KR101789651B1 - 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법 - Google Patents

평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법에 관한 것으로, 평판 디스플레이 판넬를 수직방향으로 다수개의 제1 내지 제n분할층으로 분할하며, 다수개의 제1 내지 제n분할층을 각각 수평방향으로 다수개의 제1 내지 제m분할영역부로 분할한 후 다수개의 제1 내지 제m분할영역부와 다수개의 제1 내지 제n분할층의 각각의 카메라 초점 정렬라인으로 카메라가 이동될 수 있도록 카메라의 이동 간격을 설정하는 초기 설정 단계; 초기 설정이 완료되면 카메라를 이용해 제1분할층의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부에서 제n분할층의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부 순으로 촬영하여 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지를 순차적으로 발생시키는 단계; 및 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지가 순차적으로 발생되면 이를 제어기에서 순차적으로 수신받아 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 촬영된 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지를 병합하여 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지로 합성한 후 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지를 병합하여 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지를 발생시키는 것을 특징으로 한다.

Description

평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법{Method for detecting foreign material of flat display panel}
본 발명은 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법에 관한 것으로, 특히 평판 디스플레이 판넬의 두께를 다수개의 높이로 분할한 후 분할된 다수개의 높이의 각각의 중심선에 카메라의 초점을 정렬시켜 촬영함으로써 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있는 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법에 관한 것이다.
평판 디스플레이 판넬(flat display panel)은 LCD(liquid crystal display)와 OLED 디스플레이(organic light emitting diode display) 등이 있으며, 필름(film)이나 글라스(glass) 등을 적층하여 형성된다. 평판 디스플레이 판넬은 필름이나 글라스등을 적층하여 형성하는 과정 중에 이물질 등이 포함되어 적층될 수 있으며, 이러한 이물질은 평판 디스플레이 판넬의 불량을 유발시킬 수 있어 제품 신뢰성 개선을 위해 이물질 등의 검사가 요구된다.
한국등록특허 제1311981호(특허문헌 1)는 평판 디스플레이 판넬 검사 장치 및 방법에 관한 것으로, 한국등록특허 제1311981호에 공개된 평판 디스플레이 판넬 검사 방법은 먼저, 스테이지 상에 검사할 평판 디스플레이 판넬를 올리는 제1단계를 수행한다. 제1단계 후에 평판 디스플레이 판넬에 대해 서로 다른 심도의 카메라 초점을 갖는 복수의 광학 기구를 이용하여 평판 디스플레이 판넬를 촬영하여 이미지를 획득하는 제2단계를 수행한다. 제2단계가 수행되면 제2단계에서 획득된 각각의 촬영 이미지를 조합하여 평판 디스플레이 판넬의 흠결을 판단하는 제3단계를 수행한다. 이러한 제3단계는 제1광학 기구를 통해 획득한 전면판넬 상면의 이물 및 기포 이미지와 제2광학 기구를 통해 획득한 전면판넬과 후면판넬 사이의 레진층 이미지를 중첩한 후에, 전면판넬 상면의 이물 및 기포 이미지를 패턴 매칭하여 제거한 후에 전면판넬과 후면판넬 사이의 레진층에 존재하는 기포 및 이물질을 검출하게 된다.
한국등록특허 제1311981호와 같은 종래의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법은 평판 디스플레이 판넬에 대해 서로 다른 심도의 카메라를 이용함으로써 이물질의 수직방향의 두께가 큰 경우에 카메라의 초점이 흐려지는 영역이 발생되어 신뢰성 있는 이미지를 검출할 수 없는 문제점이 있다.
: 한국등록특허 제1311981호(등록일: 2013.09.17.)
본 발명의 목적은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 평판 디스플레이 판넬의 두께를 다수개의 높이로 분할한 후 분할된 다수개의 높이의 각각의 중심선에 카메라의 초점을 정렬시켜 촬영함으로써 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있는 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있도록 함으로써 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 작업의 신뢰성을 개선시킬 수 있는 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법을 제공함에 있다.
