JP2013210623A - 光導波路素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型且つ低コストの光導波路素子およびその製造方法を提供すること。
【解決手段】石英系ガラスからなるクラッド部と、前記クラッド部内に形成され、ZrO2の微粒子が分散した石英系ガラスからなる光導波路と、を備える光導波路素子。石英系ガラスからなるクラッド部を形成するクラッド部形成工程と、前記クラッド部内に形成され、ZrO2の微粒子が分散した石英系ガラスからなる光導波路を形成する光導波路形成工程と、を含む光導波路素子の製造方法。
【選択図】図1
【解決手段】石英系ガラスからなるクラッド部と、前記クラッド部内に形成され、ZrO2の微粒子が分散した石英系ガラスからなる光導波路と、を備える光導波路素子。石英系ガラスからなるクラッド部を形成するクラッド部形成工程と、前記クラッド部内に形成され、ZrO2の微粒子が分散した石英系ガラスからなる光導波路を形成する光導波路形成工程と、を含む光導波路素子の製造方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、光導波路素子およびその製造方法に関する。
石英系ガラスからなる平面光波回路(Planar Lightwave Circuit:PLC)素子を構成する光導波路において、屈折率を高めるドーパントとして、ジルコニア(ZrO2)を使う技術が開示されている(特許文献1参照)。ZrO2は、ゲルマニア(GeO2)と比較して屈折率が高く、熱膨張係数が小さい材料である。そのため、PLC部品等を小型化しつつ、導波路に残る応力を低減できる材料として期待されている。
従来、ゾルゲル法を用いてZrO2を含む光導波路を形成する技術が開示されている(非特許文献1、2参照)。
R.Sara el al. "Photolithography Fabrication of Sol-Gel Ridge Waveguide" SPIE vol.3469 p.118-123(1998).
S.Iraj et al. "Sol-Gel Glass Waveguide and Grating on Silicon" J. LIGHTWAVE TECH. VOL.16, NO.9,(1998).
しかしながら、ZrO2は、エッチングが困難な材料として知られている。たとえば、ZrO2は、通常の石英系ガラス系PLC素子の加工プロセスにおいて用いられるフッ素系のエッチング材に対して、エッチングレートが遅い。その結果、ZrO2を用いた光導波路素子は、加工性が低く、製造に要する時間が長くなるので、高コスト化するという問題があった。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、小型且つ低コストの光導波路素子およびその製造方法を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光導波路素子は、石英系ガラスからなるクラッド部と、前記クラッド部内に位置し、ZrO2の微粒子が分散した石英系ガラスからなる光導波路と、を備えることを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子は、上記の発明において、前記微粒子の粒径は100nm以下であり、前記微粒子の平均粒子間距離は、100nm以上であり、前記光導波路に入力される光の波長以下であることを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子は、上記の発明において、前記結晶微粒子の平均粒子間距離は、1.62μm以下であることを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子の製造方法は、石英系ガラスからなるクラッド部を形成するクラッド部形成工程と、前記クラッド部内に位置し、ZrO2の微粒子が分散した石英系ガラスからなる光導波路を形成する光導波路形成工程と、を含むことを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子の製造方法は、上記の発明において、前記微粒子の粒径は100nm以下であり、前記微粒子の平均粒子間距離は、100nm以上であり、前記光導波路に入力される光の波長以下であることを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子の製造方法は、上記の発明において、前記結晶微粒子の平均粒子間距離は、1.62μm以下であることを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子の製造方法は、上記の発明において、前記クラッド部形成工程は、基板上に下部クラッド層を形成する工程を含み、前記光導波路形成工程は、前記下部クラッド層上に、ZrO2を分散させた光導波路形成層を形成する工程と、前記光導波路形成層を熱処理してZrO2の微粒子を形成する工程と、前記微粒子が分散した光導波路形成層をエッチングして前記光導波路を形成する工程と、を含むことを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子の製造方法は、上記の発明において、前記クラッド部形成工程は、前記形成した下部クラッド層および光導波路を覆うように上部クラッド部を形成する工程を含むことを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子の製造方法は、上記の発明において、前記ZrO2の微粒子を形成する工程は、1000℃以上の熱処理温度で行うことを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子の製造方法は、上記の発明において、前記ZrO2の微粒子を形成する工程は、酸素を含む雰囲気下で行うことを特徴とする。
