JP2013239587A - 多段式スライドユニット、搬送装置、及び真空処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】多段式スライドユニットの搬送ストローク長を確保しながら、全高を低く抑える。
【解決手段】多段式スライドユニッは、底面２４ａ上に所定の間隔を隔てて配置された一対の第一ガイドレール１１３、各第一ガイドレールに沿って夫々進退する第一可動子１１５、及び各第一可動子を固定する第一スライドテーブル１１７、を有する第一スライドユニット１１０と、第一スライドテーブルの底面との非対向面であって一対の第一ガイドレール間に相当する部位に固定される第二ガイドレール１３３、及び第二ガイドレールにより支持されて第一可動子と並行に進退する第二可動子１３５、を有する第二スライドユニット１３０と、を備え、第一スライドテーブルは、第二ガイドレールを支持した部位が、第一可動子を支持した部位と同一平面上か、又は第一可動子を支持した部位よりもベース面に近い。
【選択図】図２

Description

本発明は、真空処理装置内において試料等の搬送物を搬送する際に好適に用いられる多段式スライドユニット、多段式スライドユニットを用いた搬送装置、及び搬送装置を備えた真空処理装置の改良に関する。

近年、微細パターンによる機能発現を狙った研究開発や、ビットパターンドメディア、サブ波長光学素子の作成などに、極細線描画が可能な電子線描画装置などの真空処理装置がよく用いられている。電子線描画装置は、例えば１０^−４Ｐａ程度の高真空環境下で、レジスト材がコーティングされたシリコンウエハ等のワークに対し電子線を照射して、ワーク表面に微細パターンを描画するものである。
一般にこの種の電子線描画装置には、ワークに対して微細パターンの描画を行なう真空プロセス室と、大気圧環境下の外部からワークが搬入されるロードロック室と、真空プロセス室とロードロック室とに、例えばゲートバブルを介して接続されたトランスファ室とを備えた、３チャンバ１トランスファ構造が用いられている（例えば特許文献１、及び特許文献２参照）。ロードロック室に搬入されたワークは、トランスファ室に配置された例えばフロッグレッグ型の搬送アームなどにより、真空プロセス室へ搬送される。

しかしながら、上記構造を採用すると、生産性向上の観点からワークが大型化した場合に搬送アームのストロークを確保するために、トランスファ室が大型化するという不都合があった。
そこで、コンパクト且つ長ストロークに対応した搬送装置をロードロック室に配置することによりトランスファ室を省略した、２チャンバ１トランス構造を採用した電子線描画装置が提案されている。例えば、特許文献３に記載の電子線描画装置は、搬送ストローク長を確保するため、複数のスライダからなるテレスコープ型の搬送装置を用いたものであり、搬送装置の占有面積に対し搬送ストロークを大きくとることが可能である。
しかしながら特許文献３に記載の搬送装置においては、ストローク長を確保するために複数のスライダを順次積層する必要があり、搬送装置の全高が高くなる。結果としてロードロック室の全高、言い換えればロードロック室の容積が増大し、ロードロック室の真空引きに時間を要し、製品一個を製造ために必要な時間が増大するという問題があった。

本発明は上述の事情に鑑みてなされたものであり、搬送ストローク長を確保しながら、全高を低く抑えることが可能な多段式スライドユニット、多段式スライドユニットを用いた搬送装置、及び搬送装置を備えた真空処理装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明は、ベース面上に所定の間隔を隔てて配置された一対の第一ガイドレール、該各第一ガイドレールに沿って夫々進退する第一可動子、及び該各第一可動子を固定する第一スライドテーブル、を有する第一スライドユニットと、前記第一スライドテーブルの前記ベース面との非対向面であって前記一対の第一ガイドレール間に相当する部位に固定される第二ガイドレール、及び該第二ガイドレールにより支持されて前記第一可動子と並行に進退する第二可動子、を有する第二スライドユニットと、を備え、前記第一スライドテーブルは、前記第二ガイドレールを支持した部位が、前記第一可動子を支持した部位と略同一平面上か、又は前記第一可動子を支持した部位よりも前記ベース面に近いことを特徴とする。

本発明によれば、搬送ストローク長を確保しながら、多段式スライドユニットの全高を低く抑えることが可能となる。

本発明の各実施形態に関わる真空処理装置の概略構成図である。 本発明の第一の実施形態に係る搬送装置の側面図である。 第一スライドユニットと第二スライドユニットの配置関係を示す上面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、保持機構の一例を示す図である。 本発明の第二の実施形態に係る搬送装置の側面図である。 本発明の第三の実施形態に係る搬送装置の側面図である。 本発明の第四の実施形態に係る搬送装置の側面図である。 本発明の第五の実施形態に係る搬送装置を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）はベースプレートの取り付け状態を示す上面図である。

以下、本発明の実施形態を詳細に説明する。但し、この実施形態に記載される構成要素、種類、組み合わせ、形状、その相対配置などは特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれのみに限定する主旨ではなく単なる説明例に過ぎない。なお、図面にはｘ軸、ｙ軸、ｚ軸を示しているが、以下の説明においては、ｘ軸方向を長手方向、ｙ軸方向を幅方向、ｚ軸方向を厚さ方向又は上下方向と表現することがある。

