JP2013205382A - 渦電流探傷装置の校正確認方法及び渦電流探傷装置 - Google Patents

Abstract

【課題】検査作業時間の短縮を図ることができる渦電流探傷装置の校正確認方法及び渦電流探傷装置を提供する。
【解決手段】励磁コイル１１、及び励磁コイル１１に対して並び方向Ｄａ，Ｄｂ，Ｄｃにそれぞれ配置された検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃを有する渦電流探傷プローブ１を備えた渦電流探傷装置の校正確認方法であって、渦電流探傷プローブ１を一走査姿勢で走査して一方向に延在した人工きず１３を探傷し、その際に評価データとして得られた検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの人工きず信号における振幅及び位相角と、基準データとして予め記憶された検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの基準感度及び基準位相の校正確認を行う。
【選択図】図９

Description

本発明は、相互誘導形標準比較型の渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置の校正確認方法、及び渦電流探傷装置に関する。

渦電流探傷装置は、渦電流探傷プローブを検査対象物の表面上で走査して探傷するものであり、例えば原子炉内構造物の検査作業などに用いられる。詳しく説明すると、プローブの励磁コイルによって発生する交流磁場により、検査対象物の表層部に渦電流を誘起させ、きずによる渦電流の乱れをプローブの検出コイルのインピーダンス変化（きず信号）として検出するようになっている。

相互誘導形標準比較型の渦電流探傷プローブにおいては、少なくとも１つの励磁コイルと、励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイルと、励磁コイルに対して第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルとを有するものが知られている。このような構成では、例えば第１の検出コイル及び第２の検出コイルのうちの一方だけを有する場合と比べ、短時間で、広範囲を走査可能とし且つ多方向のきずを検知可能としている。

ここで、渦電流探傷装置の校正方法において、一方向に延在した人工きずが形成された試験体を用いる方法が開示されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００１−１１６７２７号公報

上述した励磁コイル、第１の検出コイル、及び第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置の校正方法であって、一方向に延在した人工きずが形成された試験体を用いる場合の従来の校正方法について説明する。まず、第１の検出コイルから得られる人工きず信号の大きさがほぼ最大となるプローブの走査姿勢、すなわち、励磁コイルと第１の検出コイルの並び方向が人工きずの長さ方向に対してほぼ平行となる走査姿勢で、プローブを走査して人工きずを探傷する。その際に第１の検出コイルから得られた人工きず信号における振幅及び位相角が所定の目標値となるように、第１の検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する。また、第２の検出コイルから得られる人工きず信号の大きさがほぼ最大となるプローブの走査姿勢、すなわち、励磁コイルと第２の検出コイルの並び方向が人工きずの長さ方向に対してほぼ平行となる走査姿勢で、プローブを走査して人工きずを探傷する。その際に第２の検出コイルから得られた人工きず信号における振幅及び位相角が所定の目標値となるように、第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する。このような校正により、第１の検出コイルと第２の検出コイルにおける検出信号のバラツキを抑えることが可能である。

そして、検査作業の前段階において、上述した校正を行えば、その後の検査作業で得られる検出信号の精度及び信頼性を高めることが可能である。また、例えば何らかの理由で検査作業を中断した場合に、上述した校正を行えば、その後の検査作業で得られる検出信号の精度及び信頼性を高めることが可能である。しかしながら、上述した校正では、励磁コイルと第１の検出コイルの並び方向及び励磁コイルと第２の検出コイルの並び方向にそれぞれ対応する複数の走査姿勢に順次替えてプローブの走査を行う必要がある。すなわち、複数回の走査を行う必要があるため、検査作業全体の時間が長くなるという課題が生じる。

また、検査作業の後段階において、試験体の人工きずを探傷し、その際に得られた人工きず信号を確認すれば（すなわち、校正確認を行えば）、検査作業で得られた検出信号の信頼性を高めることが可能である。また、例えば検査作業を中断して校正確認を行えば、中断前の検査作業で得られた検出信号の信頼性を高めることが可能である。また、再開後の検査作業で得られる検出信号の信頼性を高めることが可能である。しかしながら、このような校正確認において、上述した校正と同様、励磁コイルと第１の検出コイルの並び方向及び励磁コイルと第２の検出コイルの並び方向にそれぞれ対応する複数の走査姿勢に順次替えてプローブの走査を行うのであれば、検査作業全体の時間が長くなるという課題が生じる。

本発明の目的は、検査作業時間の短縮を図ることができる渦電流探傷装置の校正確認方法及び渦電流探傷装置を提供することにある。

（１）上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも１つの励磁コイル、前記励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイル、及び前記励磁コイルに対して前記第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置の校正確認方法であって、前記渦電流探傷プローブを一走査姿勢で走査して一方向に延在した人工きずを探傷し、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、基準データとして予め記憶されるか若しくは予め記憶された参照データから基準データとして抽出された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認を行うデータ照合判定工程を有する。

このような本発明においては、渦電流探傷プローブを一走査姿勢で走査して（言い換えれば、１回の走査で）、一方向に延在した人工きずを探傷して、第１の検出コイル及び第２の検出コイルの校正確認を行うことができる。したがって、例えば励磁コイルと第１の検出コイルの並び方向及び励磁コイルと第２の検出コイルの並び方向にそれぞれ対応する複数の走査姿勢に順次替えて走査して（言い換えれば、複数回の走査で）人工きずを探傷して校正若しくは校正確認を行う場合と比べ、検査作業時間の短縮を図ることができる。

（２）上記（１）において、好ましくは、前記データ照合判定工程の前であって、前記渦電流探傷プローブを前記一走査姿勢で走査して前記人工きずを探傷し、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角を、基準データとして記憶する基準データ取得工程を有し、前記データ照合判定工程は、前記渦電流探傷プローブを前記一走査姿勢で走査して前記人工きずを探傷し、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、前記基準データ取得工程で基準データとして記憶された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認を行う。

このような本発明においては、基準データ取得時と同じ一走査姿勢でプローブを走査して人工きずを探傷して、第１の検出コイル及び第２の検出コイルの校正確認を行うことができる。

（３）上記（１）において、好ましくは、前記データ照合判定工程の前であって、前記渦電流探傷プローブを複数の走査姿勢に順次替えて走査して前記人工きずを探傷し、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角に基づき、前記励磁コイルと前記検出コイルの並び方向と前記人工きずの長さ方向の間の角度として定義された前記検出コイルの配置角度とこれに対応する前記人工きず信号の振幅及び位相角との関係を、参照データとして作成して記憶する参照データ取得工程を有し、前記データ照合判定工程は、前記渦電流探傷プローブを前記一走査姿勢で走査して前記人工きずを探傷し、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、前記参照データ取得工程で記憶された参照データから前記一走査姿勢に対応する前記第１の検出コイルの配置角度及び前記第２の検出コイルの配置角度に基づき基準データとして抽出された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認を行う。

このような本発明においては、任意の一走査姿勢でプローブを走査して人工きずを探傷して、第１の検出コイル及び第２の検出コイルの校正確認を行うことができる。

（４）上記（２）又は（３）において、好ましくは、前記基準データ取得工程は、渦電流探傷装置の初期設定段階で行い、前記データ照合判定工程は、各検査作業の前段階、後段階、若しくは中断段階で行う。

（５）上記（１）〜（４）のいずれか１つにおいて、好ましくは、前記データ照合判定工程で評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えると判定された場合に、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように前記検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する校正工程を有する。

（６）上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも１つの励磁コイル、前記励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイル、及び前記励磁コイルに対して前記第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置において、前記渦電流探傷プローブが一走査姿勢で走査されて一方向に延在した人工きずが探傷され、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、記憶手段で基準データとして予め記憶されるか若しくは記憶手段で予め記憶された参照データから基準データとして抽出された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する処理を行うデータ照合判定手段と、前記データ照合判定手段の判定結果に基づき、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認結果を表示する表示手段とを有する。

（７）上記（６）において、好ましくは、前記データ照合判定手段の前記処理の前に、前記渦電流探傷プローブが前記一走査姿勢で走査されて前記人工きずが探傷され、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角を、基準データとして前記記憶手段に記憶する基準データ取得手段を有し、前記データ照合判定手段の前記処理は、前記渦電流探傷プローブが前記一走査方向に走査されて前記人工きずが探傷され、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、前記記憶手段で基準データとして予め記憶された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する。

（８）上記（６）において、好ましくは、前記データ照合判定手段の前記処理の前に、前記渦電流探傷プローブが複数の走査姿勢に順次替えて走査されて前記人工きずが探傷され、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角に基づき、前記励磁コイルと前記検出コイルの並び方向と前記人工きずの長さ方向の間の角度として定義された前記検出コイルの配置角度とこれに対応する前記人工きず信号の振幅及び位相角との関係を、参照データとして作成して記憶する参照データ取得手段を有し、前記データ照合判定手段の前記処理は、前記渦電流探傷プローブが前記一走査姿勢で走査されて前記人工きずが探傷され、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、前記記憶手段で予め記憶された参照データから前記一走査姿勢に対応する前記第１の検出コイルの配置角度及び前記第２の検出コイルの配置角度に基づき基準データとして抽出された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する。

