JP2013191218A - プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法および機器 - Google Patents

プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法および機器 Download PDF

Info

Publication number
JP2013191218A
JP2013191218A JP2013079375A JP2013079375A JP2013191218A JP 2013191218 A JP2013191218 A JP 2013191218A JP 2013079375 A JP2013079375 A JP 2013079375A JP 2013079375 A JP2013079375 A JP 2013079375A JP 2013191218 A JP2013191218 A JP 2013191218A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recipe
auxiliary
batch
equipment
execution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013079375A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5602271B2 (ja
Inventor
Jr James Henry Moore
ヘンリー ムーア ジュニア ジェイムズ
Nathan William Pettus
ウィリアム ペッタス ネイサン
William G Irwin
ジョージ アーウィン ウィリアム
Tusar Nanda
ナンダ トゥーザー
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fisher Rosemount Systems Inc
Original Assignee
Fisher Rosemount Systems Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fisher Rosemount Systems Inc filed Critical Fisher Rosemount Systems Inc
Publication of JP2013191218A publication Critical patent/JP2013191218A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5602271B2 publication Critical patent/JP5602271B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41835Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by programme execution
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41865Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by job scheduling, process planning, material flow
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM]
    • G05B19/41845Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS] or computer integrated manufacturing [CIM] characterised by system universality, reconfigurability, modularity
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/32Operator till task planning
    • G05B2219/32077Batch control system
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/32Operator till task planning
    • G05B2219/32095Text, menu driven editor for batch programming, phase sequence, parameters
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/32Operator till task planning
    • G05B2219/32096Batch, recipe configuration for flexible batch control
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/32Operator till task planning
    • G05B2219/32128Gui graphical user interface
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)
  • Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
  • Programmable Controllers (AREA)
  • Medical Treatment And Welfare Office Work (AREA)
  • Drying Of Semiconductors (AREA)
  • Feedback Control In General (AREA)

Abstract

【課題】補助レシピおよびバッチレシピを実行する。
【解決手段】バッチレシピが第1のレシピ識別子に関連付けられており、補助レシピが第1のレシピ識別子と等しい第2のレシピ識別子に関連付けられている、バッチレシピの実行中に補助レシピを取得するためのレシピインターフェース(406)と、第1のレシピ識別子に基づいてバッチレシピ用に確保された設備を同定するため、且つ、第1のレシピ識別子と等しい第2のレシピ識別子に基づいて補助レシピによる設備の使用を円滑に実施するためのリソース管理機構と、補助レシピが、第1および第2のレシピ識別子に基づいて設備を同定するリソース管理機構に基づいてバッチレシピ用に確保された設備を使用するようになっている、補助レシピの実行を引き起こすための作動モード選択子(410)と、を備える。
【選択図】図4