本発明の実施形態に関わる真空処理装置について図１に基づいて説明する。図１は、本発明の各実施形態に関わる真空処理装置の概略構成図である。真空処理装置は、例えば真空度環境下において、レジスト材がコーティングされたシリコンウエハ等のワークＷに電子ビームを照射して、ワークＷの表面に微細パターンを描画する処理装置である。
真空処理装置１は、第一真空チャンバ１０ａ（真空プロセス室）と第二真空チャンバ１０ｂ（ロードロック室）の二つのチャンバを有している。第一真空チャンバ１０ａと第二真空チャンバ１０ｂとは、開閉自在なゲートバルブ２１を介して接続されており、ゲートバルブ開放時には２つの空間が連通する。
第一真空チャンバ１０ａ内には、ワークＷが載置される回転テーブルユニット３０と、電子ビームをワークＷに照射する照射系ユニット４０と、が設置されている。
回転テーブルユニット３０は、水平な床面に設置された定盤２２上に配置されている。回転テーブルユニット３０は、ワークＷが載置される回転テーブル３１と、回転テーブル３１を水平に支持するとともに、所定の回転数で回転軸３２ａを回転させるスピンドルモータ３２と、スピンドルモータ３２を支持するとともに、図中Ｘ軸方向に所定のストロークで駆動（スライド）するスライドユニット３３を備えている。
照射系ユニット４０は、回転テーブルユニット３０の上方に配置されている。照射系ユニット４０内には、電子ビームを鉛直下向きに照射する電子銃や、電子銃から射出された電子ビームを回転テーブル３１上に載置されたワークＷに照射する変調ユニット等を備えている（何れも不図示）。

第二真空チャンバ１０ｂ内には、本発明の一実施形態に係る搬送装置１００が収容されている。第二真空チャンバ１０ｂの上部適所には、第二真空チャンバ１０ｂ内と大気側とを連通させる開口を開閉自在に閉止する蓋２３が設けられている。
第一真空チャンバ１０ａと第二真空チャンバ１０ｂとの間でワークＷを受け渡すときにはゲートバルブ２１を開き、ワークＷに処理を行うとき、ワークＷを大気側から第二真空チャンバ１０ｂに搬入するとき、及びワークＷを第二真空チャンバ１０ｂから大気側へ搬出するときには、ゲートバルブ２１を閉じることで第一真空チャンバ１０ａの真空を保った状態でワークＷの搬出や搬入を行うことができる。
即ち、ワークＷを大気側から第二真空チャンバ１０ｂ内に搬入する場合には、ゲートバルブ２１を閉止した状態にて蓋２３を開放する。ワークＷの搬入完了後、蓋２３を閉止し、第二真空チャンバ１０ｂを真空引きする。その後、蓋２３を閉止した状態にてゲートバルブ２１を開放し、搬送装置１００によってワークＷを第二真空チャンバ１０ｂから第一真空チャンバ１０ａへと移送し、ゲートバルブ２１を閉止してワークＷに対して照射系ユニット４０により電子ビーム照射処理を行う。ワークＷを第二真空チャンバ１０ｂから大気側に搬出する場合には、ゲートバルブ２１を開放して、搬送装置１００によってワークＷを第一真空チャンバ１０ａから第二真空チャンバ１０ｂへと移送し、ゲートバルブ２１を閉止した後、蓋２３を開放する。

《第一の実施形態》
本発明の第一の実施形態に係る搬送装置について図２に基づいて説明する。図２は、本発明の第一の実施形態に係る搬送装置の側面図である。本実施形態に係る搬送装置１００Ａは多段式のスライドユニットを備えた搬送装置であり、前段スライドユニットとしての第一スライドユニット１１０、及び第一スライドユニット１１０上に取り付けられた後段スライドユニットとしての第二スライドユニット１３０を有する多段式スライドユニットと、第二スライドユニット１３０に取り付けられてワークＷ（搬送物）を保持する保持機構１５０と、を備えている。

第一スライドユニット１１０は、第二真空チャンバ１０ｂの筐体２４の底面２４ａ（ベース面）上に配置された一対の第一ガイドレール１１３、及び第一ガイドレール１１３に支持されることにより、第一ガイドレール１１３に沿って進退する第一可動子１１５を有する第一ガイド手段１１１と、下面１１７ａ（底面２４ａとの対向面）において第一可動子１１５を固定する第一スライドテーブル１１７と、を備えている。
第二スライドユニット１３０は、第一スライドテーブル１１７の上面１１７ｂ（底面２４ａとの非対向面）であって、一対の第一ガイドレール１１３間に相当する部位に固定される一対の第二ガイドレール１３３、第二ガイドレール１３３に支持されることにより、第二ガイドレール１３３に沿って第一可動子１１５と並行に進退する第二可動子１３５を有する第二ガイド手段１３１と、下面１３７ａ（第一スライドユニット１１０との対向面）において第二可動子１３５を固定する第二スライドテーブル１３７と、を備えている。
また、保持機構１５０は、第二スライドテーブル１３７の適所（第二スライドテーブル１３７の上面１３７ｂ又は先端面１３７ｃ：図４参照）に取り付けられている。
なお、本実施形態においては、第一ガイドレール１１３を第二真空チャンバ１０ｂの筐体２４の底面２４ａ上に固定しているが、第一ガイドレール１１３を筐体２４の側面２４ｂに固定してもよい。

第一スライドユニットと第二スライドユニットについて、図２及び図３に基づいて説明する。図３は、第一スライドユニットと第二スライドユニットの配置関係を示す上面図である。図３では、第二スライドテーブルと保持手段の図示を省略している。
一対の第一ガイドレール１１３は、筐体２４の底面２４ａ上にｙ軸方向（幅方向）に所定の間隔を有して固定されている。また、各第一ガイドレール１１３には、その長手方向（ｘ軸方向）に所定の間隔を有して夫々２つの第一可動子１１５が配置されている。すなわち、本実施形態においては４つの第一可動子１１５を有している。第一ガイドレール１１３の長手方向両端部には、夫々第一可動子１１５の移動を制限する第一ガイドストッパ１１３ａが配置されている。また、第一スライドテーブル１１７は第一可動子１１５上に固定されている。
一対の第二ガイドレール１３３は、第一スライドテーブル１１７上にｙ軸方向に所定の間隔を有して固定されている。また、各第二ガイドレール１３３には、夫々第二可動子１３５が配置されている。第二ガイドレール１３３の長手方向両端部には、夫々第二可動子１３５の移動を制限する第二ガイドストッパ１３３ａが配置されている。また、第二スライドテーブル１３７は、第二可動子１３５上に固定されている。

第一ガイド手段１１１や第二ガイド手段１３１には、例えばリニアガイド、具体的にはＬＭガイド（ＴＨＫ株式会社製：登録商標）等を用いることができる。
なお、各ガイド手段のレールや可動子の設置数は任意に決定することができる。例えば、本実施形態においては、第二ガイドレール１３３を第一スライドテーブル１１７上に２本設置しているが、第一スライドテーブル１１７の幅が狭く、複数のガイドレールを設置できない場合には、単一の第二ガイドレールを設置してもよい。この場合は、幅広のＬＭガイドや、クロスローラガイド又はアウターレールを採用することにより、剛性を維持することが望ましい。

第一スライドテーブル１１７は概略板状の部材であり、下面１１７ａ側に第一可動子１１５を固定する第一可動子取付部１１９を備え、上面１１７ｂ側に第二ガイドレール１３３を固定する第二ガイドレール取付部１２１を備えている（図２及び図３参照）。第一可動子取付部１１９と第二ガイドレール取付部１２１とは、第一スライドテーブル１１７における幅方向位置が異なっている。
第一可動子取付部１１９は、第一スライドテーブル１１７の下面１１７ａのｙ軸方向両端部に上面１１７ｂに向けて段差状に形成されている。第一スライドテーブル１１７は、第一可動子取付部１１９に固定された４つの第一可動子１１５によって水平に支持されると共に、第一ガイドレール１１３に沿ってｘ軸方向に進退可能に構成されている。
第二ガイドレール取付部１２１は、第一スライドテーブル１１７の上面１１７ｂのｙ軸方向中央部に形成された凹陥部であり、凹陥部の内底面に第二ガイドレール１３３が固定されている。

ここで、第一スライドテーブル１１７は、第二ガイドレール１３３を支持した部位が、第一可動子１１５を支持した部位よりも、底面２４ａに近い。言い換えれば、第二ガイドレール取付部１２１における第二ガイドレール１３３の固定面は、第一可動子取付部１１９における第一可動子１１５の固定面よりも下方に位置している。特に本実施形態の場合、第一可動子１１５の固定面を延長した平面が第二スライドユニット１３０と交差する位置にある。
このように、第一スライドテーブル１１７の下面１１７ａ側に配置されるガイド手段の固定面を、第一スライドテーブル１１７の上面１１７ｂ側に配置されるガイド手段の固定面よりも底面２４ａから離間した位置に設定することで、スライドユニットを多段状に構成した場合であっても、搬送装置１００の全高を低く抑えることができ、真空処理装置１の第二真空チャンバ１０ｂの容積減少に寄与する。なお、第一可動子１１５の固定面と第二ガイドレール１３３の固定面を略同等の高さ位置（略同一平面上）としても、搬送装置の低背化を図ることができる。

第二ガイドレール取付部１２１内の第二ガイドレール１３３固定部位を回避した位置には、第一スライドテーブル１１７の厚さ方向に突出すると共に、ｘ軸方向に延びる厚肉部１２３（端部厚肉部１２３ａ、中間厚肉部１２３ｂ）が形成されている。厚肉部１２３は、ｘ軸方向に連続的に形成することが望ましいが、断続的に形成したものであってもよい。この厚肉部１２３は、第二ガイドレール１３３固定部位における第一スライドテーブル１１７の厚さｔ１よりも厚く構成されている。
このような厚肉部１２３を形成することにより、スライドユニットを多段状に構成した場合であっても、その剛性を確保することができる。また、第二ガイドレールを固定した部位を回避した位置に厚肉部を形成したので、多段式スライドユニットの全高に影響を与えることなく、剛性を確保することができる。本実施形態における中間厚肉部１２３ｂは、ｙ軸方向に離間した２つの中間厚肉部１２３ｂを備えているが、例えば図５に示すように単一の中間厚肉部１２３ｂとしてもよいし、３つ以上の中間厚肉部１２３ｂを形成してもよい。
第二スライドテーブル１３７は概略板状の部材であり、下面１３７ａ側に第二可動子１３５を固定する第二可動子取付部１３９を備えている。第二スライドテーブル１３７は、第二可動子取付部１３９に固定された２つの第二可動子１３５によって水平に支持されるとともに、第二ガイドレール１３３に沿ってｘ軸方向に進退可能に構成されている。