（９）上記（７）又は（８）において、好ましくは、前記データ照合判定手段で評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えると判定された場合に、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように前記検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する校正手段を有する。

（１０）上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも１つの励磁コイル、前記励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイル、及び前記励磁コイルに対して前記第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置の校正確認方法において、前記第１の検出コイルの信号の大きさ及び前記第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように前記渦電流探傷プローブを対象物からリフトオフし、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、基準データとして予め記憶された前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、を照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認を行うデータ照合判定工程を有する。

このような本発明においては、渦電流探傷プローブを対象物（詳細には、例えば試験体又は検査対象物）からリフトオフして、第１の検出コイル及び第２の検出コイルの校正確認を行うことができる。したがって、例えば励磁コイルと第１の検出コイルの並び方向及び励磁コイルと第２の検出コイルの並び方向にそれぞれ対応する複数の走査姿勢に順次替えて走査して（言い換えれば、複数回の走査で）人工きずを探傷して校正若しくは校正確認を行う場合と比べ、検査作業時間の短縮を図ることができる。

（１１）上記（１０）において、好ましくは、前記データ照合判定工程の前であって、前記第１の検出コイルの信号の大きさ及び前記第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように前記渦電流探傷プローブを対象物からリフトオフし、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角を、基準データとして記憶する基準データ取得工程を有する。

（１２）上記（１１）において、好ましくは、前記基準データ取得工程は、渦電流探傷装置の初期設定段階で行い、前記データ照合判定工程は、各検査作業の前段階、後段階、若しくは中断段階で行う。

（１３）上記（１０）〜（１２）のいずれか１つにおいて、好ましくは、前記データ照合判定工程で評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えると判定された場合に、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように前記検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する校正工程を有する。

（１４）上記目的を達成するために、本発明は、少なくとも１つの励磁コイル、前記励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイル、及び前記励磁コイルに対して前記第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置において、前記第１の検出コイルの信号の大きさ及び前記第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように前記渦電流探傷プローブが対象物からリフトオフされ、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、記憶手段で基準データとして予め記憶された前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、を照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する処理を行うデータ照合判定手段と、前記データ照合判定手段の判定結果に基づき、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認結果を表示する表示手段とを有する。

（１５）上記（１４）において、好ましくは、前記データ照合判定手段の前記処理の前に、前記第１の検出コイルの信号の大きさ及び前記第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように前記渦電流探傷プローブが対象物からリフトオフされ、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角を、基準データとして前記記憶手段に記憶する基準データ取得手段を有する。

（１６）上記（１４）又は（１５）において、好ましくは、前記データ照合判定手段で評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えると判定された場合に、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように前記検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する校正手段を有する。

本発明によれば、検査作業時間の短縮を図ることができる。

本発明の第１の実施形態における渦電流探傷装置の機能的構成を表すブロック図である。 本発明の第１の実施形態における渦電流探傷プローブの要部構成を表す平面図及び側面図である。 本発明の第１の実施形態における試験体の人工きずを渦電流探傷プローブとともに表す側面図及び平面図であり、ブローブの走査姿勢の一例を示す。 本発明の第１の実施形態における渦電流探傷装置の校正確認方法を表すフローチャートである。 図４で示された基準データ取得工程の詳細を表すフローチャートである。 本発明の第１の実施形態における特定の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角を表すリサージュ図であり、校正前及び校正後を示す。 本発明の第１の実施形態における他の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角を表すリサージュ図であり、校正後を示す。 本発明の第１の実施形態における基準データを表す図である。 図４で示されたデータ照合判定工程の詳細を表すフローチャートである。 本発明の第１の実施形態における評価データを表す図である 本発明の適用例の一つである原子炉内構造物検査用の渦電流探傷装置の構成を表す概略図である。 本発明の第１の変形例における渦電流探傷装置の校正確認方法を表すフローチャートである。 本発明の第２の変形例における渦電流探傷装置の機能的構成を表すブロック図である。 本発明の第２の変形例における渦電流探傷装置の校正確認方法を表すフローチャートである。 図１４で示された参照データ取得工程の詳細を表すフローチャートである。 本発明の第２の変形例における参照データであって、検出コイルの配置角度と人工きず信号の振幅及び位相角との関係を表す図である。 図１４で示されたデータ照合判定工程の詳細を表すフローチャートである。 本発明の第３の変形例における渦電流探傷装置の校正確認方法を表すフローチャートである。 本発明の第２の実施形態における渦電流探傷装置の機能的構成を表すブロック図である。 本発明の第２の実施形態における渦電流探傷装置の校正確認方法を表すフローチャートである。 図２０で示された基準データ取得工程の詳細を表すフローチャートである。 本発明の第２の実施形態における渦電流探傷プローブのリフトオフを説明するための側面図である。 本発明の第２の実施形態におけるリフトオフ前の検出コイルの信号を表すリサージュ図、及び検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角を表すリサージュ図である。 図２０で示されたデータ照合判定工程の詳細を表すフローチャートである。 本発明の第４の変形例における渦電流探傷装置の校正確認方法を表すフローチャートである。 本発明の第５の変形例における渦電流探傷プローブの要部構成を表す平面図及び側面図である。

以下、本発明の実施形態を、図面を参照しつつ説明する。

図１は、本発明の第１の実施形態における渦電流探傷装置の機能的構成を表すブロック図である。図２（ａ）は、本発明の第１の実施形態における渦電流探傷プローブの要部構成を表す平面図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）中矢印Ａ方向から見た側面図である。

渦電流探傷装置は、大別して、相互誘導形標準比較型の渦電流探傷プローブ１と、この渦電流探傷プローブ１を移動させるプローブ移動装置２と、渦電流探傷プローブ１及びプローブ移動装置２に電気的に接続された探傷制御装置３とを備えている。探傷制御装置３は、プローブ制御部４、データ処理部５、基準データ記憶部６、評価データ記憶部７、入力部８、及び表示部９を有している。

渦電流探傷プローブ１は、いわゆるシングルプローブであって、基板１０上に配置された１つの励磁コイル１１と、基板１０上に配置された３つの検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃとを有している。検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの組成（詳細には、巻き数、線径、及びコアの有無など）は、互いに同じである。励磁コイル１１と検出コイル１２ａの中心間距離、励磁コイル１１と検出コイル１２ｂの中心間距離、及び励磁コイル１１と検出コイル１２ｃの中心間距離は、互いに同じである。

また、励磁コイル１１と検出コイル１２ａの並び方向Ｄａ、励磁コイル１１と検出コイル１２ｂの並び方向Ｄｂ、及び励磁コイル１１と検出コイル１２ｃの並び方向Ｄｃは、互いに交差している。詳しく説明すると、本実施形態では、コイル並び方向Ｄａが基板１０の長手方向（図２（ａ）中上下方向）にあり、コイル並び方向Ｄａとコイル並び方向Ｄｂとの間の角度が７５°であり、コイル並び方向Ｄａとコイル並び方向Ｄｃとの間の角度が１０５°である（すなわち、コイル並び方向Ｄｂとコイル並び方向Ｄｃとの間の角度が３０°である）。

上述したプローブ１の構成では、例えば検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃのうちのいずれか１つだけを有している場合と比べ、短時間で、広範囲を走査可能とし且つ多数の方向のきずを検知可能としている。

探傷制御装置３のプローブ制御部４は、プローブ移動装置２を制御して、渦電流探傷プローブ１を検査対象物の表面に密着させるとともに検査対象物の表面上で走査する。また、渦電流探傷プローブ１の励磁コイル１１に交流電圧を印加するようになっている。

データ処理部５は、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃからの検出信号に対し所定のデータ処理を行う。詳細には、検出コイルからの検出信号を、検出コイル毎に予め設定された基準感度（言い換えれば、信号の増幅利得）に基づいて増幅し、検出コイル毎に予め設定された基準位相と同じ成分（Ｘ成分）と９０度異なる成分（Ｙ成分）に分解し、それらＸ成分及びＹ成分を横軸及び縦軸にプロットしてリサージュ波形を作成し、そのリサージュ波形を用いて検出信号における振幅及び位相角を演算するようになっている。

表示部８は、モニタを有し、データ処理部５で得られたデータ（詳細には、例えば、Ｘ成分及びＹ成分、リサージュ波形、又は振幅及び位相角）を、検出コイルや検査位置と関連付けて表示可能としている。入力部９は、例えばキーボードやマウスを有し、上述したプローブ走査、データ処理、及びデータ表示等に係わる設定及び指令を入力可能としている。

