JP6063289B2 - 超音波振動子ユニットの製造方法 - Google Patents
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Description
Claims (2)
- アレイ振動子を有する超音波振動子ユニットの製造方法であって、
電子回路を備えた電子回路基板と、アレイ振動子を構成する複数の個振動子と電子回路基板の電子回路とを接続する中継回路を備えた中継基板とを接合するステップと、
中継基板の、電子回路基板が接合された面の反対側の面である測定基準面を基準として、電子回路基板の、中継基板が接合された面の反対側の面である電子回路基板背面の複数点における高さを測定するステップと、
測定された高さに基づき加工量を決定するステップと、
決定された加工量で電子回路基板背面を切削して、測定基準面に対し平行な平面に加工するステップと、
を含む超音波振動子ユニットの製造方法。 - 請求項1に記載の超音波振動子ユニットの製造方法であって、さらに
平面加工するステップの後、平面加工された面を下にして接合された電子回路基板と中継基板を置き、その上に圧電素子素材の層を有する振動子ブランクを載せて接合するステップと、
振動子ブランクを切断してアレイ振動子を形成するステップと、
を含む超音波振動子ユニットの製造方法。
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