図４（ａ）〜（ｃ）は、保持機構の一例を示す図である。保持機構１５０（１５０Ａ、１５０Ｂ）は、第一真空チャンバ１０ａと第二真空チャンバ１０ｂとの間を移送しているときはワークＷを保持し、移送したワークＷを回転テーブル３１上に載置し、又は、真空処理の終了したワークＷを回転テーブル３１から持ち上げる機構である。図示する保持機構１５０は、第二スライドテーブル１３７の進行方向の先端面１３７ｃ（ｘ軸方向プラス側の端面）に取り付けられているため、搬送装置１００の全高を低く抑え、低背化を図ることができる。

保持機構１５０によるワークＷの保持方式には、種々の方式を採用することができる。
例えば図４（ｂ）に示す保持機構１５０Ａは、ワークＷの下面を支持する２本の支持アーム１５１と、ワークＷを昇降させる（ｚ軸方向に移動させる）昇降装置１５３と、を備えている。支持アーム１５１はｘ軸方向に伸びると共に、ｙ軸方向に互いに離間配置されている。昇降装置１５３は、第二スライドテーブル１３７の先端面に取り付けられている。昇降装置１５３の駆動力は、例えば真空チャンバ外部に設けられたモータ等の駆動源（不図示の外部動力）の動力をボールねじやシャフトを用いて真空チャンバ内に伝達すると共に、ボールねじやシャフトの回転運動をカムにより昇降運動に変換することにより伝達される。保持機構１５０Ａでは、昇降装置１５３による支持アーム１５１の上下動を利用してワークＷを下方から持ち上げたり、ワークＷを回転テーブル３１（図１参照）上に載置したりすることができる。
また、例えば図４（ｃ）に示す保持機構１５０Ｂは、ワークＷの下面を支持する１本の支持アーム１５１と、ワークＷを昇降させる昇降装置１５３と、を備え、更に、支持アーム１５１の上方に配置された押さえ板１５５と、押さえ板１５５を支持アーム１５１に押し付ける固定棒１５７と、を備えている。昇降装置１５３によって支持アーム１５１を押さえ板１５５側に移動させると、支持アーム１５１と押さえ板１５５との間でワークＷを挟持することができる。

多段式スライドユニットの駆動に際しては、例えば真空チャンバの外部に設けられたモータ等の駆動源（不図示の外部動力）の動力を、ボールねじやシャフトを用いて第二真空チャンバ１０ｂ内にｘ軸方向の動力として伝達する。伝達された動力は、最上段に位置する第二スライドテーブル１３７にのみ与えられる。
この動力により第二スライドテーブル１３７は第二ガイドレール１３３に沿って進退移動するが、第二スライドテーブル１３７と共に移動する第二可動子１３５が第二ガイドストッパ１３３ａに接触することで、第二スライドテーブル１３７の第二ガイドレール１３３に対する移動が終了する。さらに、第一スライドテーブル１１７と共に移動する第一可動子１１５が、第一ガイドストッパ１１３ａに接触することで、第一スライドテーブル１１７の第一ガイドレール１１３に対する移動が終了する。
このように、第二スライドテーブル１３７に対して外部動力をｘ軸方向（伸張方向又は収縮方向）に加えることで、第一スライドテーブル１１７と第二スライドテーブル１３７が順次ｘ軸方向に移動していき、多段式スライドユニットが伸縮する。スライドユニットを多段構成とすることで、長いストロークを実現することができる。

以上のように、本実施形態によれば、第一スライドテーブルのベース面との対向面に前段（下段）の第一可動子を固定し、第一スライドテーブルのベース面との非対向面に後段（上段）の第二ガイドレールを固定するとともに、第二ガイドレールの固定面を第一可動子の固定面よりもベース面寄りに配置したので、複数のスライドユニットを積層した場合であっても、搬送装置の全高を低く抑えることができる。従って、搬送装置を収容する真空チャンバの容積を小さくすることができ、真空引きに要する時間が減少するので、製品１個を生産するために必要な時間を減らすことができる。
また、本実施形態においては、第一スライドテーブルの凹陥部内であって、第二ガイドレールを固定した部位を回避した部分に、長手方向に連続的又は断続的に伸びる厚肉部を形成したので、多段式スライドユニットの長ストロークと低背化を実現しながら、搬送装置の剛性を保つことができる。

なお、本実施形態においては、前段側の一対の第一ガイドレール１１３間に、後段側の第二ガイドレール１３３を配置する構成としたが、後段側の一対の第二ガイドレール間に前段側の第一ガイドレールを配置する構成としても良い。
この場合、第一可動子取付部を第一スライドテーブルの下面の幅方向中央部に凹陥部として形成すると共に、第二ガイドレール取付部を第一スライドテーブルの上面の幅方向両端部に下面に向けて段差状に形成する。そして、第二ガイドレールを支持した面のｚ軸方向位置と、第一可動子を支持した面のｚ軸方向位置との間に上述の関係を持たせれば良い。さらに、第一可動子取付部としての凹陥部内、且つ第一ガイドレール固定部位を回避した位置に、第一スライドテーブルの厚さ方向に突出すると共に、ｘ軸方向に延びる厚肉部を形成して剛性を確保するようにすれば良い。