次に、本実施形態における渦電流探傷装置の校正確認方法を説明する。

本実施形態の校正確認方法では、図３（ａ）及び図３（ｂ）で示すように、一方向（図３（ｂ）中上下方向）に延在した人工きず１３が形成された試験体１４を用いる。なお、試験体１４における人工きず１３側（図３（ａ）中上側）の表面は、平面となっている。

本実施形態の校正確認方法は、図４で示すように、大別して、基準データ取得工程１００と、データ照合判定工程２００を有する。基準データ取得工程１００は、渦電流探傷装置の初期設定段階で（言い換えれば、事前準備として）行うものであり、データ照合判定工程２００は、各検査作業の前段階、後段階、若しくは中断段階で（言い換えれば、現場作業として）行うものである。

まず、基準データ取得工程１００の詳細を説明する。図５は、本実施形態における基準データ取得工程１００の詳細を表すフローチャートである。

ステップ１０１にて、探傷制御装置３のプローブ制御部４は、プローブ移動装置２を制御して、渦電流探傷プローブ１を一走査姿勢で走査して人工きず１３を探傷する。このとき、本実施形態では、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃのうちの特定の検出コイルとして検出コイル１２ａを選択しており、プローブ１の走査姿勢は、検出コイル１２ａから得られる人工きず信号の大きさがほぼ最大となる走査姿勢が好ましい。そのため、図３（ｂ）で示すように、励磁コイル１１と検出コイル１２ａの並び方向Ｄａが人工きず１３の長さ方向に対してほぼ平行となる走査姿勢、言い換えれば、検出コイル１２ａの配置角度Ｅａ＝０°、検出コイル１２ｂの配置角度Ｅｂ＝７５°、検出コイル１２ｃの配置角度Ｅｃ＝１０５°となる走査姿勢としている。ここで、「検出コイルの配置角度」は、励磁コイル１１と検出コイルの並び方向と人工きず１３の長さ方向の間の角度として定義されている。

そして、ステップ１０２に進み、探傷制御装置３のデータ処理部５は、前述のステップ１０１で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ａの人工きず信号に対し、予め設定された仮の基準感度及び基準位相を用いて、データ処理を行う。すなわち、検出コイル１２ａの人工きず信号を仮の基準感度に基づいて増幅し、仮の基準位相と同じ成分（Ｘ成分）と９０度異なる成分（Ｙ成分）に分解し、それらＸ成分及びＹ成分を横軸及び縦軸にプロットして例えば図６（ａ）で示すようなリサージュ波形を作成し、このリサージュ波形を用いて人工きず信号における振幅Ｚａ及び位相角θａを演算する。そして、振幅Ｚａの演算値が目標値（例えば２Ｖ）、位相角θａの演算値が目標値（例えば９０°）となるように、検出コイル１２ａの基準感度及び基準位相を校正する。なお、振幅Ｚａの目標値及び位相角θａの目標値は、人工きず１３の形状及びプローブ１の走査姿勢に応じて設定されるものであり、例えば入力部８で入力設定されるか、若しくは予め記憶設定されている。また、検出コイル１２ａの基準感度及び基準位相の校正は、データ処理部５が振幅Ｚａの演算値と目標値との差分及び位相角θａの演算値と目標値との差分をそれぞれ演算し、それらに基づいて行ってもよいし（自動校正）、あるいは入力部８からの入力によって行ってもよい（手動校正）。

そして、ステップ１０３に進み、データ処理部５は、前述のステップ１０１で人工きず１３が探傷された際（若しくは、前述のステップ１０２の後、渦電流探傷プローブ１が再走査されて人工きず１３が探傷された際）に得られた検出コイル１２ａの人工きず信号に対し、前述のステップ１０２で校正された基準感度及び基準位相を用いて、データ処理を行う。すなわち、検出コイル１２ａの人工きず信号を校正後の基準感度に基づいて増幅し、校正後の基準位相と同じ成分（Ｘ成分）と９０度異なる成分（Ｙ成分）に分解し、それらＸ成分及びＹ成分を横軸及び縦軸にプロットしてリサージュ波形を作成し、このリサージュ波形を用いて人工きず信号における振幅Ｚａ及び位相角θａを演算する。

その後、ステップ１０４に進み、データ処理部５は、ステップ１０３で得られた振幅Ｚａの演算値と目標値との差分を演算し、その差分が予め設定された第１の規定値以下であるか否かを判定する。また、ステップ１０３で得られた位相角θａの演算値と目標値との差分を演算し、その差分が予め設定された第２の規定値以下であるか否かを判定する。例えば振幅Ｚａの演算値と目標値との差分が第１の規定値を超えるか、若しくは位相角θａの演算値と目標値との差分が第２の規定値を超える場合は、ステップ１０４の判定が満たされず、前述のステップ１０３に戻って、上記同様の手順を繰り返す。

一方、例えば振幅Ｚａの演算値と目標値との差分が第１の規定値以下であり、かつ位相角θａの演算値と目標値との差分が第２の規定値以下である場合は、ステップ１０４の判定が満たされ、ステップ１０５に移る。ステップ１０５では、データ処理部５は、基準データとして、ステップ１０４の判定を満たす振幅の演算値Ｚａ０及び位相角の演算値θａ０（図６（ｂ）参照）を、基準データ記憶部６に記憶させる。

そして、ステップ１０６に進み、検出コイル１２ａの基準感度及び基準位相を反映させるように、他の検出コイル１２ｂ，１２ｃの基準感度及び基準位相を校正する。詳しく説明すると、本実施形態では、検出コイルの組成や、励磁コイルと検出コイルとの中心間距離が互いに同じであるから、検出コイル１２ａの基準感度及び基準位相と同じになるように、他の検出コイル１２ｂ，１２ｃの基準感度及び基準位相を校正する。なお、例えば検出コイルの組成や、励磁コイルと検出コイルとの中心間距離が互い異なる場合は、検出コイル１２ａの基準感度及び基準位相に対し、予め設定された比率若しくは差分を用いて、他の検出コイル１２ｂ，１２ｃの基準感度及び基準位相を校正する。また、検出コイル１２ｂ，１２ｃの基準感度及び基準位相の校正は、データ処理部５が自動的に行ってもよいし、あるいは入力部８からの入力によって行ってもよい。

その後、ステップ１０７に進み、データ処理部５は、前述のステップ１０１で人工きず１３を探傷した際に得られた（若しくは、前述のステップ１０６の後、渦電流探傷プローブ１が再走査されて人工きず１３が探傷された際に得られた）検出コイル１２ｂの人工きず信号に対し、前述のステップ１０６で校正された基準感度及び基準位相を用いて、データ処理を行う。すなわち、検出コイル１２ｂの人工きず信号を校正後の基準感度に基づいて増幅し、校正後の基準位相と同じ成分（Ｘ成分）と９０度異なる成分（Ｙ成分）に分解し、それらＸ成分及びＹ成分を横軸及び縦軸にプロットしてリサージュ波形を作成し、このリサージュ波形を用いて人工きず信号における振幅Ｚｂ０及び位相角θｂ０を演算する（図７参照）。

同様に、前述のステップ１０１で人工きず１３を探傷した際に得られた（若しくは、前述のステップ１０６の後、渦電流探傷プローブ１が再走査されて人工きず１３が探傷された際に得られた）検出コイル１２ｃの人工きず信号に対し、前述のステップ１０６で校正された基準感度及び基準位相を用いて、データ処理を行う。すなわち、検出コイル１２ｃの人工きず信号を校正後の基準感度に基づいて増幅し、校正後の基準位相と同じ成分（Ｘ成分）と９０度異なる成分（Ｙ成分）に分解し、それらＸ成分及びＹ成分を横軸及び縦軸にプロットしてリサージュ波形を作成し、このリサージュ波形を用いて人工きず信号における振幅Ｚｃ０及び位相角θｃ０を演算する（図７参照）。なお、本実施形態のコイル配置では、検出コイル１２ｂの人工きず信号の振幅Ｚｂ０と検出コイル１２ｃの人工きず信号の振幅Ｚｃ０がほぼ同じ、検出コイル１２ｂの人工きず信号の位相角θｂ０と検出コイル１２ｃの人工きず信号の位相角θｃ０がほぼ同じとなる。

そして、ステップ１０８に進み、データ処理部５は、基準データとして、ステップ１０７で得られた振幅Ｚｂ０，Ｚｃ０及び位相角の演算値θｂ０，θｃ０を、基準データ記憶部６に記憶させる。したがって、最終的に、基準データ記憶部６は、図８で示すような基準データを記憶する。なお、データ処理部５は、入力部８からの指令に応じて、基準データ記憶部６で記憶された基準データを表示部９に表示させるようにしてもよい。

