KR102106089B1 - Oled 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치 - Google Patents
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Abstract
트랜스듀서의 신뢰성을 수치로 확인하고, 확인한 신뢰성 수치를 기초로 신호 감소를 자동으로 보정하여 항상 동일한 검출 조건에서 비파괴검사가 이루어질 수 있도록 한 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치에 관한 것으로서, 표준 검사대상에 물을 흘려준 상태에서 물이 흐르는 표준 검사대상에 초음파를 발신하고, 표준 검사대상의 밀도 차에 의해 반사된 신호를 성능 검사 신호로 출력하는 검사신호 획득부 및 검사신호 획득부에서 획득한 성능 검사신호로부터 최대진폭을 추출하고, 추출한 최대진폭을 검사 데이터로 가공한 후 기준 데이터와 비교하여 그 차이에 따라 신뢰성을 판단하고, 보상 데이터를 산출하여 영상 처리기로 출력하는 성능 보상기를 포함하여, OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치를 구현한다.
Description
본 발명은 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 트랜스듀서의 신뢰성을 수치로 확인하고, 확인한 신뢰성 수치를 기초로 신호 감소를 자동으로 보정하여 항상 동일한 검출 조건에서 비파괴검사가 이루어질 수 있도록 한 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치들 중, 유기 발광 디스플레이(OLED) 장치는 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어 차세대 디스플레이 장치로서 주목을 받고 있다.
유기 발광 디스플레이 장치와 같은 표시장치의 디스플레이 패널은 제작 시 다양한 형태의 결함이 발생할 수 있으며, 이와 같은 디스플레이 패널의 이물이나 번짐(얼룩) 및 표면 흠집, 기포 등은 디스플레이의 성능에 악영향을 끼치므로 사전검사를 통해 철저히 검출 및 제거되어야 한다.
특히, OLED 패널에 기포가 발생한 것을 사전에 검출하지 못하고, 이를 이용하여 디스플레이 장치를 제작할 경우, 불량이 발생하여 매우 큰 손실을 유발하므로, 디스플레이 장치를 제작하기 이전에 OLED 패널의 기포를 사전에 검출하는 것은 매우 중요하다 할 것이다.
디스플레이 패널 검사 방법은 일반적으로 육안으로 이물 등을 찾아내는 매크로(Macro) 검사 방법과 현미경을 이용하여 불량 상태를 세밀하게 찾아내는 마이크로(Micro) 검사 방법을 주로 이용한다.
그러나 육안 검사는 정밀성이 떨어지고, 현미경 검사는 검사 시간이 많이 소요되는 단점이 있어, 새로운 검사 방법들이 요구되고 있다.
한편, 디스플레이 패널의 검사 방법에 대한 종래의 기술이 하기의 <특허문헌 1> 내지 <특허문헌 > 에 개시되어 있다.
<특허문헌 1> 에 개시된 종래기술은 디스플레이 패널의 제1면과 마주보도록 형성되는 3D 센서, 디스플레이 패널의 제2면과 마주보도록 형성되는 영상 획득부를 이용하여, 제1면과 제2면의 결함을 동시에 검사할 수 있는 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 방법을 제공한다.
또한, <특허문헌 2> 에 개시된 종래기술은 이물질 촬영을 위한 카메라를 이용하고, 평판 디스플레이 패널의 두께를 다수개의 높이로 분할한 후 분할된 다수개의 높이의 각각의 중심선에 카메라의 초점을 정렬시켜 촬영함으로써 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있도록 하여, 평판 디스플레이 패널의 이물질을 검사한다.
또한, <특허문헌 3> 에 개시된 종래기술은 빛이 투과할 수 있는 투과성 디스플레이용 패널을 떠받칠 수 있는 턴테이블, 턴테이블을 회전시키는 턴테이블 회전유닛, 턴테이블의 상면에 배치되는 복수의 백라이트, 턴테이블에 설치되어 복수의 백라이트에 전원을 공급하는 전원 공급유닛, 복수의 투과성 패널 검사카메라, 각각의 투과성 패널 검사카메라가 투과성 디스플레이용 패널의 여러 부분을 차례로 촬영할 수 있도록 각각의 투과성 패널 검사카메라를 이동시키는 복수의 투과성 패널 검사카메라 이동유닛, 복수의 투과성 패널 검사카메라로부터 촬영 이미지를 받아 이를 분석하고, 장치의 전반적인 동작을 제어하는 제어유닛을 포함하여 디스플레이 패널의 검사장치를 구현한다.
