JP2013204123A - ガスバリア性フィルムとその製造方法 - Google Patents
ガスバリア性フィルムとその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013204123A JP2013204123A JP2012076170A JP2012076170A JP2013204123A JP 2013204123 A JP2013204123 A JP 2013204123A JP 2012076170 A JP2012076170 A JP 2012076170A JP 2012076170 A JP2012076170 A JP 2012076170A JP 2013204123 A JP2013204123 A JP 2013204123A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas barrier
- barrier film
- plasma
- metal roll
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】高周波印加電極である金属ロール電極と接地電極を配置したプラズマ処理装置構成において、電極間に、不活性ガスを圧力が0.5Pa以上50Pa未満で導入して、電極間に高密度なプラズマを発生させて、プラスチックフィルム基材表面に、プラズマ処理を施し、基材と酸化アルミニウムからなるガスバリア層間に十分な密着性能を与えることを特徴とするガスバリア性フィルムとその製造方法である。
【選択図】図1
Description
基材が走行する高周波印加電極である金属ロール電極と、この金属ロール電極に対向する対向電極として前記金属ロール電極に対向する面上にS・N極一対以上の磁石を設置した金属ロール電極に沿った形状にて配置された接地電極とを備え、両電極間を結ぶ最短距離をdminとしたとき、dmin≦50mmで設置したプラズマ処理装置を用い、
前記電極間に、窒素、ヘリウム及びアルゴンから選択された1種類以上のガスを導入して、処理空間内の圧力を0.5Pa以上50Pa未満として、30kHz以上30MHz以下の高周波を、前記金属ロール電極に投入する電力(W)と金属ロールの処理部分あるいは開口部の面積(m2)の比から算出される電力密度(W/m2)と処理時間(sec)の積から求められる値をEpd値と定義した場合、Epd値が、50W・sec/m2以上、2000W・sec/m2以下となるように高周波電圧を印加することで、電極間にプラズマを発生させて前記金属ロール電極上を走行する基材表面にプラズマ表面処理層を形成する工程と、
このプラズマ表面処理層上に、ドライコーティング法により、酸化アルミニウム(AlOx)からなるガスバリア層を形成する工程と、を具備することを特徴とする。
基材が走行する高周波印加電極である金属ロール電極と、この金属ロール電極に対向電極として前記金属ロール電極の面上にS・N極一対以上の磁石を設置した金属ロール電極に沿った形状にて配置された接地電極とを備え、両電極間を結ぶ最短距離をdminとした時、dmin≦50mmで設置したプラズマ処理装置を用い、
前記電極間に、窒素、ヘリウム及びアルゴンから選択された1種類以上のガスを導入して、処理空間内の圧力を0.5Pa以上50Pa未満として、30kHz以上30MHz以下の高周波を、前記金属ロール電極に投入する電力(W)と金属ロールの処理部分あるいは開口部の面積(m2)の比から算出される電力密度(W/m2)と処理時間(sec)の積から求められる値をEpd値と定義した場合、Epd値が50W・sec/m2以上、2000W・sec/m2以下となるように高周波電圧を印加することで、電極間に高密度なプラズマを発生させて、前記金属ロール電極上を走行する基材表面にプラズマ表面処理層を形成し、このプラズマ表面処理層上にドライコーティング法により酸化アルミニウムからなるガスバリア層を形成したことを特徴とするガスバリア性フィルムである。
厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)のフィルムの未処理面に、密着処理層を以下の条件で形成した。
圧力:20Pa
電源周波数:300kHz
投入電力:150W・sec/m2
ラインスピード:90m/min
接地電極の磁石:有り
以上の条件で、密着処理を施した後、電子線加熱方式による真空蒸着により厚さ20nmの酸化アルミニウム膜を積層して、ガスバリアフィルムを作成した。
厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)のフィルムの未処理面に、密着処理層を以下の条件で形成した。
圧力:20Pa
電源周波数:300kHz
投入電力:1000W・sec/m2
ラインスピード:90m/min
接地電極の磁石:有り
以上の条件で、密着処理を施した後、電子線加熱方式による真空蒸着により厚さ20nmの酸化アルミニウム膜を積層して、ガスバリアフィルムを作成した。
厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)のフィルムの未処理面に、密着処理層を以下の条件で形成した。
圧力:20Pa
電源周波数:300kHz
投入電力:100W・sec/m2
ラインスピード:90m/min
接地電極の磁石:なし
以上の条件で、密着処理を施した後、電子線加熱方式による真空蒸着により厚さ20nmの酸化アルミニウム膜を積層して、ガスバリアフィルムを作成した。
厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)のフィルムの未処理面に、密着処理層を以下の条件で形成した。
圧力:20Pa
電源周波数:300kHz
投入電力:2500W・sec/m2
ラインスピード:90m/min
接地電極の磁石:有り
以上の条件で、密着処理を施した後、電子線加熱方式による真空蒸着により厚さ20nmの酸化アルミニウム膜を積層して、ガスバリアフィルムを作成した。
厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)のフィルムの未処理面に、密着処理層を以下の条件で形成した。
圧力:20Pa
電源周波数:300kHz
投入電力:500W・sec/m2
ラインスピード:90m/min
接地電極の磁石:有り
以上の条件で、密着処理を施した後、電子線加熱方式による真空蒸着により厚さ20nmの酸化アルミニウム膜を積層して、ガスバリアフィルムを作成した。
厚さ12μmのポリエチレンテレフタレート(PET)のフィルムの未処理面に、密着処理を施さずに、直接、電子線加熱方式による真空蒸着により厚さ20nmの酸化アルミニウム膜を積層してガスバリアフィルムを作成した。