次に、データ照合判定工程２００の詳細を説明する。図９は、本実施形態におけるデータ照合判定工程２００の詳細を表すフローチャートである。

ステップ２０１にて、探傷制御装置３のプローブ制御部４は、プローブ移動装置２を制御して、上述の図５のステップ１０１と同じ走査姿勢で、渦電流探傷プローブ１を走査して人工きず１３を探傷する（上述の図３（ａ）及び図３（ｂ）参照）。なお、このとき、プローブ１の走査姿勢を検出するセンサ（図示せず）を設け、このセンサの検出結果に基づいてプローブ１の走査姿勢が上述の図５のステップ１０１と同じであるか否かを確認してもよい。あるいは、入力部８からの入力に基づいてプローブ１の走査姿勢が上述の図５のステップ１０１と同じであるか否かを確認してもよい。

そして、ステップ２０２に進み、探傷制御装置３のデータ処理部５は、前述のステップ２０１で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ａの人工きず信号に対し、上述の図５のステップ１０２で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚａ１及び位相角θａ１を演算する。また、前述のステップ２０１で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ｂの人工きず信号に対し、上述の図５のステップ１０６で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚｂ１及び位相角θｂ１を演算する。また、前述のステップ２０１で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ｃの人工きず信号に対し、上述の図５のステップ１０６で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚｃ１及び位相角θｃ１を演算する。このようにして得られた振幅Ｚａ１，Ｚｂ１，Ｚｃ１及び位相角θａ１，θｂ１，θｃ１を、評価データ（図１０参照）として、評価データ記憶部７に記憶させる。なお、データ処理部５は、入力部８からの指令に応じて、評価データ記憶部７で記憶された評価データを表示部９に表示させるようにしてもよい。

その後、ステップ２０３に進み、データ処理部５は、ステップ２０２で得られた振幅（評価データ）と基準データ記憶部６で予め記憶された振幅（基準データ）との差分（詳細には、検出コイル１２ａの人工きず信号における振幅Ｚａ１とＺａ０との差分、検出コイル１２ｂの人工きず信号における振幅Ｚｂ１とＺｂ０との差分、及び検出コイル１２ｃの人工きず信号における振幅Ｚｃ１とＺｃ０との差分）を演算し、それらの差分が予め設定された第１の許容値以下であるか否かを判定する。また、ステップ２０２で得られた位相角（評価データ）と基準データ記憶部６で予め記憶された位相角（基準データ）との差分（詳細には、検出コイル１２ａの人工きず信号における位相角θａ１とθａ０との差分、検出コイル１２ｂの人工きず信号における位相角θｂ１とθｂ０との差分、及び検出コイル１２ｃの人工きず信号における位相角θｃ１とθｃ０との差分）を演算し、それらの差分が予め設定された第２の許容値以下であるか否かを判定する。例えば全ての差分が許容値以下である場合は、ステップ２０３の判定が満たされ、ステップ２０４に移る。ステップ２０４では、校正確認ＯＫの旨を表示部９に表示させる。

一方、例えばいずれかの差分が許容値を超える場合は、ステップ２０３の判定が満たされず、ステップ２０５に移る。ステップ２０５では、校正確認ＮＧの旨を表示部９に表示させる。このとき、好ましくは、表示部９に該当する検出コイルや振幅又は位相角を表示させる。

なお、上記において、基準データ記憶部６は、特許請求の範囲に記載の記憶手段を構成する。また、データ処理部５が行う上述の図９のステップ２０３は、渦電流探傷プローブが一走査姿勢で走査されて一方向に延在した人工きずが探傷され、その際に評価データとして得られた第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、記憶手段で基準データとして予め記憶された第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する処理を行うデータ照合判定手段を構成する。また、表示部９は、データ照合判定手段の判定結果に基づき、第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認結果を表示する表示手段を構成する。また、データ処理部５が行う上述の図５のステップ１０５及び１０８は、データ照合判定手段の処理の前に、渦電流探傷プローブが一走査姿勢で走査されて人工きずが探傷され、その際に校正後の第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角を、基準データとして記憶手段に記憶する基準データ取得手段を構成する。

以上のように構成された本実施形態においては、渦電流探傷プローブ１を基準データ取得時と同じ一走査姿勢で走査して（言い換えれば、１回の走査で）、一方向に延在した人工きず１３を探傷して、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行うことができる。したがって、例えばコイル並び方向Ｄａ，Ｄｂ，Ｄｃにそれぞれ対応する複数の走査姿勢に順次替えて走査して（言い換えれば、複数回の走査で）人工きず１３を探傷して校正若しくは校正確認を行う場合と比べ、検査作業時間の短縮を図ることができる。また、例えばプローブ１の走査回数を減少させるために、複数の方向にそれぞれ延在した複数の人工きずを試験体に形成する場合と比べ、試験体の製造コストの低減を図ることができる。

そして、検査作業の前段階において、上述した校正確認を行えば、その後の検査作業で得られる検出信号の精度及び信頼性を高めることができる。また、検査作業の後段階において、上述した校正確認を行えば、検査作業で得られた検出信号の信頼性を高めることができる。また、例えば検査作業を中断して、上述した校正確認を行えば、中断前の検査作業で得られた検出信号の信頼性を高めることができる。また、再開後の検査作業で得られる検出信号の信頼性を高めることができる。

次に、本実施形態の具体的な適用例を説明する。図１１は、本実施形態の適用例の一つである原子炉内構造物検査用の渦電流探傷装置の構成を表す概略図である。

この図１１において、検査対象物は、原子炉圧力容器１５内の構造物（詳細には、例えば炉心シュラウド１６の各種溶接継手や、制御棒駆動機構のスタブチューブ等の貫通溶接部１７）である。

プローブ移動装置２は、渦電流探傷プローブ１を検査対象物の表面に密着させるように駆動する空圧シリンダ（図示せず）と、この空圧シリンダにエアチューブ１８を介して接続され、空圧シリンダへの加圧空気の供給を制御するエア供給制御装置１９と、渦電流探傷プローブ１を検査対象物の表面上で走査させるように駆動するマニピュレータ２０と、このマニピュレータ２０にケーブル２１を介して接続され、マニピュレータ２０の駆動を制御するマニピュレータ制御装置２２とを有している。渦電流探傷プローブ１は、前述した空圧シリンダとともに、マニピュレータ２０の先端部２０ａに取り付けられている。

プローブ１の動きを撮影するための炉内カメラ２３と、この炉内カメラ２３にケーブル２４を介して接続された炉内カメラ制御装置２５とが設けられている。

エア供給制御装置１９、マニピュレータ制御装置２２、及び炉内カメラ制御装置２５は、探傷制御装置３とともに、オペレーションフロア２６に設置されている。オペレーションフロア２６には、エアチューブ１８及びケーブル２１，２４を繰り出すための作業台車２７が設置されている。

探傷制御装置３のプローブ制御部４は、エア供給制御装置１９及びマニピュレータ制御装置２２を介して空圧シリンダ及びマニピュレータ２０を制御する。これにより、渦電流探傷プローブ１を検査対象物の表面に密着させるとともに検査対象物の表面上で走査するようになっている。

次に、本実施形態における原子炉内構造物の検査作業を説明する。

まず、例えば、検査作業の前段階として、オペレーションフロア２６にて試験体１４を用意し、渦電流探傷プローブ１を一走査姿勢で走査して試験体１４の人工きず１３を探傷し、上述した検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行う。校正確認がとれたら、渦電流探傷プローブ１を空圧シリンダとともにマニピュレータ２０の先端部２０ａに取り付け、マニピュレータ２０を原子炉圧力容器１５内へインストールする。その後、探傷準備を経て、原子炉内構造物の探傷を実施する。その後、原子炉圧力容器１５内からマニピュレータ２０をアンインストールする。そして、検査作業の後段階として、オペレーションフロア２６にて、渦電流探傷プローブ１を一走査姿勢で走査して試験体１４の人工きず１３を探傷し、上述した検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行う。

したがって、検査作業の前段階において校正確認を行うので、検査作業で得られる検出信号の精度及び信頼性を高めることができる。また、検査作業の後段階において校正確認を行うので、検査作業で得られた検出信号の信頼性を高めることができる。

また、例えば何らかの理由で検査作業を中断して、原子炉圧力容器１５内からマニピュレータ２０をアンインストールする場合も、オペレーションフロア２６にて、渦電流探傷プローブ１を一走査姿勢で走査して試験体１４の人工きず１３を探傷し、上述した検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行ってもよい。あるいは、例えば原子炉圧力容器１５内に試験体１４を用意する場合も、検査作業を中断して、渦電流探傷プローブ１を一走査姿勢で走査して試験体１４の人工きず１３を探傷し、上述した検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行ってもよい。これらの場合、中断前の検査作業で得られた検出信号の信頼性を高めることができ、再開後の検査作業で得られる検出信号の信頼性を高めることができる。

