JP2014014825A - レーザダイシング方法 - Google Patents
レーザダイシング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014014825A JP2014014825A JP2012152237A JP2012152237A JP2014014825A JP 2014014825 A JP2014014825 A JP 2014014825A JP 2012152237 A JP2012152237 A JP 2012152237A JP 2012152237 A JP2012152237 A JP 2012152237A JP 2014014825 A JP2014014825 A JP 2014014825A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- laser beam
- irradiation
- pulse
- processed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 53
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 141
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 36
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 45
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 18
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 35
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 7
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000002679 ablation Methods 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 238000005280 amorphization Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000010128 melt processing Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/362—Laser etching
- B23K26/364—Laser etching for making a groove or trench, e.g. for scribing a break initiation groove
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
- B23K2103/56—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26 semiconducting
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/0006—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring taking account of the properties of the material involved
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/361—Removing material for deburring or mechanical trimming
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/02—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the intensity of light
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
- C03C23/0025—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by a laser beam
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Dicing (AREA)
Abstract
【解決手段】被加工基板へのパルスレーザビームの照射と非照射を、クロック信号に同期して、パルスピッカーを用いてパルスレーザビームの通過と遮断を制御することで、光パルス単位で切り替え、被加工基板に基板表面に達するクラックを、クラックが被加工基板表面において連続するよう形成するレーザダイシング方法であって、被加工基板に対してパルスレーザビームを第1の直線に沿って照射する第1のクラック形成ステップと、被加工基板に対してパルスレーザビームを第1の直線に直交する第2の直線に沿って照射する第2のクラック形成ステップと、を有し、第1の直線と第2の直線が交差する領域において、第1のクラック形成ステップまたは第2のクラック形成ステップで、パルスレーザビームの光パルス密度を増加させるレーザダイシング方法。
【選択図】図2
Description
被加工基板の屈性率:n
被加工基板表面からの加工位置:L
Z軸移動距離:Lz
とすると、
Lz=L/n
となる。即ち、集光レンズによる集光位置を被加工基板の表面をZ軸初期位置とした時、基板表面から深さ「L」の位置に加工する場合、Z軸を「Lz」移動させればよい。
ビームスポット径:D(μm)
繰り返し周波数:F(KHz)
の条件で加工を行うとすると、照射光パルスがスポット径のピッチで照射と非照射を繰り返すためのステージ移動速度V(m/sec)は、
V=D×10−6×F×103
となる。
ビームスポット径:D=2μm
繰り返し周波数:F=50KHz
の加工条件で行うとすると、
ステージ移動速度:V=100mm/sec
となる。
SL:同期位置から基板までの距離
WL:加工長
W1:基板端から照射開始位置までの距離
W2:加工範囲
W3:照射終了位置から基板端までの距離
が管理される。
12 レーザ発振器
14 パルスピッカー
16 ビーム整形器
18 集光レンズ
20 XYZステージ部
22 レーザ発振器制御部
24 パルスピッカー制御部
25 照射制御部
26 加工制御部
28 基準クロック発振回路
30 加工テーブル部
100 LED
Claims (5)
- 被加工基板をステージに載置し、
クロック信号を発生し、
前記クロック信号に同期したパルスレーザビームを出射し、
前記被加工基板と前記パルスレーザビームとを相対的に移動させ、
前記被加工基板への前記パルスレーザビームの照射と非照射を、前記クロック信号に同期して、パルスピッカーを用いて前記パルスレーザビームの通過と遮断を制御することで、光パルス単位で切り替え、
前記被加工基板に基板表面に達するクラックを、前記パルスレーザビームの照射エネルギー、前記パルスレーザビームの加工点深さ、および、前記パルスレーザビームの照射領域および非照射領域の長さを制御することにより、前記クラックが前記被加工基板表面において連続するよう形成するレーザダイシング方法であって、
前記被加工基板に対してパルスレーザビームを第1の直線に沿って照射する第1のクラック形成ステップと、
前記被加工基板に対してパルスレーザビームを前記第1の直線に直交する第2の直線に沿って照射する第2のクラック形成ステップと、を有し、
