JP2013193167A - ワーク吸着機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】テーブル吸着エリア全体をカバーする広さを持ち、ワークのサイズに合わせたエリア(以下、プレート吸着エリアという。)に複数の貫通孔が開口形成され、テーブル吸着エリアに対応する貫通孔は吸着孔と同じピッチで形成されており、貫通孔を吸着孔に連通させるように位置合わせして吸着テーブルの上に載置する吸着プレートを設け、プレート吸着エリアのテーブル吸着エリアから外れた部分に貫通孔がある場合には、吸着拡張エリアとして、テーブル吸着エリアから外れた部分の貫通孔に吸着孔とをつなぐ連通溝を設けることを特徴とするワーク吸着機構。
【選択図】図1
Description
また、吸着テーブル4下部の連通経路を開閉する機構は複雑なものであるため、装置生産コストを増大させてしまう。
2 貫通孔
3 連通溝
4 吸着テーブル
5 吸着孔
6 ワーク
7 サブテーブル
8 空洞部
9 真空源
Claims (3)
- 複数の吸着孔が開口形成された吸着エリア(以下、テーブル吸着エリアという。)を有する吸着テーブルと、前記吸着テーブルの複数の吸着孔に連通して負圧にする負圧吸引手段とを有し、前記吸着テーブルに載置されたワークを吸着して保持するワーク吸着機構において、
前記テーブル吸着エリア全体をカバーする広さを持ち、前記ワークのサイズに合わせたエリア(以下、プレート吸着エリアという。)に複数の貫通孔が開口形成され、前記テーブル吸着エリアに対応する前記貫通孔は前記吸着孔と同じピッチで形成されており、前記貫通孔を前記吸着孔に連通させるように位置合わせして前記吸着テーブルの上に載置する吸着プレートを設け、
前記プレート吸着エリアの前記テーブル吸着エリアから外れた部分に前記貫通孔がある場合には、吸着拡張エリアとして、前記テーブル吸着エリアから外れた部分の前記貫通孔に前記吸着孔とをつなぐ連通溝を設ける
ことを特徴とするワーク吸着機構。 - 前記連通溝は、前記吸着プレートの前記吸着テーブルとの当接面側に、前記吸着拡張エリアに隣接する前記複数の吸着孔をつなぐ縦溝と、前記吸着拡張エリアの前記複数の貫通孔と前記縦溝とをつなぐ前記縦溝とは交差する方向の複数の横溝とにより櫛歯状に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のワーク吸着機構。 - 前記連通溝は、前記吸着プレートの前記吸着テーブルとの当接面側に、前記吸着拡張エリアに隣接する前記複数の吸着孔と前記吸着拡張エリアの前記複数の貫通孔とをつなぐ複数の縦溝と前記縦溝とは交差する方向の複数の横溝とにより格子状に形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載のワーク吸着機構。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR20190063405A (ko) | 2017-11-29 | 2019-06-07 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 기판 반출 장치 |
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JP7488119B2 (ja) | 2020-06-10 | 2024-05-21 | ローランドディー.ジー.株式会社 | 印刷物載置テーブル及び印刷装置 |
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2012
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