본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법은 평판 디스플레이 판넬를 수직방향으로 다수개의 제1 내지 제n분할층으로 분할하며, 다수개의 제1 내지 제n분할층을 각각 수평방향으로 다수개의 제1 내지 제m분할영역부로 분할한 후 다수개의 제1 내지 제m분할영역부와 다수개의 제1 내지 제n분할층의 각각의 카메라 초점 정렬라인으로 카메라가 이동될 수 있도록 카메라의 이동 간격을 설정하는 초기 설정 단계; 상기 초기 설정이 완료되면 카메라를 이용해 제1분할층의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부에서 제n분할층의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부 순으로 촬영하여 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지를 순차적으로 발생시키는 단계; 및 상기 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지가 순차적으로 발생되면 이를 제어기에서 순차적으로 수신받아 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 촬영된 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지를 병합하여 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지로 합성한 후 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지를 병합하여 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지를 발생시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법은 평판 디스플레이 판넬의 두께를 다수개의 높이로 분할한 후 분할된 다수개의 높이의 각각의 중심선에 카메라의 초점을 정렬시켜 촬영함으로써 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있는 이점이 있으며, 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있도록 함으로써 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 작업의 신뢰성을 개선시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법을 나타낸 흐름도,
도 2는 도 1에 도시된 초기 설정에서 평판 디스플레이 판넬를 수평 및 수직방향으로 분할하는 방법을 나타낸 평판 디스플레이 판넬의 사시도,
도 3은 도 1에 도시된 본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법이 적용된 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사장치의 개략적인 구성을 나타낸 측면도,
도 4는 도 1에 도시된 본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법에 의해 촬영된 이미지들을 나타낸 표.
이하, 본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1 내지 도 3에서와 같이 본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법은 먼저, 평판 디스플레이 판넬(10)를 수직방향(Z)으로 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)으로 분할하며, 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)을 각각 수평방향(X)으로 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)로 분할한 후 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)와 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)의 각각의 카메라 초점 정렬라인(FC1,FC2,...,FCn)으로 카메라(120)가 이동될 수 있도록 카메라(120)의 이동 간격을 설정하는 초기 설정을 수행한다(S10). 초기 설정이 완료되면 카메라(120)를 이용해 제1분할층(D1)의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)에서 제n분할층(Dn)의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm) 순으로 촬영하여 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)의 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm: 도 4에 도시됨)를 순차적으로 발생시킨다(S20). 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)의 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)가 순차적으로 발생되면 이를 제어기(110)에서 순차적으로 수신받아 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별로 각각 촬영된 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)의 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)를 병합하여 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지(t1M,t2M,...,tNM: 도 4에 도시됨)로 합성한 후 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지(t1M,t2M,...,tNM)를 병합하여 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지를 발생시킨다(S30).
본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법을 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 평판 디스플레이 판넬(10)의 이물질 검사 방법은 먼저, 도 1 및 도 2에서와 같이 평판 디스플레이 판넬(10)를 수직방향(Z)으로 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)으로 분할하며, 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)을 각각 수평방향(X)으로 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)로 분할한 후 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)와 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)의 각각의 카메라 초점 정렬라인(FC1,FC2,...,FCn)으로 카메라(120)가 이동될 수 있도록 카메라(120)의 이동 간격을 설정하는 초기 설정을 수행한다(S10).
이와 같이 초기 설정은 먼저, 도 2에서와 같이 평판 디스플레이 판넬(10)를 수직방향(Z)을 기준으로 일정한 간격이 되도록 분할하여 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)으로 분할한다. 가상으로 평판 디스플레이 판넬(10)이 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)으로 분할되면 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)을 각각 수평방향(X)으로 일정한 간격이 되도록 분할하여 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)로 분할한다. 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)이 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)로 분할되면 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)의 카메라 초점 정렬라인(FC1,FC2,...,FCn)을 설정하고, 카메라 초점 정렬라인(FC1,FC2,...,FCn)은 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)의 각각의 두께의 중심에 설정된다.