이러한 구성을 통해 각종 디스플레이용 패널을 연속적으로 신속하게 검사할 수 있는 디스플레이용 패널의 검사장치를 제공한다.
또한, <특허문헌 4> 에 개시된 종래기술은 빛이 통과할 수 있는 복수의 패널 안착부를 갖는 패널 안착 테이블, 패널 안착 테이블을 회전시키는 테이블 회전장치, 광 투과성 디스플레이용 패널의 이미지를 획득하기 위한 검사 카메라를 이용하여, 각종 광 투과성 디스플레이용 패널을 연속적으로 신속하게 검사하게 된다.
그러나 상기와 같은 종래기술들은 카메라와 같은 비전 장치를 이용하여 디스플레이 패널을 검사하는 방식으로서, 비전 카메라로 OLED 패널의 외부 검사는 가능하나 내부의 기포를 검사하는 데는 제약이 있다.
따라서 근래에는 OLED 패널의 내부의 기포를 검사하는 다른 방법으로서, 초음파 프로브를 이용하여 초음파 방식으로 기포를 검출하는 방식도 제안되고 있다.
초음파를 이용하여 OLED 패널을 비파괴 방식으로 검사하는 방식은, 검사 대상(OLED 패널)에 물을 흘려주고, 초음파 프로브인 트랜스듀서를 이용하여 물이 흐르는 검사 대상에 초음파를 발신하고, 검사 대상의 밀도 차에 의해 반사된 신호를 기포 검출 신호로 검출한 후, 영상 처리기를 통해 검출된 기포 검출 신호를 영상으로 변환하여 표출하는 방식을 이용한다.
그러나 이러한 초음파 프로브인 트랜스듀서를 이용하여 OLED 패널의 기포를 비파괴 방식으로 검사하는 기술은, 장비의 사용 시간이나 검사 횟수에 따라 특성이 변화하여 성능 열화로 발생하는 트랜스듀서의 특성 감소를 수동 스케일링 방식으로 보상하므로, 트랜스듀서의 성능 열화를 보상하는 작업이 불편하고, 수동 작업에 의한 보상이므로 정확성도 떨어져 OLED 패널 검사의 정밀성을 떨어뜨리는 단점이 있다.
통상, 검사자는 초음파 프로브의 사용 시간이나 검사 횟수 등을 경험치로 활용하여 초음파 프로브의 수동 스케일링이나 교체 시점을 결정하는 데, 이러한 초음파 프로브의 수동 스케일링 및 교체 시점은 정확하지 않으며, 때로는 그 특성 열화가 심하지 않아 사용 가능한 시점에서도 초음파 프로브를 교체하는 경우가 빈번하여 자원 낭비를 초래하기도 한다.
따라서 본 발명은 상기와 같은 OLED 패널을 비파괴검사인 초음파 방식으로 검사하는 종래기술에서 발생하는 제반 문제점을 해결하기 위해서 제안된 것으로서, 트랜스듀서의 신뢰성을 수치로 확인하고, 확인한 신뢰성 수치를 기초로 신호 감소를 자동으로 보정하여 항상 동일한 검출 조건에서 비파괴검사가 이루어질 수 있도록 한 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 트랜스듀서의 최대 진폭(peak amplitude)을 수치로 획득하고, 획득한 값에 따라 감소 값을 정량적으로 보상하여 트랜스듀서를 이용한 비파괴검사의 신뢰성을 확보하도록 한 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치는, 표준 검사대상에 물을 흘려준 상태에서 물이 흐르는 표준 검사대상에 초음파를 발신하고, 표준 검사대상의 밀도 차에 의해 반사된 신호를 성능 검사 신호로 출력하는 검사신호 획득부; 상기 검사신호 획득부에서 획득한 성능 검사신호로부터 최대진폭을 추출하고, 추출한 최대진폭을 검사 데이터로 가공한 후 기준 데이터와 비교하여 그 차이에 따라 신뢰성을 판단하고, 보상 데이터를 산출하여 영상 처리기로 출력하는 성능 보상기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기에서 표준 검사대상은 액정표시장치 패널 또는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 패널인 것을 특징으로 한다.