前記第1の直線と前記第2の直線が交差する領域において、前記第1のクラック形成ステップまたは前記第2のクラック形成ステップで、パルスレーザビームの光パルス密度を増加させることを特徴とするレーザダイシング方法。 - 前記第1または第2のクラック形成ステップにおいて、パルスレーザビームの光パルス密度を増加させる箇所の情報を備える照射制御信号を発生し、前記照射制御信号を用いて、前記第1の直線と前記第2の直線が交差する領域における光パルス密度を増加させることを特徴とする請求項1記載のレーザダイシング方法。
- 前記クラックが前記被加工基板表面において略直線的に形成されることを特徴とする請求項1または請求項2記載のレーザダイシング方法。
- 前記被加工基板の位置と前記パルスピッカーの動作開始位置が同期することを特徴とする請求項1ないし請求項3いずれか一項記載のレーザダイシング方法。
- 前記被加工基板がサファイア基板、水晶基板、またはガラス基板を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項4いずれか一項記載のレーザダイシング方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012152237A JP5596750B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | レーザダイシング方法 |
TW102124002A TWI533963B (zh) | 2012-07-06 | 2013-07-04 | 雷射切割方法 |
CN201310280698.2A CN103521932B (zh) | 2012-07-06 | 2013-07-05 | 激光切割方法 |
KR1020130078704A KR101505308B1 (ko) | 2012-07-06 | 2013-07-05 | 레이저 다이싱 방법 |
US13/936,022 US9283639B2 (en) | 2012-07-06 | 2013-07-05 | Laser dicing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012152237A JP5596750B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | レーザダイシング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014014825A true JP2014014825A (ja) | 2014-01-30 |
JP5596750B2 JP5596750B2 (ja) | 2014-09-24 |
Family
ID=49877730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012152237A Expired - Fee Related JP5596750B2 (ja) | 2012-07-06 | 2012-07-06 | レーザダイシング方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9283639B2 (ja) |
JP (1) | JP5596750B2 (ja) |
KR (1) | KR101505308B1 (ja) |
CN (1) | CN103521932B (ja) |
TW (1) | TWI533963B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017208411A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2020027924A (ja) * | 2018-08-17 | 2020-02-20 | キオクシア株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2020518130A (ja) * | 2017-04-20 | 2020-06-18 | ジルテクトラ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 構成部材が設けられた固体層を薄化する方法 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015175268A1 (en) * | 2014-05-16 | 2015-11-19 | Applied Materials, Inc. | Hybrid wafer dicing approach using an ultra-short pulsed laguerre gauss beam laser scribing process and plasma etch process |
JP6959073B2 (ja) * | 2017-08-30 | 2021-11-02 | 株式会社ディスコ | レーザー加工装置 |
CN113228310A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-08-06 | 泉州三安半导体科技有限公司 | 一种半导体发光元件及其制备方法 |
TW202302477A (zh) * | 2021-02-26 | 2023-01-16 | 美商康寧公司 | 使用脈衝雷射光束焦線來雷射處理透明材料的方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008198905A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Hitachi Metals Ltd | セラミックス基板及びセラミックス回路基板の製造方法並びに集合基板と半導体モジュール |
JP2011091322A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Toshiba Mach Co Ltd | レーザダイシング方法およびレーザダイシング装置 |
JP2011147968A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Toshiba Mach Co Ltd | レーザダイシング装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5990444A (en) * | 1995-10-30 | 1999-11-23 | Costin; Darryl J. | Laser method and system of scribing graphics |
JPH10263865A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-06 | Hitachi Ltd | レーザ割断方法及び基板 |
JP3867107B2 (ja) | 2000-09-13 | 2007-01-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法 |
JP2005246450A (ja) * | 2004-03-05 | 2005-09-15 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | レーザ加工方法及びレーザ加工装置並びに強度調節器 |
JP2008118031A (ja) | 2006-11-07 | 2008-05-22 | Yamaha Corp | ウエハのダイシング方法 |
TWI433745B (zh) * | 2010-04-16 | 2014-04-11 | Qmc Co Ltd | 雷射加工方法及雷射加工設備 |