이러한 초기 설정은 도 2에 도시된 평판 디스플레이 판넬(10)의 실제 외형 치수를 기준으로 분할하여 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn), 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm) 및 카메라 초점 정렬라인(FC1,FC2,...,FCn)을 설정하며, 각각이 설정되면 각각의 위치를 산출하여 제어기(110)에 저장한다. 제어기(110)는 초기 설정이 저장됨으로써 카메라(120)가 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)와 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)로 이동한 후 각 영역의 카메라 초점 정렬라인(FC1,FC2,...,FCn)에 정렬되도록 이동을 제어한다. 여기서, 수직방향(Z)은 평판 디스플레이 판넬(10)의 두께방향과 수평이 되도록 설정되며, 수평방향(X)은 평판 디스플레이 판넬(10)의 길이방향과 수평이 되도록 설정된다. 즉, 도 2에 도시된 평판 디스플레이 패널(10)은 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)와 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)로 가상적으로 분할된다.
초기 설정이 완료되면 도 1 및 도 2에서와 같이 초기 설정이 완료되면 카메라(120)를 이용해 제1분할층(D1)의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)에서 제n분할층(Dn)의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm) 순으로 촬영하여 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)의 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm: 도 4에 도시됨)를 순차적으로 발생시킨다(S20). 즉, 카메라(120)는 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)를 촬영하여 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)를 순차적으로 발생시켜 출력한다.
예를 들어, 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)는 카메라(120)를 이용해 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별 중 제1분할층(D1)의 제1분할영역부(L1)에서 제m분할영역부(Lm)를 순차적으로 촬영하여 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)의 촬영 이미지(L11,L12,...,L1n)를 순차적으로 발생시킨 후 동일하게 제2분할층(D2)에서 제n분할층(Dn)의 순으로 각각에 구비되는 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)를 촬영하여 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)를 순차적으로 발생시켜 제어기(110)로 전송한다.
카메라(120)을 이용해 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)를 순차적으로 발생시키는 상세한 방법이 도 4에 도시되어 있다.
도 4에 도시된 바와 같이 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)는 먼저, 카메라(120)를 평판 디스플레이 판넬(10)의 위치(D1,L1) 즉, 제1분할층(D1)의 제1분할영역부(L1)로 이동시킨 후 촬영하여 촬영 이미지(L11)를 촬영한다. 촬영 이미지(L11)가 촬영되면 카메라(120)는 평판 디스플레이 판넬(10)의 위치(D1,L2) 즉, 제1분할층(D1)의 제2분할영역부(L2)로 이동시킨 후 촬영하여 촬영 이미지(L12)를 촬영한다. 이러한 방법을 연속적으로 수행하여 카메라(120)를 평판 디스플레이 판넬(10)의 위치(D1,Lm) 즉, 제1분할층(D1)의 제m분할영역부(Lm)로 이동시킨 후 촬영하여 촬영 이미지(L1m)를 촬영한다. 카메라(120)는 이와 같이 촬영된 촬영 이미지(L11,L12,...,L1m)는 순차적으로 제어기(110)로 전송하며, 제어기(110)는 전송된 촬영 이미지(L11,L12,...,L1m)를 병합하여 제1층별 이미지(t1M)를 병합한다.
제어기(110)는 촬영 이미지((L11,L12,...,L1m)의 촬영이 완료되면 카메라(120)를 평판 디스플레이 판넬(10)의 위치(D2,L1) 즉, 제2분할층(D2)의 제1분할영역부(L1)로 이동시킨 후 촬영하여 촬영 이미지(L11)를 촬영한다. 촬영 이미지(L11)가 촬영되면 카메라(120)는 전술한 방법과 동일하게 수행하여 제2분할층(D2)의 제m분할영역부(Lm)를 촬영하여 촬영 이미지(L2m)를 촬영한다. 카메라(120)는 이와 같이 촬영된 촬영 이미지((L21,L22,...,L2m)는 순차적으로 제어기(110)로 전송하며, 제어기(110)는 전송된 촬영 이미지(L21,L22,...,L2m)를 병합하여 제2층별 이미지(t2M)를 병합한다.
