JP2013206940A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013206940A5 JP2013206940A5 JP2012071409A JP2012071409A JP2013206940A5 JP 2013206940 A5 JP2013206940 A5 JP 2013206940A5 JP 2012071409 A JP2012071409 A JP 2012071409A JP 2012071409 A JP2012071409 A JP 2012071409A JP 2013206940 A5 JP2013206940 A5 JP 2013206940A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- conductivity type
- semiconductor device
- impurities
- insulating film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 36
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 16
- 150000001787 chalcogens Chemical class 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 5
- 229910052798 chalcogen Inorganic materials 0.000 claims 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 claims 1
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012071409A JP5865751B2 (ja) | 2012-03-27 | 2012-03-27 | 半導体装置及びその製造方法 |
| PCT/JP2012/078882 WO2013145412A1 (ja) | 2012-03-27 | 2012-11-07 | 半導体装置及びその製造方法 |
| TW101143244A TWI529938B (zh) | 2012-03-27 | 2012-11-20 | 半導體裝置及其製造方法 |
| US14/497,928 US20150008492A1 (en) | 2012-03-27 | 2014-09-26 | Semiconductor device and method of manufacturing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012071409A JP5865751B2 (ja) | 2012-03-27 | 2012-03-27 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013206940A JP2013206940A (ja) | 2013-10-07 |
| JP2013206940A5 true JP2013206940A5 (enExample) | 2015-03-19 |
| JP5865751B2 JP5865751B2 (ja) | 2016-02-17 |
Family
ID=49258750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012071409A Active JP5865751B2 (ja) | 2012-03-27 | 2012-03-27 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20150008492A1 (enExample) |
| JP (1) | JP5865751B2 (enExample) |
| TW (1) | TWI529938B (enExample) |
| WO (1) | WO2013145412A1 (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015046511A (ja) * | 2013-08-28 | 2015-03-12 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
| US10224402B2 (en) * | 2014-11-13 | 2019-03-05 | Texas Instruments Incorporated | Method of improving lateral BJT characteristics in BCD technology |
| DE102014119088A1 (de) * | 2014-12-18 | 2016-06-23 | Infineon Technologies Ag | Ein Verfahren zum Bilden eines Halbleiterbauelements und eines Halbleitersubstrats |
| JP7672901B2 (ja) | 2021-07-06 | 2025-05-08 | キヤノン株式会社 | 電子写真用ベルト及びそれを用いた電子写真画像形成装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63211666A (ja) * | 1987-02-26 | 1988-09-02 | Fuji Electric Co Ltd | ポリシリコン抵抗素子 |
| JPH10223901A (ja) * | 1996-12-04 | 1998-08-21 | Sony Corp | 電界効果型トランジスタおよびその製造方法 |
| JP2002151526A (ja) * | 2000-09-04 | 2002-05-24 | Seiko Epson Corp | 電界効果トランジスタの製造方法および電子装置 |
| JP4940682B2 (ja) * | 2005-09-09 | 2012-05-30 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 電界効果トランジスタおよびその製造方法 |
| JP2009054951A (ja) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Toshiba Corp | 不揮発性半導体記憶素子及びその製造方法 |
| EP2161755A1 (en) * | 2008-09-05 | 2010-03-10 | University College Cork-National University of Ireland, Cork | Junctionless Metal-Oxide-Semiconductor Transistor |
| JP5367340B2 (ja) * | 2008-10-30 | 2013-12-11 | 株式会社東芝 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
2012
- 2012-03-27 JP JP2012071409A patent/JP5865751B2/ja active Active
- 2012-11-07 WO PCT/JP2012/078882 patent/WO2013145412A1/ja not_active Ceased
- 2012-11-20 TW TW101143244A patent/TWI529938B/zh active
-
2014
- 2014-09-26 US US14/497,928 patent/US20150008492A1/en not_active Abandoned
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2015156515A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| JP2014132646A5 (ja) | 半導体装置及びその作製方法 | |
| JP2011199272A5 (enExample) | ||
| JP2011100982A5 (enExample) | ||
| JP2013153160A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| JP2017076823A5 (ja) | 液晶表示装置の作製方法 | |
| JP2011205078A5 (enExample) | ||
| JP2015135953A5 (enExample) | ||
| JP2013236068A5 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2015213072A5 (ja) | 表示装置の作製方法 | |
| JP2013016862A5 (enExample) | ||
| JP2012069935A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| JP2013084941A5 (ja) | 半導体装置 | |
| JP2013102154A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| JP2013070070A5 (ja) | 半導体装置及びその作製方法 | |
| JP2012084866A5 (ja) | 液晶表示装置の作製方法 | |
| JP2013190804A5 (enExample) | ||
| JP2012084859A5 (ja) | 半導体装置及びその作製方法 | |
| JP2012160719A5 (enExample) | ||
| JP2013175718A5 (enExample) | ||
| JP2013123041A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| JP2012009838A5 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
| JP2009038368A5 (enExample) | ||
| JP2013122580A5 (ja) | 表示装置の作製方法 | |
| JP2013175713A5 (enExample) |