JP7106782B1 - 超音波映像装置および接合ウェハへの液体浸入防止方法 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 124
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 29
- 238000012285 ultrasound imaging Methods 0.000 title claims description 19
- 230000010354 integration Effects 0.000 title 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 291
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 147
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 132
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 31
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 15
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 10
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 117
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 29
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 21
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 18
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 18
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 8
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 6
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 5
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 3
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004299 exfoliation Methods 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0654—Imaging
- G01N29/069—Defect imaging, localisation and sizing using, e.g. time of flight diffraction [TOFD], synthetic aperture focusing technique [SAFT], Amplituden-Laufzeit-Ortskurven [ALOK] technique
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
- G01N29/0654—Imaging
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
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- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/221—Arrangements for directing or focusing the acoustical waves
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/24—Probes
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/26—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor
- G01N29/265—Arrangements for orientation or scanning by relative movement of the head and the sensor by moving the sensor relative to a stationary material
-
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
- G01N29/28—Details, e.g. general constructional or apparatus details providing acoustic coupling, e.g. water
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/023—Solids
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/02—Indexing codes associated with the analysed material
- G01N2291/028—Material parameters
- G01N2291/0289—Internal structure, e.g. defects, grain size, texture
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N2291/04—Wave modes and trajectories
- G01N2291/044—Internal reflections (echoes), e.g. on walls or defects
-
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
- G01N2291/26—Scanned objects
- G01N2291/269—Various geometry objects
- G01N2291/2697—Wafer or (micro)electronic parts
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
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Abstract
Description
図1~図5を用いて、第1実施形態に係る超音波映像装置100の構成および超音波映像装置100による接合ウェハ109の接合面193の映像生成方法を説明する。図1は、超音波映像装置100の構成を示す図である。図2は、超音波映像装置100により接合ウェハ109の接合面193の映像を生成する際の各部の動作を説明する図である。
図6および図7を参照して、本発明の第2実施形態に係る超音波映像装置200について説明する。なお、第1実施形態で説明した構成と同一もしくは相当する構成には同一の参照記号を付し、相違点を主に説明する。
上記実施形態では、空気吐出部121に設けられる整流部130が、多孔質体からなるフィルタである例について説明したが、本発明はこれに限定されない。以下、空気吐出部に設けられる整流部の変形例について説明する。
図8は変形例1-1に係る空気吐出部121Aの一部を示す斜視図であり、図9は図8のIX-IX線断面模式図であり、図10は図9のX-X線断面模式図である。図10は、図9に示す吐出開口部122Aの流路に沿って切断した断面模式図である。
整流部は、空気取込部169Aと吐出開口部122Aの出口部139との間にクランク状の流路を有する形態であってもよい。この構成では、各段のクランク状に折れ曲がった流路の下流側から上流側を見通せない構造とする。例えば、整流部は、空気取込部169Aから取り込まれて鉛直下方に流れる空気を、クランク状の流路によって外径方向に90度方向を変換させ、その後、鉛直下方に90度方向を変換させ、その後、内径方向に90度方向を変換させ、その後、鉛直下方に90度方向を変換させて吐出開口部122Aの出口部139に導く構成とすることができる。
整流部は、変形例1-1および変形例1-2で説明した整流部の特徴を有していてもよい。つまり、変形例1-2で説明した整流部のクランク状の流路の途中に貫通孔が形成された横板を空気の流れ方向に複数段設けてもよい。横板に設けられる貫通孔の数は、下流側ほど多くする。
上記実施形態では、接合ウェハ109が円板状のウェハ191を層状に接合した構成である例について説明したが、本発明はこれに限定されない。接合ウェハ109は、矩形状のウェハ191を層状に接合した構成であってもよい。
上記実施形態では、接合ウェハ109が2枚のウェハ191によって構成される例について説明したが、本発明はこれに限定されない。接合ウェハ109は、3枚以上のウェハ191が層状に接合された構成であってもよい。