上記積層サンプルを、A4サイズに切り出し、水道水200ccを入れて、袋状に密閉して、121℃で30分間レトルト殺菌処理を実施した。レトルト処理後、24時間後およびレトルト処理をしなかった場合(レトルト処理前)のガスバリア性を酸素透過度測定装置(MOCON OX−TRAN2/20 23℃0%Rh)を用いて、測定した。結果を表1に示す。
上記積層サンプルを、A4サイズに切り出し、水道水200ccを入れて、袋状に密閉して、121℃で30分間レトルト殺菌処理を実施した。レトルト処理後、2時間以内に、15mm幅に切断したサンプルのガスバリア性フィルムとナイロン間の180度剥離のラミネート強度を測定した。試験にはオリエンテック社製テンシロン万能試験機RTC−1250を用いた。また、剥離速度は、300mm/minとして、測定の際には測定部位を水で湿潤させながら行った。結果を上記表1に示す。
2…接地電極
3…高周波電源
4…ガス導入管
5…磁石N極
6…磁石S極
7…真空チャンバ
8…巻出しロール
9…巻取りロール
10…プラズマ処理室
11…蒸着処理室
100…プラスチックフィルム
101…密着処理層
102…ガスバリア層
103…保護層
104…ナイロンフィルム
105…シーラントフィルム
106…接着層
110…ガスバリア性ベースフィルム
Claims (16)
- ウェブ状の基材上にグロープラズマによる表面処理層とガスバリア層とを、この順に形成したガスバリア性フィルムの製造方法であって、
基材が走行する高周波印加電極である金属ロール電極と、この金属ロール電極に対向する対向電極として前記金属ロール電極に対向する面上にS・N極一対以上の磁石を設置した金属ロール電極に沿った形状にて配置された接地電極とを備え、両電極間を結ぶ最短距離をdminとしたとき、dmin≦50mmで設置したプラズマ処理装置を用い、
前記電極間に、窒素、ヘリウム及びアルゴンから選択された1種類以上のガスを導入して、処理空間内の圧力を0.5Pa以上50Pa未満として、30kHz以上30MHz以下の高周波を、前記金属ロール電極に投入する電力(W)と金属ロールの処理部分あるいは開口部の面積(m2)の比から算出される電力密度(W/m2)と処理時間(sec)の積から求められる値をEpd値と定義した場合、Epd値が、50W・sec/m2以上、2000W・sec/m2以下となるように高周波電圧を印加することで、電極間にプラズマを発生させて前記金属ロール電極上を走行する基材表面にプラズマ表面処理層を形成する工程と、
このプラズマ表面処理層上に、ドライコーティング法により、酸化アルミニウム(AlOx)からなるガスバリア層を形成する工程と、
を具備することを特徴とするガスバリア性フィルムの製造方法。 - 前記プラズマ表面処理層とガスバリア層とを、同一系内で連続して処理することを特徴とする請求項1に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。
- 前記S・N極一対以上の磁石は、ネオジム磁石であることを特徴とする請求項1から2のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。
- 前記ドライコーティング方法として、真空蒸着法を用いて、更に、蒸着粒子を活性させる手段として、誘導結合プラズマ、ヘリコン波プラズマ、マイクロ波プラズマ、ホロカソード放電の何れか1つを用いる高密度プラズマを発生させる手段を、前記真空蒸着法と併せて用いることを特徴とする請求項1から3のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。
- 前記酸化アルミニウムは、その化学式AlOxにおいて、xの値が、1.3≦x≦1.9であることを特徴とする請求項1から4のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。
- 前記プラスチックフィルムとしてポリエチレンテレフタレート(PET)を、用いることを特徴とする請求項1から3のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。
- 前記ガスバリア層に、金属アルコキシドと水溶性分子を含む混合溶液を塗布し、加熱乾燥して形成される保護層を形成することを特徴とする請求項1から6のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。
- 前記ガスバリア性フィルム上に、ナイロンフィルムおよびシーラントフィルムの順に接着剤を介して、貼り合わせることを特徴とする請求項1から7のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルムの製造方法。
- ウェブ状の基材上にグロープラズマによる表面処理とガスバリア層とを、この順に形成したガスバリア性フィルムであって、
基材が走行する高周波印加電極である金属ロール電極と、この金属ロール電極に対向電極として前記金属ロール電極の面上にS・N極一対以上の磁石を設置した金属ロール電極に沿った形状にて配置された接地電極とを備え、両電極間を結ぶ最短距離をdminとした時、dmin≦50mmで設置したプラズマ処理装置を用い、
前記電極間に、窒素、ヘリウム及びアルゴンから選択された1種類以上のガスを導入して、処理空間内の圧力を0.5Pa以上50Pa未満として、30kHz以上30MHz以下の高周波を、前記金属ロール電極に投入する電力(W)と金属ロールの処理部分あるいは開口部の面積(m2)の比から算出される電力密度(W/m2)と処理時間(sec)の積から求められる値をEpd値と定義した場合、Epd値が50W・sec/m2以上、2000W・sec/m2以下となるように高周波電圧を印加することで、電極間に高密度なプラズマを発生させて、前記金属ロール電極上を走行する基材表面にプラズマ表面処理層を形成し、このプラズマ表面処理層上にドライコーティング法により酸化アルミニウムからなるガスバリア層を形成したことを特徴とするガスバリア性フィルム。 - 前記プラズマ表面処理層とガスバリア層とを、同一系内で連続して処理することを特徴とする請求項9に記載のガスバリア性フィルム。
- 前記S・N極一対以上の磁石は、ネオジム磁石であることを特徴とする請求項9または請求項10に記載のガスバリア性フィルム。
- 前記ドライコーティング方法として、真空蒸着法を用いて、更に、蒸着粒子を活性させる手段として、ICPプラズマ、ヘリコン波プラズマ、マイクロ波プラズマ、ホロカソード放電の何れか1つを用いる高密度プラズマを発生させる手段を、前記真空蒸着法と併せて用いることを特徴とする請求項9から11のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルム。
- 前記酸化アルミニウムは、その化学式AlOxにおいて、前記xの値が、1.3≦x≦1.9であることを特徴とする請求項9から12のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルム。