また、本発明に係る光導波路素子の製造方法は、上記の発明において、前記光導波路形成層を形成する工程は、SiO2もしくはZrO2を含む1元系のターゲット、またはSiO2およびZrO2を含む2元系のターゲットを用いて、スパッタ法によって行うことを特徴とする。
本発明によれば、小型且つ低コストの光導波路素子を実現できるという効果を奏する。
以下に、図面を参照して本発明に係る光導波路素子およびその製造方法の実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、各図面において、同一または対応する要素には適宜同一の符号を付している。さらに、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実のものとは異なる場合があることに留意する必要がある。図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。
(実施の形態1)
図1は、実施の形態に係る光導波路素子の模式的な斜視図である。図1に示すように、光導波路素子10は、シリコンや石英ガラスなどの基板11上に形成された、石英系ガラスからなるクラッド部12と、クラッド部12内に位置する光導波路13とを備えている。
図1は、実施の形態に係る光導波路素子の模式的な斜視図である。図1に示すように、光導波路素子10は、シリコンや石英ガラスなどの基板11上に形成された、石英系ガラスからなるクラッド部12と、クラッド部12内に位置する光導波路13とを備えている。
この光導波路素子10は、たとえば、マッハツェンダー型干渉計(Mach-Zehnder Interferometer:MZI)などの導波路型光干渉計や、差動四値位相変調(Differential Quadrature Phase Shift Keying:DQPSK)、または差動位相変調(DPSK)通信方式において、D(Q)PSK光信号を復調するための復調素子を構成する要素として使用することができる。
光導波路13は、屈折率を高めるドーパントであるZrO2を含む石英系ガラスからなる。これによって、光導波路13はクラッド部12よりも屈折率が高くなるので、光を閉じ込めて導波する光導波路として機能する。光導波路13は、クラッド部12に対する比屈折率差がたとば5%〜10%であり、断面のサイズは、3.0μm×3.0μm〜2.5μm×2.5μm〜1.5μm×1.5μmである。光導波路13の断面は基本的には正方形だが、長方形でもよい。
光導波路13は、ZrO2を含むので、屈折率を高めるドーパントとしてGeO2を使用した場合に比べて、屈折率を高くすることができる。光導波路13の、クラッド部12に対する比屈折率差は、ZrO2の含有量の調整によって、たとえば1.5%〜30%にすることができる。これに対して、GeO2を使用した光導波路の比屈折率差は、一般的には1.5%未満であり、最大でも2.5%程度である。したがって、光導波路素子10を光干渉素子等の構成要素として使用する際に、所望の光干渉を発生させるために必要な導波路長が、屈折率の高さに比例して短くなる。その結果、光導波路素子10は小型になる。
また、光導波路13に含まれるZrO2の多くは、微粒子の状態で分散している。ZrO2の微粒子の粒径は、100nm以下であり、ZrO2の微粒子の平均粒子間距離は、100nm以上である。その結果、光導波路13において、ZrO2の微粒子が、光導波路13に入力された光を散乱することが抑制されるので、光導波路素子10の導波路光損失の増大が抑制されるので好ましい。また、ZrO2の微粒子の平均粒子間距離は、光導波路13に入力される光の波長以下であることが好ましい。ZrO2の微粒子の平均粒子間距離が大きすぎると、場所により屈折率が異なることによる揺らぎが発生する。屈折率の揺らぎがあると、レイリー散乱が発生し、光導波路素子10の導波路光損失の増大することがある。
ここで、微粒子の粒径は、たとえばX線回折パターンから、シェラーの式を用いて求められる値である。また、微粒子の平均粒子間距離は、TEMを用いて観察することにより求められる値である。
なお、本明細書における「ZrO2の微粒子」とはZrO2の結晶微粒子、またはZrO2の非結晶微粒子を意味するものである。
ここで、微粒子の粒径は、たとえばX線回折パターンから、シェラーの式を用いて求められる値である。また、微粒子の平均粒子間距離は、TEMを用いて観察することにより求められる値である。
なお、本明細書における「ZrO2の微粒子」とはZrO2の結晶微粒子、またはZrO2の非結晶微粒子を意味するものである。