なお、上記第１の実施形態においては、上述の図４で示すように、渦電流探傷装置の校正確認方法は、基準データ取得工程１００及びデータ照合判定工程２００を有し、上述の図９のステップ２０３〜２０５で示すように、校正確認結果の表示までを説明したが、これに限られず、本発明の趣旨及び技術思想の範囲を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。すなわち、例えば図１２で示すように、渦電流探傷装置の校正確認方法は、さらに校正工程３００を有していてもよい。この校正工程３００は、前述の図９のステップ２０３にて評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えた場合（言い換えれば、ステップ２０３の判定が満たされず、ステップ２０５に進み、校正確認ＮＧが表示された場合）に行われる。校正工程３００では、データ処理部５は、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように、対応する検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する（校正手段）。このような第１の変形例においても、上記第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

また、上記第１の実施形態においては、基準データ取得工程１００は、基準データとして、渦電流探傷プローブ１を一走査姿勢で走査して人工きずを探傷した際に校正後の検出コイル１２ａの基準感度及び基準位相を用いて得られた検出コイル１２ａの人工きず信号における振幅Ｚａ０及び位相角θａ０、校正後の検出コイル１２ｂの基準感度及び基準位相を用いて得られた検出コイル１２ｂの人工きず信号における振幅Ｚｂ０及び位相角θｂ０、並びに校正後の検出コイル１２ｃの基準感度及び基準位相を用いて得られた検出コイル１２ｃの人工きず信号における振幅Ｚｃ０及び位相角θｃ０を記憶した場合を例にとって説明したが、基準データに代えて、検出コイルの配置角度と人工きず信号の振幅及び位相角との関係（参照データという）を記憶してもよい。このような第２の変形例を、図１３〜図１７により説明する。なお、本変形例において、上記第１の実施形態と同等の部分は同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

図１３は、本変形例における渦電流探傷装置の機能的構成を表すブロック図である。

本変形例では、探傷制御装置３Ａは、プローブ制御部４、データ処理部５Ａ、参照データ記憶部２８、評価データ記憶部７、入力部８、及び表示部９を有している。

本変形例の校正確認方法では、上記第１の実施形態と同様、一方向に延在した人工きず１３が形成された試験体１４を用いる（上述の図３（ａ）及び図３（ｂ）参照）。

本変形例の校正確認方法は、図１４で示すように、大別して、参照データ取得工程４００と、データ照合判定工程５００を有する。参照データ取得工程４００は、渦電流探傷装置の初期設定段階で（言い換えれば、事前準備として）行うものであり、データ照合判定工程５００は、各検査作業の前段階、後段階、若しくは中断段階で（言い換えれば、現場作業として）行うものである。

まず、参照データ取得工程４００の詳細を説明する。図１５は、本変形例における参照データ取得工程４００の詳細を表すフローチャートである。

ステップ４０１にて、上記第１の実施形態のステップ１０１と同様、探傷制御装置３Ａのプローブ制御部４は、プローブ移動装置２を制御して、渦電流探傷プローブ１を一走査姿勢（図３（ｂ）で示すように、検出コイル１２ａの配置角度Ｅａ＝０°、検出コイル１２ｂの配置角度Ｅｂ＝７５°、検出コイル１２ｃの配置角度Ｅｃ＝１０５°）で走査して人工きず１３を探傷する。

そして、ステップ４０２に進み、上記第１の実施形態のステップ１０２と同様、探傷制御装置３Ａのデータ処理部５Ａは、前述のステップ４０１で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ａの人工きず信号に対し、予め設定された仮の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚａ及び位相角θａを演算する。そして、振幅Ｚａの演算値が目標値（例えば２Ｖ）、位相角θａの演算値が目標値（例えば９０°）となるように、検出コイル１２ａの基準感度及び基準位相を校正する。

そして、ステップ４０３に進み、上記第１の実施形態のステップ１０３と同様、データ処理部５Ａは、前述のステップ４０１で人工きず１３が探傷された際（若しくは、前述のステップ４０２の後、渦電流探傷プローブ１が再走査されて人工きず１３が探傷された際）に得られた検出コイル１２ａの人工きず信号に対し、前述のステップ４０２で校正された基準感度及び基準位相を用いて、データ処理を行い、振幅Ｚａ及び位相角θａを演算する。

その後、ステップ４０４に進み、上記第１の実施形態のステップ１０４と同様、データ処理部５Ａは、ステップ４０３で得られた振幅Ｚａの演算値と目標値との差分を演算し、その差分が予め設定された第１の規定値以下であるか否かを判定する。また、ステップ４０３で得られた位相角θａの演算値と目標値との差分を演算し、その差分が予め設定された第２の規定値以下であるか否かを判定する。例えば振幅Ｚａの演算値と目標値との差分が第１の規定値を超えるか、若しくは位相角θａの演算値と目標値との差分が第２の規定値を超える場合は、ステップ４０４の判定が満たされず、前述のステップ４０３に戻って、上記同様の手順を繰り返す。

一方、例えば振幅Ｚａの演算値と目標値との差分が第１の規定値以下であり、かつ位相角θａの演算値と目標値との差分が第２の規定値以下である場合は、ステップ４０４の判定が満たされる。この場合、ステップ４０４の判定を満たす振幅の演算値及び位相角の演算値を、検出コイル１２ａの配置角度Ｅａ＝０°と関連付けて一時的に記憶するとともに、ステップ４０５に移る。なお、検出コイルの配置角度は、プローブ１の走査姿勢を検出するセンサの検出結果及び予め記憶されたコイル並び方向Ｄａ，Ｄｂ，Ｄｃに基づいて演算されてもよいし、若しくは入力部８から入力されたものでもよい。

ステップ４０５では、上記第１の実施形態のステップ１０６と同様、検出コイル１２ａの基準感度及び基準位相を反映させるように、他の検出コイル１２ｂ，１２ｃの基準感度及び基準位相を校正する。

その後、ステップ４０６に進み、上記第１の実施形態のステップ１０７と同様、データ処理部５Ａは、前述のステップ４０１で人工きず１３を探傷した際に得られた（若しくは、前述のステップ４０５の後、渦電流探傷プローブ１が再走査されて人工きず１３が探傷された際に得られた）検出コイル１２ｂの人工きず信号に対し、前述のステップ４０５で校正された基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅及び位相角を演算する。そして、演算した振幅及び位相角を、検出コイル１２ｂの配置角度Ｅｂ＝７５°と関連付けて一時的に記憶する。

同様に、前述のステップ４０１で人工きず１３を探傷した際に得られた（若しくは、前述のステップ４０５の後、渦電流探傷プローブ１が再走査されて人工きず１３が探傷された際に得られた）検出コイル１２ｃの人工きず信号に対し、前述のステップ４０５で校正された基準感度及び基準位相を用いて、データ処理を行い、振幅及び位相角を演算する。そして、演算した振幅及び位相角を、検出コイル１２ｃの配置角度Ｅｃ＝１０５°と関連付けて一時的に記憶する。

そして、ステップ４０７に進み、プローブ制御部４は、プローブ移動装置２を制御して、渦電流探傷プローブ１を上述した一走査姿勢（検出コイル１２ａの配置角度Ｅａ＝０°、検出コイル１２ｂの配置角度Ｅｂ＝７５°、検出コイル１２ｃの配置角度Ｅｃ＝１０５°）とは異なる複数の走査姿勢で順次走査して人工きず１３を探傷する。

そして、ステップ４０８に進み、データ処理部５Ａは、前述のステップ４０７で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ａの人工きず信号に対し、前述のステップ４０２で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅及び位相角を演算する。そして、演算した振幅及び位相角を、対応する検出コイル１２ａの配置角度と関連付けて一時的に記憶する。また、前述のステップ４０７で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ｂの人工きず信号に対し、前述のステップ４０５で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅及び位相角を演算する。そして、演算した振幅及び位相角を、対応する検出コイル１２ｂの配置角度と関連付けて一時的に記憶する。また、前述のステップ４０７で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ｃの人工きず信号に対し、前述のステップ４０５で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅及び位相角を演算する。そして、演算した振幅及び位相角を、対応する検出コイル１２ｃの配置角度と関連付けて一時的に記憶する。

そして、ステップ４０９に進み、データ処理部５Ａは、上述のようにして得られた検出コイルの配置角度と人工きず信号の振幅との組合せから、図１６（ａ）で示すような検出コイルの配置角度と人工きず信号の振幅との関係を表す特性曲線を作成し、これを参照データとして参照データ記憶部２８に記憶させる。また、上述のようにして得られた検出コイルの配置角度と人工きず信号の位相角との組合せから、図１６（ｂ）で示すような検出コイルの配置角度と人工きず信号の位相角との関係を表す特性曲線を作成し、これを参照データとして参照データ記憶部２８に記憶させる。なお、データ処理部５Ａは、入力部８からの指令に応じて、参照データ記憶部２８で記憶された参照データ（特性曲線）を表示部９に表示させるようにしてもよい。