《第二の実施形態》
本発明の第二の実施形態に係る搬送装置について図５に基づいて説明する。図５は、本発明の第二の実施形態に係る搬送装置の側面図である。本実施形態に係る搬送装置は、３段に積層された多段式スライドユニットを備えている点に特徴がある。第一の実施形態と同一又は同等の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
搬送装置１００Ｂは、第一スライドユニット１１０、第一スライドユニット１１０上に取り付けられた第二スライドユニット１３０、及び第二スライドユニット１３０上に取り付けられた第三スライドユニット１６０を有する多段式スライドユニットと、第三スライドユニット１６０に取り付けられてワークＷ（搬送物）を保持する保持機構１５０と、を備えている。
本実施形態について、第一スライドユニット１１０と第二スライドユニット１３０との関係においては、前者が前段スライドユニット、後者が後段スライドユニットの例である。また、第二スライドユニット１３０と第三スライドユニット１６０との関係においては、前者が前段スライドユニット、後者が後段スライドユニットの例である。このように、本実施形態の多段式スライドユニットにおいては、前段−後段スライドユニットの組が２つ存在している。

以下、主として第二スライドユニット１３０と第三スライドユニット１６０の関係について説明する。
第二スライドユニット１３０は、第一スライドテーブル１１７の上面１１７ｂ（ベース面）上に配置された一対の第二ガイドレール１３３、及び第二ガイドレール１３３に支持されることにより、第二ガイドレール１３３に沿って進退する第二可動子１３５を有する第二ガイド手段１３１と、下面１３７ａ（第一スライドテーブル１１７との対向面）において第二可動子１３５を固定する第二スライドテーブル１３７と、を備えている。
第三スライドユニット１６０は、第二スライドテーブル１３７の上面１３７ｂ（第一スライドテーブル１１７との非対向面）であって、一対の第二ガイドレール１３３間に相当する部位に固定される第三ガイドレール１６３、第三ガイドレール１６３に支持されることにより、第三ガイドレール１６３に沿って第二可動子１３５と並行に進退する第三可動子１６５を有する第三ガイド手段１６１と、下面１６７ａ（第二スライドユニット１３０との対向面）において第三可動子１６５を固定する第三スライドテーブル１６７と、を備えている。
保持機構１５０は、第三スライドテーブル１６７の適所（第三スライドテーブル１６７の上面１６７ｂ又は先端面）に取り付けられている。

本実施形態に係る搬送装置１００Ｂにおいては、特に第二スライドテーブル１３７の形状が第一の実施形態と異なっている。
即ち、第二スライドテーブル１３７は概略板状の部材であり、下面１３７ａ側に第二可動子１３５を固定する第二可動子取付部１３９を備え、上面１３７ｂ側に第三ガイドレール１６３を固定する第三ガイドレール取付部１４１を備えている。第二可動子取付部１３９と第三ガイドレール取付部１４１とは、第二スライドテーブル１３７における幅方向位置が異なっている。
第二可動子取付部１３９は、第二スライドテーブル１３７の下面１３７ａのｙ軸方向両端部に上面１３７ｂに向けて段差状に形成されている。第二スライドテーブル１３７は、第二可動子取付部１３９に固定された第二可動子１３５によって水平に支持されると共に、第二ガイドレール１３３に沿ってｘ軸方向に進退可能に構成されている。
第三ガイドレール取付部１４１は、第二スライドテーブル１３７の上面１３７ｂのｙ軸方向中央部に形成された凹陥部であり、凹陥部の内底面に第三ガイドレール１６３が固定される。

ここで、第二スライドテーブル１３７は、第三ガイドレール１６３を支持した部位が、第二可動子１３５を支持した部位よりも、第一スライドテーブル１１７の上面１１７ｂに近い。言い換えれば、第三ガイドレール取付部１４１における第三ガイドレール１６３の固定面は、第二可動子取付部１３９における第二可動子１３５の固定面よりも下方に位置している。特に本実施形態の場合、第二可動子１３５の固定面を延長した平面が第三スライドユニット１６０と交差する位置にある。
このように、本実施形態においては、最下段のスライドユニットに対して積層された上段の複数のスライドユニット（第二スライドユニットと第三スライドユニット）に対しても第一の実施形態と同様の関係を持たせて低背化することができる。即ち、前段スライドテーブルの下面側に配置されるガイド手段の固定面を、前段スライドテーブルの上面側に配置されるガイド手段の固定面よりもベース面から離間した位置に設定することで、スライドユニットを多段状に構成した場合であっても、搬送装置の全高を低く抑えることができ、真空処理装置の第二真空チャンバの容積減少に寄与する。なお、本実施形態において第二可動子１３５の固定面と第三ガイドレール１６３の固定面を略同等の高さ位置（略同一平面上）としても、搬送装置の低背化を図ることができる。

