JP2013195551A - 最適撮像位置検出方法、最適撮像位置検出装置、フォトマスクの製造方法及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態に係る最適撮像位置検出方法は、基板表面の所定領域の像を取得する工程S12と、所定領域の像に基づいて、所定領域に含まれる複数の強度取得箇所それぞれについて、強度取得箇所の信号強度から、強度取得箇所の外側の領域の平均信号強度を減算した値に対応するピーク強度を算出する工程S13と、複数の強度取得箇所それぞれについて算出されたピーク強度のばらつきを算出する工程S14と、所定領域の像を取得する工程、ピーク強度を算出する工程及びピーク強度のばらつきを算出する工程を、複数の撮像位置それぞれで実行する工程S15、S16と、複数の撮像位置それぞれで得られたピーク強度のばらつきに基づき、ピーク強度の最大ばらつき位置を最適撮像位置であると判定する工程S17とを備える。
【選択図】図2
Description
14…マスクブランク 15…ステージ 16…遮蔽部(凸面鏡)
17…凹面鏡 18…TDIカメラ 19…パーソナルコンピュータ
31…像取得部 32…ピーク強度算出部 33…ばらつき算出部
34…繰り返し実行部 35…合焦位置判定部
36…検査領域像取得部 37…欠陥判定部
101…マスクブランク 102…一部領域
103…一部領域の内側の領域 104…検査領域
201…強度取得箇所 202…中心画素
203…平均信号強度取得領域
301…プロット 302…近似曲線 303…極大位置
Claims (9)
- 基板表面の所定領域の像を取得する工程と、
前記所定領域の像に基づいて、前記所定領域に含まれる複数の強度取得箇所それぞれについて、前記強度取得箇所の信号強度から、前記強度取得箇所の外側の領域の平均信号強度を減算した値に対応するピーク強度を算出する工程と、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて算出されたピーク強度のばらつきを算出する工程と、
前記所定領域の像を取得する工程、前記ピーク強度を算出する工程及び前記ピーク強度のばらつきを算出する工程を、複数の撮像位置それぞれで実行する工程と、
前記複数の撮像位置それぞれで得られた前記ピーク強度のばらつきに基づき、ピーク強度の最大ばらつき位置を最適撮像位置であると判定する工程と、
を備え、
前記強度取得箇所は、複数の画素を含み、
前記ピーク強度を算出する工程は、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて、前記強度取得箇所に含まれる画素毎に信号強度を取得する工程と、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて、前記強度取得箇所に含まれる画素毎に取得された信号強度から前記平均信号強度を減算する工程と、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて、前記画素毎に減算によって得られた値の総和を算出する工程と、
を含み、
前記基板は、マスクブランクであり、
前記基板表面の所定領域の像は、暗視野光学系を用いて取得される
ことを特徴とする最適撮像位置検出方法。 - 基板表面の所定領域の像を取得する工程と、
前記所定領域の像に基づいて、前記所定領域に含まれる複数の強度取得箇所それぞれについて、前記強度取得箇所の信号強度から、前記強度取得箇所の外側の領域の平均信号強度を減算した値に対応するピーク強度を算出する工程と、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて算出されたピーク強度のばらつきを算出する工程と、
前記所定領域の像を取得する工程、前記ピーク強度を算出する工程及び前記ピーク強度のばらつきを算出する工程を、複数の撮像位置それぞれで実行する工程と、
前記複数の撮像位置それぞれで得られた前記ピーク強度のばらつきに基づき、ピーク強度の最大ばらつき位置を最適撮像位置であると判定する工程と、
を備えたことを特徴とする最適撮像位置検出方法。 - 前記強度取得箇所は、複数の画素を含む
ことを特徴とする請求項2に記載の最適撮像位置検出方法。 - 前記ピーク強度を算出する工程は、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて、前記強度取得箇所に含まれる画素毎に信号強度を取得する工程と、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて、前記強度取得箇所に含まれる画素毎に取得された信号強度から前記平均信号強度を減算する工程と、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて、前記画素毎に減算によって得られた値の総和を算出する工程と、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の最適撮像位置検出方法。 - 前記基板は、マスクブランクである
ことを特徴とする請求項2に記載の最適撮像位置検出方法。 - 前記基板表面の所定領域の像は、暗視野光学系を用いて取得される
ことを特徴とする請求項2に記載の最適撮像位置検出方法。 - 基板表面の所定領域の像を取得する像取得部と、
前記所定領域の像に基づいて、前記所定領域に含まれる複数の強度取得箇所それぞれについて、前記強度取得箇所の信号強度から、前記強度取得箇所の外側の領域の平均信号強度を減算した値に対応するピーク強度を算出するピーク強度算出部と、
前記複数の強度取得箇所それぞれについて算出されたピーク強度のばらつきを算出するばらつき算出部と、
前記所定領域の像を取得すること、前記ピーク強度を算出すること及び前記ピーク強度のばらつきを算出することを、複数の撮像位置それぞれで実行する実行部と、
前記複数の撮像位置それぞれで得られた前記ピーク強度のばらつきに基づき、ピーク強度の最大ばらつき位置を最適撮像位置であると判定する最適撮像位置判定部と、
を備えたことを特徴とする最適撮像位置検出装置。 - 請求項5に記載の方法によって最適撮像位置が検出されたマスクブランクを用いてフォトマスクを製造する
ことを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 請求項8に記載の方法によって製造されたフォトマスクを用いて半導体装置を製造する
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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