入力される光の波長は特に限定されないが、たとえば、光導波路素子10が、通信波長帯である1.5μm波長帯(およそ1.5μm〜1.62μm)の光に対して使用する素子の場合は、ZrO2の平均粒子間距離を、波長帯の上限の波長である1.62μm以下とすることが好ましい。光導波路素子10が使用される光の波長帯が、他の波長帯、たとえば、1.3μm波長帯(およそ1.26μm〜1.36μm)、1.0μm波長帯(およそ1.0μm〜1.1μm)、0.8μm波長帯(およそ0.79μm〜0.83μm)の場合は、ZrO2の平均粒子間距離を、各波長帯の上限の波長以下とすることが好ましい。
また、ZrO2は、熱膨張係数が小さいので、製造時の温度変化や環境温度の変化があった場合でも、光導波路13に発生する残留応力は小さくなる。その結果、光導波路素子10の導波路光損失の増大が抑制され、かつ信頼性の低下も防止されるので好ましい。
また、光導波路13は、ZrO2の微粒子を含むので、後述するようにエッチングによる加工性が高く、従来よりも短い時間で製造できるものである。その結果、光導波路素子10は低コストで製造できるものである。
つぎに、図1に示す光導波路素子10の製造方法の一例について説明する。はじめに、図2に示すように、たとえばプラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)法を用いて、基板11上に石英系ガラスからなる下部クラッド層12aを形成し、その後アニールして透明ガラス化する。つぎに、1元系のターゲットであるSiO2ターゲットとZrO2ターゲットとを用いて、スパッタ法によって、下部クラッド層12a上に、光導波路を形成するための光導波路形成層14を形成する。なお、SiO2とZrO2とを混合した成分からなる2元系のターゲットを用いてもよい。形成された光導波路形成層14は、SiO2とZrO2とがネットワークを形成したアモルファス状態となっていると考えられる。
つぎに、図3に示すように、光導波路形成層14を熱処理する。これによって、光導波路形成層14がアニールされて、ZrO2の結晶微粒子が析出形成され、光導波路形成層14aとなる。形成されたZrO2の結晶微粒子は光導波路形成層14aにほぼ一様に分散する。ZrO2の結晶微粒子の粒径は、熱処理温度および熱処理時間で調整することができる。たとえば、熱処理温度を高くするか、熱処理時間を長くすると、より大きなZrO2の結晶微粒子を形成することができる。また、光導波路形成層14は、形成時はアモルファス状態となっており、当初はZrO2の結晶微粒子は含まれないと考えられる。したがって、ZrO2の結晶微粒子は当該熱処理によって析出形成されると考えてよいため、粒径の制御は非常に容易である。したがって、ZrO2の濃度の調整と、熱処理温度および熱処理時間の調整によって、ZrO2の結晶微粒子の粒径を100nm以下に、結晶微粒子の平均粒子間距離を100nm以上であり使用する光の波長以下に容易に制御することができる。
なお、上記製造方法で製造した場合は、ZrO2は結晶微粒子の状態で分散しているが、ZrO2が非結晶微粒子の状態であっても同様に作用する。
なお、上記製造方法で製造した場合は、ZrO2は結晶微粒子の状態で分散しているが、ZrO2が非結晶微粒子の状態であっても同様に作用する。
なお、上記の光導波路形成層14を形成する際のスパッタ法では、光導波路形成層14内に酸素の欠乏による欠陥ができる場合がある。しかし、光導波路形成層14をアニールして、ZrO2の結晶微粒子を形成する工程を、酸素雰囲気、または空気などの、酸素を含む雰囲気下で行えば、光導波路形成層14aに酸素が導入されて欠陥が減少し、屈折率が安定する。熱処理温度が1000℃以上の場合に酸素が導入され易いので好ましい。
ところで、たとえば非特許文献1、2のように、ゾルゲル法を用いてZrO2を含む光導波路を形成する場合、光導波路中に溶媒等の有機物が残留する場合がある。このため、1000℃以上の熱処理を行うと、残留した有機物がガス化して光導波路中に気泡が発生する場合がある。また、有機物は、赤外線の特定の波長の光を吸収するので、光導波路に含まれる場合、導波路損失の増大の原因となる。
これに対して、上記のようにスパッタ法を用いた場合は、有機物が含まれない光導波路形成層14を形成することができる。したがって、気泡を発生させることなく、1000℃以上の熱処理を行って、光導波路形成層14aにおけるZrO2の結晶微粒子の粒径、および結晶微粒子の平均粒子間距離を制御することができる。また、光導波路13の導波路損失の増大も防止される。
つぎに、図4に示すように、光導波路形成層14aを、フォトリソグラフィ技術およびエッチングによってパターニングし、光導波路13を形成する。エッチングについては、たとえば石英系ガラスの加工プロセスにおいて用いられるフッ素系ガス(たとえばCF4)を用いたドライエッチングによって行う。
光導波路形成層14aには、ZrO2の多くが、結晶微粒子の状態で分散している。これによって、光導波路形成層14aはエッチングによる加工がし易くなっている。