제어기(110)는 촬영 이미지(L21,L22,...,L2m)의 촬영이 완료되면 전술한 방법과 동일하게 평판 디스플레이 판넬(10)의 위치(Dn,L1)에서 위치(Dn,Lm)까지 카메라(120)의 이송을 제어하여 카메라(120)를 이용해 촬영한다. 카메라(120)는 촬영된 촬영 이미지(Ln1, Ln2,...,Lnm)는 순차적으로 제어기(110)로 전송하며, 제어기(110)는 전송된 촬영 이미지(Ln1, Ln2,...,Lnm)를 병합하여 제2층별 이미지(tNM)를 병합한다.
이와 같이 본 발명은 카메라(120)를 이용해 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)를 촬영하여 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)를 순차적으로 발생시키기 위해 평판 디스플레이 판넬(10)의 이물질 검사장치(100)를 사용한다.
이러한 이물질 검사장치(100)는 도 3에서와 같이 제어기(110), 카메라(120), 수평이동기구(130), 카메라 수직이동기구(140) 및 평판 디스플레이 수직이동기구(150)를 포함하여 구성된다. 제어기(110)는 카메라(120), 수평이동기구(130), 카메라 수직이동기구(140) 및 평판 디스플레이 수직이동기구(150)를 전반적으로 제어하며, 수평이동기구(130)는 카메라 수직이동기구(140)나 평판 디스플레이 수직이동기구(150)를 수평방향(X)으로 스텝 이동시킴에 의해 카메라(120)나 평판 디스플레이 판넬(10)를 수평방향(X)으로 스텝 이동시킨다. 카메라 수직이동기구(140)나 평판 디스플레이 수직이동기구(150)는 각각 제어기(110)의 제어에 의해 카메라(120)나 평판 디스플레이 판넬(10)를 수직방향(Z)으로 스텝 이동시킨다. 이러한 카메라 수직이동기구(140)나 평판 디스플레이 수직이동기구(150) 중 평판 디스플레이 수직이동기구(150)는 평판 디스플레이 판넬(10)이 로딩(loading)되는 로딩 플레이트(151)를 수직방향(Z)으로 스텝 이동시킴에 의해 평판 디스플레이 판넬(10)를 수직방향(Z)으로 스텝 이동시킨다.
카메라 수직이동기구(140)는 연결부재(141)를 수직방향(Z)으로 스텝 이동시킴에 의해 카메라(120)를 수직방향(Z)으로 스텝 이동시키며, 카메라(120)는 평판 디스플레이 판넬(10)의 이물질 검사장치(100)의 카메라 수직이동기구(140)에 수직방향(Z)을 기준으로 경사지게 연결부재(141)를 개재하여 연결된다. 즉, 카메라(120)는 이물질 검사장치(100)의 카메라 수직이동기구(140)에 수직방향(Z)을 기준으로 40 내지 60도(degree) 경사지게 연결부재(141)를 개재하여 연결된다. 여기서, 수평이동기구(130), 카메라 수직이동기구(140) 및 평판 디스플레이 수직이동기구(150)는 각각 공지된 볼스크류 이송기구나 리니어 모터를 이용한 직선 이송기구가 사용된다.
이러한 이물질 검사장치(100)는 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)를 순차적으로 발생시키기 위해 카메라(120)를 평판 디스플레이 판넬(10)의 이물질 검사장치(100)의 수평이동기구(130)를 이용해 카메라 수직이동기구(140)나 평판 디스플레이 수직이동기구(150)를 수평방향(X)으로 스텝 이동시킴에 의해 카메라(120)를 수평방향(X)으로 스텝 이동키기거나 카메라 수직이동기구(140)나 평판 디스플레이 수직이동기구(150)를 이용해 카메라(120)나 평판 디스플레이(10)를 수직방향으로 스텝 이동시켜 카메라가 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)의 카메라 초점 정렬라인(FC1,FC2,...,FCn)에 정렬되도록 한다.