JP5498852B2 (ja) | 2010-05-19 | 2014-05-21 | 東芝機械株式会社 | パルスレーザ加工装置、シェーディング補正装置およびパルスレーザ加工方法 |
JP5981094B2 (ja) | 2010-06-24 | 2016-08-31 | 東芝機械株式会社 | ダイシング方法 |
JP5632662B2 (ja) | 2010-06-24 | 2014-11-26 | 東芝機械株式会社 | パルスレーザ加工方法 |
JP5634765B2 (ja) | 2010-06-24 | 2014-12-03 | 東芝機械株式会社 | パルスレーザ加工方法およびパルスレーザ加工用データ作成方法 |
JP5827931B2 (ja) | 2011-07-27 | 2015-12-02 | 東芝機械株式会社 | レーザダイシング方法 |
JP2013027887A (ja) | 2011-07-27 | 2013-02-07 | Toshiba Mach Co Ltd | レーザダイシング方法 |
JP2013046924A (ja) | 2011-07-27 | 2013-03-07 | Toshiba Mach Co Ltd | レーザダイシング方法 |
JP5140198B1 (ja) | 2011-07-27 | 2013-02-06 | 東芝機械株式会社 | レーザダイシング方法 |
JP5865671B2 (ja) | 2011-10-25 | 2016-02-17 | 東芝機械株式会社 | パルスレーザ加工装置 |
JP5901265B2 (ja) | 2011-11-10 | 2016-04-06 | 東芝機械株式会社 | パルスレーザ加工装置およびパルスレーザ加工方法 |
JP5909351B2 (ja) | 2011-12-09 | 2016-04-26 | 東芝機械株式会社 | パルスレーザ加工装置およびパルスレーザ加工方法 |
JP5909352B2 (ja) | 2011-12-09 | 2016-04-26 | 東芝機械株式会社 | パルスレーザ加工装置およびパルスレーザ加工方法 |
JP2014011358A (ja) | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Toshiba Mach Co Ltd | レーザダイシング方法 |
-
2012
- 2012-07-06 JP JP2012152237A patent/JP5596750B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-07-04 TW TW102124002A patent/TWI533963B/zh active
- 2013-07-05 CN CN201310280698.2A patent/CN103521932B/zh active Active
- 2013-07-05 KR KR1020130078704A patent/KR101505308B1/ko active IP Right Grant
- 2013-07-05 US US13/936,022 patent/US9283639B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008198905A (ja) * | 2007-02-15 | 2008-08-28 | Hitachi Metals Ltd | セラミックス基板及びセラミックス回路基板の製造方法並びに集合基板と半導体モジュール |
JP2011091322A (ja) * | 2009-10-26 | 2011-05-06 | Toshiba Mach Co Ltd | レーザダイシング方法およびレーザダイシング装置 |
JP2011147968A (ja) * | 2010-01-21 | 2011-08-04 | Toshiba Mach Co Ltd | レーザダイシング装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017208411A (ja) * | 2016-05-17 | 2017-11-24 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2020518130A (ja) * | 2017-04-20 | 2020-06-18 | ジルテクトラ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 構成部材が設けられた固体層を薄化する方法 |
JP7130667B2 (ja) | 2017-04-20 | 2022-09-05 | ジルテクトラ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 構成部材が設けられた固体層を薄化する方法 |
US11869810B2 (en) | 2017-04-20 | 2024-01-09 | Siltectra Gmbh | Method for reducing the thickness of solid-state layers provided with components |
JP2020027924A (ja) * | 2018-08-17 | 2020-02-20 | キオクシア株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP7118804B2 (ja) | 2018-08-17 | 2022-08-16 | キオクシア株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103521932B (zh) | 2015-10-21 |
US20140008338A1 (en) | 2014-01-09 |
JP5596750B2 (ja) | 2014-09-24 |
TW201417927A (zh) | 2014-05-16 |
CN103521932A (zh) | 2014-01-22 |
US9283639B2 (en) | 2016-03-15 |
KR20140007058A (ko) | 2014-01-16 |
KR101505308B1 (ko) | 2015-03-23 |
TWI533963B (zh) | 2016-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5452247B2 (ja) | レーザダイシング装置 | |
JP5140198B1 (ja) | レーザダイシング方法 | |
TWI547338B (zh) | 雷射切割方法 | |
JP5620669B2 (ja) | レーザダイシング方法およびレーザダイシング装置 | |
JP5981094B2 (ja) | ダイシング方法 | |
KR101426598B1 (ko) | 레이저 다이싱 방법 | |
JP5596750B2 (ja) | レーザダイシング方法 | |
TWI471187B (zh) | 雷射切割方法 | |
JP5827931B2 (ja) | レーザダイシング方法 | |
JP5318909B2 (ja) | レーザダイシング方法 | |
JP2015123482A (ja) | レーザダイシング装置およびレーザダイシング方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140805 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140807 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5596750 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |