KR101626089B1 - 렌즈 틸트 보정 장치 및 렌즈 틸트 보정 방법 - Google Patents

Abstract

광을 조사하는 광원과, 평면 검사 패턴 및 입체 검사 패턴을 갖는 렌즈 검사 차트를 포함하는 조명 유닛과, 상기 조명 유닛과 대향되게 위치한 센서 유닛과, 상기 센서 유닛을 지지하는 제1지지대와, 렌즈 조립체를 지지하고 상기 조명 유닛과 상기 센서 유닛의 사이에 위치하는 제2지지대와, 상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 제1축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제1구동대와, 상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 상기 제1축에 직교하는 제2축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제2구동대와, 상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 센서 유닛과 상기 렌즈 조립체 사이의 거리를 조정할 수 있도록 구비된 제3구동대와, 상기 센서 유닛, 제1구동대, 제2구동대 및 제3구동대와 각각 전기적으로 연결된 제어 유닛을 포함하는 렌즈 틸트 보정 장치 및 렌즈 틸트 보정 방법에 관한 것이다.

Description

렌즈 틸트 보정 장치 및 렌즈 틸트 보정 방법{Apparatus for correcting tilt of lens and method thereof}

본 발명의 실시예들은 렌즈 틸트 보정 장치 및 렌즈 틸트 보정 방법에 대한 것이다.

최근 카메라 모듈은 렌즈 등의 광학계를 통해 입수되는 화상에 대한 정보를 디지털 신호로 변환하여 소정의 이미지 파일을 생성하는 디지털 카메라용으로 개발이 진행되고 있다. 특히, 휴대용 단말기 등에 탑재되는 디지털 카메라 모듈은 초소형 렌즈 조립체를 사용하는 데, 이러한 렌즈 조립체, 특히 그 해상도를 검사할 필요가 높아졌다.

종래에 렌즈 조립체를 검사하는 방법으로는, 투영기를 이용한 육안 검사가 사용되었는 데, 작업자 및 환경에 의해 정성적 검사가 이뤄지므로, 수율 관리에 어려움이 있고, 대량 생산에 부적합하는 등 많은 문제가 있다.

CCD 카메라를 이용한 검사 방법이 있는 데, 이는 장치 비용이 고가가 되고, 기종이 변경되었을 때에 적용되기 어려운 한계가 있다.

이미지 센서를 이용하여 검사 패턴을 촬영하는 방법이 있는 데, 이 때 렌즈의 중심과 이미지 센서의 중심을 맞추기 어렵고, 렌즈 조립체 자체의 틸팅이나, 렌즈 조립체가 안착되는 부분에서의 틸팅으로 인해 검사 시 양품으로 판정될 수 있는 렌즈 조립체가 불량으로 판정될 수 있어 장치 신뢰도가 저하되는 한계가 있었다.

상기한 문제 및/또는 한계를 해결하기 위하여, 렌즈 조립체의 틸팅으로 인한 신뢰도 저하를 최소화할 수 있는 렌즈 틸트 보정 장치 및 렌즈 틸트 보정 방법을 제공하는 데에 목적이 있다.

다른 목적은 빠른 시간 내에 렌즈 검사를 할 수 있는 렌즈 틸트 보정 장치 및 렌즈 틸트 보정 방법을 제공하는 데에 있다.

일 측면에 따르면, 광을 조사하는 광원과, 평면 검사 패턴 및 입체 검사 패턴을 갖는 렌즈 검사 차트를 포함하는 조명 유닛과, 상기 조명 유닛과 대향되게 위치한 센서 유닛과, 상기 센서 유닛을 지지하는 제1지지대와, 렌즈 조립체를 지지하고 상기 조명 유닛과 상기 센서 유닛의 사이에 위치하는 제2지지대와, 상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 제1축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제1구동대와, 상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 상기 제1축에 직교하는 제2축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제2구동대와, 상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 센서 유닛과 상기 렌즈 조립체 사이의 거리를 조정할 수 있도록 구비된 제3구동대와, 상기 센서 유닛, 제1구동대, 제2구동대 및 제3구동대와 각각 전기적으로 연결된 제어 유닛을 포함하는 렌즈 틸트 보정 장치가 제공될 수 있다.

상기 입체 검사 패턴은 상기 렌즈 조립체를 향하여 연속적으로 구비될 수 있다.

상기 입체 검사 패턴은 길이 방향에 따라 너비가 변하도록 구비된 검사 부재를 포함할 수 있다.

상기 검사 부재는 일단이 상기 렌즈 검사 차트의 가장자리에 위치하고 타단이 상기 렌즈 조립체를 향하도록 구비될 수 있다.