Description

本開示は、概してプロセス制御システムに関し、より具体的には、プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法と機器に関する。
化学薬品処理工程、石油精製工程またはその他のプロセスにおいて使用されるようなプロセス制御システムには、一般に、アナログバス、デジタルバスまたはアナログ・デジタル混在バスを介して少なくとも一つのホストまたはオペレーターワークステーションに、且つ一つ又は複数のフィールド装置に通信可能に連結された、一つ又は複数のプロセスコントローラおよび入・出力(I/O)装置が含まれている。フィールド装置は、例えば、バルブ、バルブ・ポジショナ、スイッチおよびトランスミッタ(例えば、温度、圧力、流量センサ)などでありえ、バルブの開閉や工程パラメータの測定などのプロセス内における機能を行う。プロセスコントローラは、フィールド装置により生成されたプロセス計測且つ又はフィールド装置に関するその他の情報を示す信号を受け取り、制御ルーチンを実施するためにこの情報を使ってから、プロセスの動作を制御すべくバスまたはその他の通信回線でフィールド装置に送信されることになる制御信号を生成する。このように、プロセスコントローラは、フィールド装置を通信可能に連結するバス且つ又はその他の通信リンクを介してフィールド装置を使用して、制御手法を実行および協調しうる。
多くの場合、プロセス制御システムは製品を生産するためのバッチレシピに従ってプロセスを実行するように構成される。製品の設計者またはエンジニアが設計時間中にレシピを準備し、以後プロセス制御システムによって複数回を使用されることになるレシピを格納(記憶)する。一般に、製品を生成するためのプロセス制御システム内にある成分を移動したり混合したりなどするための、ユニット手順、動作およびフェーズ(これらは全て制御プロセス設備(例えば、タンク、大樽、混合機、ボイラ、蒸発器、ポンプ、バルブ、など)への指示を含む)の組合せが、レシピには含まれる。
プロセス制御システムは、ごく一般的な状況において、所望の製品を生産するために始めから終わりまでレシピを実行する。但し、例えば、成分の誤り、製品を精製する必要性、特定の動作に悪影響を及ぼす外部または環境要因(例えば、温度、湿度、など)などによって、レシピの正規なプロセスの流れから外れる必要が時によっては生じる場合もある。大抵の場合、レシピは、レシピの妨害または修正変更なしに始めから終わりまで実行するようになっている。このため、一旦その実行が始まってからレシピを修正変更する簡単な方法は現在のところ存在しない。何らかの理由でレシピの実行中にプロセスでエラーが生じた場合、または実行開始後にレシピの修正変更が要望される場合、レシピの再開に引き続き設計時間中にレシピを再設計するために、部分的に処理してしまった材料を高価なものであっても廃却しなければならない場合もある。レシピをその実行中に変更する従来の方法の一つでは、経験を積んだオペレータまたはオペレータの集団が共同作業でマニュアル操作によりレシピの特定の工程段階をシャットダウンし、レシピから不要な工程段階を取り除くか迂回してから、修正変更が社内標準且つ又は工業規格で指定されるプロセスの流れの規則に違反することにつながらないことを保証しつつ所望の工程段階を挿入する、といった作業が要求される。かかるマニュアル操作によるプロセスは、忍耐を要するたけではなくコストが高く、時間のかかるものであり、また、製品の品質に悪影響が及ぼされないこと、且つ又は安全な動作状態が維持されることを保証するためには、オペレータ(複数可)側にかなりの専門知識が要求されるので誤差が発生し易い。
本発明は、補助レシピおよびバッチレシピを実行するための例示的な方法および機器を開示することを課題とする。
以下、プロセス制御システムにおいて補助レシピとバッチレシピを実行するための例示的な機器および方法を説明する。本発明の一実施例による方法は、第1のレシピを実行し、第1のレシピの完了前に補助レシピを同定することを伴っている。また、例示的な方法は、補助レシピを実行できる入り口点に第1のレシピが達したかどうか判断することを伴っている。その後、補助レシピは、第1のレシピが入り口点に達したとの判断に応答して実行される。
本発明の別の実施例によると、例示的な機器は、バッチレシピの実行中に補助レシピを取得するためのレシピインターフェースを含んでいる。また、例示的な機器は、補助レシピを実行できる入り口点にバッチレシピが達したかどうか判断するためのプロセス状態識別子を含んでいる。さらに、例示的な機器は、バッチレシピが入り口点に達したとの判断に応答して補助レシピの実行をもたらすために作動モード選択子を含んでいる。
本発明の別の実施例によると、例示的な方法は、第1および第2のレシピを受け取り、第1のレシピにおいて少なくとも二つの工程段階間の遷移点を同定することを伴っている。また、例示的な方法は、第2のレシピを遷移点で実行できるかどうか判断することを伴っている。その後、レシピ入り口点は、第2のレシピを遷移点で実行できるとの判断に応答して第2のレシピに関連して格納される。レシピ入り口点は遷移点に対応する。
本発明の別の実施例によると、例示的な機器は、第1および第2のレシピを受け取るためのレシピ解析機構と、第1のレシピにおいて少なくとも二つの工程段階間の遷移点を同定するフェーズ遷移識別子を含んでいる。また、例示的な機器は、第2のレシピを遷移点で実行できるかどうか判断するための規則順守検証機構を含んでいる。さらに、例示的な機器は、遷移点で第2のレシピを実行できるとの判断に応答して第2のレシピに関連してレシピ入り口点を格納するための入り口点生成機構を含んでいる。
本発明の別の実施例によると、例示的な機器は、バッチレシピの実行中に補助レシピを取得するためのレシピインターフェースを含んでいる。バッチレシピは、第1のレシピ識別子に関連付けられており、補助レシピは、第1のレシピ識別子と等しい第2のレシピ識別子に関連付けられている。さらに、例示的な機器は、第1のレシピ識別子に基づきバッチレシピのために確保された設備を同定するため、および第1のレシピ識別子と等しい第2のレシピ識別子に基づき補助レシピによる設備の使用を円滑に実施するために、リソース管理機構を含んでいる。また、例示的な機器は、補助レシピの実行をもたらすための作動モード選択子を含んでいる。補助レシピは、第1および第2のレシピ識別子に基づいて設備を同定するリソース管理機構に基づいてバッチレシピ用に確保された設備を使用するためのものである。
本発明の例示的な方法および機器が実施されうる例示的な事業体系を示すブロック図である。 本発明の例示的な手順の機能チャート(PFC:Procedural Function Chart)観覧インターフェースおよび補助レシピ観覧インターフェースのグラフィカルユーザ インタフェース(GUI:Graphical User Interface)を示す図である。 設計フェーズ中にバッチレシピ内の補助レシピ入り口点を判断するために使用されうる例示的な機器のブロック図である。 バッチレシピの実行が開始した後に補助レシピを実行するために使用されうる例示的な機器のブロック図である。 設計フェーズ中にバッチレシピ内の補助レシピ入り口点を判断するための図3の例示的な機器を実施するために使用されうる例示的な方法のフローダイヤグラムを描く図である。 バッチレシピの実行が開始した後に補助レシピを実行するための図4の例示的な機器を実施するために使用されうる例示的な方法のフローダイヤグラムを描く図である。 バッチレシピの実行が開始した後に補助レシピを実行するための図4の例示的な機器を実施するために使用されうる例示的な方法のフローダイヤグラムを描く図である。 ここに記載される方法と機器を実施するために使用されうる例示的なプロセッサーシステムのブロック図である。
以下、その他数ある構成部分の中でも特に、ハードウェア上で実行されるソフトウェア且つ又はファームウェアを含んだ状態で例示的な方法および機器が説明されているが、これらの実施例は単なる例示に過ぎずに本発明を制限するものと見なされるべきでないことをここに述べておく。例えば、当該ハードウェア、ソフトウェアおよびファームウェア構成素子のいずれか又は全ては、ハードウェアにおいてのみ、またはソフトウェアにおいてのみ、あるいはハードウェアとソフトウェアのいかなる組合せにおいて具体化できるものとして考慮されるべきである。よって、実施例として挙げられる方法と機器が以下において説明されているが、通常の技術を有する当業者であれば、ここに提供される実施例がこれらの方法と機器を実施する唯一の手段ではないことが容易に理解できるはずである。
ここに記載される例示的な方法および機器は、バッチレシピがプロセス制御システムにおいて実行し始めた後に補助レシピを実行するために使用することができる。レシピ(例えば、バッチ、手順など)を実行中に問題またはその他の状況が生じるかもしれず、そのような場合、オペレータは、現在アクティブ(能動状態)または稼動中のバッチレシピの一部ではない動作を行うように、別のレシピ(例えば、補助レシピ)を実行することにより訂正を行うことを希望するかもしれない。同定された問題または状況は、例えば異なる成分の配送や間違ったプロセス設定といったプロセス制御システム外部の因子により、または単に最終製品の組成を変更することを希望したために、引き起こされる場合がある。例えば、バッチレシピを実行中に、混合物の問題を訂正するためにはタンク、大樽、混合機などを清掃する必要有りとオペレータが判断しうる。
バッチレシピを実行中に補助レシピを実行する従来の方法では、マニュアル操作による実行モードでバッチレシピを実行すること、特定の動作または工程段階を停止させること、マニュアル操作で補助レシピを実行すること、その完了後に補助レシピを終了すること、そして自動モードで再実行するようにバッチレシピを設定することがオペレータに要求される。この全過程において、バッチレシピの工程段階を中断し且つ補助レシピのその他の工程段階を実行する際に、プロセスの流れに関するいかなる規則(以下、「プロセスフロー規則」と称する)に違反することは許されない、ということをオペレータは認識しなければならない。プロセスフロー規則は、工業規格且つ又は製造メーカの規格でありえ、安全稼動を保証し、かつ高品質なプロセスの運行を促進するために適用される。プロセスフロー規則を定義する例示的な標準としては、S−88ANSI規格/ISA規格−S88.01−1995バッチ標準がある。しかしながら、プロセスフロー規則に関するその他の標準も、それに加えて、又はその代わりとして、ここに記載される例示的な方法および機器に関連して適用しうる。
バッチレシピが既に開始している場合にマニュアル操作で補助レシピを実行するために従来からの技法を使用することは、実行中のバッチレシピにより既に設備が専有または確保されているが故に非常に難しく複雑な工程である。従来からの技法を使用して別のレシピを実行することには、現在実行中のレシピにより確保されている設備を解放し、実行されるべき次のレシピによって改めて設備を獲得することを要する。マニュアル操作で補助のバッチレシピを実行するには、高度な技能を有する者が必要であり、誤差が発生し易く、高額なミスにつながる(例えば、大量の使用不可製品を破棄することが必要になる)可能性および時間の損失(例えば、レシピを再構成してプロセスを再起動するのに必要な時間による損失)につながる可能性があり、さらには製品バッチ全体を失う危険性を承知の上で大抵の場合行われる。さらに、マニュアル操作で補助レシピを実行することによって、オペレータ(複数可)が正しく補助レシピを実行しようと何度も試みる手間にかかる損失時間にもつながる場合がある。
バッチレシピが既に実行を開始した後に補助レシピを実行するために使用されるためユーザとの対話処理およびユーザの専門知識をかなり必要とする従来の方法と異なり、ここに記載される例示的な方法および機器は、ユーザとの対話処理量を大幅に削減しつつ、ユーザがバッチレシピの実行中に補助レシピを実行することを可能にする。特に、補助レシピを実行するためのここに記載される例示的な方法および機器は、対応するバッチレシピのもとに(例えば、その一部として、同じコンテキストにおいて、同じ実行環境において)実行できる設計フェーズまたは構成フェーズ中に一つ又は複数のレシピを定義することを伴っている。即ち、特定のバッチレシピに関連して実行されることを意図とする各補助レシピが、いかなるプロセス実行規則(例えば、S−88バッチ標準の規則)に違反しないこと、またはバッチレシピの実行と決して相反することがないことを、レシピ設計者が設計または構成のフェーズ中に保証する。補助レシピの設計中に、プロセスフロー規則に違反すること、且つ又はバッチレシピ実行に相反することを回避するために、バッチレシピを一時停止でき補助レシピを実行できるバッチレシピの入り口点を同定するためにプロセスを使用できる。バッチレシピの実行中に補助レシピを実行するべく、ここに記載される例示的な方法および機器は、あらかじめ定められた入り口点の一つ又は複数をバッチレシピ・プロセス中に同定し、それがあらかじめ定められた入り口点の一つに達した時にバッチレシピの実行を一時停止し、補助レシピを実行して、且つ補助レシピがその実行を完了時にバッチレシピの実行を継続するために、バッチレシピの進行状況を監視することを伴っている。このように、ここに記載される例示的な方法および機器は、プロセス制御システムのエンドユーザによる高額なミスおよび時間の損失を大幅に削減または解消することができる。
ここに記載される例示的な方法および機器によって、ユーザは、バッチレシピを実行時に必要になるであろうと予見した上で、事前に異なる補助レシピを任意の数だけ定義できるようになる。例えば、特定の工程段階を伴う製品(例えば、ペンキ)については、時々大樽(vat)または混合機を二度以上清掃することが必要なことが、別のバッチレシピによってその大樽または混合機を特定の材料に前回使用したような場合にあることを、ユーザは承知しているかもしれない。特定の非一般的な動作を実行する必要があるだろうことをオペレータが予見して異なる状況に向けて多数の異なるバッチレシピを準備する代わりに、或いは、各顧客別に実行中にマニュアル操作で補助レシピを実行するといった困難で複雑なプロセスを実行する代わりに、むしろ、バッチレシピの一部ではない非凡な動作を実行する必要があるだろうことをオペレータが予見したかどうかにかかわらず、ユーザは同じバッチレシピを使用して、バッチレシピの実行中にある状況に遭遇し補助レシピ(複数可)の実行を要することになった場合には、事前に定義した一つ又は複数の補助レシピを使用しうる。このように、ここに記載される例示的な方法および機器は、準備中の製品への破損を防止するために、秩序ある方法でバッチレシピおよび一つ又は複数の補助レシピの実行を自動的に制御することができる。