上記実施形態では、気体吐出部(空気吐出部121,221)から吐出する気体が空気である例について説明したが、気体吐出部は、空気以外の気体(例えば、窒素)を吐出してもよい。なお、空気を用いることで、他の気体を用いる場合に比べて、低コストで検査を実施することができる。
上記実施形態では、X軸スキャナ152x、Y軸スキャナ152y、およびZ軸スキャナ152zがプローブユニット101を移動させる例について説明したが、本発明はこれに限定されない。X軸スキャナ152x、Y軸スキャナ152y、およびZ軸スキャナ152zは、それぞれプローブユニット101および保持装置102のうちの一方を移動させる構成であればよい。例えば、X軸スキャナ152xおよびZ軸スキャナ152zはプローブユニット101を移動させ、Y軸スキャナ152yは保持装置102を移動させる構成としてもよい。
Claims (7)
- 2枚以上のウェハが接合された接合ウェハに超音波を照射し、その反射波を取得して前記ウェハ同士の接合面の映像を生成する超音波映像装置であって、
前記接合ウェハの底面の下側において、前記底面に沿って移動しながら、前記接合ウェハに超音波を照射し、その反射波を取得する超音波探触子と、
前記接合ウェハの前記底面との間において、前記底面に接する液膜が形成されるように、超音波を伝播させる液体を連続的に前記底面に向けて吐出しながら、前記超音波探触子とともに移動する液体吐出部と、
気体を吐出する気体吐出装置と、を備え、
前記気体吐出装置は、前記液体吐出部から吐出される液体が前記接合ウェハの外周端部から前記接合面に浸入しないように、前記液体を押し下げるための気体を前記接合ウェハの外周端部に向けて吐出する気体吐出部を有する、
ことを特徴とする超音波映像装置。 - 請求項1に記載の超音波映像装置において、
前記液体吐出部の上面に形成される前記液膜が一定の厚みに保持されるように、前記液体吐出部に液体を供給する液体供給装置を備える、
ことを特徴とする超音波映像装置。 - 請求項1に記載の超音波映像装置において、
前記気体吐出部は、
気体を取り込む複数の気体取込部と、
前記複数の気体取込部に連通し、前記複数の気体取込部から取り込まれた気体を前記接合ウェハの前記外周端部に向けて吐出する吐出開口部と、
前記吐出開口部に設けられ前記複数の気体取込部から取り込まれた気体を整流する整流部と、を有し、
前記吐出開口部は、前記接合ウェハの前記外周端部の上方において前記外周端部に沿うように環状に形成され、
前記整流部は、前記吐出開口部の全域に亘って設けられている、
ことを特徴とする超音波映像装置。 - 請求項1に記載の超音波映像装置において、
前記気体吐出部は、当該気体吐出部から吐出される気体の向きが鉛直軸に対して傾斜するように形成されている、
ことを特徴とする超音波映像装置。 - 請求項1に記載の超音波映像装置において、
前記気体吐出装置は、前記接合ウェハを水平に保持する保持部を有し、
前記保持部は、前記液体吐出部の上面から前記接合ウェハの前記底面までの距離が、所定の離間距離で維持されるように、前記接合ウェハを保持する、
ことを特徴とする超音波映像装置。 - 2枚以上のウェハが接合された接合ウェハの底面と超音波探触子との間に超音波を伝播する液体を供給し、前記超音波探触子から前記接合ウェハに超音波を照射して、前記ウェハ同士の接合面の映像を生成する際に、前記接合ウェハの外周端部から前記接合面に液体が浸入することを防止する液体浸入防止方法であって、
気体を吐出する気体吐出部と前記接合ウェハとを位置決めする位置決め工程と、
位置決めされた前記接合ウェハを保持部によって保持するウェハ保持工程と、
前記保持部によって保持された前記接合ウェハの前記底面の下側に前記超音波探触子を配置する探触子配置工程と、
前記超音波探触子を収容するケースに液体を供給し、前記超音波探触子と前記接合ウェハの前記底面との間を液体で満たすとともに前記ケースの上面に前記接合ウェハに接する液膜を形成する液体供給工程と、
前記ケースの上面に形成される液膜が前記接合ウェハの前記底面に接するように前記ケースの上面に形成された液体出口部から液体を連続的に吐出しながら前記超音波探触子を前記ケースとともに前記底面に沿って走査する走査工程と、を含み、
前記走査工程において、前記接合ウェハの外周端部の下方に前記超音波探触子が位置しているときに、前記ケースから吐出される液体が前記接合ウェハの前記外周端部から前記接合面に浸入しないように、前記気体吐出部から気体を前記外周端部に向けて吐出し、前記気体吐出部から吐出される気体によって前記ケースから吐出される液体を押し下げる、
ことを特徴とする液体浸入防止方法。 - 請求項6に記載の液体浸入防止方法において、
前記走査工程において、前記気体吐出部から鉛直軸に対して傾斜する方向に気体を吐出する、
ことを特徴とする液体浸入防止方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022082383A JP7106782B1 (ja) | 2022-05-19 | 2022-05-19 | 超音波映像装置および接合ウェハへの液体浸入防止方法 |
DE102023204538.9A DE102023204538A1 (de) | 2022-05-19 | 2023-05-15 | Ultraschallbildgebungsvorrichtung und verfahren zum verhindern des eindringens von flüssigkeit in gebondeten wafer |
US18/198,221 US20230375507A1 (en) | 2022-05-19 | 2023-05-16 | Ultrasound image apparatus and liquid infiltration prevention method into bonded wafer |
CN202310557394.XA CN117092215A (zh) | 2022-05-19 | 2023-05-17 | 超声波影像装置及向接合晶圆的液体浸入防止方法 |
KR1020230064150A KR20230161896A (ko) | 2022-05-19 | 2023-05-18 | 초음파 영상 장치 및 접합 웨이퍼로의 액체 침입 방지 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022082383A JP7106782B1 (ja) | 2022-05-19 | 2022-05-19 | 超音波映像装置および接合ウェハへの液体浸入防止方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP7106782B1 true JP7106782B1 (ja) | 2022-07-26 |
JP2023170546A JP2023170546A (ja) | 2023-12-01 |
Family
ID=82593783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022082383A Active JP7106782B1 (ja) | 2022-05-19 | 2022-05-19 | 超音波映像装置および接合ウェハへの液体浸入防止方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230375507A1 (ja) |
JP (1) | JP7106782B1 (ja) |
KR (1) | KR20230161896A (ja) |
CN (1) | CN117092215A (ja) |
DE (1) | DE102023204538A1 (ja) |
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-
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- 2022-05-19 JP JP2022082383A patent/JP7106782B1/ja active Active
-
2023
- 2023-05-15 DE DE102023204538.9A patent/DE102023204538A1/de active Pending
- 2023-05-16 US US18/198,221 patent/US20230375507A1/en active Pending
- 2023-05-17 CN CN202310557394.XA patent/CN117092215A/zh active Pending
- 2023-05-18 KR KR1020230064150A patent/KR20230161896A/ko unknown
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20230375507A1 (en) | 2023-11-23 |
DE102023204538A1 (de) | 2023-11-23 |
CN117092215A (zh) | 2023-11-21 |
KR20230161896A (ko) | 2023-11-28 |
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