JP2013184177A - レーザー加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅を含む加工条件がそれぞれ異なる複数のレーザー加工を実施することができるレーザー加工装置を提供する。
【解決手段】レーザー光線照射機構4は、パルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振手段41と、パルスレーザー光線発振手段が発振するパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器421a、421b、421cと、出力調整器によって出力が調整されたレーザー光線を集光せしめる集光器422a、422b、422cを具備し、パルスレーザー光線発振手段41は、パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅がそれぞれ設定された複数の発振器41a、41b、41cを備えており、複数の発振器と出力調整器との間に複数の発振器のいずれかを選択する発振器選択手段43a、43b、43cが配設されている。
【選択図】図1
【解決手段】レーザー光線照射機構4は、パルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振手段41と、パルスレーザー光線発振手段が発振するパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器421a、421b、421cと、出力調整器によって出力が調整されたレーザー光線を集光せしめる集光器422a、422b、422cを具備し、パルスレーザー光線発振手段41は、パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅がそれぞれ設定された複数の発振器41a、41b、41cを備えており、複数の発振器と出力調整器との間に複数の発振器のいずれかを選択する発振器選択手段43a、43b、43cが配設されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、被加工物に複数の加工条件でレーザー加工を施すことができるレーザー加工装置に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体チップを製造している。また、サファイア基板の表面にフォトダイオード等の受光素子やレーザーダイオード等の発光素子等が積層された光デバイスウエーハもストリートに沿って切断することにより個々のフォトダイオード、レーザーダイオード等の光デバイスに分割され、電気機器に広く利用されている。
上述した半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハをストリートに沿って分割する方法として、ウエーハに形成されたストリートに沿ってパルスレーザー光線を照射してアブレーション加工することによりレーザー加工溝を形成し、ウエーハをストリートに沿って分割する方法が提案されている。(例えば、特許文献1参照。)
また、上述した半導体ウエーハや光デバイスウエーハ等のウエーハをストリートに沿って分割する方法として、ウエーハに対して透過性を有する波長のパルスレーザー光線を用い、分割すべき領域の内部に集光点を合わせてパルスレーザー光線を照射することにより、ウエーハの内部にストリートに沿って改質層を連続的に形成し、この改質層が形成されることによって強度が低下したストリートに沿って外力を加えることにより、ウエーハを分割するものである。(例えば、特許文献2参照。)
更に、光デバイスの輝度を向上させる技術として、光デバイスウエーハを構成するサファイア基板や炭化珪素等のエピタキシー基板の表面にバッファー層を介して積層されたn型半導体層およびp型半導体層からなる光デバイス層にモリブデン(Mo)、銅(Cu)、シリコン(Si)等の移設基板を金(Au),白金(Pt),クロム(Cr),インジウム(In),パラジウム(Pd)等の接合金属層を介して接合し、エピタキシー基板の裏面側からバッファー層にレーザー光線を照射することによりエピタキシー基板を剥離して、光デバイス層を移設基板に移し替えるリフトオフと呼ばれる製造方法が下記特許文献3に開示されている。
上記アブレーション加工、改質層形成加工、リフトオフ加工等のレーザー加工を実施するためには、それぞれのレーザー加工に適したパルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅を少なくとも含む加工条件が設定されたパルスレーザー光線発振器が装備されたレーザー加工装置が用いられる。
従って、アブレーション加工、改質層形成加工、リフトオフ加工を実施する場合、3台のレーザー加工装置を購入しなければならない。また、アブレーション加工、改質層形成加工、リフトオフ加工を実施するために3台のレーザー加工装置を購入した場合、アブレーション加工のみを実施するときには他の2台レーザー加工装置が休止した状態となり、不経済であるという問題がある。
従って、アブレーション加工、改質層形成加工、リフトオフ加工を実施する場合、3台のレーザー加工装置を購入しなければならない。また、アブレーション加工、改質層形成加工、リフトオフ加工を実施するために3台のレーザー加工装置を購入した場合、アブレーション加工のみを実施するときには他の2台レーザー加工装置が休止した状態となり、不経済であるという問題がある。
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅を含む加工条件がそれぞれ異なる複数のレーザー加工を実施することができるレーザー加工装置を提供することにある。
上記主たる技術的課題を解決するために、本発明によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと該チャックテーブルを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段とを備えたチャックテーブル機構と、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構と、を具備するレーザー加工装置において、
該レーザー光線照射機構は、パルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振手段と、該パルスレーザー光線発振手段が発振するパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器と、該出力調整器によって出力が調整されたレーザー光線を集光せしめる集光器を具備し、
該パルスレーザー光線発振手段は、パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅がそれぞれ設定された複数の発振器を備えており、
該複数の発振器と該出力調整器との間に、該複数の発振器のいずれかを選択する発振器選択手段が配設されている、
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
該レーザー光線照射機構は、パルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振手段と、該パルスレーザー光線発振手段が発振するパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器と、該出力調整器によって出力が調整されたレーザー光線を集光せしめる集光器を具備し、
該パルスレーザー光線発振手段は、パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅がそれぞれ設定された複数の発振器を備えており、
該複数の発振器と該出力調整器との間に、該複数の発振器のいずれかを選択する発振器選択手段が配設されている、
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
複数のレーザー加工装置を備え、該複数のレーザー加工装置の各チャックテーブル機構の各チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射する該レーザー光線照射機構は、複数の発振器を備えたパルスレーザー光線発手段が共用されている。
本発明によるレーザー加工装置は、チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構がパルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振手段と、該パルスレーザー光線発振手段が発振するパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器と、該出力調整器によって出力が調整されたレーザー光線を集光せしめる集光器を具備し、該パルスレーザー光線発振手段はパルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅がそれぞれ設定された複数の発振器を備えており、該複数の発振器と該出力調整器との間に該複数の発振器のいずれかを選択する発振器選択手段が配設されているので、複数の発振器が発振するレーザー光線を適宜に選択して出力調整器および集光器を介して照射することができる。従って、複数の発振器が発振するレーザー光線を例えばアブレーション加工と改質層形成加工およびリフトオフ加工にそれぞれ適した波長、繰り返し周波数、パルス幅に設定することにより、アブレーション加工と改質層形成加工およびリフトオフ加工を適宜実施することができる。
また、複数のレーザー加工装置を備えている場合には、複数のレーザー加工装置の各チャックテーブル機構の各チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構は、複数の発振器を備えたパルスレーザー光線発手段が共用されているので、各レーザー加工装置はそれぞれ複数の発振器が発振するレーザー光線を適宜に選択して出力調整器および集光器を介して照射することができる。従って、例えばアブレーション加工のみを実施するときには各レーザー加工装置はアブレーション加工に適したパルスレーザー光線を発振する発振器を選択することができるので、休止するレーザー加工装置が発生するという問題が解消する。
また、複数のレーザー加工装置を備えている場合には、複数のレーザー加工装置の各チャックテーブル機構の各チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構は、複数の発振器を備えたパルスレーザー光線発手段が共用されているので、各レーザー加工装置はそれぞれ複数の発振器が発振するレーザー光線を適宜に選択して出力調整器および集光器を介して照射することができる。従って、例えばアブレーション加工のみを実施するときには各レーザー加工装置はアブレーション加工に適したパルスレーザー光線を発振する発振器を選択することができるので、休止するレーザー加工装置が発生するという問題が解消する。
以下、本発明に従って構成されたレーザー加工装置の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。
図1には、本発明に従って構成されたレーザー加工装置のブロック構成図が示されている。図示の実施形態においては、3台のレーザー加工装置2a,2b,2cを備えている。3台のレーザー加工装置2a,2b,2cは、それぞれ被加工物を保持するチャックテーブルを備えたチャックテーブル機構3a,3b,3cと、該チャックテーブル機構3a,3b,3cに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構4を具備している。チャックテーブル機構3a,3b,3cは、それぞれ被加工物を保持するチャックテーブル31a,31b,31cと、該チャックテーブル31a,31b,31cを矢印Xおよび紙面に垂直な矢印Yで示す加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段32a,32b,32cを具備している。
図1には、本発明に従って構成されたレーザー加工装置のブロック構成図が示されている。図示の実施形態においては、3台のレーザー加工装置2a,2b,2cを備えている。3台のレーザー加工装置2a,2b,2cは、それぞれ被加工物を保持するチャックテーブルを備えたチャックテーブル機構3a,3b,3cと、該チャックテーブル機構3a,3b,3cに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構4を具備している。チャックテーブル機構3a,3b,3cは、それぞれ被加工物を保持するチャックテーブル31a,31b,31cと、該チャックテーブル31a,31b,31cを矢印Xおよび紙面に垂直な矢印Yで示す加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段32a,32b,32cを具備している。
上記レーザー光線照射機構4は、パルスレーザー光線を発振する共通のパルスレーザー光線発振手段41と、該共通のパルスレーザー光線発振手段41が発振するパルスレーザー光線を上記チャックテーブル31a,31b,31cに保持された被加工物にそれぞれ照射するパルスレーザー光線照射手段42a,42b,42cと、共通のパルスレーザー光線発振手段41とパルスレーザー光線照射手段42a,42b,42cとの間に配設された発振器選択手段43とからなっている。共通のパルスレーザー光線発振手段41は、図示の実施形態においては3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cを備えている。パルスレーザー光線発振器41aは、図示の実施形態においては波長が355nm、繰り返し周波数が200kHz、パルス幅が100nsのパルスレーザー光線を発振する。また、パルスレーザー光線発振器41bは、図示の実施形態においては波長が1064nm、繰り返し周波数が100kHz、パルス幅が1psのパルスレーザー光線を発振する。また、パルスレーザー光線発振器41cは、図示の実施形態においては波長が257nm、繰り返し周波数が50kHz、パルス幅が100psのパルスレーザー光線を発振する。
上記パルスレーザー光線照射手段42a,42b,42cは、それぞれ上記共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成する3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cが発振したパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器421a,421b,421cと、該出力調整器421a,421b,421cによって出力が調整されたパルスレーザー光線を集光してそれぞれ上記チャックテーブル31a,31b,31cに保持された被加工物に照射する集光器422a,422b,422cとからなっている。
上記共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成する3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cとパルスレーザー光線照射手段42a,42b,42cを構成する出力調整器421a,421b,421cとの間に配設された発振器選択手段43は、3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cが発振したパルスレーザー光線をそれぞれ出力調整器421a,421b,421cに分配するレーザー分配手段43a,43b,43cからなっている。このレーザー分配手段43a,43b,43cについて図2乃至図4を参照して説明する。図示の実施形態におけるレーザー分配手段43a,43b,43cは、それぞれ3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cに接続された光ファイバー44を介して伝送されたパルスレーザー光線を集光する集光レンズ45と、該集光レンズ45によって集光されたパルスレーザー光線を分配する第1の回転盤46および第2の回転盤47とからなっている。
第1の回転盤46は、中心に回転軸461を備えており、図示しない回動機構によって該回転軸461を中心として適宜回動可能に構成されている。この第1の回転盤46の上面には図3の(a)に示すように回転軸461を中心とした同一半径の円軌跡上に3個の入光口462,463,464が形成されている。また、第1の回転盤46の下面には図3の(b)に示すように入光口462に対応する1個の出光口465aと、入光口463を中心とした同一半径の円軌跡上に形成された2個の出光口465b,465cと、入光口464を中心とした同一半径の円軌跡上に形成された3個の出光口465d,465e,465fが形成されている。このように3個の入光口462,463,464と6個の出光口465a,465b,465c,465d,465e,465fが形成された第1の回転盤46には、図2に示すように入光口462と出光口465aとを連通する光ファイバー466aと、入光口463と出光口465b,465cと連通する光ファイバー466b,466cと、入光口464と出光口465d,465e,465fとを連通する光ファイバー466d,466e,466fが配設されている。
上記第2の回転盤47は、上記第1の回転盤46の下側に配設され中心に回転軸471を備えており、図示しない回動機構にとって該回転軸471を中心として適宜回動可能に構成されている。この第2の回転盤47には図2および図4に示すように回転軸471を中心とした同一半径の円軌跡上に上面から下面に貫通する3個の貫通孔472,473,474が形成され、この3個の貫通孔472,473,474にそれぞれ光ファイバー475a,475b,475cが配設されている。この光ファイバー475a,475b,475cは、それぞれ上記レーザー加工装置2a,2b,2cに装備されたレーザー光線照射手段42a,42b,42cを構成する出力調整器421a,421b,421cに接続されている。なお、3個の貫通孔472,473,474は、互いの間隔が上記第1の回転盤46に形成された出光口465bと465cの間隔および出光口465dと465eと465fの間隔と同一に形成されている。
図示の実施形態におけるレーザー加工装置は以上のように構成されており、以下その作用について説明する。
先ず、レーザー加工装置2aによってアブレーション加工を実施し、レーザー加工装置2bによって改質層形成加工を実施し、レーザー加工装置2cによってリフトオフ加工を実施する場合について説明する。この場合、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41aに接続されたレーザー分配手段43aを構成する第1の回転盤46に形成された入光口462を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔472を第1の回転盤46に形成された出光口465aの直下に位置付ける。また、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41bに接続されたレーザー分配手段43bを構成する第1の回転盤46に形成された入光口462を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔473を第1の回転盤46に形成された出光口465aの直下に位置付ける。