이와 같이 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)의 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)가 순차적으로 발생되면 이를 제어기(110)에서 순차적으로 수신받아 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)별로 각각 촬영된 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)의 촬영 이미지(L11,L12,...,Lnm)를 병합하여 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지(t1M,t2M,...,tNM: 도 4에 도시됨)로 합성한 후 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지(t1M,t2M,...,tNM)를 병합하여 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지를 발생시킨다(S30).
이와 같이 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지가 발생되면 제어기(110)는 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지, 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn) 및 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)에 각각 포함되는 다수개의 제1 내지 제m분할영역부(L1,L2,...Lm)를 이용해 평판 디스플레이 판넬(10)에 이물질이 존재하는 경우에 이물질의 위치를 산출한다. 여기서, 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지는 도 2에 도시된 평판 디스플레이 판넬(10)의 가상 이미지이며, 평판 디스플레이 판넬(10)의 가로, 세로 및 두께와 같은 정보를 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지에 매칭(matching)시킨 후 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn) 및 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)의 분할 정보를 이용해 이물질을 검사함으로써 보다 선명하고 신뢰성이 있도록 이물질을 검출할 수 있게 된다. 즉, 본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법은 수평방향(X)에 대해 경사지도록 카메라 수직이동기구(140)에 수직방향(Z)을 기준으로 경사지게 연결부재(141)를 개재하여 연결된 카메라(120)를 수평방향(X)으로 스텝 이동키기거나 카메라 수직이동기구(140)나 평판 디스플레이 수직이동기구(150)를 이용해 카메라(120)나 평판 디스플레이(10)를 수직방향으로 스텝 이동시켜 다수개의 제1 내지 제n분할층(D1,D2...,Dn)의 카메라 초점 정렬라인(FC1,FC2,...,FCn)에 정렬시킨 후 촬영함으로써 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있게 된다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법은 평판 디스플레이 판넬의 두께를 다수개의 높이로 분할한 후 분할된 다수개의 높이의 각각의 중심선에 카메라의 초점을 정렬시켜 촬영함으로써 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있으며, 이물질의 수직방향의 두께와 관계없이 이물질의 촬영 이미지를 선명하게 촬영할 수 있도록 함으로써 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 작업의 신뢰성을 개선시킬 수 있다.
본 발명의 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법은 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사장치에 적용할 수 있다.
10: 평판 디스플레이 판넬 100: 이물질 검사장치
110: 제어기 120: 카메라
130: 수평이동기구 140: 카메라 수직이동기구
150: 평판 디스플레이 수직이동기구

Claims (7)

  1. 평판 디스플레이 판넬를 수직방향으로 다수개의 제1 내지 제n분할층으로 분할하며, 다수개의 제1 내지 제n분할층을 각각 수평방향으로 다수개의 제1 내지 제m분할영역부로 분할한 후 다수개의 제1 내지 제m분할영역부와 다수개의 제1 내지 제n분할층의 각각의 카메라 초점 정렬라인으로 카메라가 이동될 수 있도록 카메라의 이동 간격을 설정하는 초기 설정 단계;
    상기 초기 설정이 완료되면 카메라를 이용해 제1분할층의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부에서 제n분할층의 다수개의 제1 내지 제m분할영역부 순으로 촬영하여 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지를 순차적으로 발생시키는 단계; 및