상기에서 검사신호 획득부는 초음파 펄스를 발생하고, 반사된 초음파 신호를 전기신호로 변환하는 펄스/리시버; 상기 펄스/리시버에서 발생한 초음파를 표준 검사대상에 발신하고, 상기 표준 검사대상으로부터 반사된 신호를 수신하여 상기 펄스/리시버에 전달하는 프로브; 상기 펄스/리시버에서 수신한 전기신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 성능 보상기에 전달하는 아날로그/디지털 변환기를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기에서 프로브는 발생한 초음파를 상기 표준 검사대상으로 발신하고, 표준 검사대상으로부터 반사된 신호를 수신하여 전기신호로 변환하는 트랜스듀서(Transducer)를 이용하는 것을 특징으로 한다.
상기에서 성능 보상기는 상기 검사신호 획득부에서 획득한 성능 검사신호로부터 최대진폭 데이터를 추출하는 최대진폭 획득부; 상기 최대진폭 획득부에서 획득한 최대진폭 데이터를 검사 데이터로 가공하는 데이터 변환부; 상기 데이터 변환부에서 변환된 데이터와 기준 데이터를 비교하여 신뢰성을 판단하는 신뢰성 판단부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기에서 성능 보상기는 상기 신뢰성 판단부에서 판단한 신뢰성 판단 값을 기준으로 트랜스듀서의 감소를 보상하기 위한 보상 데이터를 산출하는 보상 데이터 산출부; 상기 보상 데이터 산출부에서 산출한 보상 데이터를 영상 처리기로 출력하는 보상값 출력부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기에서 데이터 변환부는 상기 최대진폭 획득부에서 획득한 최대 진폭을 기초로 평균값, 표준 편차, 3σ를 신뢰성 판단 데이터로 가공하는 것을 특징으로 한다.
상기에서 영상 처리기는 상기 성능 보상기에서 전달되는 보상 데이터를 기초로 피크 레인지(Peak range)를 소프트웨어적으로 변경하여, 신호 감소가 발생하여도 자동 보정을 통해 검출 조건을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 한다.
상기에서 영상 처리기는 보상 데이터에 따라 피크 레인지를 소프트웨어적으로 감소시켜 자동 보정을 수행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면 트랜스듀서의 성능 열화를 수치로 확인하고, 확인한 신뢰성 수치를 기초로 신호 감소를 자동으로 보정하여 항상 동일한 검출 조건에서 비파괴검사를 정확하게 구현할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치의 구성도,
도 2는 도 1의 성능 보상기의 실시 예 블록 구성도,
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에서 트랜스듀서의 최대 진폭 감소 전후 상태의 그래프와 평균, 표준편차 및 3σ의 비교표,
도 4는 본 발명에서 트랜스듀서의 진폭 크기에 따른 스케일 조정 예시그래프,
도 5a는 스케일 조정 전 트랜스듀서 성능저하에 따른 최대 진폭 감소율 그래프,
도 5b는 트랜스듀서 성능 저항에 따른 스케일 레벨 조정값의 예시그래프,
도 6은 본 발명에서 스케일 조정에 따른 검출 사이즈 도표이다.
도 2는 도 1의 성능 보상기의 실시 예 블록 구성도,
도 3a 내지 도 3c는 본 발명에서 트랜스듀서의 최대 진폭 감소 전후 상태의 그래프와 평균, 표준편차 및 3σ의 비교표,
도 4는 본 발명에서 트랜스듀서의 진폭 크기에 따른 스케일 조정 예시그래프,
도 5a는 스케일 조정 전 트랜스듀서 성능저하에 따른 최대 진폭 감소율 그래프,
도 5b는 트랜스듀서 성능 저항에 따른 스케일 레벨 조정값의 예시그래프,
도 6은 본 발명에서 스케일 조정에 따른 검출 사이즈 도표이다.
이하 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치의 구성도로서, 기포 검출 대상인 표준 검사대상(10), 상기 표준 검사대상(10)에 물을 흘려주는 물 공급부(20), 표준 검사대상(10)에 물을 흘려준 상태에서 물이 흐르는 표준 검사대상(10)에 초음파를 발신하고, 표준 검사대상(10)의 밀도 차에 의해 반사된 신호를 성능 검사 신호로 출력하는 검사신호 획득부(30), 상기 검사신호 획득부(30)에서 획득한 성능 검사신호로부터 최대진폭을 추출하고, 추출한 최대진폭을 검사 데이터로 가공한 후 기준 데이터와 비교하여 그 차이에 따라 신뢰성을 판단하고, 보상 데이터를 산출하여 영상 처리기(50)로 출력하는 성능 보상기(40)를 포함한다.