次に、データ照合判定工程５００の詳細を説明する。図１７は、本変形例におけるデータ照合判定工程５００の詳細を表すフローチャートである。

ステップ５０１にて、探傷制御装置３Ａのプローブ制御部４は、プローブ移動装置２を制御して、任意の一走査姿勢（すなわち、上述の図１５のステップ４０１と同じか若しくは異なる走査姿勢）で、渦電流探傷プローブ１を走査して人工きず１３を探傷する。

そして、ステップ５０２に進み、探傷制御装置３Ａのデータ処理部５Ａは、前述のステップ５０１で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ａの人工きず信号に対し、上述の図１５のステップ４０２で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚａ１及び位相角θａ１を演算する。また、前述のステップ５０１で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ｂの人工きず信号に対し、上述の図１５のステップ４０５で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚｂ１及び位相角θｂ１を演算する。また、前述のステップ５０１で人工きず１３が探傷された際に得られた検出コイル１２ｃの人工きず信号に対し、上述の図１５のステップ４０５で校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚｃ１及び位相角θｃ１を演算する。このようにして得られた振幅Ｚａ１，Ｚｂ１，Ｚｃ１及び位相角θａ１，θｂ１，θｃ１を、評価データとして、評価データ記憶部７に記憶させる。なお、データ処理部５Ａは、入力部８からの指令に応じて、評価データ記憶部７で記憶された評価データを表示部９に表示させるようにしてもよい。

そして、ステップ５０３に進み、参照データ記憶部２８で予め記憶された参照データから、前述のステップ５０１における任意の一走査姿勢に対応する検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの配置角度に基づき、基準データとして、検出コイル１２ａの人工きず信号における振幅Ｚａ０及び位相角θａ０、検出コイル１２ｂの人工きず信号における振幅Ｚｂ０及び位相角θｂ０、並びに検出コイル１２ｃの人工きず信号における振幅Ｚｃ０及び位相角θｃ０を抽出する。具体的に説明すると、例えば前述のステップ５０１における任意の一走査姿勢が、上述の図１５のステップ４０１と同じ走査姿勢である場合は、これに対応する検出コイル１２ａの配置角度Ｅａ＝０°、検出コイル１２ｂの配置角度Ｅｂ＝７５°，検出コイル１２ｃの配置角度Ｅｃ＝１０５°に基づき、基準データとして、検出コイル１２ａの人工きず信号における振幅Ｚａ０及び位相角θａ０、検出コイル１２ｂの人工きず信号における振幅Ｚｂ０及び位相角θｂ０、並びに検出コイル１２ｃの人工きず信号における振幅Ｚｃ０及び位相角θｃ０を抽出する（図１６（ａ）及び図１６（ｂ）参照）。

その後、ステップ５０４に進み、データ処理部５は、ステップ５０２で得られた振幅（評価データ）とステップ５０３で抽出された振幅（基準データ）との差分（詳細には、検出コイル１２ａの人工きず信号における振幅Ｚａ１とＺａ０との差分、検出コイル１２ｂの人工きず信号における振幅Ｚｂ１とＺｂ０との差分、及び検出コイル１２ｃの人工きず信号における振幅Ｚｃ１とＺｃ０との差分）を演算し、それらの差分が予め設定された第１の許容値以下であるか否かを判定する。また、ステップ５０２で得られた位相角（評価データ）とステップ５０３で抽出された位相角（基準データ）との差分（詳細には、検出コイル１２ａの人工きず信号における位相角θａ１とθａ０との差分、検出コイル１２ｂの人工きず信号における位相角θｂ１とθｂ０との差分、及び検出コイル１２ｃの人工きず信号における位相角θｃ１とθｃ０との差分）を演算し、それらの差分が予め設定された第２の許容値以下であるか否かを判定する。例えば全ての差分が許容値以下である場合は、ステップ５０４の判定が満たされ、ステップ５０５に移る。ステップ５０５では、上記第１の実施形態のステップ２０４と同様、校正確認ＯＫの旨を表示部９に表示させる。

一方、例えばいずれかの差分が許容値を超える場合は、ステップ５０４の判定が満たされず、ステップ５０６に移る。ステップ５０６では、上記第１の実施形態のステップ２０５と同様、校正確認ＮＧの旨を表示部９に表示させる。このとき、好ましくは、表示部９に該当する検出コイルや振幅又は位相角を表示させる。

なお、上記において、参照データ記憶部２８は、特許請求の範囲に記載の記憶手段を構成する。また、データ処理部５Ａが行う上述の図１７のステップ５０４は、渦電流探傷プローブが一走査姿勢で走査されて一方向に延在した人工きずが探傷され、その際に評価データとして得られた第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、記憶手段で予め記憶された参照データから基準データとして抽出された第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する処理を行うデータ照合判定手段を構成する。また、表示部９は、データ照合判定手段の判定結果に基づき、第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認結果を表示する表示手段を構成する。また、データ処理部５Ａが行う上述の図１５のステップ４０９は、データ照合判定手段の処理の前に、渦電流探傷プローブが複数の走査姿勢に順次替えて走査されて人工きずが探傷され、その際に校正後の第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角に基づき、励磁コイルと検出コイルの並び方向と人工きずの長さ方向の間の角度として定義された検出コイルの配置角度とこれに対応する人工きず信号の振幅及び位相角との関係を、参照データとして作成して記憶する参照データ取得手段を構成する。

以上のように構成された本変形例においては、渦電流探傷プローブ１を任意の一走査姿勢で走査して（言い換えれば、１回の走査で）、一方向に延在した人工きず１３を探傷して、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行うことができる。したがって、上記第１の実施形態と同様、検査作業時間の短縮を図ることができる。また、試験体の製造コストの低減を図ることができる。

なお、上記第２の変形例においては、上述の図１４で示すように、渦電流探傷装置の校正確認方法は、参照データ取得工程４００及びデータ照合判定工程５００を有し、上述の図１７のステップ５０４〜５０６で示すように、校正確認結果の表示までを説明したが、これに限られず、本発明の趣旨及び技術思想の範囲を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。すなわち、例えば図１８で示すように、渦電流探傷装置の校正確認方法は、さらに校正工程６００を有していてもよい。この校正工程６００は、前述の図１７のステップ５０４にて評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えた場合（言い換えれば、ステップ５０４の判定が満たされず、ステップ５０６に進み、校正確認ＮＧが表示された場合）に行われる。校正工程６００では、データ処理部５Ａは、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように、対応する検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する（校正手段）。このような第３の変形例においても、上記第２の変形例と同様の効果を得ることができる。

本発明の第２の実施形態を、図１９〜図２４により説明する。本実施形態は、リフトオフ信号を用いて校正確認を行う実施形態である。なお、本実施形態において、上記第１の実施形態と同等の部分は同一の符号を付し、適宜説明を省略する。

図１９は、本実施形態における渦電流探傷装置の機能的構成を表すブロック図である。

本実施形態では、探傷制御装置３Ｂは、プローブ制御部４、データ処理部５Ｂ、基準データ記憶部６Ａ、評価データ記憶部７Ａ、入力部８、及び表示部９を有している。

本実施形態の校正確認方法は、図２０で示すように、大別して、基準データ取得工程７００と、データ照合判定工程８００を有する。基準データ取得工程７００は、渦電流探傷装置の初期設定段階で（言い換えれば、事前準備として）行うものであり、データ照合判定工程８００は、各検査作業の前段階、後段階、若しくは中断段階で（言い換えれば、現場作業として）行うものである。

まず、基準データ取得工程７００の詳細を説明する。図２１は、本実施形態における基準データ取得工程７００の詳細を表すフローチャートである。なお、後述するステップ７０１の前に、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの基準感度及び基準位相の校正が行われたものとして説明する。

ステップ７０１にて、探傷制御装置３Ｂのプローブ制御部４は、プローブ移動装置２を制御して、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの信号の大きさが飽和するように、渦電流探傷プローブ１の姿勢を保った状態で渦電流探傷プローブ１を試験体１４Ａ（詳細には、検査対象物と材質が同じもの）又は検査対象物からリフトオフする（図２２参照）。詳しく説明すると、リフトオフ前（言い換えれば、プローブ１が試験体１４Ａ又は検査対象物に密着した状態）の検出信号は、図２３（ａ）のリサージュ波形で示すように、振幅及び位相角がともにゼロとなっている。そして、リフトオフ後の検出信号（リフトオフ信号）は、図２３（ｂ）のリサージュ波形で示すように、プローブ１のリフト量（言い換えれば、試験体１４Ａ又は検査対象物の表面から離す量）に応じて図中矢印Ｂで示す方向に、振幅及び位相角が変化する。すなわち、検出信号の大きさは、プローブ１のリフト量に比例して増大し、プローブ１のリフト量が所定値に達すると飽和する。したがって、プローブ制御部４は、例えばプローブ１のリフト量が予め設定された所定値に達するように、渦電流探傷プローブ１をリフトオフする。あるいは、例えば、渦電流探傷プローブ１をリフトオフしながら、検出信号の大きさを前回値と比較して飽和したか否かを判断し、検出信号の大きさが飽和したと判断した場合に、渦電流探傷プローブ１のリフトオフを停止させるようになっている。