    상기 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지가 순차적으로 발생되면 이를 제어기에서 순차적으로 수신받아 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 촬영된 다수개의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지를 병합하여 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지로 합성한 후 다수개의 제1 내지 제n층별 이미지를 병합하여 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지를 발생시키는 단계를 포함하며,
    상기 초기 설정 단계는 평판 디스플레이 판넬를 수직방향을 기준으로 일정한 간격이 되도록 분할하여 다수개의 제1 내지 제n분할층으로 분할하고, 다수개의 제1 내지 제n분할층을 각각 수평방향으로 일정한 간격이 되도록 분할하여 다수개의 제1 내지 제m분할영역부로 분할하며, 상기 수직방향을 기준으로 일정한 간격이 되도록 분할된 다수개의 제1 내지 제n분할층의 카메라 초점 정렬라인은 각각의 두께의 중심에 설정되며, 상기 수직방향은 평판 디스플레이 판넬의 두께방향과 수평이 되도록 설정되며, 상기 수평방향은 평판 디스플레이 판넬의 길이방향과 수평이 되도록 설정되고,
    상기 촬영 이미지를 순차적으로 발생시키는 단계는 수직방향에 대해 경사지도록 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사장치의 카메라 수직이동기구에 수직방향을 기준으로 경사지게 연결되며, 카메라 수직이동기구에 수직방향을 기준으로 경사지게 연결부재를 개재하여 연결된 카메라를 이용해 다수개의 제1 내지 제n분할층별로 각각 다수개의 제1 내지 제m분할영역부를 촬영하여 촬영 이미지를 순차적으로 발생시키기 위해 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사장치의 수평이동기구를 이용해 카메라 수직이동기구나 평판 디스플레이 수직이동기구를 수평방향으로 스텝 이동시킴에 의해 카메라를 수평방향으로 스텝 이동시키거나 카메라 수직이동기구나 평판 디스플레이 수직이동기구를 이용해 카메라나 평판 디스플레이를 수직방향으로 스텝 이동시켜 카메라가 다수개의 제1 내지 제n분할층의 카메라 초점 정렬라인에 정렬되도록 하는 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 촬영 이미지를 순차적으로 발생시키는 단계는 카메라를 이용해 다수개의 제1 내지 제n분할층별 중 제1분할층의 제1분할영역부에서 제m분할영역부를 순차적으로 촬영하여 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지를 순차적으로 발생시킨 후 동일하게 제2분할층에서 제n분할층의 순으로 각각에 구비되는 제1 내지 제m분할영역부를 촬영하여 각각의 제1 내지 제m분할영역부의 촬영 이미지를 순차적으로 발생시키는 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 촬영 이미지를 순차적으로 발생시키는 단계에서 카메라는 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사장치의 카메라 수직이동기구에 수직방향을 기준으로 40 내지 60도(degree) 경사지게 연결되는 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지를 발생시키는 단계에서 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지가 발생되면 제어기에서 병합 평판 디스플레이 판넬 이미지, 다수개의 제1 내지 제n분할층 및 다수개의 제1 내지 제n분할층에 각각 포함되는 다수개의 제1 내지 제m분할영역부를 이용해 평판 디스플레이 판넬에 이물질이 존재하는 경우에 이물질의 위치를 산출하는 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법.
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190062072A (ko) 2017-11-28 2019-06-05 주식회사 디이엔티 Oled 패널의 기포검출장치
KR20190062073A (ko) 2017-11-28 2019-06-05 주식회사 디이엔티 Oled 패널 검사시 수분제거장치
KR20200027167A (ko) 2018-09-04 2020-03-12 주식회사 디이엔티 Oled 패널 비파괴검사기에 적용된 트랜스듀서 성능 열화 보상장치
KR20200027168A (ko) 2018-09-04 2020-03-12 주식회사 디이엔티 초음파 워터폴 방식으로 oled 패널의 검사시 유막 균등화장치
KR102188568B1 (ko) 2019-07-19 2020-12-09 주식회사 디이엔티 인공지능 기반의 디스플레이 패널 검사방법
WO2022025542A1 (ko) * 2020-07-29 2022-02-03 주식회사 엘지화학 라인성 결함 검사장치

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101211690B1 (ko) 2010-05-27 2012-12-12 정영석 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101211690B1 (ko) 2010-05-27 2012-12-12 정영석 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190062072A (ko) 2017-11-28 2019-06-05 주식회사 디이엔티 Oled 패널의 기포검출장치
KR20190062073A (ko) 2017-11-28 2019-06-05 주식회사 디이엔티 Oled 패널 검사시 수분제거장치
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