상기 표준 검사대상(10)은 액정표시장치 패널 또는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 패널을 의미한다.
상기 물 공급부(20)는 검사용 물을 표준 검사대상(10)에 공급해주는 입수부(21), 상기 입수부(21)로부터 공급된 물을 상기 표준 검사대상(10)에 흘려주는 분사부(22)를 포함한다.
또한, 상기 검사신호 획득부(30)는 초음파 펄스를 발생하고, 반사된 초음파 신호를 전기신호로 변환하는 펄스/리시버(32), 상기 펄스/리시버(32)에서 발생한 초음파를 표준 검사대상(10)에 발신하고, 상기 표준 검사대상(10)으로부터 반사된 신호를 수신하여 상기 펄스/리시버(32)에 전달하는 프로브(probe)(31), 상기 펄스/리시버(32)에서 수신한 전기신호를 디지털 신호로 변환하여 출력하는 아날로그/디지털 변환기(33)를 포함한다.
여기서 프로브(31)는 초음파를 발신하고, 반사된 초음파 신호를 수신하기 위한 다양한 장치로 구현할 수 있으며, 본 발명에서는 초음파를 상기 표준 검사대상(10)으로 발신하고, 표준 검사대상(10)으로부터 반사된 신호를 수신하여 전기신호로 변환하는 트랜스듀서(Transducer)를 이용하는 것을 예시로 설명한다.
상기 성능 보상기(40)는 상기 검사신호 획득부(30)에서 획득한 성능 검사신호로부터 최대진폭 데이터를 추출하는 최대진폭 획득부(41), 상기 최대진폭 획득부(41)에서 획득한 최대진폭 데이터를 검사 데이터로 가공하는 데이터 변환부(42), 상기 데이터 변환부(42)에서 변환된 데이터와 기준 데이터를 비교하여 신뢰성을 판단하는 신뢰성 판단부(43), 상기 신뢰성 판단부(43)에서 판단한 신뢰성 판단 값을 기준으로 트랜스듀서(프로브)(31)의 감소를 보상하기 위한 보상 데이터를 산출하는 보상 데이터 산출부(44), 상기 보상 데이터 산출부(44)에서 산출한 보상 데이터를 영상 처리기(50)로 출력하는 보상값 출력부(45)를 포함한다.
상기 데이터 변환부(42)는 상기 최대진폭 획득부(41)에서 획득한 최대 진폭을 기초로 평균값, 표준 편차, 3σ를 신뢰성 판단 데이터로 가공한다.
또한, 상기 영상 처리기(50)는 상기 성능 보상기(40)에서 전달되는 보상 데이터를 기초로 피크 레인지(Peak range)를 소프트웨어적으로 변경하여, 신호 감소가 발생하여도 자동 보정을 통해 검출 조건을 일정하게 유지한다. 이러한 영상 처리기(50)는 보상 데이터에 따라 피크 레인지(peak range)를 소프트웨어(S/W)적으로 감소시켜 자동 보정을 수행한다.
여기서 영상 처리기(50)는 표준 검사대상으로부터 획득한 영상 신호를 처리하여 기포 판정용 영상으로 변환하여 화면에 표시해주는 장치로서, 초음파 검사를 이용하여 기포나 검사 대상의 결함을 검사하기 위해 기본적으로 구비되는 영상 처리 장치이다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치의 동작을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
본 발명은 표준 검사대상(10)에 초음파를 발신하고 반사된 초음파를 수신하는 역할을 하는 프로브(트랜스듀서)의 사용에 따른 성능 열화를 보상하기 위한 것이다. 이를 위해, 검사 이전에 트랜스듀서의 성능을 수치로 확인하고, 확인한 수치에 따라 성능 열화 상태를 분석하며, 성능 분석 결과 성능 감소로 판단되면 그 성능 저하만큼 소프트웨어적으로 자동 조정(scaling)을 하여, 항상 동일한 조건으로 검사대상을 검사하기 위한 것이다.
