JP2013178101A - ドライ式超音波探傷検査装置とその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検査対象物である半導体装置1と超音波プローブ10との間に固体薄膜7を配置するとともに、半導体装置1と固体薄膜7との間に隙間Gを確保する。超音波プローブ10側から固体薄膜7に向けて超音波伝達媒体として水Wを噴射して噴流Jを形成する。噴流Jにより半導体装置1に対して固体薄膜7を密着させながら、超音波プローブ10から半導体装置1に向けて超音波S1を出射するとともに、その反射波S2を超音波プローブ10にて受波する。受波した反射波S2に基づいて半導体装置1のボイドQ1等の内部欠陥の有無を判定する。
【選択図】図3
Description
2…基板
3…半田層
4…半導体素子
7…固体薄膜
8…水槽
9…噴射ヘッド(噴射筒状体)
9a…開口部
10…超音波プローブ
14…X−Y駆動機構
15…信号処理・解析装置
17…固体薄膜
21…半導体装置(検査対象物)
22…基板
G…隙間
Q1…ボイド(内部欠陥)
Q2…クラック(内部欠陥)
W…水(超音波伝達媒体)
Claims (7)
- 検査対象物と超音波プローブとの間に弾性を有する固体薄膜を配置するとともに、上記検査対象物と固体薄膜との間に隙間を確保し、
上記超音波プローブ側から固体薄膜に向けて超音波伝達媒体を噴射し、
この噴射した超音波伝達媒体の圧力により検査対象物に対して固体薄膜を密着させながら、上記超音波プローブから検査対象物に向けて超音波を出射するとともに、その超音波の反射波を超音波プローブにて受波し、
この超音波プローブにて受波した反射波に基づいて検査対象物の探傷を行うようにしたことを特徴とするドライ式超音波探傷検査装置。 - 上記超音波伝達媒体を噴射するための噴射筒状体の開口部を固体薄膜と対向させ、
その噴射筒状体から固体薄膜に向けて超音波伝達媒体を噴射させるようになっているとともに、
上記噴射筒状体の投影面積の中に超音波プローブを配置してあることを特徴とする請求項1に記載のドライ式超音波探傷検査装置。 - 上記噴射筒状体の内部に超音波プローブを配置してあることを特徴とする請求項2に記載のドライ式超音波探傷検査装置。
- 上記噴射筒状体と超音波プローブとを同心状に配置してあることを特徴とする請求項3に記載のドライ式超音波探傷検査装置。
- 上記固体薄膜はゴム系薄膜材料および樹脂系薄膜材料のうち少なくともいずれか一つを用いた単層構造のもの、またはゴム系薄膜材料および樹脂系薄膜材料のうち少なくとも二種類を積層した複層構造のものであって、その総厚み寸法が0.001mm〜1mmであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のドライ式超音波探傷検査装置。
- 上記検査対象物は板状の基板の一方の面に半導体素子をろう付けした半導体装置であって、
この半導体装置は上記基板の他方の面が固体薄膜と対向するように配置され、
上記基板と半導体素子との間に介在するろう材層での欠陥の有無を検査するものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載のドライ式超音波探傷検査装置。 - 検査対象物と超音波プローブとの間に弾性を有する固体薄膜を配置するとともに、上記検査対象物と固体薄膜との間に隙間を確保し、
上記超音波プローブ側から固体薄膜に向けて超音波伝達媒体を噴射し、
この噴射した超音波伝達媒体の圧力により検査対象物に対して固体薄膜を密着させながら、上記超音波プローブから検査対象物に向けて超音波を出射するとともに、その超音波の反射波を超音波プローブにて受波し、
この超音波プローブにて受波した反射波に基づいて検査対象物の探傷を行うことを特徴とするドライ式超音波探傷検査方法。
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