図5は、従来のZrO2を含む石英系ガラスのエッチングを説明する図である。図5に示すように、従来のZrO2を含む石英系ガラスの場合は、SiO2とZrO2とがネットワークを形成したアモルファス状態となっている。このとき、O原子とSi原子との結合(Si−O結合)は、フッ素系ガスのプラズマによって、線L1で示すように容易に切断できるので、エッチングが容易である。一方、結合B2のようなO原子とZr原子との結合(Zr−O結合)は、フッ素系ガスのプラズマによって容易には切断できない。石英系ガラス中で、SiO2とZrO2とがネットワークを形成している場合は、Zr−O結合がネットワーク中に散在しているので、エッチングのためにはこのZr−O結合を切断する必要がある。したがって、エッチングレートは遅くなるので、所定量のエッチングを行うには時間が掛かる。
これに対して、図6は、図4におけるエッチングを説明する図である。図4の場合は、ZrO2の多くが、SiO2のネットワーク中に結晶微粒子MCの状態で分散している。この場合、結晶微粒子MCの内部に含まれるZr−O結合を切断しなくても、一点鎖線で示すようにSi−O結合を切断することで、全体をエッチングできる。このとき、結晶微粒子MCは、矢印Ar1のように、結晶微粒子のまま容易にSiO2のネットワークから脱離する。したがって、エッチングレートは、Zr−O結合を切断する必要がある場合よりも早くなるので、所定量のエッチングを行うために要する時間が短縮される。この場合、通常の石英系ガラス系PLC素子の加工プロセスを好適に適用し、十分なエッチングができるので、設備費も節約できる。したがって、さらに低コストの光導波路素子を製造できる。
なお、ZrO2の結晶微粒子の粒径が100nm以下であり、結晶微粒子の平均粒子間距離が100nm以上であり、使用する光の波長以下であれば、エッチングレートを早める効果を充分得ることができる。
なお、ZrO2の結晶微粒子の粒径が100nm以下であり、結晶微粒子の平均粒子間距離が100nm以上であり、使用する光の波長以下であれば、エッチングレートを早める効果を充分得ることができる。
つぎに、図7に示すように、下部クラッド層12aおよび光導波路13を覆うように上部クラッド部12bを形成し、下部クラッド層12aと上部クラッド部12bとからなるクラッド部12を形成する。上部クラッド部12bは、たとえば公知の火炎堆積(Flame Hydrolysis Deposition:FHD)法により、下部クラッド層12aおよび光導波路13を覆うように石英系ガラスからなる微粒子を堆積し、微粒子を加熱溶融して透明ガラス化することによって形成できる。
上記のようにFHD法によって上部クラッド部12bを形成する場合は、たとえば1000℃程度での熱処理を行う。上述したように、光導波路中に有機物が残留している場合は、この熱処理によって残留した有機物がガス化して気泡が発生する場合がある。これに対して、上記のようにスパッタ法により光導波路を形成する場合は、気泡を発生させることなく、FHD法によって上部クラッド部12bを形成することができる。
また、FHD法における熱処理温度以上の温度にて、ZrO2の結晶微粒子を形成する熱処理を行えば、FHD法における熱処理によってZrO2の結晶微粒子の変化が殆ど変化しないので好ましい。すなわち、ZrO2の結晶微粒子を形成するための熱処理温度が、製造工程における熱履歴の最高温度であれば、その後に当該温度以下の温度での熱処理を行っても、ZrO2の結晶微粒子の変化が殆ど変化しないので好ましい。そのような熱処理としては、クラッド部12の表面にSiNxからなる絶縁膜を形成するための、約400℃で行う工程がある。
以上説明した製造方法によれば、光導波路形成層14aをエッチングして光導波路13を形成するための時間が短縮されるので、図1に示す光導波路素子10を低コストで製造することができる。
つぎに、図2〜図4を用いて説明した工程にしたがって、シリコン基板上に石英ガラスからなる下部クラッド層を形成し、さらにSiO2ターゲットとZrO2ターゲットとを用いて、酸素雰囲気下において、スパッタ法によって、下部クラッド層上に光導波路形成層を形成したサンプルを作製した。なお、光導波路形成層の下部クラッド層に対する比屈折率差が4.7%、9.27%、11.60%、13.94%になるように、ZrO2の濃度を調整した。つぎに、作製したサンプルを、光導波路形成層を800℃〜1300℃までの100℃おきに設定したアニール温度で1時間熱処理した。熱処理したサンプルについて、光導波路形成層のX線回折(XRD)パターンと屈折率とを測定し、TEM観察を行った。
図8は、異なるアニール温度におけるXRDパターンを示す図である。図8は、光導波路形成層の比屈折率差が11.60%のサンプルのデータである。「as−depo」とは、アニールをしないサンプルのデータを示している。図8に示すように、as−depoの状態ではピークが無いので、光導波路形成層がアモルファス状態であると考えられる。1000℃〜1300℃で熱処理したサンプルでは、ZrO2結晶に起因するピークが、アニール温度が高いほど鋭くなった。図8の結果は、アニール温度が高いほど、粒径が大きいZrO2の結晶微粒子が析出していることを示している。シェラーの式を用いて、図8に示すデータから、各アニール温度のサンプルにおけるZrO2の結晶微粒子の粒径を見積もったところ、アニール温度が1000℃、1100℃、1300℃のサンプルについて、粒径はそれぞれ約1.2nm、約2nm、約5nmであった。