- 前記プラスチックフィルムとしてポリエチレンテレフタレート(PET)を、用いることを特徴とする請求項9から13のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルム。
- 前記ガスバリア層に、金属アルコキシドと水溶性分子を含む混合溶液を塗布し、加熱乾燥して形成される保護層を形成することを特徴とする請求項9から14のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルム。
- 前記ガスバリア性フィルム上に、ナイロンフィルムおよびシーラントフィルムの順に接着剤を介して、貼り合わせることを特徴とする請求項9から15のいずれかの請求項に記載のガスバリア性フィルム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012076170A JP2013204123A (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | ガスバリア性フィルムとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012076170A JP2013204123A (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | ガスバリア性フィルムとその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013204123A true JP2013204123A (ja) | 2013-10-07 |
Family
ID=49523543
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012076170A Pending JP2013204123A (ja) | 2012-03-29 | 2012-03-29 | ガスバリア性フィルムとその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013204123A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2014050951A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-08-22 | 大日本印刷株式会社 | 透明蒸着フィルム |
KR101788501B1 (ko) * | 2017-01-13 | 2017-10-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 가스 배리어 필름 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 |
JP2019130774A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア積層体 |
JP2020059875A (ja) * | 2018-10-09 | 2020-04-16 | 大日本印刷株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990003266A1 (en) * | 1988-09-28 | 1990-04-05 | Toray Industries, Inc. | Aluminium vacuum evaporation film and its production method |
WO2003009998A1 (fr) * | 2001-07-24 | 2003-02-06 | Toppan Printing Co., Ltd. | Film de depot |
JP2006056092A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Toppan Printing Co Ltd | 強密着蒸着フィルムおよびそれを用いたレトルト用包装材料 |
JP2006124738A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置 |
JP2008272967A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性透明ポリ乳酸フィルム |
JP2009228015A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Toppan Printing Co Ltd | 積層体の製造方法および製造装置ならびにガスバリアフィルム |
JP2011021214A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Toppan Printing Co Ltd | 成膜装置およびガスバリア性積層体ならびに光学部材 |
JP2012172101A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルムおよびその製造方法 |
-
2012
- 2012-03-29 JP JP2012076170A patent/JP2013204123A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1990003266A1 (en) * | 1988-09-28 | 1990-04-05 | Toray Industries, Inc. | Aluminium vacuum evaporation film and its production method |
WO2003009998A1 (fr) * | 2001-07-24 | 2003-02-06 | Toppan Printing Co., Ltd. | Film de depot |
JP2006056092A (ja) * | 2004-08-19 | 2006-03-02 | Toppan Printing Co Ltd | 強密着蒸着フィルムおよびそれを用いたレトルト用包装材料 |
JP2006124738A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Dainippon Printing Co Ltd | 圧力勾配型イオンプレーティング式成膜装置 |
JP2008272967A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性透明ポリ乳酸フィルム |
