JP6634053B2 - 光導波路 - Google Patents
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以下、本発明の実施例について説明する。まず、1mmの厚さを有する基板1上に火炎堆積法によってSiO2アンダークラッド層2を20μm堆積した。
Claims (3)
- 基板と、
前記基板上に形成されたSiO2アンダークラッド層と、
前記SiO2アンダークラッド層上に形成された積層コアと、
前記積層コア上に形成されたSiO2オーバークラッド層と、
を備えた光導波路であって、
前記積層コアは、可視光波長帯に吸収端を有さない金属酸化物を含まず、可視光波長帯に吸収端を有さない材料で構成されたSiO2膜と、前記金属酸化物をドーパントとして用いた膜厚100nm以下のSiO2−金属酸化物膜とが交互に堆積されて構成されていることを特徴とする光導波路。 - 前記SiO2−金属酸化物膜においてドーパントとして用いる前記金属酸化物は、Al2O3、Ta2O5、ZrO2、HfO2、MgO、Y2O3、TiO2、又はNb2O5であることを特徴とする請求項1に記載の光導波路。
- 前記SiO2膜は、純粋石英、又はB2O3及びP2O5のいずれか若しくはその両方を添加したSiO2であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光導波路。
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