이를 위해, 표준 검사대상(10)인 OLED 패널을 검사 위치에 안착시킨다. 여기서 표준 검사대상(10)은 트랜스듀서의 성능 감소를 검사하기 위해서 사용되는 OLED 패널을 의미한다.
물 공급부(20)를 통해 표준 검사대상(10)에 물을 흘려주면서, 검사신호 획득부(30)내의 펄스/리시버(32)에서 고주파 초음파에 해당하는 펄스를 발생하여 프로브(31)에 전달한다. 프로브(31)는 트랜스듀서와 같은 장치를 이용하여, 상기 전달되는 고주파 초음파를 동일 위에서 일정 시간(예를 들어, 수초) 표준 검사대상(10)에 발신한다. 이후, 표준 검사대상(10)으로부터 반사된 초음파 신호를 상기 프로브(31)에서 수신하여 상기 펄스/리시버(32)에 전달한다.
여기서 본 발명은 검사 대상의 기포나 결함을 이미지 형태로 측정하기 위해서, 비파괴 검사 방식인 초음파를 이용하는 비파괴 검사장비에 적용된다. 초음파를 이용하는 검사를 방식으로서, 수침 식 방식, Waterfall 방식, Waterflume 방식이 있으며, 본 발명에서는 Waterfall 방식을 적용하여 검사 대상을 검사하는 것으로 가정한다.
이후, 표준 검사대상(10)에 포함된 기포로부터 반사되는 초음파는 프로브(31)에서 수신되고, 프로브(31)는 반사된 초음파를 전기적인 신호로 변환하여 펄스/리시버(32)에 전달한다. 아날로그/디지털 변환기(33)는 상기 펄스/리시버(32)를 통해 전달되는 아날로그 전기신호를 그에 대응하는 디지털 신호로 변환하여 성능 검사신호로 성능 보상기(40)에 출력한다.
상기 성능 보상기(40)의 최대진폭(peak amplitude) 획득부(41)는 상기 검사신호 획득부(30)에서 획득한 성능 검사신호로부터 최대진폭 데이터를 추출한다. 여기서 성능 검사신호는 동일 위치에서 수초 동안 획득하는 것이 바람직하다.
이어, 데이터 변환부(42)는 상기 최대진폭 획득부(41)에서 획득한 최대진폭 데이터를 검사 데이터로 가공한다. 여기서 데이터 변환부(42)는 상기 최대진폭 획득부(41)에서 획득한 최대 진폭을 기초로 평균값, 표준 편차, 3σ를 신뢰성 판단 데이터로 가공한다.
다음으로, 신뢰성 판단부(43)는 상기 데이터 변환부(42)에서 변환된 데이터와 기준 데이터를 비교하여 신뢰성을 판단한다.
도 3a는 프로브(31)인 트랜스듀서의 성능이 최상인 상태에서의 일정 시간 획득한 최대 진폭 신호의 예시이며, 도 3b는 트랜스듀서의 사용에 따라 성능이 어느 정도 열화된 상태에서 일정 시간 획득한 최대 진폭 신호의 예시이다. 도 3a 및 도 3b에 적색의 점선 원으로 표시된 부분이 최대 진폭이다.
이를 트랜스듀서 신뢰성 판단을 위한 신뢰성 판단 데이터로 변환하며, 도 3c와 같다.
예컨대, 트랜스듀서의 성능 감소 이전에 평균은 80mV, 표준 편차는 0.94, 3σ는 2.83이었으나, 트랜스듀서의 성능 감소로 평균은 50mV, 표준 편차는 0.97, 3σ는 2.91이 됨을 알 수 있다. 다시 말해, 트랜스듀서의 성능 감소에 따라 최대 진폭의 평균이 감소하고, 표준 편차 및 3σ는 증가함을 알 수 있다.
이어, 보상 데이터 산출부(44)는 상기 신뢰성 판단부(43)에서 판단한 신뢰성 판단 값을 기준으로 트랜스듀서(프로브)(31)의 감소를 보상하기 위한 보상 데이터를 산출한다. 즉, 트랜스듀서의 감소를 보상하기 위한 보상데이터를 정량적인 데이터로 취득한다.