更に、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41cに接続されたレーザー分配手段43cを構成する第1の回転盤46に形成された入光口462を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔474を第1の回転盤46に形成された出光口465aの直下に位置付ける。このようにして、レーザー分配手段43aと43bおよび43cの第1の回転盤46および第2の回転盤47をそれぞれ位置付けたならば、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成する3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cを作動するとともに、出力調整器421a,421b,421cを制御してそれぞれ集光器422a,422b,422cから照射されるパルスレーザー光線の平均出力を調整する。この結果、レーザー加工装置2aのチャックテーブル機構3aを構成するチャックテーブル31aに保持された被加工物には、波長が355nm、繰り返し周波数が200kHz、パルス幅が100nsで所定の出力に調整されたアブレーション加工に適するパルスレーザー光線が照射される。また、レーザー加工装置2bのチャックテーブル機構3bを構成するチャックテーブル31bに保持された被加工物には、波長が1064nm、繰り返し周波数が100kHz、パルス幅が1psで所定の出力に調整された改質層形成加工に適するパルスレーザー光線が照射される。更に、レーザー加工装置2cのチャックテーブル機構3cを構成するチャックテーブル31cに保持された被加工物には、波長が257nm、繰り返し周波数が50kHz、パルス幅が100psで所定の出力に調整されたリフトオフ加工に適するパルスレーザー光線が照射される。
先ず、レーザー加工装置2aによってアブレーション加工を実施し、レーザー加工装置2bによって改質層形成加工を実施し、レーザー加工装置2cによってリフトオフ加工を実施する場合について説明する。この場合、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41aに接続されたレーザー分配手段43aを構成する第1の回転盤46に形成された入光口462を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔472を第1の回転盤46に形成された出光口465aの直下に位置付ける。また、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41bに接続されたレーザー分配手段43bを構成する第1の回転盤46に形成された入光口462を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔473を第1の回転盤46に形成された出光口465aの直下に位置付ける。更に、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41cに接続されたレーザー分配手段43cを構成する第1の回転盤46に形成された入光口462を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔474を第1の回転盤46に形成された出光口465aの直下に位置付ける。このようにして、レーザー分配手段43aと43bおよび43cの第1の回転盤46および第2の回転盤47をそれぞれ位置付けたならば、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成する3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cを作動するとともに、出力調整器421a,421b,421cを制御してそれぞれ集光器422a,422b,422cから照射されるパルスレーザー光線の平均出力を調整する。この結果、レーザー加工装置2aのチャックテーブル機構3aを構成するチャックテーブル31aに保持された被加工物には、波長が355nm、繰り返し周波数が200kHz、パルス幅が100nsで所定の出力に調整されたアブレーション加工に適するパルスレーザー光線が照射される。また、レーザー加工装置2bのチャックテーブル機構3bを構成するチャックテーブル31bに保持された被加工物には、波長が1064nm、繰り返し周波数が100kHz、パルス幅が1psで所定の出力に調整された改質層形成加工に適するパルスレーザー光線が照射される。更に、レーザー加工装置2cのチャックテーブル機構3cを構成するチャックテーブル31cに保持された被加工物には、波長が257nm、繰り返し周波数が50kHz、パルス幅が100psで所定の出力に調整されたリフトオフ加工に適するパルスレーザー光線が照射される。
また、レーザー加工装置2aによってアブレーション加工を実施し、レーザー加工装置2bおよびレーザー加工装置2cによって改質層形成加工を実施する場合には、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41aに接続されたレーザー分配手段43aを構成する第1の回転盤46に形成された入光口462を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔472を第1の回転盤46に形成された出光口465aの直下に位置付ける。そして、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41bに接続されたレーザー分配手段43bを構成する第1の回転盤46に形成された入光口463を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔473および474を第1の回転盤46に形成された出光口465bおよび465cの直下に位置付ける。このようにして、レーザー分配手段43aおよび43bの第1の回転盤46および第2の回転盤47をそれぞれ位置付けたならば、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41aおよび41bを作動するとともに、出力調整器421a,421b,421cを制御してそれぞれ集光器422a,422b,422cから照射されるパルスレーザー光線の平均出力を調整する。この結果、レーザー加工装置2aのチャックテーブル機構3aを構成するチャックテーブル31aに保持された被加工物には、波長が355nm、繰り返し周波数が200kHz、パルス幅が100nsで所定の出力に調整されたアブレーション加工に適するパルスレーザー光線が照射される。また、レーザー加工装置2bおよびレーザー加工装置2cのチャックテーブル機構3bおよび3cを構成するチャックテーブル31bおよび31cに保持された被加工物には、波長が1064nm、繰り返し周波数が100kHz、パルス幅が1psで所定の出力に調整された改質層形成加工に適するパルスレーザー光線が照射される。