JP2009228015A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Toppan Printing Co Ltd | 積層体の製造方法および製造装置ならびにガスバリアフィルム |
JP2011021214A (ja) * | 2009-07-14 | 2011-02-03 | Toppan Printing Co Ltd | 成膜装置およびガスバリア性積層体ならびに光学部材 |
JP2012172101A (ja) * | 2011-02-23 | 2012-09-10 | Toppan Printing Co Ltd | ガスバリア性フィルムおよびその製造方法 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2014050951A1 (ja) * | 2012-09-28 | 2016-08-22 | 大日本印刷株式会社 | 透明蒸着フィルム |
US9822440B2 (en) | 2012-09-28 | 2017-11-21 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Transparent vapor-deposited film |
JP2019111822A (ja) * | 2012-09-28 | 2019-07-11 | 大日本印刷株式会社 | 透明蒸着フィルム |
KR101788501B1 (ko) * | 2017-01-13 | 2017-10-19 | 삼성에스디아이 주식회사 | 가스 배리어 필름 및 이를 포함하는 디스플레이 장치 |
JP2019130774A (ja) * | 2018-01-31 | 2019-08-08 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア積層体 |
JP7087414B2 (ja) | 2018-01-31 | 2022-06-21 | 凸版印刷株式会社 | ガスバリア積層体 |
JP2020059875A (ja) * | 2018-10-09 | 2020-04-16 | 大日本印刷株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
JP2022132500A (ja) * | 2018-10-09 | 2022-09-08 | 大日本印刷株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
JP7256980B2 (ja) | 2018-10-09 | 2023-04-13 | 大日本印刷株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
JP7426003B2 (ja) | 2018-10-09 | 2024-02-01 | 大日本印刷株式会社 | 成膜装置及び成膜方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6760416B2 (ja) | 透明蒸着フィルム | |
JP4433794B2 (ja) | 蒸着フィルム | |
JP5181905B2 (ja) | ガスバリア積層体 | |
JP2019049059A (ja) | プラズマを使った前処理装置を有した蒸着装置 | |
JP5889281B2 (ja) | バリア性蒸着フィルム | |
JP6075080B2 (ja) | 紙容器用バリアフィルム、並びにそれよりなる紙容器用積層材及び液体用紙容器 | |
JP2013204123A (ja) | ガスバリア性フィルムとその製造方法 | |
JP5509864B2 (ja) | ガスバリア性フィルムの製造方法 | |
US20140014181A1 (en) | Gas barrier laminate film, and method for producing same | |
JP2013075407A (ja) | ガスバリア性フィルムの製造方法およびガスバリア性フィルム | |
JP2006096046A (ja) | ガスバリアフィルム | |
JP2012206380A (ja) | 透明ガスバリアフィルム、透明ガスバリアフィルムの製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子、太陽電池および薄膜電池 | |
JP5637006B2 (ja) | ガスバリア性フィルムの製造方法 | |
JP2021191633A (ja) | バリアフィルム | |
JP5251388B2 (ja) | 積層体製造装置 | |
JP2013193267A (ja) | ガスバリア性プラスチックフィルムとその製造方法 | |
JP2016087815A (ja) | 透明ガスバリア性フィルム | |
JP2012062514A (ja) | ガスバリア性フィルムおよびその製造方法 | |
JP2012193449A (ja) | ガスバリア性フィルムおよびその製造方法ならびにその製造装置 | |
JP2018115383A (ja) | 透明ガスバリア性フィルムの製造方法 | |
JP2012196918A (ja) | 加圧加熱殺菌用包装材料 | |
JP2009228015A (ja) | 積層体の製造方法および製造装置ならびにガスバリアフィルム | |
JP4349078B2 (ja) | 強密着蒸着フィルムの製造方法および強密着蒸着フィルム | |
JP2013072120A (ja) | ガスバリアフィルムの製造方法およびガスバリアフィルム | |
JP4946350B2 (ja) | ガスバリア性積層体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20130925 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130926 |
|
RD07 | Notification of extinguishment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7427 Effective date: 20131008 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150219 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20151016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20151117 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20160119 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20160705 |