その他の例示的な実施形態では、設計フェーズ中にバッチレシピに対して補助レシピの入り口点をあらかじめ定めるまたは事前に構成する必要なく、バッチレシピが既に実行を開始した後に補助レシピを実行するために、ここに記載される例示的な方法および機器を使用できる。その代りに、バッチレシピが既に実行し始めているが、バッチレシピに関連する実行用に設計フェーズ中に分析されていない補助レシピをユーザが実行したいような事例において、実行フェーズ中にユーザにより指定された補助レシピを受け取って、バッチレシピが実行し始めた後に補助レシピを実行するべく、ここに記載される例示的な方法および機器を使用しうる。バッチレシピが設備を開放する必要なく、当初バッチレシピに割り当てられた設備を共有するように補助レシピは構成される。このように、補助レシピにより要求される設備を解放するためにバッチレシピを終了する必要はない。その代りに、割り当てられた設備を保持しながら補助レシピが実行中に設備を補助レシピが共有する(例えば、借りる)ことを許可しつつ、バッチレシピを一時停止することができる。バッチレシピが設備を解放しないで済むので、補助レシピが実行し終えても、バッチレシピは、設備を再取得する必要なく実行を継続できる。
ここで図1を参照するに、ここに記載される例示的な方法および機器を実施しうる例示的な事業体系(enterprise)100には、アプリケーションステーション102を有するプロセス制御システム110と、オペレータステーション104およびコントローラ106が含まれており、これらは全てバスまたはローカルエリアネットワーク(LAN)108を介して通信可能に連結されうる。LAN 108は一般にアプリケーション制御ネットワーク(ACN:Application Control Network )と呼ばれ、いかなる所望の有線または無線通信媒体およびプロトコルを使用して実施されうる。図中ではプロセス制御システムが一つだけ設けられた状態で示されているが、例示的な事業体系100には任意数の分散型プロセス制御システムを含むようにしても良い。
例えば、アプリケーションステーション102、且つ又はオペレータステーション104、且つ又はコントローラ106がその他の装置またはシステムと通信できるようにする通信アプリケーションおよびプロセス制御関連アプリケーションなどの一つ又は複数のソフトウェアアプリケーションに関連する動作を実行するように、アプリケーションステーション102を構成しうる。また、アプリケーションステーション102は、バッチレシピを実行するために必要とされるプロセス制御システム110、且つ又はその他いかなるプロセス制御システムの動作を制御するべくバッチレシピを実行するようにも構成しうる。例えば、アプリケーションステーション102には、レシピの実行に必要なコントローラのいかなるもの(例えば、コントローラ106)、且つ又はその他リソースのいかなるもの(例えば、プロセス用設備、フィールド装置、計装など)を取得できるバッチレシピ・プロセッサまたはアプリケーション(図示せず)を備えられる。さらに、アプリケーションステーション102は、バッチレシピの実行中に補助レシピを実行するべくここに記載される例示的な方法および機器を実施するために使用される一つ又は複数のアプリケーションに関連する動作を実行することができる。例示的な実施形態のいくつかでは、アプリケーションステーション102およびオペレータステーション104が同じ機能を実行するように構成されうる一方で、その他の例示的な実施形態では、オペレータステーション104が主としてプロセス状態を表示してユーザのプロセスとの対話処理を最小限に制限できるように構成されうる。アプリケーションステーション102およびオペレータステーション104は、例えばシングルプロセッサのパソコン、シングルまたはマルチプロセッサのワークステーションなどをはじめとする一つ又は複数のワークステーションまたはその他いかなる適切なコンピュータシステムや処理システム(例えば、図7のプロセッサーシステム710)を使用して実施しうる。
コントローラ106は、デジタルデータバス114および入・出力(I/O)装置116を介して複数のフィールド装置112に連結されうる。フィールド装置112は、フィールドバス適合のバルブ、アクチュエータ、センサなどでありうる。もちろん、その他のタイプのフィールド装置および通信プロトコル(例えば、プロフィバス装置とプロトコル、HART装置とプロトコル、など)をその代りに使用することも可能である。I/O装置116に類似するか同一のI/O装置を付加的に設けてコントローラ106に連結させることによって、フィールドバス装置やHART装置などでありうるフィールド装置の更なる別の集団がコントローラ106と通信出来るようにしても良い。
コントローラ106には、例えばエマソン・プロセスマネジメント社(Emerson Process Management)により販売されるDelta(登録商標)コントローラを使用しうる。但し、その他のコントローラを代りに使用することも可能である。さらに、図1においてはコントローラが一つだけ備えられた状態で図示されているが、LAN 108に所望のあらゆるタイプのまたはタイプを組み合わせたコントローラを追加して連結することが可能である。いかなる場合も、コントローラ106は、アプリケーションステーション102やオペレータステーション104またはいかなるワークステーションを使用してシステムエンジニアまたはその他のシステム・オペレータにより生成されたものであり且つ、コントローラ106にダウンロードしてインスタンス化されたものである一つ又は複数のプロセス制御ルーチンを実行しうる。
また、事業体系100には、別のLAN 124を介してアプリケーションステーション102に、そしてアプリケーションステーション102を介してオペレータステーション104とコントローラに通信可能に連結されるワークステーション118が含まれている。ワークステーション118は、事業体系レベルの機能または全工場レベルの機能を実行するように構成されうる。ワークステーション118は、別のプロセス制御システムネットワーク(図示せず)に関連し、主としてプロセス制御機能や、一つ又は複数の通信機能などを実行するように構成されうる。さらに、ワークステーション118は、地理的に遠く離れた場所に配置しうる。この場合、例えばワイヤレス通信回線、インターネットを基盤とする通信ネットワークまたはその他のパケット交換方式の通信ネットワーク、電話回線(例えば、デジタル加入者線)、またはそれのいかなる組合せを使用して実施される広域ネットワーク(WAN)を介して、ワークステーションをLAN 124に通信可能に連結しうる。
図示される実施例において、処理されるべき流体または材料の流れを制御するべく、フィールド装置112の各々がプロセス用設備に連結される。具体的に言うと、フィールド装置112の各々は、タンク122から混合機124a〜124cへの流れ、そして混合機124a〜124cから別のプロセス・フェーズへの流れを制御すべく、各々のバルブに連結されている。コントローラ106には、複数のコントローラの間に分散されうるレシピまたはレシピの一部分が備えられている。レシピは、特定の製品(例えば、ペンキ、燃料、製薬など)を準備するための手順を定義することができ、一つ又は複数のフェーズ(すなわち工程諸段階)を各々含む一つ又は複数の動作を含んでいる一つ又は複数のユニット手順を含んでいる。図1に示される実施例では、一つの手順によって、特定の色のペンキを準備するために複数のユニット手順を定義することができる。各ユニット手順によって、異なる混合作業フェーズを定義することができる。例えば、第1のユニット手順は基礎成分(例えば、ラテックス、オイル、溶剤など)を混合するために使用される事前混合(プレ混合)手順を定義することができ、第2のユニット手順は、中間成分(例えば、集束剤、界面活性剤、など)を混合するために使用してもよく、また、別のユニット手順は製品に有色顔料を混合するのに使用しうる。
各ユニット手順は、一つ又は複数のフェーズまたは工程段階を各々有する一つ又は複数の動作を用いて実施される。フェーズは、特定のプロセス用設備(例えば、混合機124a〜124cの一つ)に対応することが可能である。図1に示される実施例では、タンク122に対応する成分添加フェーズと、混合機124aに対応する混合または撹拌フェーズを使用することが動作の実行には伴いうる。既に混合機124aに入っている別の成分まで成分をタンク122から追加することと、成分を混合するために混合機124aを制御することとが、添加フェーズには伴いうる。混合機124aが成分を混合し終えた後、フィールド装置112d〜112eは、混合済みの複合物が混合機124aから、同じまたは別の動作の一部でありうる別のフェーズまで流れさせる如く制御されうる。
プロセス制御装置112a〜112e、122および124a〜124cをレシピによる使用に向けて管理するために、プロセス制御システム110には設備管理機能128が備えられている。設備管理機能128は、レシピにより定義されるプロセスを実施するためにレシピが必要とするプロセス制御装置(例えば、図1のプロセス制御装置112a〜112e、122および124a〜124c)を獲得して確保するように構成される。レシピが実行を完了時、設備管理機能128は、前回当該レシピのために確保されたプロセス制御装置を解放し、当該の設備を必要とするそれ以降に計画されているレシピまたは待機中のレシピ用に設備を獲得して確保するように構成される。
従来の方法では、バッチレシピを修正変更する余地は無く、またはフェーズや動作且つ又はユニット手順を追加、修正変更、且つ又は取り除くために自動化様式においてバッチ
レシピに関連して補助レシピを実行する余地は無く、バッチレシピが設計時間中に設計され、そして実行時に実行される。しかし、オペレータまたはその他のユーザは、ここに記載される例示的な方法および機器によって、バッチレシピを未完了のまま途中で終了することなく、バッチレシピの実行が稼動し始めた後に補助レシピを実行することができるようになる。例えば、元のレシピに事前混合動作を含み、タンク122からの材料を混合機124a内の別の材料と混合し、結果的に得られる混合物をその後別のフェーズへの投入または転送するようにしても良い。稼動中に、オペレータまたはその他のユーザが、次の成分の混合に使用される混合機124a〜124cの一つを清掃したい場合、オペレータまたはその他のユーザは、ここに記載される方法と機器を使用すれば、バッチレシピの実行を終了したり、または、マニュアル操作でバッチレシピ実行を制御したりする必要なく混合機を清掃するように設計された補助レシピを実行できる。
ここに記載される例示的な方法および機器によって、補助レシピの実行をユーザにとって実質的に透過(transparent)にでき、よって、ユーザが特殊な動作状態を認知していたり、特定の補助レシピの実行を妨げるような設定構成(例えば、安全規則、品質管理規則、など)を使用する必要が無くなる。むしろここに記載される例示的な方法および機器によって、ユーザは、実行すべき所望の補助レシピを選択したり、依頼された補助レシピがいかなるプロセスフロー規則(例えば、ANSI/ISA規格S88バッチ標準規則)に違反しないことを保証するため、またはバッチレシピに相反することが決してないようにするために、実行中のバッチレシピの適切な入り口点(複数可)を同定することを伴う補助レシピ実行ルーチンを実行するためにユーザーインタフェース表示ディスプレイ上の補助レシピ実行ボタンを選択したりできるようになる。
例示的な事業体系100は、以下更に詳しく説明されている例示的な方法および機器を有利に採用しうるシステムの一種を示すために提示されている。但し、ここに記載される例示的な方法および機器は、希望する場合、図1に示される例示的な事業体系100よりも複雑なまたは該事業体系100ほど複雑でない構成を有するその他のシステムにおいても、且つ又はプロセス制御作業、事業体系管理作業、通信作業などに関連して使用されるシステムにおいても有利に採用しうる。
図2は、例示的な手順の機能チャート(PFC)観覧インターフェース200のグラフィカルユーザインタフェース(GUI)を示す図である。例示的なPFC観覧インターフェース200は、図1のアプリケーションステーション102、オペレータステーション104且つ又はワークステーション118の一つ又は複数のにより表示することができる。例示的なPFC観覧インターフェース200は、例示的なバッチレシピ204の手順機能チャート(PFC)202を含んでいる。PFC 202は、プロセスを実施するためにあらかじめ構成された流れに従って実行される工程段階またはフェーズ206a〜206iを有するバッチレシピを示す。ここに示される実施例において、バッチレシピ204のあらかじめ定められた流れは工程段階206a、続いて工程段階206bを実行することを伴っている。工程段階206bの完了後に、工程段階206c〜206eが並行して実行され、工程段階206c〜206eの完了後に工程段階206fが実行される。工程段階206fの完了後に工程段階206gおよび206hが並行して実行され、工程段階206gと206hが完了した後に工程段階206iが実行される。レシピ204は、工程段階間の遷移がいかなるプロセスフロー規則(例えば、ANSI/ISA規格S88バッチ標準規則)に違反しないようにプロセスフロー規則に従って、ここに示される実施例において実施される。
ここに記載される例示的な方法および機器は、バッチレシピ204の実行を未完了のまま途中で終了せずに、バッチレシピ204が実行を開始した後に複数の補助レシピ212a〜212fの一つ又は複数のを実行するのに使用することができる。図2に示される実施例では、補助レシピ212a〜212fの各々には、各々の「実行」グラフィック・ボタン214a〜214fが提供されている。該「実行」グラフィック・ボタン214a〜214fはそれぞれ、バッチレシピ204の実行中に補助レシピ212a〜212fのそれぞれ該当する一つを実行する際にユーザによって選択できる。例えば、補助レシピ212a〜212fの一つの実行するために、ユーザは、実行したい補助レシピ212a〜212fを定め、「実行」ボタン214a〜214fの対応する一つを選択またはクリックする。このように、プロセスフロー規則のいずれをも違反すること無く、且つその他いかなる様態においてもバッチレシピ204に相反すること無く該選択された補助レシピを実行できる補助レシピ入り口点を、バッチ・プロセッサは同定することができる。
例示的な実施形態のいくつかにおいて、ユーザは、実行フェーズ中に、実行されるべき補助レシピであるが、例示的なPFC観覧インターフェース200の補助レシピ一覧表に示されていないものを指定しうる。例えば、例示的なPFC観覧インターフェース200には、「補助レシピをインポートする(import)、または「補助レシピを開く(open)」などのメニューコマンド(図示せず)を備えても良く、それによって、ユーザが、データ記憶素子の保存位置から補助レシピを選択出来るようにしても良い。
図示される実施例において、バッチレシピ204は、二つ以上の工程段階206a〜206fの間におけるフェーズ遷移状態または工程段階遷移状態を定義するフェーズ遷移分岐点216a〜216gを含んでいる。ここに示される実施例では、補助レシピが実行可能である期間中にバッチレシピ204にて諸点を定義する補助レシピ入り口点218a〜218cとして、三つのフェーズ遷移分岐点216a〜216cが指定されている。補助レシピ入り口点は、補助レシピ212a〜212fごとに異なる場合がある。補助レシピ入り口点218a〜218cの特定の一つが補助レシピ212a〜212fの特定の一つに適切であるかどうかは、当該の入り口点で当該の補助レシピを実行することによって当該の補助レシピの目的(例えば、次の成分に使用する混合機を清掃すること)が達成されるかどうか、また、当該の点で当該の補助レシピを実行することによってプロセスフロー規則のいずれかに違反することになるか、且つその他いかなる様態においてバッチレシピ204に相反することがあるかどうか、に依存する。例えば、補助レシピ入り口点218aは、ボイラ1を予熱するための補助レシピ212dには適切であるかもしれないが、混合機1を清掃するための補助レシピ212aには適切ではないかもしれない。