そして、ステップ７０２に進み、探傷制御装置３Ｂのデータ処理部５Ｂは、前述のステップ７０１でプローブ１がリフトオフされた際に得られた検出コイル１２ａのリフトオフ信号に対し、校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚａ０及び位相角θａ０を演算する。また、前述のステップ７０１でプローブ１がリフトオフされた際に得られた検出コイル１２ｂのリフトオフ信号に対し、校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚｂ０及び位相角θｂ０を演算する。その後、ステップ７０３に進み、前述のステップ７０２で得られた振幅Ｚａ１，Ｚｂ１，Ｚｃ１及び位相角θａ１，θｂ１，θｃ１を、基準データとして、基準データ記憶部６Ａに記憶させる。なお、データ処理部５Ｂは、入力部８からの指令に応じて、基準データ記憶部６Ａで記憶された基準データを表示部９に表示させるようにしてもよい。

次に、データ照合判定工程８００の詳細を説明する。図２４は、本実施形態におけるデータ照合判定工程８００の詳細を表すフローチャートである。

ステップ８０１にて、探傷制御装置３Ｂのプローブ制御部４は、プローブ移動装置２を制御して、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの信号の大きさが飽和するように、渦電流探傷プローブ１の姿勢を保った状態で渦電流探傷プローブ１を試験体１４Ａ又は検査対象物からリフトオフする（上述の図２２参照）。

そして、ステップ８０２に進み、探傷制御装置３Ｂのデータ処理部５Ｂは、前述のステップ８０１でプローブ１がリフトオフされた際に得られた検出コイル１２ａのリフトオフ信号に対し、校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚａ１及び位相角θａ１を演算する。また、前述のステップ８０１でプローブ１がリフトオフされた際に得られた検出コイル１２ｂのリフトオフ信号に対し、校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚｂ１及び位相角θｂ１を演算する。また、前述のステップ８０１でプローブ１がリフトオフされた際に得られた検出コイル１２ｃのリフトオフ信号に対し、校正済の基準感度及び基準位相を用いてデータ処理を行い、振幅Ｚｃ１及び位相角θｃ１を演算する。このようにして得られた振幅Ｚａ１，Ｚｂ１，Ｚｃ１及び位相角θａ１，θｂ１，θｃ１を、評価データとして、評価データ記憶部７Ａに記憶させる。なお、データ処理部５Ｂは、入力部８からの指令に応じて、評価データ記憶部７Ａで記憶された評価データを表示部９に表示させるようにしてもよい。

その後、ステップ８０３に進み、データ処理部５Ｂは、ステップ８０２で得られた振幅（評価データ）と基準データ記憶部６Ａで予め記憶された振幅（基準データ）との差分（詳細には、検出コイル１２ａのリフトオフ信号における振幅Ｚａ１とＺａ０との差分、検出コイル１２ｂのリフトオフ信号における振幅Ｚｂ１とＺｂ０との差分、及び検出コイル１２ｃのリフトオフ信号における振幅Ｚｃ１とＺｃ０との差分）を演算し、それらの差分が予め設定された第１の許容値以下であるか否かを判定する。また、ステップ８０２で得られた位相角（評価データ）と基準データ記憶部６Ａで予め記憶された位相角（基準データ）との差分（詳細には、検出コイル１２ａのリフト信号における位相角θａ１とθａ０との差分、検出コイル１２ｂのリフトオフ信号における位相角θｂ１とθｂ０との差分、及び検出コイル１２ｃのリフトオフ信号における位相角θｃ１とθｃ０との差分）を演算し、それらの差分が予め設定された第２の許容値以下であるか否かを判定する。例えば全ての差分が許容値以下である場合は、ステップ８０３の判定が満たされ、ステップ８０４に移る。ステップ８０４では、校正確認ＯＫの旨を表示部９に表示させる。

一方、例えばいずれかの差分が許容値を超える場合は、ステップ８０３の判定が満たされず、ステップ８０５に移る。ステップ８０５では、校正確認ＮＧの旨を表示部９に表示させる。このとき、好ましくは、表示部９に該当する検出コイルや振幅又は位相角を表示させる。

なお、上記において、基準データ記憶部６Ａは、特許請求の範囲に記載の記憶手段を構成する。また、データ処理部５Ｂが行う上述の図２４のステップ８０３は、第１の検出コイルの信号の大きさ及び第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように渦電流探傷プローブが対象物からリフトオフされ、その際に評価データとして得られた第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、記憶手段で基準データとして予め記憶された第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、を照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する処理を行うデータ照合判定手段を構成する。また、表示部９は、データ照合判定手段の判定結果に基づき、第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認結果を表示する表示手段を構成する。また、データ処理部５Ｂが行う上述の図２１のステップ７０３は、データ照合判定手段の処理の前に、第１の検出コイルの信号の大きさ及び第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように渦電流探傷プローブが対象物からリフトオフされ、その際に校正後の第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角を、基準データとして記憶手段に記憶する基準データ取得手段を構成する。

以上のように構成された本実施形態においては、渦電流探傷プローブ１をリフトオフして、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行うことができる。したがって、例えば上述の図３（ａ）及び図３（ｂ）で示すような試験体１４を用い、コイル並び方向Ｄａ，Ｄｂ，Ｄｃにそれぞれ対応する複数の走査姿勢に順次替えてプローブ１を走査して（言い換えれば、複数回の走査で）人工きず１３を探傷して校正若しくは校正確認を行う場合と比べ、検査作業時間の短縮を図ることができる。

なお、上記第２の実施形態においては、上述の図２０で示すように、渦電流探傷装置の校正確認方法は、基準データ取得工程７００及びデータ照合判定工程８００を有し、上述の図２４のステップ８０３〜８０５で示すように、校正確認結果の表示までを説明したが、これに限られず、本発明の趣旨及び技術思想の範囲を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。すなわち、例えば図２５で示すように、渦電流探傷装置の校正確認方法は、さらに校正工程９００を有していてもよい。この校正工程９００は、前述の図２４のステップ８０３にて評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えた場合（言い換えれば、ステップ８０３の判定が満たされず、ステップ８０５に進み、校正確認ＮＧが表示された場合）に行われる。校正工程８００では、データ処理部５Ｂは、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように、対応する検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する（校正手段）。このような第４の変形例においても、上記第２の実施形態と同様の効果を得ることができる。

また、第１の実施形態においては検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの人工きず信号を用いて検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行う場合を説明し、上記第２の実施形態においては検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃのリフトオフ信号を用いて検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行う場合を説明したが、これらを組合せてもよい。すなわち、例えば、検査作業の前段階で、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの人工きず信号を用いて検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行い、検査作業の中断段階で、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃのリフトオフ信号を用いて検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行い、検査作業の後段階で、検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの人工きず信号を用いて検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃの校正確認を行ってもよい。このような場合も、上記同様の効果を得ることができる。

また、上記実施形態及び変形例においては、データ処理部５，５Ａ，５Ｂは、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定し、その判定結果（詳細には、校正確認ＯＫ又はＮＧの旨）を表示部９に表示させる場合を例にとって説明したが、これに代えて、例えば評価データ及び基準データ（並びに所定の許容値）の表示にとどめてもよい。そして、作業者は、表示部９に表示された評価データ及び基準データから、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判断してもよい。あるいは、例えば基準データと評価データとの差分（並びに所定の許容値）の表示にとどめてもよい。そして、作業者は、表示部９に表示された評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下であるか否かを判断してもよい。これらの場合も、上記同様の効果を得ることができる。

また、上記実施形態及び変形例においては、上述の図２（ａ）で示すように、渦電流探傷プローブ１は、コイル並び方向Ｄａが基板１０の長手方向にあり、コイル並び方向Ｄａとコイル並び方向Ｄｂとの間の角度が７５°であり、コイル並び方向Ｄａとコイル並び方向Ｄｃとの間の角度が１０５°である（すなわち、コイル並び方向Ｄｂとコイル並び方向Ｄｃとの間の角度が３０°である）場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨及び技術思想の範囲を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。また、上述の図２（ａ）で示すように、渦電流探傷プローブ１は、１つの励磁コイル１１及び３つの検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃを有するシングルプローブである場合を例にとって説明したが、これに限られず、本発明の趣旨及び技術思想の範囲を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。すなわち、例えば図２６で示すように、規則的に配列された多数のコイル２９（詳細には、励磁コイル又は検出コイルに切替え可能なコイル）を有し、励磁コイル１１及び検出コイル１２ａ，１２ｂ，１２ｃからなる組合せを順次切替え可能なマルチプローブでもよい。また、例えば、１つの励磁コイルに対して検出コイルの数は３つでなく、２つ、若しくは４つ以上としてもよい。また、プローブ１の基板１０は、検査対象物の表面に追従可能なように可撓性を有していてもよい。これらの場合も、上記同様の効果を得ることができる。