第三ガイドレール取付部１４１内の第三ガイドレール１６３固定部位を回避した位置には、第二スライドテーブル１３７の厚さ方向に突出すると共に、ｘ軸方向に延びる厚肉部１４３（端部厚肉部１４３ａ）が形成されている。厚肉部１４３は、ｘ軸方向に連続的に形成することが望ましいが、断続的に形成したものであってもよい。この厚肉部１４３は、第三ガイドレール１６３固定部位における第二スライドテーブル１３７の厚さｔ２よりも厚く構成されている。
このような厚肉部１４３を形成することにより、スライドユニットを多段状に構成した場合であっても、その剛性を確保することができる。また、第二ガイドレールを固定した部位を回避した位置に厚肉部を形成したので、多段式スライドユニットの全高に影響を与えることなく、剛性を確保することができる。
第三スライドテーブル１６７は概略板状の部材であり、下面１６７ａ側に第三可動子１６５を固定する第三可動子取付部１６９を備えている。第三スライドテーブル１６７は、第三可動子取付部１６９に固定された第三可動子１６５によって水平に支持されるとともに、第三ガイドレール１６３に沿ってｘ軸方向に進退可能に構成されている。第三ガイドレール１６３の長手方向両端部には、夫々第三可動子１６５の長手方向移動を制限する第三ガイドストッパ（不図示）が配置されている。

以上のように、本実施形態によれば、第二スライドテーブルのベース面との対向面に前段（下段）の第二可動子を固定し、第二スライドテーブルのベース面との非対向面に後段（上段）の第三ガイドレールを固定するとともに、第三ガイドレールの固定面を第二可動子の固定面よりもベース面寄りに配置したので、複数のスライドユニットを積層した場合であっても、搬送装置の全高を低く抑えることができる。従って、搬送装置を収容する真空チャンバの容積を小さくすることができ、真空引きに要する時間が減少するので、製品１個を生産するために必要な時間を減らすことができる。
また、本実施形態においては、第二スライドテーブルの凹陥部内であって、第三ガイドレールを固定した部位を回避した部分に長手方向に連続的又は断続的に伸びる厚肉部を形成したので、多段式スライドユニットの長ストロークと低背化を実現しながら、搬送装置の剛性を保つことができる。

《第三の実施形態》
本発明の第三の実施形態に係る搬送装置について図６に基づいて説明する。図６は、本発明の第三の実施形態に係る搬送装置の側面図である。本実施形態に係る搬送装置は、第一スライドユニットの下面に第二スライドユニットを配置した点に特徴がある。第一及び第二の実施形態と同一又は同等の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施形態に係る搬送装置１００Ｃは多段式のスライドユニットを備えた搬送装置であり、前段スライドユニットとしての第一スライドユニット１１０、及び第一スライドユニット１１０の下方に取り付けられた後段スライドユニットとしての第二スライドユニット１３０を有する多段式スライドユニットと、第二スライドユニット１３０に取り付けられてワークＷ（搬送物）を保持する保持機構１５０と、を備えている。

第二スライドユニット１３０は、第一スライドテーブル１１７の下面１１７ａ（底面２４ａとの対向面）であって、一対の第一ガイドレール１１３間に固定される一対の第二ガイドレール１３３、第二ガイドレール１３３に支持されることにより、第二ガイドレール１３３に沿って第一可動子１１５と並行に進退する第二可動子１３５を有する第二ガイド手段１３１と、上面１３７ｂ（第一スライドユニット１１０との対向面）において第二可動子１３５を固定する第二スライドテーブル１３７と、を備えている。
なお、本実施形態において、底面２４ａがベース面に相当する。また、底面２４ａには凹陥部２４ｃが形成されており、多段式スライドユニットの一部が収容されている。
保持機構１５０は、第二スライドテーブル１３７の適所（第二スライドテーブル１３７の下面１３７ａ又は先端面）に取り付けられている。

第一スライドユニット１１０の第一スライドテーブル１１７は概略板状の部材であり、下面１１７ａ側に第二ガイドレール１３３を固定する第二ガイドレール取付部１２１を備えている。第一可動子取付部１１９と第二ガイドレール取付部１２１とは、第一スライドテーブル１１７におけるｙ軸方向位置（幅方向位置）が異なっている。
第二ガイドレール取付部１２１は、第一スライドテーブル１１７のｙ軸方向中央部に形成された凹陥部であり、凹陥部の内底面（底面２４ａと対向する面）に第二ガイドレール１３３が固定されている。
第二スライドテーブル１３７は、第二可動子取付部１３９に固定された第二可動子１３５によって水平に支持されると共に、第二ガイドレール１３３に沿ってｘ軸方向に進退可能に構成されている。

ここで、第一スライドテーブル１１７は、第二ガイドレール１３３を支持した部位が、第一可動子１１５を支持した部位よりも底面２４ａから遠い。言い換えれば、第二ガイドレール取付部１２１における第二ガイドレール１３３の固定面は、第一可動子取付部１１９における第一可動子１１５の固定面よりも上方に位置している。特に本実施形態の場合、第一可動子１１５の固定面を延長した平面が第二スライドユニット１３０と交差する位置にある。
このように、本実施形態においては、前段の可動子と後段のガイドレールを前段スライドテーブルの同一面（ベース面との対向面）に配置すると共に、前段の可動子の固定面を、後段のガイドレールの固定面よりもベース面に近い位置に設定することで、スライドユニットを多段状に構成した場合であっても、搬送装置の全高を低く抑えることができ、真空処理装置の第二真空チャンバの容積減少に寄与する。なお、本実施形態において第一可動子１１５の固定面と第二ガイドレール１３３の固定面を略同等の高さ位置（略同一平面上）としても、搬送装置の低背化を図ることができる。

《第四の実施形態》
本発明の第四の実施形態に係る搬送装置について図７に基づいて説明する。図７は、本発明の第四の実施形態に係る搬送装置の側面図である。本実施形態に係る搬送装置は、第三の実施形態の変形例であり、前段のスライドユニットと後段のスライドユニットを互いに入れ子式に構成した多段式スライドユニットを備えている点に特徴がある。第一乃至第三の実施形態と同一又は同等の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
搬送装置１００Ｄは、第一スライドユニット１１０、第一スライドユニット１１０下方に取り付けられた第二スライドユニット１３０、及び第二スライドユニット１３０上方に取り付けられた第三スライドユニット１６０を有する多段式スライドユニットと、第三スライドユニット１６０に取り付けられてワークＷ（搬送物）を保持する保持機構１５０と、を備えている。
本実施形態について、第一スライドユニット１１０と第二スライドユニット１３０との関係においては、前者が前段スライドユニット、後者が後段スライドユニットの例である。また、第二スライドユニット１３０と第三スライドユニット１６０との関係においては、前者が前段スライドユニット、後者が後段スライドユニットの例である。このように、本実施形態の多段式スライドユニットにおいては、前段−後段スライドユニットの組が２つ存在している。

以下、主として第二スライドユニット１３０と第三スライドユニット１６０の関係について説明する。
第三スライドユニット１６０は、第二スライドテーブル１３７の上面１３７ｂ（第一スライドテーブル１１７との対向面）であって、一対の第二ガイドレール１３３間に固定される第三ガイドレール１６３、第三ガイドレール１６３に支持されることにより、第二ガイドレール１３３に沿って第二可動子１３５と並行に進退する第三可動子１６５を有する第三ガイド手段１６１と、下面１６７ａ（第二スライドユニット１３０との対向面）において第三可動子１６５を固定する第三スライドテーブル１６７と、を備えている。
なお、本実施形態において、第二スライドユニット１３０と第三スライドユニット１６０との関係においては、第一スライドテーブル１１７の下面１１７ａがベース面に相当する。
保持機構１５０は、第三スライドテーブル１６７の適所（第三スライドテーブル１６７の上面又は先端面）に取り付けられている。

第二スライドテーブル１３７は概略板状の部材であり、上面１３７ｂ側に第二可動子１３５を固定する第二可動子取付部１３９と、第三ガイドレール１６３を固定する第三ガイドレール取付部１４１と、を備えている。第二可動子取付部１３９と第三ガイドレール取付部１４１とは、第二スライドテーブル１３７における幅方向位置が異なっている。
第三ガイドレール取付部１４１は、第二スライドテーブル１３７の上面１３７ｂのｙ軸方向中央部に形成された凹陥部であり、凹陥部の内底面に第三ガイドレール１６３が固定されている。

ここで、第二スライドテーブル１３７は、第三ガイドレール１６３を支持した部位が、第二可動子１３５を支持した部位よりも下面１１７ａから遠い。言い換えれば、第三ガイドレール取付部１４１における第三ガイドレール１６３の固定面は、第二可動子取付部１３９における第二可動子１３５の固定面よりも下方に位置している。特に本実施形態の場合、第二可動子１３５の固定面を延長した平面が第三スライドユニット１６０と交差する位置にある。
このように、本実施形態においては、前段の可動子と後段のガイドレールを前段スライドテーブルの同一面（ベース面との対向面）に配置すると共に、前段の可動子の固定面を、後段のガイドレールの固定面よりもベース面に近い位置に設定することで、スライドユニットを多段状に構成した場合であっても、搬送装置の全高を低く抑えることができ、真空処理装置の第二真空チャンバの容積減少に寄与する。なお、本実施形態において第二可動子１３５の固定面と第三ガイドレール１６３の固定面を略同等の高さ位置（略同一平面上）としても、搬送装置の低背化を図ることができる。

《第五の実施形態》
本発明の第五の実施形態に係る搬送装置について図８に基づいて説明する。図８は、本発明の第五の実施形態に係る搬送装置を示す図であり、（ａ）は側面図であり、（ｂ）はベースプレートの取り付け状態を示す上面図である。本実施形態に係る搬送装置は、第一ガイドレールと筐体との間にベースプレートを備えた点に特徴がある。以下、第一乃至第三の実施形態と同一又は同等の部材には同一の符号を付してその説明を省略する。
図８（ａ）に示す多段式スライドユニットは、第一の実施形態に示すユニット（図２）と同様であるためその説明を省略する。もちろん、他の実施形態に示した多段式スライドユニットに本実施形態を適用することも可能である。