例示的な実施形態のいくつかにおいては、ユーザが、フェーズ実行中に、補助レシピ入り口点(例えば、入り口点218a〜218c)が設計フェーズ中にあらかじめ設定または構成されていない補助レシピを実行するように指定しうる。かかる例示的な実施形態では、次に利用可能なまたは次に最も近いフェーズ遷移点(例えば、フェーズ遷移分岐点216a〜216gの一つ)で、またはユーザにより指定されたフェーズ遷移点で補助レシピの実行することにより実行フェーズ中にユーザにより指定された補助レシピを実行するために、ここに記載される例示的な方法および機器を使用しうる。
図示される実施例では、バッチレシピ204に、マスターレシピ識別子222が割り当てられており、補助レシピ212a〜212fの各々には各々のレシピ識別子224が備えられている。マスターレシピ識別子222は、プロセス制御システムの設備管理機能(例えば、図1の設備管理機能128)によって、バッチレシピ204のプロセスを実施するためにバッチレシピ204が必要とするプロセス制御装置(例えば、図1のプロセス制御装置112a〜112e、122および124a〜124c)を獲得して確保するために使用される。プロセス制御装置がバッチレシピ204により獲得された時点で、設備管理機能128はマスターレシピ識別子222を使用して、バッチレシピ204により確保されたものとしてプロセス制御装置を指定する。バッチレシピ204により獲得されたプロセス制御装置を使用してバッチレシピ204の下に(またはそれに関連して)補助レシピ212a〜212fが実行できるようにするために、マスターレシピ識別子222によって示されるような同じレシピ識別子が補助レシピ212a〜212fの各々には割り当てられる。このように、バッチ・プロセッサは、バッチレシピ204から設備を解放したり補助レシピ212a〜212f(またはマスターレシピ識別子222と同じレシピ識別子を有するその他いかなる補助レシピ)が設備を再度獲得したりする必要なく補助レシピ212a〜212fを実行するべく、バッチレシピ204用に設備管理機能128によって確保されたプロセス制御装置を使用することができるようになる。代表的なプロセス制御システムにおいては多くのバッチレシピがバッチレシピ・スケジュールの待ち行列で待機状態となっており、バッチレシピにより設備が解放された時点で、オペレータがマニュアル操作で補助レシピを実行するために設備をマニュアル操作で獲得できる余地無く、直ぐに且つ自動的に次に待機中のまたは次に計画されているバッチレシピにより獲得されるようになっているが故に、バッチレシピ204により設備を解放し補助レシピ212a〜212f用に設備を獲得するタイミングを合わせるのは、多くの場合、非常に困難かつ複雑な作業である。
図3は、設計フェーズ中にバッチレシピ(例えば、図2のバッチレシピ204)において補助レシピ入り口点(例えば、図2の補助レシピ入り口点218a〜218c)を決定するために使用されうる例示的な機器300のブロック図である。そして、図4は、バッチレシピの実行が開始した後に補助レシピ(例えば、補助レシピ212a〜212f)を実行するために使用されうる例示的な機器400のブロック図である。例示的な機器300および400の各々はハードウェア、ファームウェア且つ又はソフトウェアのいかなる所望の組合せを使用して実施されうる。例えば、一つ又は複数の集積回路、ディスクリート(単機能)半導体構成素子または受動電子部品を使用しえる。それに加えて、又はその代わりとして、機械アクセス可能媒体に格納されており、例えばプロセッサーシステム(例えば、図7のプロセッサーシステム710)により実行されると図5および図6のフローダイヤグラムに表わされる動作を実行するような指示、コード、且つ又はその他のソフトウェア且つ又はファームウェアなどを使用することによって、例示的な機器300および400(またはそれの一部)のブロック(複)のいくつかまたは全てを実施しうる。例示的な機器300および400が後述される各ブロックの一つを有する状態で説明されているが、例示的な機器300および400の各々には、後述されるブロックのいかなるものを二つ以上備えうる。さらに、いくつかのブロックを無効にしても、省略しても、またはその他のブロックと組み合わせても良い。
詳細については図3を参照すると、例示的な機器300には、レシピ解析機構302と、フェーズ遷移識別子304と、規則順守検証機構306と、入り口点生成機構308とが含まれており、これら全ては、図示される如くまたはその他いかなる適切な方法で通信可能に連結されうることが分かる。
レシピを取得して分析するために、例示的な機器300にはレシピ解析機構302が備えられている。ここに示される実施例において、レシピ解析機構302は、例えばバッチ・プロセッサ(図示せず)からバッチレシピ(例えば、図2のバッチレシピ204)を受け取り、補助レシピデータ構造301(例えば、データベース)から補助レシピ(例えば、図2の補助レシピ212a〜212f)を読み出す。レシピ解析機構302は、レシピにより要求される設備およびレシピにより実行されるべき動作のタイプを決定するために補助レシピを分析するように構成される。このように、例示的な機器300は、対応するバッチレシピ内の各補助レシピにとって適切な補助レシピ入り口点(例えば、図2の補助レシピ入り口点218a〜218c)を決定することができる。
バッチレシピ(例えば、図2のバッチレシピ204の工程段階206a〜206i)の工程諸段階間のフェーズ遷移分岐点(例えば、フェーズ遷移分岐点216a〜216g)を同定するために、例示的な機器300にはフェーズ遷移識別子304が備えられている。具体的に言うと、二つ以上の工程段階間の各フェーズ遷移分岐点は、実行されることになっている補助レシピがプロセスフロー規則のいずれかに違反しないと判断するため、若しくは、実行されることになっている補助レシピがバッチレシピが当該のフェーズ遷移分岐点における特定の実行段階期間にある時にバッチレシピに相反することがないと判断するために、規則順守検証機構306により分析される補助レシピ入り口点になる可能性のある点である。例えば、規則順守検証機構306は、同定されたフェーズ遷移分岐点の各々に対して、各工程段階の作動状態とバッチレシピの能動設備を決定し、且つ補助レシピにより実行されるべき工程段階および補助レシピにより要求される設備を決定することができるので、同定されたフェーズ遷移分岐点での補助レシピの実行が、プロセスフロー規則データ構造310に格納されているプロセスフロー規則のいずれかに違反しないこと、またはその他いかなる様態においてもバッチレシピの実行に相反することがないことを保証できる。
各補助レシピに対して補助レシピ入り口点を生成するために、例示的な機器300には入り口点生成機構308が備えられている。フェーズ遷移識別子304により同定された特定のフェーズ遷移分岐点が補助レシピを実行するのに適している、と規則順守検証機構306が判断した場合、入り口点生成機構308は、当該のフェーズ遷移分岐点を補助レシピ入り口点(例えば、図2の補助レシピ入り口点218a〜218cの一つ)として、それの各々の補助レシピと関連した状態で補助レシピデータベース301に格納する。
ここで図4を参照するに、例示的な機器400には、ユーザ入力インターフェース402、表示インターフェース404、補助レシピインターフェース406、プロセス状態識別子408、作動モード選択子410およびリソース・インターフェース412が含まれており、これらは全て図示される如くまたはその他いかなる適切な方法で通信可能に連結されうる。
ユーザから入力を受け取るために、例示的な機器400にはユーザ入力インターフェース402が備えられている。ユーザ入力インターフェース402は、グラフィカルユーザインタフェース(GUI)且つ又は機械的インタフェース(例えば、物理的なボタン)を使用して実施されうる。図2に示される実施例を参照するに、ユーザ入力インターフェース402は、「実行」グラフィック・ボタン214a〜214fを含むPFC観覧インターフェース200を使用して実施されうる。ユーザに対して情報を表示するために、例示的な機器400には表示インターフェース404が備えられている。表示インターフェース404は、PFCインターフェース200且つ又は補助レシピの実行に関係するその他いかなる情報を表示するように構成され得る。
図示される実施例では、補助レシピインターフェース406が、補助レシピデータベース301に格納された補助レシピを読み出し、かつ表示インターフェース404を介して補助レシピ(例えば、図2の補助レシピ212a〜212f)を表示するように構成される。また、補助レシピインターフェース406は、ユーザ指定の補助レシピを実行するべくユーザ入力インターフェース402を介してユーザにより指定された各補助レシピ用に構成情報、プロセスの流れに関する情報、入り口点情報などを読み出すことができる。
バッチレシピ(例えば、図2のバッチレシピ204)を実施するために使用されるプロセスの状態を同定するために、例示的な機器400にはプロセス状態識別子408が備えられている。例えば、プロセス状態識別子408は、どの工程段階またはフェーズが実行されているか、工程段階の実行が完了したかを判断するために使用されうる。補助レシピ(例えば、補助レシピ212a〜212fの一つ)を実行するためにバッチレシピを一時停止できる補助レシピ入り口点(例えば、図2の補助レシピ入り口点218a〜218cの一つ)でバッチレシピの実行が行われているかどうか、且つ又はバッチレシピが補助レシピ入り口点に到達可能とするには待ち時間が必要かどうかを判断するためにプロセス状態情報を使用しても良い。ここに示される実施例において、プロセス状態識別子408は補助レシピデータベース301から補助レシピ入り口点を読み出すように構成される。それに加えて、又はその代わりとして、バッチレシピの実行が次に利用可能なフェーズ遷移点(例えば、図2のフェーズ遷移分岐点216a〜216gの一つ)またはユーザ指定の補助レシピに対して設計フェーズ中に補助レシピ入り口点があらかじめ設定または構成されていない場合に補助レシピが実行されるようにユーザが指定したところのユーザ指定フェーズ遷移点に達したかどうかを判断するように、プロセス状態識別子408を構成することができる。
バッチ・プロセッサの作動モードを変更するために、例示的な機器400には作動モード選択子410が備えられている。例えば、作動モード選択子410を使用して、レシピの作動モードを正規実行モードから一時停止または休止モードに変更することができ、それによって、レシピのそれ以降の工程段階のいかなるものが実行されるのを防止することができる。作動モードにおけるかかる変更は、補助レシピがバッチレシピの動作を妨げないように補助レシピを実行できるようにするために使用することができる。
補助レシピ212a〜212f(図2)を実行の際に使用するためにプロセス用設備(例えば、タンク122、混合機124a〜124c、フィールド装置112a〜112eなどの一つ又は複数)を取得するために、例示的な機器400にはリソース・インターフェース412が備えられている。ここに示される実施例において、リソース・インターフェース412は、どの設備がバッチレシピ204による使用に向けて設備管理機能128(図1)により確保されたかを判断するために使用される。バッチレシピ204のマスターレシピ識別子222(図2)と同じレシピ識別子224(図2)が補助レシピ212a〜212fには割り当てられているので、補助レシピ212a〜212fは、バッチレシピ204用に確保されているのと同じ設備を使用することができる。
図5は、設計フェーズ中にバッチレシピ(例えば、図2のバッチレシピ204)における補助レシピ入り口点(例えば、図2の補助レシピ入り口点218a〜218c)を決定するべく図3の例示的な機器300を実施するために使用されうる例示的な方法のフローダイヤグラムを描く図である。図6Aおよび図6Bは、バッチレシピ(例えば、バッチレシピ204)の実行が開始した後に補助レシピ(例えば、図2の補助レシピ212a〜212f)を実行するべく図4の例示的な機器400を実施するために使用されうる例示的な方法のフローダイヤグラムを描く図である。例示的な実施形態のいくつかにおいて、図5、図6Aおよび図6Bの例示的な方法はいずれも、プロセッサ(例えば、図7の例示的なプロセッサーシステム710内に示されるプロセッサ712)により実行するためのプログラムより成る機械可読指示を使用して実施しうる。CD−ROM、フロッピー(登録商標)ディスク、ハードドライブ、デジタル多用途ディスク(DVD)、またはプロセッサ712に関連する且つ又は周知の方法においてファームウェア且つ又は専用ハードウェアで具現化されたメモリなどの有形媒体に格納されたソフトウェアにて該プログラムを具現化しうる。さらに、例示的なプログラムを図5、図6Aおよび図6Bに示されるフローダイヤグラムを参照して説明したが、その代わりにその他の多くの方法を使用して例示的な機器300および400を実施しうることは、通常の技術を有する当業者ならば容易に理解できるはずである。例えば、ブロックの実行順序は変更しえるものであり、且つ又は、ここに記載されるブロックのうちのいくつかを変更、除外、または組み合わせることが可能である。
詳細について図5の例示的な方法を参照するに、初めに、レシピ解析機構302(図3)は、例えばバッチ・プロセッサ(図示せず)から、バッチレシピ(例えば、図2のバッチレシピ204)を受け取る(ブロック502)。さらに、レシピ解析機構302は、例えば補助レシピデータベース301から、補助レシピの設計(例えば、図2の補助レシピ212a〜212fの一つ)を受け取る(ブロック504)。フェーズ遷移識別子304(図3)は、バッチレシピ204におけるフェーズ遷移分岐点(例えば、フェーズ遷移分岐点216a〜216g)を同定する、または見つける(ブロック506)。
例示的な機器300は、分析するべきフェーズ遷移分岐点216a〜2126gの一つを選択し(ブロック508)、レシピ解析機構302は、ブロック504で得られた補助レシピを、選択されたフェーズ遷移分岐点実行すればそれの目的を達成できるかどうかを判断する(ブロック510)。例えば、該補助レシピの目的が、特定の標的成分に使用するための混合機を清掃することであり且つ、フェーズ遷移分岐点に続く工程段階が混合機に標的成分を配送するように構成されている場合には、レシピ解析機構302は、その目的を達成するべくフェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行できると判断するかもしれない。一方、それ以降の工程段階において、清掃することになっているものとは異なる成分に混合機を使用することになっており、よって混合機に標的成分を配送する前に混合機が再び汚れた状態になってしてしまうような場合には、標的成分に使用する前に混合機が再び汚れた状態になってしてしまうので選択されたフェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行してもそれの目的を達成するとことができない、とレシピ解析機構302が判断するようにしても良い。
フェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行してそれの目的を達成できるとレシピ解析機構302が判断すると(ブロック510)、フェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行することによってプロセスフロー規則のいずれかに違反するかどうか、且つ又はバッチレシピ204に相反するかどうかを規則順守検証機構306(図3)が判断する(ブロック512)。例えば、規則順守検証機構306は、フェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行することによっていずれかのプロセスフロー規則が違反されるかどうかをプロセスフロー規則データベース310(図3)に格納されている規則に基づいて判断することができる。また、規則順守検証機構306は、フェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行することによってバッチレシピ204に相反することになるかどうかも、レシピ解析機構302により行われるバッチレシピ204の分析に基づいて判断しうる。
フェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行することによっていかなるプロセスフロー規則にも違反することにならず、且つバッチレシピ204に相反することにならない、と規則順守検証機構306が判断すると(ブロック512)、入り口点生成機構308(図3)は、分析されたフェーズ遷移分岐点に対応する補助レシピ入り口点(例えば、図2の補助レシピ入り口点218a〜218cの一つ)を生成して、該補助レシピ入り口点を、ブロック504で受け取られた補助レシピと関連させて補助レシピデータベース301に格納する(ブロック514)。
入り口点生成機構308が補助レシピ入り口点を生成し格納した後(ブロック514)、またはフェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行することがプロセスフロー規則に違反することになる且つ又はバッチレシピ204に相反することになると規則順守検証機構306が判断した場合(ブロック512)、またはフェーズ遷移分岐点で補助レシピを実行してもその目的を達成できないとレシピ解析機構302が判断した場合(ブロック510)、フェーズ遷移識別子304は、分析するべき更なるフェーズ遷移分岐点がバッチレシピ204にまだ存在するかどうかを判断する(ブロック516)。分析するべき別のフェーズ遷移分岐点が存在する場合には(ブロック516)、分析されるべき別のフェーズ遷移分岐点をフェーズ遷移識別子304が選択できるように、制御がブロック508に戻る。その逆に、更に分析すべきフェーズ遷移分岐点が残っていない場合には(ブロック516)、分析された補助レシピに対して少なくとも一つの補助レシピ入り口点が作成されたかどうかをレシピ解析機構302は判断する(ブロック518)。補助レシピ入り口点が作成されていない場合(ブロック518)、レシピ解析機構302はエラー・メッセージを生成する(ブロック520)。レシピ解析機構302は、ログ・ファイルにエラー・メッセージを格納しうる、且つ又はエラー・メッセージがユーザに表示されうる。
エラー・メッセージを生成後(ブロック520)、または少なくとも一つの補助レシピ入り口点が作成されたとレシピ解析機構302によって判断された場合(ブロック518)、例示的な機器300は、別の補助レシピを分析するべきかどうか判断する(ブロック522)。例えば、補助レシピデータベース301に格納されている別の補助レシピで、分析すべきものが残っている場合レシピ解析機構302は、該別の補助レシピを分析すべきかどうかを判断し、そして制御がブロック504に戻る。それ以外の場合、図5の例示的なプロセスは終了する。
図6Aおよび図6Bの例示的な方法は、バッチレシピ204の実行が開始した後に図2の補助レシピ212a〜212fの一つ(またはユーザにより指定されたその他いかなる補助レシピ)を実行するために使用することができる。初めに、バッチレシピ・プロセッサ(図示せず)はバッチレシピ(例えば、図2のバッチレシピ204)を受け取り(ブロック601)、そして設備管理機能128(図1)は、バッチレシピ204を実行するために必要とされるプロセス制御装置(例えば、タンク122、混合機124a〜124c、フィールド装置112a〜112e、などの一つ又は複数)を獲得して確保する(ブロック602)。例えば、設備管理機能128は、獲得した設備の設備識別子と関連した状態でバッチレシピ204のマスターレシピ識別子222(図2)を(例えば)設備管理機能128の設備管理データベースまたはアービトレーション・データベース(図示せず)に格納することにより、バッチレシピ204のために獲得したプロセス制御装置を確保しうる。その後、バッチレシピ・プロセッサはバッチレシピ204を実行する(ブロック604)。
例示的な機器400は、補助レシピ(例えば、補助レシピ212a〜212fの一つまたはその他いかなる補助レシピ)を示すユーザ選択を、ユーザ入力インターフェース402(図4)を介して受け取る(ブロック606)。議論の目的上、補助レシピ212aについて以下説明する。その後、補助レシピインターフェース406(図4)は、例えば補助レシピデータベース301から補助レシピ212a(ブロック608)の補助レシピデータを読み出す。例えば、補助レシピインターフェース406は、補助レシピ212aの工程段階およびプロセスの流れ構成、必要な設備の内容説明(例えば、タンク122、混合機124a〜124c、フィールド装置112a〜112eなどの一つ又は複数)、そして設計フェーズ中に補助レシピ212aに対していかなる一つ又は複数の補助レシピ入り口点があらかじめ設定または構成された場合のために事前に構成されている場合補助レシピ212aの補助レシピ入り口点(例えば、補助の入り口点218a〜218c)の一つ又は複数を読み出しうる。
その後、補助レシピインターフェース406は、一つ又は複数の補助レシピ入り口点が補助レシピ212aに対してあらかじめ設定されているかどうか判断する(ブロック610)。例えば、一つ又は複数の入り口点が設計フェーズ中に補助レシピ212aに対して決定されると、その後、該一つ又は複数の入り口点は、補助レシピ212aを実行するため、実行フェーズ中に利用可能になる。但し、設計フェーズ中に補助レシピ212aに対して入り口点が一つも決定されないと、実行フェーズ中に利用可能な入り口点がないので、次に最も近いフェーズ遷移分岐点(例えば、図2の遷移分岐点216a〜216gの一つ)で、または、あらかじめ定められたまたは事前に構成された補助レシピ入り口点を使用せずにユーザにより指定されたフェーズ遷移分岐点で、補助レシピ212aが実行される。
一つ又は複数の補助レシピ入り口点はあらかじめ定められており補助レシピ212a用に利用可能である、と補助レシピインターフェース406によって判断されると(ブロック610)、プロセス状態識別子408(図4)は、バッチレシピ204の実行のプロセス状態を判断する(ブロック612)。例えば、プロセス状態識別子408は、補助レシピ212aを実行するのに利用可能な次の最も近い補助の入り口点(例えば、図2の補助レシピ入り口点218a〜218cの一つ)を判断するためにバッチレシピ204のプロセス状態を判断しうる。その後、プロセス状態識別子408は、バッチレシピ204の実行が、ブロック608(ブロック614)で読み出された補助レシピ入り口点に達したかどうか判断する。バッチレシピ204が補助レシピ入り口点に達していない場合、補助レシピ入り口点に達するまで制御がブロック614に留まる。
ブロック610に戻り、補助レシピ入り口点がブロック608で読み出された補助レシピ212aに対してあらかじめ定められていない(若しくは利用可能でない)、と補助レシピインターフェース406がブロック610で判断すると、制御がブロック616に進む(図6B)。補助レシピ入り口点が利用可能ではないので、補助レシピインターフェース406はユーザ指定のフェーズ遷移点が利用可能かどうか判断する(ブロック616)。例えば、実行すべき特定の補助レシピをユーザが指定したが、指定された補助レシピに対して設計フェーズ中にあらかじめ定められた補助レシピ入り口点が一つもない場合には、ユーザが、実行フェーズ中に、指定された補助レシピが実行されるべきである特定のフェーズ遷移点(例えば、図2のフェーズ遷移分岐点216a〜216gの一つ)を指定しうる。それとは逆に、ユーザ指定の補助レシピを実行するべき特定のフェーズ遷移点をユーザが指定しなかった場合、補助レシピは次に利用可能なフェーズ遷移点で実行される。
ユーザがフェーズ遷移点を指定した、と補助レシピインターフェース406により判断されると(ブロック616)、プロセス状態識別子408は、バッチレシピ204の実行がユーザ指定のフェーズ遷移点に達したかどうか判断する(ブロック618)。バッチレシピ204がユーザ指定のフェーズ遷移点に達していない場合、フェーズ遷移点に到達するまで制御がブロック618に留まる。
一方、ユーザがフェーズ遷移点を指定しなかった、と補助レシピインターフェース406によって判断されると(ブロック616)、プロセス状態識別子408は、補助レシピ212aを実行すべき次に利用可能なまたは次の最も近いフェーズ遷移点にバッチレシピ204の実行が達したかどうか判断する(ブロック620)。バッチレシピ204が次に利用可能なフェーズ遷移点に達していない(例えば、現在実行中のフェーズまたは工程段階が実行し終えていない)場合、次に利用可能なフェーズ遷移点に到達するまで制御がブロック620に留まる。
図6Aに戻って参照するに、バッチレシピ204が次に利用可能な遷移点に達する時点で(ブロック620)(図6B)、またはバッチレシピ204がユーザ指定の遷移点に達する時点で(ブロック618)、またはバッチレシピ204が補助レシピ入り口点に達する時点で(ブロック614)、作動モード選択子410は、バッチレシピ204の実行を一時停止する、または休止させ(ブロック622)(図6A)、補助レシピ212aを実行する(ブロック624)。図示される実施例では、バッチレシピ204用に設備管理機能128(図1)によって既に確保されているプロセス制御装置(例えば、タンク122、混合機124a〜124c、フィールド装置112a〜112eなどの一つ又は複数)を確実に補助レシピ212aが使用できるようにするために、バッチレシピ204のマスターレシピ識別子(例えば、マスターレシピ識別子222)と一致するレシピ識別子(例えば、図2のレシピ識別子224)が補助レシピ212aには割り当てられる。このように、リソース・インターフェース412(図4)は、マスターレシピ識別子222の下にバッチレシピ204用に確保されているいかなる設備を、バッチレシピ204がその設備を解放する必要無く、そして補助レシピ212aのためにその設備を再度獲得して確保する必要なく、補助レシピ212aによって確実に使用できるようにすることが可能である。
その後、プロセス状態識別子408は、補助レシピ212aの実行が完了したかどうか判断する(ブロック626)。補助レシピ212aの実行が完了していない場合(ブロック626)、補助レシピ212aの実行が完了するまで、プロセス状態識別子408は、ブロック626で補助レシピ212aの実行を監視し続ける。補助レシピ212aの実行が完了している場合、作動モード選択子410はバッチレシピ204の実行を再始動する(ブロック628)。
その後、補助レシピインターフェース406は、別の補助レシピが実行の対象として選択されているかどうか判断する(ブロック630)。別の補助レシピが実行の対象として選択されている場合、制御がブロック608に戻る。それ以外の場合、図6Aおよび図6Bの例示的なプロセスは終了する。
図7は、ここに記載される機器および方法を実施するために使用されうる例示的なプロセッサーシステム710のブロック図である。図7に示されるように、プロセッサーシステム710は相互接続バス714に連結されるプロセッサ712を含んでいる。プロセッサ712には、レジスタセットまたはレジスタ領域716が含まれている。このレジスタセットまたはレジスタ領域716は、図7において完全にチップ上に備えられた状態で示されているが、その代わりとして、完全に又は部分的にチップ外に備えられた状態で、専用の電気接続を介して、且つ又は相互接続バス714を介して、プロセッサ712に直接連結することも可能である。プロセッサ712には、適切なプロセッサ、処理装置またはマイクロプロセッサーであればいかなるものでも使用しえる。図7には図示されていないが、システム710は、マルチプロセッサシステムでありえ、よってプロセッサ712と同一であるまたは類似する且つ相互接続バス714に通信可能に連結される一つ又は複数の更なる付加的な別のプロセッサを含みうる。
図7のプロセッサ712は、メモリーコントローラー720および周辺入出力(I/O)コントローラ722を含むチップセット718に連結される。周知の如く、一般にチップセットは、チップセット718に連結される一つ又は複数のプロセッサによりアクセス可能またはそれにより使用される複数の汎用且つ又は専用レジスタやタイマーなどに加え、入出力および記憶管理機能を備えている。メモリ制御器720は、プロセッサ712(または、複数のプロセッサが備えられている場合は複数のプロセッサ)がシステムメモリ724および大容量記憶メモリ725にアクセスできるようにする機能を果たす。
システムメモリ724は、例えば静的ランダムアクセス記憶装置(SRAM)、動的ランダムアクセス記憶装置(DRAM)、フラッシュメモリ、読み取り専用メモリなど(ROM)など所望のあらゆるタイプの揮発性及び又は不揮発性記憶装置を含みうる。大容量記憶メモリ725としては、ハードディスクドライブ、オプティカルドライブ、テープ記憶装置などを含む所望のあらゆるタイプの大容量記憶装置が挙げられる。
周辺I/Oコントローラ722は、周辺I/Oバス732を介して、周辺入出力(I/O)装置726と728、ならびにネットワーク・インターフェース730とプロセッサ712が通信することを可能にする機能を行う。I/O装置726および728には、例えば、キーボード、ビデオディスプレイまたはモニター、マウスなど、所望するいかなるタイプのI/O装置を使用しえる。ネットワーク・インターフェース730は、例えばイーサネット(登録商標)装置、非同期転送モード(ATM)装置、802.11装置、DSLモデム、ケーブルモデム、セルラーモデムなどでありえ、プロセッサーシステム710が別のプロセッサーシステムと通信することを可能にする。
メモリ制御器720とI/Oコントローラ722は、図7においてチップセット718内の別々の機能ブロックとして表されているが、これらのブロックにより実行される機能は、単一の半導体回路内に統合しても、または個別の集積回路を二つ以上用いても実施しうる。
実施例として挙げられる特定の方法、機器および製造品がここにおいて記載されているが、この特許の適用領域の範囲はそれに限定されるものではない。それとは反対に、この特許は、字義的に若しくは均等論に基づいて添付の特許請求の範囲内に公正に含まれる方法、機器および製造品の全てを網羅するものである。