また、上記実施形態及び変形例においては、人工きず１３側の表面が平面である試験体１４を用いた場合を例にとって説明したが、これに代えて、例えば人工きず１３側の表面が曲面である試験体を用いてもよい。この場合も、上記同様の効果を得ることができる。

１ 渦電流探傷プローブ
５ データ処理部（基準データ取得手段、データ照合判定手段）
５Ａ データ処理部（参照データ取得手段、データ照合判定手段）
５Ｂ データ処理部（基準データ取得手段、データ照合判定手段）
６ 基準データ記憶部（記憶手段）
６Ａ 基準データ記憶部（記憶手段）
９ 表示部（表示手段）
１１ 励磁コイル
１２ａ 検出コイル
１２ｂ 検出コイル
１２ｃ 検出コイル
１３ 人工きず
２８ 参照データ記憶部（記憶手段）
１００ 基準データ取得工程
２００ データ照合判定工程
３００ 校正工程
４００ 参照データ取得工程
５００ データ照合判定工程
６００ 校正工程
７００ 基準データ取得工程
８００ データ照合判定工程
９００ 校正工程

Claims (16)

1. 少なくとも１つの励磁コイル、前記励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイル、及び前記励磁コイルに対して前記第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置の校正確認方法であって、
   前記渦電流探傷プローブを一走査姿勢で走査して一方向に延在した人工きずを探傷し、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、基準データとして予め記憶されるか若しくは予め記憶された参照データから基準データとして抽出された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認を行うデータ照合判定工程を有することを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
2. 請求項１記載の渦電流探傷装置の校正確認方法において、
   前記データ照合判定工程の前であって、前記渦電流探傷プローブを前記一走査姿勢で走査して前記人工きずを探傷し、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角を、基準データとして記憶する基準データ取得工程を有し、
   前記データ照合判定工程は、前記渦電流探傷プローブを前記一走査姿勢で走査して前記人工きずを探傷し、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、前記基準データ取得工程で基準データとして記憶された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認を行うことを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
3. 請求項１記載の渦電流探傷装置の校正確認方法において、
   前記データ照合判定工程の前であって、前記渦電流探傷プローブを複数の走査姿勢に順次替えて走査して前記人工きずを探傷し、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角に基づき、前記励磁コイルと前記検出コイルの並び方向と前記人工きずの長さ方向の間の角度として定義された前記検出コイルの配置角度とこれに対応する前記人工きず信号の振幅及び位相角との関係を、参照データとして作成して記憶する参照データ取得工程を有し、
   前記データ照合判定工程は、前記渦電流探傷プローブを前記一走査姿勢で走査して前記人工きずを探傷し、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、前記参照データ取得工程で記憶された参照データから前記一走査姿勢に対応する前記第１の検出コイルの配置角度及び前記第２の検出コイルの配置角度に基づき基準データとして抽出された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認を行うことを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
4. 請求項２又は３記載の渦電流探傷装置の校正確認方法において、
   前記基準データ取得工程は、渦電流探傷装置の初期設定段階で行い、
   前記データ照合判定工程は、各検査作業の前段階、後段階、若しくは中断段階で行うことを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
5. 請求項１〜４のいずれか１項記載の渦電流探傷装置の校正確認方法において、
   前記データ照合判定工程で評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えると判定された場合に、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように前記検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する校正工程を有することを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
6. 少なくとも１つの励磁コイル、前記励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイル、及び前記励磁コイルに対して前記第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置において、
   前記渦電流探傷プローブが一走査姿勢で走査されて一方向に延在した人工きずが探傷され、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、記憶手段で基準データとして予め記憶されるか若しくは記憶手段で予め記憶された参照データから基準データとして抽出された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する処理を行うデータ照合判定手段と、
   前記データ照合判定手段の判定結果に基づき、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認結果を表示する表示手段とを有することを特徴とする渦電流探傷装置。
7. 請求項６記載の渦電流探傷装置において、
   前記データ照合判定手段の前記処理の前に、前記渦電流探傷プローブが前記一走査姿勢で走査されて前記人工きずが探傷され、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角を、基準データとして前記記憶手段に記憶する基準データ取得手段を有し、
   前記データ照合判定手段の前記処理は、前記渦電流探傷プローブが前記一走査方向に走査されて前記人工きずが探傷され、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、前記記憶手段で基準データとして予め記憶された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することを特徴とする渦電流探傷装置。
8. 請求項６記載の渦電流探傷装置において、
   前記データ照合判定手段の前記処理の前に、前記渦電流探傷プローブが複数の走査姿勢に順次替えて走査されて前記人工きずが探傷され、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角に基づき、前記励磁コイルと前記検出コイルの並び方向と前記人工きずの長さ方向の間の角度として定義された前記検出コイルの配置角度とこれに対応する前記人工きず信号の振幅及び位相角との関係を、参照データとして作成して記憶する参照データ取得手段を有し、
   前記データ照合判定手段の前記処理は、前記渦電流探傷プローブが前記一走査姿勢で走査されて前記人工きずが探傷され、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、前記記憶手段で予め記憶された参照データから前記一走査姿勢に対応する前記第１の検出コイルの配置角度及び前記第２の検出コイルの配置角度に基づき基準データとして抽出された前記第１の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルの人工きず信号における振幅及び位相角と、をそれぞれ照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することを特徴とする渦電流探傷装置。
9. 請求項７又は８記載の渦電流探傷装置において、
   前記データ照合判定手段で評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えると判定された場合に、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように前記検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する校正手段を有することを特徴とする渦電流探傷装置。
10. 少なくとも１つの励磁コイル、前記励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイル、及び前記励磁コイルに対して前記第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置の校正確認方法において、
    前記第１の検出コイルの信号の大きさ及び前記第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように前記渦電流探傷プローブを対象物からリフトオフし、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、基準データとして予め記憶された前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、を照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定することにより、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認を行うデータ照合判定工程を有することを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
11. 請求項１０記載の渦電流探傷装置の校正確認方法において、
    前記データ照合判定工程の前であって、前記第１の検出コイルの信号の大きさ及び前記第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように前記渦電流探傷プローブを対象物からリフトオフし、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角を、基準データとして記憶する基準データ取得工程を有することを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
12. 請求項１１記載の渦電流探傷装置の校正確認方法において、
    前記基準データ取得工程は、渦電流探傷装置の初期設定段階で行い、
    前記データ照合判定工程は、各検査作業の前段階、後段階、若しくは中断段階で行うことを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
13. 請求項１０〜１２のいずれか１項記載の渦電流探傷装置の校正確認方法において、
    前記データ照合判定工程で評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えると判定された場合に、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように前記検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する校正工程を有することを特徴とする渦電流探傷装置の校正確認方法。
14. 少なくとも１つの励磁コイル、前記励磁コイルに対して第１の並び方向に配置された第１の検出コイル、及び前記励磁コイルに対して前記第１の並び方向と交差する第２の並び方向に配置された第２の検出コイルを有する渦電流探傷プローブを備えた渦電流探傷装置において、
    前記第１の検出コイルの信号の大きさ及び前記第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように前記渦電流探傷プローブが対象物からリフトオフされ、その際に評価データとして得られた前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、記憶手段で基準データとして予め記憶された前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角と、を照合し、それらの差分が所定の許容値以下であるか否かを判定する処理を行うデータ照合判定手段と、
    前記データ照合判定手段の判定結果に基づき、前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相の校正確認結果を表示する表示手段とを有することを特徴とする渦電流探傷装置。
15. 請求項１４記載の渦電流探傷装置において、
    前記データ照合判定手段の前記処理の前に、前記第１の検出コイルの信号の大きさ及び前記第２の検出コイルの信号の大きさが飽和するように前記渦電流探傷プローブが対象物からリフトオフされ、その際に校正後の前記第１の検出コイルの基準感度及び基準位相並びに前記第２の検出コイルの基準感度及び基準位相を用いて得られた前記第１の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角並びに前記第２の検出コイルのリフトオフ信号における振幅及び位相角を、基準データとして前記記憶手段に記憶する基準データ取得手段を有することを特徴とする渦電流探傷装置。
16. 請求項１４又は１５記載の渦電流探傷装置において、
    前記データ照合判定手段で評価データと基準データとの差分が所定の許容値を超えると判定された場合に、評価データと基準データとの差分が所定の許容値以下となるように前記検出コイルの基準感度及び基準位相を校正する校正手段を有することを特徴とする渦電流探傷装置。

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