図9は、アニール温度と屈折率との関係を示す図である。図9は、光導波路形成層の比屈折率差が11.60%のサンプルのデータである。図9に示すように、as−depoの状態では屈折率が高いが、アニール温度が1000℃以上のサンプルでは、屈折率が1.69〜1.7の範囲に安定した。図9の結果は、アニール温度を1000℃以上とすると、光導波路形成層に酸素が導入されるため、屈折率が安定することを示すと考えられる。
また、各アニール温度のサンプルにおけるZrO2の結晶微粒子の平均粒子間距離をTEM観察した。
アニール温度が1000℃、1100℃、1300℃のサンプルについて、ZrO2の結晶微粒子が分散して存在していることが観察でき、平均粒子間距離は、いずれのサンプルにおいても100nm以上1.62μm以下であった。なお、ここで平均粒子間距離とは、隣接する粒子の外縁同志の最短距離を意味する。
また、各アニール温度のサンプルにおけるZrO2の結晶微粒子の平均粒子間距離をTEM観察した。
アニール温度が1000℃、1100℃、1300℃のサンプルについて、ZrO2の結晶微粒子が分散して存在していることが観察でき、平均粒子間距離は、いずれのサンプルにおいても100nm以上1.62μm以下であった。なお、ここで平均粒子間距離とは、隣接する粒子の外縁同志の最短距離を意味する。
つぎに、図8に示したas−depoのサンプル(比較例)、およびアニール温度が1100℃のサンプル(実施例)に対して、フッ素系ガスによるドライエッチングを行い、そのエッチングレートを測定した。
図10は、比較例、実施例、参考例のエッチングレートを示す図である。ここで、参考例とは、GeO2をドープした石英ガラスのサンプルに対して、フッ素系ガスによるドライエッチングを行った場合のエッチングレートを示している。なお、GeO2は、石英ガラスに対する比屈折率差が、1.5%になるようにドープした。
図10に示すように、ZrO2の微粒子を含まない比較例のサンプルの場合、エッチングレートは1.9nm/secであり、典型的な光導波路の構成材料である参考例のサンプルのエッチングレートである9.5nm/secの1/5と低い値であった。これに対して、ZrO2の結晶微粒子を含む実施例のサンプルの場合、エッチングレートは6.2nm/secであり、比較例の場合の約3.3倍と大幅に高い値となった。
つぎに、SiO2およびZrO2を含む2元系のターゲットを用いて、図2〜図4を用いて説明した工程にしたがって、本発明の実施例としての光導波路素子を製造した。なお、光導波路は、クラッド部に対する比屈折率差を5%とし、断面のサイズは、3.0μm×3.0μmとした。また、伝搬損失評価のために、光導波路は、長さの異なる曲げ半径500μmの渦巻き型回路とした。製造の際には、ZrO2の結晶微粒子を析出形成するためのアニール温度を1300℃とした。
図11は、実施例の光導波路素子の伝搬損失の評価結果を示す図である。横軸は光導波路長であり、縦軸は挿入損失である。図11に示す測定点の結果から線形フィッティングにより算出した光導波路の伝搬損失は0.13dB/cmであった。
図12は、実施例の光導波路素子の波長1520nm〜1620nmの範囲での伝搬損失スペクトルを示す図である。図12に示すように、製造した光導波路素子の伝搬損失は、TM偏光およびTE偏光のいずれにおいても、1550nm波長帯(波長1520nm〜1620nm)にわたって0.2dB/cm以下であった。
ところで、光導波路のクラッド部に対する比屈折率差を増加すると、光の閉じ込めが強くなり、最小曲げ半径は小さくなる。ゆえに、比屈折率差の増加は光導波路素子の小型化をする上で効果的である。そこで、本発明の実施例として、様々な曲げ半径の光導波路素子を製造し、その挿入損失を測定した。なお、光導波路は、クラッド部に対する比屈折率差を5%とし、断面のサイズは、3.0μm×3.0μmとした。図13は、実施例の光導波路素子の曲げ半径と挿入損失との関係を示す図である。データ点は測定値、実線はシミュレーション結果を示す。ここで、GeO2をドープした石英ガラスからなる光導波路を有する光導波路素子の場合、最小曲げ半径は1mm程度に制限される。一方、図13に示すように、製造した光導波路素子の最小曲げ半径は300μm程度ときわめて低減され、かつシミュレーション結果とも一致していた。
つぎに、本発明の実施例として、MMI(Multi-Mode Interference)光カプラを製造した。図14は、実施例のMMI光カプラの模式的な平面図である。このMMI光カプラ100は、石英ガラスからなるクラッド部101と、クラッド部101内に位置し、ZrO2の微粒子が分散した石英ガラスからなる光導波路であるMMI部102および光入出力部103、104、105、106とを備える。なお、光導波路は、いずれもクラッド部に対する比屈折率差を5%とした。断面のサイズは、光入出力部103、104、105、106については3.0μm×3.0μmとした。MMI部102については厚さ3.0μm、幅24μmとした。光入出力部103と104との間隔および光入出力部105と106との中心間距離はいずれも8.0μmとした。MMI部102の長さ(MMI長L)を310μm〜510μmの範囲で変更したMMI光カプラ100を複数製造した。