Claims (4)

  1. プロセス制御システムにおいて補助レシピおよびバッチレシピを実行するための機器であって、
    前記バッチレシピが第1のレシピ識別子に関連付けられており、前記補助レシピが第1のレシピ識別子と等しい第2のレシピ識別子に関連付けられている、前記バッチレシピの実行中に補助レシピを取得するためのレシピインターフェースと、
    前記第1のレシピ識別子に基づいてバッチレシピ用に確保された設備を同定するため、且つ、前記第1のレシピ識別子と等しい前記第2のレシピ識別子に基づいて前記補助レシピによる設備の使用を円滑に実施するためのリソース管理機構と、
    前記補助レシピが、第1および第2のレシピ識別子に基づいて設備を同定する前記リソース管理機構に基づいてバッチレシピ用に確保された設備を使用するようになっている、前記補助レシピの実行を引き起こすための作動モード選択子と、
    を備える機器。
  2. 前記バッチレシピが補助レシピの実行前に設備を解放しないことを特徴とする、請求項1に記載の機器。
  3. 前記作動モード選択子が、さらに、前記補助レシピを実行する前にバッチレシピの実行を一時停止し、且つ、前記補助レシピが実行を完了した後にバッチレシピを再始動するようになっていることを特徴とする、請求項1に記載の機器。
  4. ユーザ指定のフェーズ遷移点または補助レシピを実行できる、次に利用可能なフェーズ遷移点の少なくとも一つにバッチレシピが達したかどうかを判断するためのプロセス状態識別子をさらに備え、
    前記作動モード選択子が、さらに、ユーザ指定のフェーズ遷移点または補助レシピを実行できる次に利用可能なフェーズ遷移点の少なくとも一つにバッチレシピが達したとの判断に応答して補助レシピの実行を引き起こすようになっていることを特徴とする、
    請求項1に記載の機器。
JP2013079375A 2007-11-13 2013-04-05 プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法および機器 Active JP5602271B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/939,281 US8825189B2 (en) 2007-11-13 2007-11-13 Methods and apparatus to execute an auxiliary recipe and a batch recipe associated with a process control system
US11/939,281 2007-11-13