예컨대, 도 4에 도시한 바와 같이, 감소 전 최대 진폭이 80mV일 때, 영상의 그레이 레벨은 205(8bit resolution 기준)이며, 트랜스듀서의 성능 감소로 최대 진폭이 50mV로 감소되면, 피크 레인지 100을 62.5%로 감소 설정한다. 이렇게 감소 설정되는 값이 보상 데이터이다. 여기서 피크 레인지를 감소 설정하여도 영상의 그레이 레벨은 감소 전과 동일하게 205를 유지한다. 따라서 트랜스듀서의 성능 열화로 신호가 감소하여도(진폭 감소), 상기와 같은 자동 보상(scaling)을 통하여 동일한 검출 조건을 구현한다.
상기 보상데이터 산출부(44)에서 산출된 보상 데이터를 보상값 출력부(45)를 통해 영상 처리기(50)에 전달된다. 여기서 보상값 출력부(45)는 영상 처리기(50)와 데이터를 인터페이스하기 위한 데이터 인터페이스 수단을 의미한다.
상기 영상 처리기(50)는 상기 성능 보상기(40)에서 전달되는 보상 데이터를 기초로 피크 레인지(Peak range)를 소프트웨어적으로 변경하여, 신호 감소가 발생하여도 자동 보정을 통해 검출 조건을 일정하게 유지한다. 이러한 영상 처리기(50)는 보상 데이터에 따라 피크 레인지(peak range)를 소프트웨어(S/W)적으로 감소시켜 자동 보정을 수행한다.
이후, 실제 검사 대상을 검사하는 경우, 검사신호 획득부(30)에서 획득한 검사 신호는 영상 처리기(50)에 전달되고, 영상 처리기(50)는 획득한 영상 신호를 처리하여 기포 판정용 영상으로 변환하여 화면에 표시해준다. 이때 피크 레인지가 감소로 설정된 상태이므로, 입력되는 검사 신호의 시그널이 감소하여도 이를 자동으로 보정하여, 항상 동일한 검출 조건을 구현하여, 검사 대상의 검사에 정확성을 도모한다.
도 5a는 트랜스듀서의 성능 감소에 따라 검사신호 출력의 사이즈(um)가 줄어드는 것을 나타낸 것이며, 도 5b는 트랜스듀서의 성능 저하에 따른 스케일 레벨(보상 데이터)의 조정 값을 나타낸 것이다. 즉, 트랜스듀서의 성능 저하에 따라 스케일 레벨(피크 레인지)을 감소시켜, 동일한 검출 조건을 만든다.
도 5c는 스케일 조정에 따른 검사 신호의 최대 진폭 검출 사이즈의 보상 예시이다.
이상 본 발명자에 의해서 이루어진 발명을 상기 실시 예에 따라 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시 예에 한정되는 것은 아니고 그 요지를 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경 가능한 것은 이 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다.
본 발명은 OLED 패널의 기포를 비파괴 검사 방식으로 검출하는 기술에 적용된다.
10: 표준 검사대상(OLED 패널)
20: 물 공급부
21: 입수부
22: 분사부
30: 검사신호 획득부
31: 프로브(Probe)(트랜스듀서)
32: 펄스/리시브
33: 아날로그/디지털 변환기
40: 성능 보상기
41: 최대진폭 획득부
42: 데이터 변환부
43: 신뢰성 판단부
44: 보상데이터 산출부
45: 보상값 출력부
50: 영상 처리기
20: 물 공급부
21: 입수부
22: 분사부
30: 검사신호 획득부
31: 프로브(Probe)(트랜스듀서)
32: 펄스/리시브
33: 아날로그/디지털 변환기
40: 성능 보상기
41: 최대진폭 획득부
42: 데이터 변환부
43: 신뢰성 판단부
44: 보상데이터 산출부
45: 보상값 출력부
50: 영상 처리기
Claims (9)
- 디스플레이 패널의 기포를 비파괴 검사 방식으로 검출하는 비파괴검사기에 적용된 프로브(트랜스듀서)의 성능 열화를 보상하기 위한 장치로서,
표준 검사대상에 물을 흘려준 상태에서 물이 흐르는 표준 검사대상에 초음파를 발신하고, 표준 검사대상의 밀도 차에 의해 반사된 신호를 성능 검사 신호로 출력하는 검사신호 획득부; 및
상기 검사신호 획득부에서 획득한 성능 검사신호로부터 최대진폭을 추출하고, 추출한 최대진폭을 검사 데이터로 가공한 후 기준 데이터와 비교하여 그 차이에 따라 신뢰성을 판단하고, 보상 데이터를 산출하여 영상 처리기로 출력하는 성능 보상기를 포함하고,
상기 성능 보상기는 상기 검사신호 획득부에서 획득한 성능 검사신호로부터 최대진폭 데이터를 추출하는 최대진폭 획득부; 상기 최대진폭 획득부에서 획득한 최대진폭 데이터를 검사 데이터로 가공하는 데이터 변환부; 상기 데이터 변환부에서 변환된 데이터와 기준 데이터를 비교하여 신뢰성을 판단하는 신뢰성 판단부; 상기 신뢰성 판단부에서 판단한 신뢰성 판단 값을 기준으로 트랜스듀서의 감소를 보상하기 위한 보상 데이터를 산출하는 보상 데이터 산출부; 상기 보상 데이터 산출부에서 산출한 보상 데이터를 영상 처리기로 출력하여 피크 레인지(Peak range)의 변경을 통해 신호 감소가 발생하여도 검출 조건을 일정하게 유지하도록 하는 보상값 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치.