次に、レーザー加工装置2a、レーザー加工装置2b、レーザー加工装置2cによってリフトオフ加工を実施する場合には、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41cに接続されたレーザー分配手段43cを構成する第1の回転盤46に形成された入光口464を集光レンズ45の直下に位置付けるとともに、第2の回転盤47に形成された貫通孔472,473,474を第1の回転盤46に形成された出光口465d,465e,465fの直下に位置付ける。このようにして、レーザー分配手段43cの第1の回転盤46および第2の回転盤47をそれぞれ位置付けたならば、共通のレーザー光線発振手段41を構成するパルスレーザー光線発振器41cを作動するとともに、出力調整器421a,421b,421cを制御してそれぞれ集光器422a,422b,422cから照射されるパルスレーザー光線の平均出力を調整する。この結果、レーザー加工装置2aのチャックテーブル機構3aを構成するチャックテーブル31aとレーザー加工装置2bのチャックテーブル機構3bを構成するチャックテーブル31bおよびレーザー加工装置2cのチャックテーブル機構3cを構成するチャックテーブル31cに保持された被加工物には、それぞれ波長が257nm、繰り返し周波数が50kHz、パルス幅が100psで所定の出力に調整されたリフトオフ加工に適するパルスレーザー光線が照射される。従って、休止するレーザー加工装置が発生するという問題が解消する。
以上のように、図示の実施形態におけるレーザー加工装置は、共通のパルスレーザー光線発振手段41を構成する3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cと、該3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cと各レーザー加工装置2a、レーザー加工装置2b、レーザー加工装置2cに配設されたレーザー光線照射手段42a,42b,42cを構成する出力調整器421a,421b,421cとの間に3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cが発振したパルスレーザー光線をそれぞれ出力調整器421a,421b,421cに分配するレーザー分配手段43a,43b,43cからなる発振器選択手段43を配設したので、各レーザー加工装置2a、レーザー加工装置2b、レーザー加工装置2cのチャックテーブル機構を構成するチャックテーブルに保持された被加工物には、それぞれ3個のパルスレーザー光線発振器41a,41b,41cが発振したパルスレーザー光線を照射することができる。従って、各レーザー加工装置2a,2b,2cは、アブレーション加工と改質層形成加工およびリフトオフ加工を適宜に選択して実施することができる。
2a,2b,2c:レーザー加工装置
3a,3b,3c:チャックテーブル機構
31a,31b,31c:チャックテーブル
4:レーザー光線照射機構
41:共通のパルスレーザー光線発振手段
41a,41b,41c:パルスレーザー光線発振器
42a,42b,42c:パルスレーザー光線照射手段
421a,421b,421c:出力調整器
422a,422b,422c:集光器
43a,43b,43c:レーザー分配手段
46:第1の回転盤
47:第2の回転盤
3a,3b,3c:チャックテーブル機構
31a,31b,31c:チャックテーブル
4:レーザー光線照射機構
41:共通のパルスレーザー光線発振手段
41a,41b,41c:パルスレーザー光線発振器
42a,42b,42c:パルスレーザー光線照射手段
421a,421b,421c:出力調整器
422a,422b,422c:集光器
43a,43b,43c:レーザー分配手段
46:第1の回転盤
47:第2の回転盤
Claims (2)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと該チャックテーブルを加工送り方向に相対的に加工送りする加工送り手段とを備えたチャックテーブル機構と、該チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射機構と、を具備するレーザー加工装置において、
該レーザー光線照射機構は、パルスレーザー光線を発振するパルスレーザー光線発振手段と、該パルスレーザー光線発振手段が発振するパルスレーザー光線の出力を調整する出力調整器と、該出力調整器によって出力が調整されたレーザー光線を集光せしめる集光器を具備し、
該パルスレーザー光線発振手段は、パルスレーザー光線の波長、繰り返し周波数、パルス幅がそれぞれ設定された複数の発振器を備えており、
該複数の発振器と該出力調整器との間に、該複数の発振器のいずれかを選択する発振器選択手段が配設されている、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 複数のレーザー加工装置を備え、
該複数のレーザー加工装置の各チャックテーブル機構の各チャックテーブルに保持された被加工物にレーザー光線を照射する該レーザー光線照射機構は、複数の発振器を備えたパルスレーザー光線発手段が共用されている、請求項1記載のレーザー加工装置。
Priority Applications (1)
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JP2012049727A JP2013184177A (ja) | 2012-03-06 | 2012-03-06 | レーザー加工装置 |
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JP2012049727A JP2013184177A (ja) | 2012-03-06 | 2012-03-06 | レーザー加工装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2012
- 2012-03-06 JP JP2012049727A patent/JP2013184177A/ja active Pending
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