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008290571A Division JP5368775B2 (ja) 2007-11-13 2008-11-13 プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法および機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013191218A true JP2013191218A (ja) 2013-09-26
JP5602271B2 JP5602271B2 (ja) 2014-10-08

Family

ID=40139736

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008290571A Active JP5368775B2 (ja) 2007-11-13 2008-11-13 プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法および機器
JP2013079375A Active JP5602271B2 (ja) 2007-11-13 2013-04-05 プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法および機器

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008290571A Active JP5368775B2 (ja) 2007-11-13 2008-11-13 プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法および機器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US8825189B2 (ja)
EP (3) EP2853967B1 (ja)
JP (2) JP5368775B2 (ja)
CN (3) CN101436063B (ja)
GB (1) GB2454786B (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8150541B2 (en) 2007-11-13 2012-04-03 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Methods and apparatus to modify a recipe process flow associated with a process control system during recipe execution
US8555206B2 (en) * 2007-12-21 2013-10-08 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Methods and apparatus to present recipe progress status information
US8606379B2 (en) * 2008-09-29 2013-12-10 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Method of generating a product recipe for execution in batch processing
US9265429B2 (en) * 2009-09-18 2016-02-23 Welch Allyn, Inc. Physiological parameter measuring platform device supporting multiple workflows
JP2012114157A (ja) * 2010-11-22 2012-06-14 Toshiba Corp ドロップレシピ作成方法およびデータベース作成方法
US9727045B2 (en) * 2012-12-31 2017-08-08 Sunedison Semiconductor Limited (Uen201334164H) Method and system for a meta-recipe control software architecture
US10325792B2 (en) * 2015-12-17 2019-06-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for interactively and dynamically updating a schematic overlay
CN107368043B (zh) * 2016-05-13 2019-10-29 北京威浦实信科技有限公司 配方管理控制系统
US10783290B2 (en) 2017-09-28 2020-09-22 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. IC manufacturing recipe similarity evaluation methods and systems
US11687064B2 (en) * 2017-11-08 2023-06-27 Honeywell International Inc. IBATCH interactive batch operations system enabling operational excellence and competency transition
US11287785B2 (en) 2019-09-03 2022-03-29 Honeywell International Inc. Apparatus and method for distributed batch control for modular automation
EP4247560A1 (en) * 2020-11-23 2023-09-27 Defugo Technologies Pte Ltd Feedstock processing method and system

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0982589A (ja) * 1995-09-18 1997-03-28 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置の処理システム
JPH10105616A (ja) * 1996-08-06 1998-04-24 Sony Corp プロセスフロー作成・編集装置
JP2005093922A (ja) * 2003-09-19 2005-04-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理システム
JP2006331272A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Digital Electronics Corp プログラマブル表示器、制御プログラムおよびそのプログラムを記録した記録媒体