図15は、実施例のMMI光カプラのMMI長と結合効率との関係を示す図である。図16は、実施例のMMI光カプラのMMI長と過剰損失との関係を示す図である。図中のデータ点はTM偏光またはTE偏光での測定結果を示し、実線はシミュレーション結果を示す。図14、15に示すように、測定結果とシミュレーション結果とは良く一致していた。また、過剰損失の最低値は0.2dBであった。
なお、上記実施の形態では、プラズマCVD法を用いて下部クラッド層を形成し、FHD法を用いて上部クラッド部を形成している。しかしながら、下部クラッド層および上部クラッド部の形成方法は特に限定されず、たとえば、熱酸化、プラズマCVD、スパッタ法およびFHD法から選択された任意の方法によって形成することができる。
また、上記実施の形態により本発明が限定されるものではない。上述した各構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
10 光導波路素子
11 基板
12、101 クラッド部
12a 下部クラッド層
12b 上部クラッド部
13 光導波路
14、14a 光導波路形成層
100 MMI光カプラ
102 MMI部
103、104、105、106 光入出力部
Ar1 矢印
B2 結合
L1 線
MC 微粒子
11 基板
12、101 クラッド部
12a 下部クラッド層
12b 上部クラッド部
13 光導波路
14、14a 光導波路形成層
100 MMI光カプラ
102 MMI部
103、104、105、106 光入出力部
Ar1 矢印
B2 結合
L1 線
MC 微粒子
Claims (11)
- 石英系ガラスからなるクラッド部と、
前記クラッド部内に位置し、ZrO2の微粒子が分散した石英系ガラスからなる光導波路と、
を備えることを特徴とする光導波路素子。 - 前記微粒子の粒径は100nm以下であり、前記微粒子の平均粒子間距離は、100nm以上であり、前記光導波路に入力される光の波長以上であることを特徴とする請求項1に記載の光導波路素子。
- 前記結晶微粒子の平均粒子間距離は、1.62μm以下であることを特徴とする請求項2に記載の光導波路素子。
- 石英系ガラスからなるクラッド部を形成するクラッド部形成工程と、
前記クラッド部内に位置し、ZrO2の微粒子が分散した石英系ガラスからなる光導波路を形成する光導波路形成工程と、
を含むことを特徴とする光導波路素子の製造方法。 - 前記微粒子の粒径は100nm以下であり、前記微粒子の平均粒子間距離は、100nm以上であり、前記光導波路に入力される光の波長以下であることを特徴とする請求項4に記載の光導波路素子の製造方法。
- 前記結晶微粒子の平均粒子間距離は、1.62μm以下であることを特徴とする請求項5に記載の光導波路素子の製造方法。
- 前記クラッド部形成工程は、基板上に下部クラッド層を形成する工程を含み、
前記光導波路形成工程は、前記下部クラッド層上に、ZrO2を分散させた光導波路形成層を形成する工程と、前記光導波路形成層を熱処理してZrO2の微粒子を形成する工程と、前記微粒子が分散した光導波路形成層をエッチングして前記光導波路を形成する工程と、を含むことを特徴とする請求項4〜6のいずれか一つに記載の光導波路素子の製造方法。 - 前記クラッド部形成工程は、前記形成した下部クラッド層および光導波路を覆うように上部クラッド部を形成する工程を含むことを特徴とする請求項7に記載の光導波路素子の製造方法。
- 前記ZrO2の微粒子を形成する工程は、1000℃以上の熱処理温度で行うことを特徴とする請求項7または8に記載の光導波路素子の製造方法。
- 前記ZrO2の微粒子を形成する工程は、酸素を含む雰囲気下で行うことを特徴とする請求項7〜9のいずれか一つに記載の光導波路素子の製造方法。
- 前記光導波路形成層を形成する工程は、SiO2もしくはZrO2を含む1元系のターゲット、またはSiO2およびZrO2を含む2元系のターゲットを用いて、スパッタ法によって行うことを特徴とする請求項7〜10のいずれか一つに記載の光導波路素子の製造方法。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016056659A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 古河電気工業株式会社 | 光学部品 |
JP2017181837A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 古河電気工業株式会社 | 光導波回路装置 |
JP2017203879A (ja) * | 2016-05-11 | 2017-11-16 | 古河電気工業株式会社 | 光導波路素子 |
JP2020204642A (ja) * | 2019-06-14 | 2020-12-24 | 古河電気工業株式会社 | 光源モジュール |
JP2020204666A (ja) * | 2019-06-14 | 2020-12-24 | 古河電気工業株式会社 | 合分波素子および光源モジュール |