本実施形態における真空処理装置の第二真空チャンバ１０ｂの筐体２４の底面２４ａには、凹陥部２４ｃが形成されている。
搬送装置１００Ａは、凹陥部２４ｃ内、詳述すれば、第一ガイドレール１１３と凹陥部２４ｃの内底面との間にベースプレート１７１を備えている。ベースプレート１７１は、その端部に配置された複数の固定部１７１ａにおいて、凹陥部２４ｃの内底面に固定されている。なお、固定部１７１ａ以外の部分は、凹陥部２４ｃの内底面から離間している。ベースプレート１７１は、筐体２４よりも剛性があり変形しにくい材料から形成されている。
第二真空チャンバ１０ｂ内を真空引きしたときには、筐体のある程度の変形は避けられない。そこで、本実施形態においては、ベースプレート１７１を介して多段式スライドユニットを第二真空チャンバ１０ｂ内に取り付けることにより、筐体２４の歪みが搬送装置１００Ａに伝達しないようにして、搬送装置１００Ａの搬送精度を確保している。
なお、筐体２４の側面２４ｂに第一ガイドレールを取り付ける形式の場合は、第一ガイドレールと側面２４ｂとの間にベースプレートを取り付ければよい。
以上のように、本実施形態によれば、搬送装置と筐体との間にベースプレートを配置したので、第二真空チャンバ内を真空引きした時の筐体の歪みが搬送装置に伝達せず、搬送精度の低下を抑制することができる。

１…真空処理装置、１０ａ…第一真空チャンバ、１０ｂ…第二真空チャンバ、２１…ゲートバルブ、２２…定盤、２３…蓋、２４…筐体、２４ａ…底面、２４ｂ…側面、２４ｃ…凹陥部、３０…回転テーブルユニット、３１…回転テーブル、３２…スピンドルモータ、３２ａ…回転軸、３３…スライドユニット、４０…照射系ユニット、１００…搬送装置、１１０…第一スライドユニット、１１１…第一ガイド手段、１１３…第一ガイドレール、１１３ａ…第一ガイドストッパ、１１５…第一可動子、１１７…第一スライドテーブル、１１７ａ…下面、１１７ｂ…上面、１１９…第一可動子取付部、１２１…第二ガイドレール取付部、１２３…厚肉部、１３０…第二スライドユニット、１３１…第二ガイド手段、１３３…第二ガイドレール、１３３ａ…第二ガイドストッパ、１３５…第二可動子、１３７…第二スライドテーブル、１３７ａ…下面、１３７ｂ…上面、１３７ｃ…先端面、１３９…第二可動子取付部、１４１…第三ガイドレール取付部、１４３…厚肉部、１５０…保持機構、１５１…支持アーム、１５３…昇降装置、１５５…押さえ板、１５７…固定棒、１６０…第三スライドユニット、１６１…第三ガイド手段、１６３…第三ガイドレール、１６５…第三可動子、１６７…第三スライドテーブル、１６７ａ…下面、１６９…第三可動子取付部、１７１…ベースプレート、１７１ａ…固定部、Ｗ…ワーク

特開平０９−２７０４５０号公報 特開２００１−１４８４１０公報 特開２００４−１６５５７９公報

Claims (6)

1. ベース面上に所定の間隔を隔てて配置された一対の第一ガイドレール、該各第一ガイドレールに沿って夫々進退する第一可動子、及び該各第一可動子を固定する第一スライドテーブル、を有する第一スライドユニットと、
   前記第一スライドテーブルの前記ベース面との非対向面であって前記一対の第一ガイドレール間に相当する部位に固定される第二ガイドレール、及び該第二ガイドレールにより支持されて前記第一可動子と並行に進退する第二可動子、を有する第二スライドユニットと、を備え、
   前記第一スライドテーブルは、前記第二ガイドレールを支持した部位が、前記第一可動子を支持した部位と略同一平面上か、又は前記第一可動子を支持した部位よりも前記ベース面に近いことを特徴とする多段式スライドユニット。
2. ベース面上に所定の間隔を隔てて配置された一対の第一ガイドレール、該各第一ガイドレールに沿って夫々進退する第一可動子、及び該各第一可動子を固定する第一スライドテーブル、を有する第一スライドユニットと、
   前記第一スライドテーブルの前記ベース面との対向面であって前記一対の第一ガイドレール間に固定される第二ガイドレール、及び該第二ガイドレールにより支持されて前記第一可動子と並行に進退する第二可動子、を有する第二スライドユニットと、を備え、
   前記第一スライドテーブルは、前記第二ガイドレールを支持した部位が、前記第一可動子を支持した部位と略同一平面上か、又は前記第一可動子を支持した部位よりも前記ベース面から遠いことを特徴とする多段式スライドユニット。
3. 前記第二ガイドレールは、前記第一スライドテーブルの幅方向中間部に形成された凹陥部内に固定されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の多段式スライドユニット。
4. 前記凹陥部内の前記第二ガイドレールを固定した部分を回避した位置に、前記第一スライドテーブルの厚さ方向に突出する厚肉部が形成されていることを特徴とする請求項３に記載の多段式スライドユニット。
5. 前記第二可動子に固定された第二スライドテーブルを有する請求項１乃至４の何れか一項に記載の多段式スライドユニットと、
   前記第二スライドテーブルに取り付けられて搬送物を保持する保持機構と、を備えたことを特徴とする搬送装置。
6. 請求項５に記載の搬送装置をロードロック室内に備えたことを特徴とする真空処理装置。

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