- 청구항 1에서, 상기 표준 검사대상은 액정표시장치 패널 또는 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 패널인 것을 특징으로 하는 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치.
- 청구항 1에서, 상기 검사신호 획득부는 초음파 펄스를 발생하고, 반사된 초음파 신호를 전기신호로 변환하는 펄스/리시버; 상기 펄스/리시버에서 발생한 초음파를 표준 검사대상에 발신하고, 상기 표준 검사대상으로부터 반사된 신호를 수신하여 상기 펄스/리시버에 전달하는 프로브; 상기 펄스/리시버에서 수신한 전기신호를 디지털 신호로 변환하여 상기 성능 보상기에 전달하는 아날로그/디지털 변환기를 포함하는 것을 특징으로 하는 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치.
- 청구항 3에서, 상기 프로브는 발생한 초음파를 상기 표준 검사대상으로 발신하고, 표준 검사대상으로부터 반사된 신호를 수신하여 전기신호로 변환하는 트랜스듀서(Transducer)를 이용하는 것을 특징으로 하는 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치.
- 삭제
- 삭제
- 청구항 1에서, 상기 데이터 변환부는 상기 최대진폭 획득부에서 획득한 최대 진폭을 기초로 평균값, 표준 편차, 3σ를 신뢰성 판단 데이터로 가공하는 것을 특징으로 하는 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치.
- 청구항 1에서, 상기 영상 처리기는 상기 성능 보상기에서 전달되는 보상 데이터를 기초로 피크 레인지(Peak range)를 소프트웨어적으로 변경하여, 신호 감소가 발생하여도 자동 보정을 통해 검출 조건을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 하는 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치.
- 청구항 8에서, 상기 영상 처리기는 보상 데이터에 따라 피크 레인지를 소프트웨어적으로 감소시켜 자동 보정을 수행하는 것을 특징으로 하는 OLED 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180105128A KR102106089B1 (ko) | 2018-09-04 | 2018-09-04 | Oled 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020180105128A KR102106089B1 (ko) | 2018-09-04 | 2018-09-04 | Oled 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치 |
Publications (2)
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| KR20200027167A KR20200027167A (ko) | 2020-03-12 |
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ID=69803197
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012068209A (ja) | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Choonpa Zairyo Shindan Kenkyusho:Kk | 超音波材料診断方法及び装置 |
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|---|---|---|---|---|
| JPH0526857A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-02 | Toshiba Corp | 超音波検査方法 |
| KR101146721B1 (ko) | 2011-12-21 | 2012-05-17 | 한동희 | 디스플레이용 패널의 검사장치 |
| KR101146722B1 (ko) | 2012-02-29 | 2012-05-17 | 한동희 | 디스플레이용 패널의 검사장치 |
| KR101696075B1 (ko) * | 2015-06-15 | 2017-01-13 | 주식회사 포스코 | 시험체의 결함 측정장치 및 방법 |
| KR101584767B1 (ko) | 2015-06-16 | 2016-01-12 | 주식회사 미래컴퍼니 | 디스플레이 패널 검사 장치 및 디스플레이 패널 검사 방법 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2012068209A (ja) | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Choonpa Zairyo Shindan Kenkyusho:Kk | 超音波材料診断方法及び装置 |
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