JP2020204667A (ja) * | 2019-06-14 | 2020-12-24 | 古河電気工業株式会社 | 合分波素子および光源モジュール |
JP7340661B2 (ja) | 2019-06-14 | 2023-09-07 | 古河電気工業株式会社 | 光源モジュール |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01189614A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 石英系光導波路及びその製造方法 |
JPH05294675A (ja) * | 1992-04-14 | 1993-11-09 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 光デバイスの製造方法 |
US5303319A (en) * | 1992-12-28 | 1994-04-12 | Honeywell Inc. | Ion-beam deposited multilayer waveguides and resonators |
JPH09133824A (ja) * | 1995-11-09 | 1997-05-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路及びその製造方法 |
JPH10148726A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Mitsubishi Electric Corp | 光導波路型グレーティングおよびその製法ならびに前記光導波路型グレーティングを用いた光フィルタおよび該光フィルタを用いた波長多重光伝送システム |
JP2001051145A (ja) * | 1999-08-13 | 2001-02-23 | Nec Corp | 光導波路デバイスおよびその製造方法 |
JP2003020254A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 結晶化ガラス |
JP2005121696A (ja) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光導波路 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2599488B2 (ja) * | 1990-02-26 | 1997-04-09 | 日本電信電話株式会社 | 光導波回路の特性調整方法およびその方法に使われる光導波回路 |
US6768856B2 (en) * | 2001-02-09 | 2004-07-27 | Corning Incorporated | High germanium content waveguide materials |
US6832034B2 (en) | 2002-06-21 | 2004-12-14 | 3M Innovative Properties Company | Optical waveguide |
KR100705758B1 (ko) * | 2005-04-19 | 2007-04-10 | 한국과학기술원 | 유기―무기 혼성물질을 이용한 플렉서블 필름 광도파로 및그 제조방법 |
TWI426052B (zh) * | 2011-04-18 | 2014-02-11 | Univ Nat Taiwan | 含高折射率之無機氧化物奈米微粒之穩定單體懸浮液及其製法 |
US8977095B2 (en) * | 2012-09-24 | 2015-03-10 | Corning Incorporated | Polarization maintaining optical fibers with intracore stress mechanisms |
-
2013
- 2013-02-26 JP JP2013036406A patent/JP2013210623A/ja active Pending
-
2014
- 2014-02-25 US US14/189,127 patent/US9354395B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01189614A (ja) * | 1988-01-26 | 1989-07-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 石英系光導波路及びその製造方法 |
JPH05294675A (ja) * | 1992-04-14 | 1993-11-09 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | 光デバイスの製造方法 |
US5303319A (en) * | 1992-12-28 | 1994-04-12 | Honeywell Inc. | Ion-beam deposited multilayer waveguides and resonators |
JPH09133824A (ja) * | 1995-11-09 | 1997-05-20 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路及びその製造方法 |
