設置装置。
2. 項1において、UVスポット照射手段から照射されるUV光が、平行光であるガイドマーク設置装置。
3. 項1又は2のガイドマーク設置装置を備える露光装置。
4. 多層配線基板の表層側から内層ガイドマークを観察するX線観察工程と、このX線観察工程により得られた画像から、前記内層ガイドマークよりも外層のガイドマークの基準となる位置を決定する画像処理工程と、前記基準となる位置に対応する位置の前記多層配線基板の表層にUV光をスポット照射するUVスポット照射工程とによりガイドマークを設置する多層配線基板の製造方法。
5. 項4において、UVスポット照射工程では、平行光を用いる多層配線基板の製造方法。
図5に示すように、内層回路形成(a)及び積層形成(b)を行い、得られた積層体に対して、図4のガイドマーク設置装置19を用いて、ドリル17によるX線穴あけによって、内層ガイドマーク5を基準として、図6に示すような外層ガイドマーク18を設置した。
2.X線装置(X線観察手段の一部)
3.カメラ(X線観察手段の一部)
4.モニター(画像処理手段)
5.内層ガイドマーク
6.UVスポット(UVスポット照射手段)
7.多層配線基板
8.銅箔
9.感光性フィルム
10.UVスポット照射部又はガイドマーク又は外層ガイドマーク
11.プリプレグ
12.エッチングレジスト
13.窓孔
14.非貫通穴
15.銅めっき
16.外層パターン
17.ドリル
18.X線穴あけ部又はガイドマーク又は外層穴あけ部
19.(従来の)ガイドマーク設置装置
Claims (5)
- 多層配線基板の表層側から内層ガイドマークを観察するX線観察手段と、このX線観察手段により得られた画像から、前記内層ガイドマークよりも外層のガイドマークの基準となる位置を決定する画像処理手段と、前記基準となる位置に対応する位置の前記多層配線基板の表層にUV光をスポット照射するUVスポット照射手段と、を有するガイドマーク設置装置。
- 請求項1において、UVスポット照射手段から照射されるUV光が、平行光であるガイドマーク設置装置。
- 請求項1又は2のガイドマーク設置装置を備える露光装置。
- 多層配線基板の表層側から内層ガイドマークを観察するX線観察工程と、このX線観察工程により得られた画像から、前記内層ガイドマークよりも外層のガイドマークの基準となる位置を決定する画像処理工程と、前記基準となる位置に対応する位置の前記多層配線基板の表層にUV光をスポット照射するUVスポット照射工程とによりガイドマークを設置する多層配線基板の製造方法。
- 請求項4において、UVスポット照射工程では、平行光を用いる多層配線基板の製造方法。
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