Family Cites Families (117)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4500687A (en) 1981-06-18 1985-02-19 The Dow Chemical Company Elastomeric polyether-containing impact polymer products
US4570217A (en) 1982-03-29 1986-02-11 Allen Bruce S Man machine interface
US4636949A (en) 1984-03-07 1987-01-13 Amf Incorporated Method and apparatus for controlling cooking cycles in a cooking system
DK196786A (da) 1986-04-29 1987-10-30 Ebbe Busch Larsen Fremgangsmoede og middel til styring af et foderblandingsanlaeg
US4885677A (en) 1986-07-21 1989-12-05 The Babcock & Wilcox Company Automatic system for sequential control and fault detection of devices used in batch processes
US5058043A (en) 1989-04-05 1991-10-15 E. I. Du Pont De Nemours & Co. (Inc.) Batch process control using expert systems
US5113350A (en) 1989-08-25 1992-05-12 Beowulf Corporation Computerized system for display and storage of materials batching information
JPH0650460B2 (ja) 1989-10-17 1994-06-29 アプライド バイオシステムズ インコーポレイテッド ロボットインターフェース
JPH05158510A (ja) * 1991-12-05 1993-06-25 Hitachi Ltd プロセス制御装置
US5355320A (en) 1992-03-06 1994-10-11 Vlsi Technology, Inc. System for controlling an integrated product process for semiconductor wafers and packages
GB9211539D0 (en) 1992-06-01 1992-07-15 Ducost Eng Ltd Control of paint spraying machines and the like
WO1994014106A1 (en) 1992-12-14 1994-06-23 Honeywell Inc. A flexible method for building a recipe in a process control system
US5631825A (en) 1993-09-29 1997-05-20 Dow Benelux N.V. Operator station for manufacturing process control system
US5576946A (en) 1993-09-30 1996-11-19 Fluid Air, Inc. Icon based process design and control system
US5644686A (en) 1994-04-29 1997-07-01 International Business Machines Corporation Expert system and method employing hierarchical knowledge base, and interactive multimedia/hypermedia applications
JPH0887421A (ja) 1994-09-19 1996-04-02 Toshiba Corp プロセス切換方法およびプロセス切換システム
JP3467761B2 (ja) 1994-11-30 2003-11-17 東陶機器株式会社 複数機器の制御システム
JPH08211912A (ja) * 1995-02-06 1996-08-20 Yokogawa Electric Corp バッチプラント制御装置
US5719559A (en) 1995-06-23 1998-02-17 Limitorque Corporation System and method for the verification of a digital control system
US6762036B2 (en) 1995-11-08 2004-07-13 Trustees Of Boston University Cellular physiology workstations for automated data acquisition and perfusion control
US5970243A (en) 1996-08-27 1999-10-19 Steeplechase Software, Inc. Online programming changes for industrial logic controllers
US6000830A (en) 1997-04-18 1999-12-14 Tokyo Electron Limited System for applying recipe of semiconductor manufacturing apparatus
JP3778652B2 (ja) 1997-04-18 2006-05-24 株式会社日立製作所 ログデータ収集管理方法及びその装置
US6983229B2 (en) 1997-06-20 2006-01-03 Brown Peter G Method for scheduling solution preparation in biopharmaceutical batch process manufacturing
US5990906A (en) 1997-06-25 1999-11-23 National Instruments Corporation Undo feature for a graphical programming system
US6507765B1 (en) 1998-02-10 2003-01-14 Hm Electronic Systems Limited Computer integrated manufacturing control and information system
JPH11235648A (ja) 1998-02-17 1999-08-31 Toshiba Corp 製造計画管理装置、製造計画管理方法、及び、製造計画管理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体
US6148244A (en) 1998-04-13 2000-11-14 Intellution, Inc. Equipment pathing and unit allocation for a process control system
US6296711B1 (en) 1998-04-14 2001-10-02 Cvd Systems, Inc. Film processing system
US6535122B1 (en) 1998-05-01 2003-03-18 Invensys Systems, Inc. Method and apparatus for extending processing mask/filtering, and displaying alarm information for a hierarchically categorizing alarm monitoring system
US6690274B1 (en) 1998-05-01 2004-02-10 Invensys Systems, Inc. Alarm analysis tools method and apparatus
US6292708B1 (en) 1998-06-11 2001-09-18 Speedfam-Ipec Corporation Distributed control system for a semiconductor wafer processing machine
US6615091B1 (en) 1998-06-26 2003-09-02 Eveready Battery Company, Inc. Control system and method therefor
US6289252B1 (en) 1998-08-31 2001-09-11 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Distributed batch processing system and methods
ATE228254T1 (de) * 1998-09-30 2002-12-15 Siemens Ag Vorrichtung zur steuerung und/oder überwachung externer technischer prozesse
US6571191B1 (en) 1998-10-27 2003-05-27 Cummins, Inc. Method and system for recalibration of an electronic control module
US6385496B1 (en) 1999-03-12 2002-05-07 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Indirect referencing in process control routines
US6647301B1 (en) 1999-04-22 2003-11-11 Dow Global Technologies Inc. Process control system with integrated safety control system
US6952808B1 (en) 1999-07-01 2005-10-04 Honeywell Inc. Process variable gauge interface and methods regarding same
US6522934B1 (en) 1999-07-02 2003-02-18 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Dynamic unit selection in a process control system
US6415193B1 (en) 1999-07-08 2002-07-02 Fabcentric, Inc. Recipe editor for editing and creating process recipes with parameter-level semiconductor-manufacturing equipment
US6834370B1 (en) 1999-07-08 2004-12-21 Osi Software, Inc. Method for creating master recipes
US7069101B1 (en) 1999-07-29 2006-06-27 Applied Materials, Inc. Computer integrated manufacturing techniques
US6542841B1 (en) 1999-08-10 2003-04-01 Tyco Telecommunications (Us) Inc. Method for managing test measurements
US6415246B1 (en) 1999-08-10 2002-07-02 Tyco Telecommunications (Us) Inc. Method for limit checking
US6385552B1 (en) 1999-08-10 2002-05-07 Tyco Telecommunications (Us) Inc. Method for collecting test measurements
US6488037B1 (en) 1999-08-31 2002-12-03 Texas Instruments Incorporated Programmable physical action during integrated circuit wafer cleanup
IL159332A0 (en) 1999-10-31 2004-06-01 Insyst Ltd A knowledge-engineering protocol-suite
US6901582B1 (en) 1999-11-24 2005-05-31 Quest Software, Inc. Monitoring system for monitoring the performance of an application
JP4574777B2 (ja) * 2000-01-21 2010-11-04 勇治 仲 バッチプラントの制御方法、バッチプラントの制御プログラムを記憶した記録媒体、及びバッチプラントの制御装置
US6853920B2 (en) 2000-03-10 2005-02-08 Smiths Detection-Pasadena, Inc. Control for an industrial process using one or more multidimensional variables
DE10112681B4 (de) 2000-03-31 2004-02-12 International Business Machines Corp. Computersystem mit Verfahren zum Planen von Vorgängen in einem Stahlwerk und Programmspeichereinrichtung zum Durchführen des Verfahrens
US6606527B2 (en) 2000-03-31 2003-08-12 International Business Machines Corporation Methods and systems for planning operations in manufacturing plants
WO2001077872A2 (en) 2000-04-05 2001-10-18 Pavilion Technologies, Inc. System and method for enterprise modeling, optimization and control
US6947917B1 (en) 2000-04-14 2005-09-20 Honeywell International Inc. Advanced recipe—a knowledge based information system for production processes
US7020876B1 (en) * 2000-06-30 2006-03-28 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Campaign management for batch processes
SG148839A1 (en) 2000-07-31 2009-01-29 Celerity Inc Method and apparatus for blending process materials
US6791692B2 (en) 2000-11-29 2004-09-14 Lightwind Corporation Method and device utilizing plasma source for real-time gas sampling
GB0101202D0 (en) 2001-01-17 2001-02-28 Smiths Group Plc Mounts
US6871299B2 (en) 2001-02-05 2005-03-22 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Hierarchical failure management for process control systems
JP2002359237A (ja) 2001-05-30 2002-12-13 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および半導体装置の製造方法
WO2003027785A1 (fr) 2001-09-21 2003-04-03 Olympus Corporation Dispositif de gestion en mode de traitement par lots
JP2003132093A (ja) 2001-10-29 2003-05-09 Nippon Steel Corp データログシステム
US6975921B2 (en) 2001-11-09 2005-12-13 Asm International Nv Graphical representation of a wafer processing process
US7032816B2 (en) 2001-12-28 2006-04-25 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Communication between machines and feed-forward control in event-based product manufacturing
US6732006B2 (en) 2002-02-06 2004-05-04 Asm International Nv Method and system to process semiconductor wafers
JP2003263221A (ja) 2002-03-07 2003-09-19 Mitsubishi Electric Corp 時系列認識装置、時系列認識方法及びプログラム
US6976033B2 (en) 2002-04-10 2005-12-13 Charming Systems Corpration Production cell information system based on activity costs and an architecture therefor
US6697690B2 (en) 2002-04-15 2004-02-24 Sap Aktiengesellschaft Customizing process flows
EP1518268A2 (en) 2002-07-03 2005-03-30 Tokyo Electron Limited Method for dynamic sensor configuration and runtime execution
US20040019393A1 (en) 2002-07-25 2004-01-29 Eileen Heider System and method for model base control
US7076312B2 (en) 2002-08-02 2006-07-11 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Integrated electronic signatures for approval of process control and safety system software objects
US6928328B2 (en) * 2002-08-02 2005-08-09 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Integrated electronic signatures for approval of process control system software objects
US7310798B1 (en) 2002-08-19 2007-12-18 Sprint Communications Company L.P. Simulator tool for testing software in development process
KR101025527B1 (ko) * 2002-09-30 2011-04-04 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 반도체 제조 프로세스의 모니터링 및 제어를 위한 방법 및장치
US7092771B2 (en) 2002-11-14 2006-08-15 Rockwell Automation Technologies, Inc. Industrial control and monitoring method and system
US7275062B2 (en) 2003-03-10 2007-09-25 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Automatic linkage of process event data to a data historian
US7369912B2 (en) * 2003-05-29 2008-05-06 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Batch execution engine with independent batch execution processes
JP2005005909A (ja) * 2003-06-10 2005-01-06 Sony Ericsson Mobilecommunications Japan Inc 競合管理プログラム,競合管理プログラムが記憶された記憶媒体,競合管理方法及び電子機器
KR100506926B1 (ko) 2003-07-16 2005-08-09 삼성전자주식회사 단일경로용 작업시스템 및 그 제어방법
US7149595B2 (en) * 2003-08-13 2006-12-12 Rockwell Automation Technologies, Inc. Material classification system and methods
US20050052659A1 (en) 2003-09-05 2005-03-10 Jacobsen Dana A. Progress indicator for graphical display on printers
DE112004002682D2 (de) * 2004-02-28 2006-12-07 Abb Research Ltd Anordnung von Geräten der Prozessleittechnik
US7369913B2 (en) 2004-04-02 2008-05-06 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Recipe editor and controller
JP2005309486A (ja) 2004-04-16 2005-11-04 Mitsubishi Electric Corp 運転履歴データ管理装置及び運転履歴データ管理システム
US7179664B2 (en) 2004-05-06 2007-02-20 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Method for generating work-in-process schedules
US7926024B2 (en) * 2004-06-14 2011-04-12 Hyperformix, Inc. Method and apparatus for managing complex processes
JP4664630B2 (ja) 2004-07-22 2011-04-06 株式会社東芝 半導体装置の製造装置に対する自動レシピ作成装置及び作成方法
US20060074608A1 (en) * 2004-10-01 2006-04-06 Freeman Clay System and method for designing building structures with associated estimates and schedules
US7464366B2 (en) * 2004-10-01 2008-12-09 Microsoft Corporation Programming interface for a componentized and extensible workflow model
US7680970B2 (en) * 2004-10-22 2010-03-16 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Method and system for batch process arbitration in a process control system
US7477960B2 (en) * 2005-02-16 2009-01-13 Tokyo Electron Limited Fault detection and classification (FDC) using a run-to-run controller
JP4903012B2 (ja) * 2005-05-26 2012-03-21 株式会社リコー ワークフローシステム、ワークフロー処理方法およびワークフロー処理プログラム
US20070005170A1 (en) 2005-06-29 2007-01-04 Thorsten Schedel Method for the preferred processing of workpieces of highest priority
JP2005353092A (ja) * 2005-07-22 2005-12-22 Yokogawa Electric Corp プロセス制御システム
CA2617981A1 (en) 2005-08-05 2007-02-15 Pfizer Products Inc. Automated batch manufacturing
US20070038889A1 (en) 2005-08-11 2007-02-15 Wiggins Robert D Methods and systems to access process control log information associated with process control systems
KR100719375B1 (ko) 2005-10-12 2007-05-17 삼성전자주식회사 반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법
US7738973B2 (en) 2005-11-14 2010-06-15 Rockwell Automation Technologies, Inc. Distributed historian architecture and interfaces
US7571019B2 (en) * 2005-12-30 2009-08-04 Intel Corporation Integrated configuration, flow and execution system for semiconductor device experimental flows and production flows
WO2007086458A1 (ja) * 2006-01-27 2007-08-02 Hitachi Kokusai Electric Inc. 基板処理装置
DE102006004413A1 (de) 2006-01-31 2007-08-09 Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale Verfahren und System zum Disponieren eines Produktstromes in einer Fertigungsumgebung durch Anwendung eines Simulationsprozesses
US7305320B2 (en) * 2006-02-15 2007-12-04 International Business Machines Corporation Metrology tool recipe validator using best known methods
JP4839101B2 (ja) 2006-03-08 2011-12-21 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、基板処理条件検討方法及び記憶媒体
JP4760472B2 (ja) * 2006-03-27 2011-08-31 株式会社日立製作所 バッチプラントの運転支援装置
US7571732B2 (en) * 2006-03-28 2009-08-11 Asm Japan K.K. Ignition control of remote plasma unit
JP2007266482A (ja) 2006-03-29 2007-10-11 Toshiba Corp 生産システム及び電子装置の製造方法
US7630777B2 (en) * 2006-07-06 2009-12-08 Honeywell International Inc. Apparatus and method for configurable process automation in a process control system
US7894918B2 (en) * 2006-07-27 2011-02-22 Abb Research Ltd. System for analyzing batch processes
US7793292B2 (en) * 2006-09-13 2010-09-07 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Compact batch viewing techniques for use in batch processes
US8078296B2 (en) * 2006-09-29 2011-12-13 Rockwell Automation Technologies, Inc. Dynamic procedure selection
JP4942174B2 (ja) * 2006-10-05 2012-05-30 東京エレクトロン株式会社 基板処理システムの処理レシピ最適化方法,基板処理システム,基板処理装置
DE102006056143A1 (de) 2006-11-28 2007-10-11 Siemens Ag Verfahren zur Synchronisation von Steuerrezepten
US20080172629A1 (en) 2007-01-17 2008-07-17 Microsoft Corporation Geometric Performance Metric Data Rendering
US8369975B2 (en) 2007-09-21 2013-02-05 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Online recipe synchronization in a real-time batch executive environment
US8150541B2 (en) 2007-11-13 2012-04-03 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Methods and apparatus to modify a recipe process flow associated with a process control system during recipe execution
US8555206B2 (en) 2007-12-21 2013-10-08 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Methods and apparatus to present recipe progress status information

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0982589A (ja) * 1995-09-18 1997-03-28 Kokusai Electric Co Ltd 半導体製造装置の処理システム
JPH10105616A (ja) * 1996-08-06 1998-04-24 Sony Corp プロセスフロー作成・編集装置
JP2005093922A (ja) * 2003-09-19 2005-04-07 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板処理システム
JP2006331272A (ja) * 2005-05-30 2006-12-07 Digital Electronics Corp プログラマブル表示器、制御プログラムおよびそのプログラムを記録した記録媒体

Also Published As

Publication number Publication date
EP2853967B1 (en) 2020-05-06
CN103399547B (zh) 2016-03-16
CN105223929A (zh) 2016-01-06
EP2107440B1 (en) 2015-09-09
GB2454786A (en) 2009-05-20
US8825189B2 (en) 2014-09-02
EP2107440A3 (en) 2010-01-06
EP2107440A2 (en) 2009-10-07
US20090125906A1 (en) 2009-05-14
CN101436063A (zh) 2009-05-20
JP2009123214A (ja) 2009-06-04
CN103399547A (zh) 2013-11-20
JP5368775B2 (ja) 2013-12-18
GB2454786B (en) 2013-01-09
JP5602271B2 (ja) 2014-10-08
EP2605100A1 (en) 2013-06-19
EP2853967A2 (en) 2015-04-01
CN105223929B (zh) 2018-09-14
CN101436063B (zh) 2013-08-28
EP2853967A3 (en) 2015-04-15
EP2605100B1 (en) 2014-08-06
GB0820623D0 (en) 2008-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5602271B2 (ja) プロセス制御システムに関連付けられている補助レシピとバッチレシピを実行する方法および機器
JP5995395B2 (ja) プロセス制御システムのレシピをレシピ実行中に修正変更する方法及び機器
US9008814B2 (en) Online recipe synchronization in a real-time batch executive environment
US11086302B2 (en) Recipe command steps and recipe inputs from external logic

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140128

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140423

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140722

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140819

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5602271

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250