JPH10148726A (ja) * | 1996-11-19 | 1998-06-02 | Mitsubishi Electric Corp | 光導波路型グレーティングおよびその製法ならびに前記光導波路型グレーティングを用いた光フィルタおよび該光フィルタを用いた波長多重光伝送システム |
JP2001051145A (ja) * | 1999-08-13 | 2001-02-23 | Nec Corp | 光導波路デバイスおよびその製造方法 |
JP2003020254A (ja) * | 2001-07-04 | 2003-01-24 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 結晶化ガラス |
JP2005121696A (ja) * | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 光導波路 |
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10007073B2 (en) | 2014-10-10 | 2018-06-26 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical component including a high-relative-refractive-index-index-difference optical fiber a single-mode optical fiber an optical device and a fixing member to fix a relative opsition |
JP6089147B2 (ja) * | 2014-10-10 | 2017-03-01 | 古河電気工業株式会社 | 光学部品 |
JPWO2016056659A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2017-04-27 | 古河電気工業株式会社 | 光学部品 |
WO2016056659A1 (ja) * | 2014-10-10 | 2016-04-14 | 古河電気工業株式会社 | 光学部品 |
US10545292B2 (en) | 2016-03-31 | 2020-01-28 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical waveguide circuit device |
WO2017169710A1 (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 古河電気工業株式会社 | 光導波回路装置 |
JP2017181837A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 古河電気工業株式会社 | 光導波回路装置 |
JP2017203879A (ja) * | 2016-05-11 | 2017-11-16 | 古河電気工業株式会社 | 光導波路素子 |
WO2017195814A1 (ja) * | 2016-05-11 | 2017-11-16 | 古河電気工業株式会社 | 光導波路素子 |
US10564355B2 (en) | 2016-05-11 | 2020-02-18 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical waveguide element |
JP2020204642A (ja) * | 2019-06-14 | 2020-12-24 | 古河電気工業株式会社 | 光源モジュール |
JP2020204666A (ja) * | 2019-06-14 | 2020-12-24 | 古河電気工業株式会社 | 合分波素子および光源モジュール |
JP2020204667A (ja) * | 2019-06-14 | 2020-12-24 | 古河電気工業株式会社 | 合分波素子および光源モジュール |
JP7097332B2 (ja) | 2019-06-14 | 2022-07-07 | 古河電気工業株式会社 | 合分波素子および光源モジュール |
JP7099995B2 (ja) | 2019-06-14 | 2022-07-12 | 古河電気工業株式会社 | 光源モジュール |
JP7178328B2 (ja) | 2019-06-14 | 2022-11-25 | 古河電気工業株式会社 | 合分波素子および光源モジュール |
JP7340661B2 (ja) | 2019-06-14 | 2023-09-07 | 古河電気工業株式会社 | 光源モジュール |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9354395B2 (en) | 2016-05-31 |
US20140241683A1 (en) | 2014-08-28 |
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