상기 입체 검사 패턴은 상기 렌즈 조립체를 향하여 불연속적으로 구비될 수 있는 데, 상기 렌즈 검사 차트는, 상기 평면 검사 패턴을 포함하는 제1차트와, 상기 제1차트와 이격되게 위치하고 또 다른 평면 검사 패턴을 갖는 제2차트를 포함하고, 상기 제2차트의 평면 검사 패턴은 상기 제1차트의 평면 검사 패턴에 대해 입체 검사 패턴을 형성할 수 있다.

다른 일 측면에 따르면, 평면 검사 패턴 및 입체 검사 패턴을 갖는 렌즈 검사 차트를 준비하는 단계와, 상기 렌즈 검사 차트에 대향되게 배치된 센서 유닛 및 상기 렌즈 검사 차트와 상기 센서 유닛의 사이에 개재된, 렌즈를 포함하는 렌즈 조립체를 준비하는 단계와, 상기 렌즈와 상기 센서 유닛이 제1거리만큼 이격되어 있을 때에 상기 센서 유닛을 통해 상기 입체 검사 패턴을 촬상하는 단계와, 상기 입체 검사 패턴의 이미지를 통해 상기 렌즈의 틸트각을 계산하는 단계와, 상기 틸트각에 대응되도록 상기 센서 유닛을 틸트 보정하는 단계를 포함하는 렌즈 틸트 보정 방법이 제공될 수 있다.

상기 틸트각을 계산하는 단계는, 상기 입체 검사 패턴의 이미지에서 복수의 포커스 피크 위치를 찾는 단계와, 상기 포커스 피크 위치들 중 상기 입체 검사 패턴의 중앙을 기준으로 일측에 위치한 제1포커스 피크 위치와 타측에 위치한 제2포커스 피크 위치를 찾는 단계와, 상기 제1포커스 피크 위치의 이미지와 제2포커스 피크 위치의 이미지의 편차를 계산하는 단계와, 상기 편차를 상기 센서 유닛 및 렌즈 조립체를 포함하는 표준 모듈의 데이터와 비교하여 상기 틸트각을 계산하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 편차는 상기 제1포커스 피크 위치의 이미지와 제2포커스 피크 위치의 이미지의 픽셀 편차일 수 있다.

상기 렌즈와 상기 센서 유닛을 상기 제1거리와 다른 제2거리만큼 이격시키는 단계를 더 포함하고, 상기 제2거리는 상기 평면 검사 패턴에 포커스가 위치할 때의 상기 렌즈와 상기 센서 유닛 사이의 거리일 수 있다.

상기 렌즈와 상기 센서 유닛을 상기 제2거리만큼 이격시키는 단계는, 상기 렌즈와 상기 센서 유닛이 제1거리만큼 이격되어 있을 때의 포커스 피크 위치와, 상기 렌즈와 상기 센서 유닛이 제2거리만큼 이격되어 있을 때의 포커스 피크 위치의 차이인 제1차이값을 계산하는 단계와, 상기 제1차이값을 상기 센서 유닛 및 렌즈 조립체를 포함하는 표준 모듈의 데이터와 비교하여, 상기 제1거리와 상기 제2거리의 차이인 제2차이값을 계산하는 단계와, 상기 제2차이값에 대응되게 상기 렌즈와 상기 센서 유닛 사이의 거리를 조정하는 단계를 포함할 수 있다.

실시예들에 따르면, 검사 전 상태인 제1상태에서 미리 센서 유닛에 틸트 보정을 해 줌으로써 검사 시 양품으로 판정될 수 있는 렌즈 조립체가 불량으로 판정되는 것을 방지하고, 이에 따라 장비 전체의 신뢰도를 향상시킬 수 있다.

틸트 보정을 위한 데이터 추출 스텝을 현격히 줄임으로써 전체 검사 시간을 단축시킬 수 있다.

렌즈의 포커스 검사 및/또는 모듈 전체 검사를 위한 포커스 피크 위치를 간단하게 찾도록 함으로써 전체 검사 시간을 단축시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 틸트 보정 장치의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 2는 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 렌즈 틸트 보정 장치의 구성을 개략적으로 도시한 구성도이다.
도 3은 도 1에 도시된 본 발명의 일실시예에 따른 렌즈 틸트 보정 장치의 구성을 보다 구체적으로 도시한 구성도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 검사 차트를 개략적으로 도시한 단면도 및 저면도이다.
도 5의 (a) 및 (b)는 제1상태에서 센서 유닛이 틸팅된 상태를 나타낸 구성도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 렌즈 틸트 보정 방법의 일 실시예를 나타내는 플로우 차트이다.
도 7은 렌즈와 센서 유닛을 개략적으로 도시한 개략도이다.
도 8은 틸트각 계산의 보다 구체적인 일 예를 나타내는 플로우 차트이다.
도 9a는 틸트 보정 전의 이미지를 개략적으로 나타낸 도면이고, 도 9b는 틸트 보정 후의 이미지를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 10은 표준 모듈에서 틸트각에 따른 제1포커스 피크 위치의 이미지와 제2포커스 피크 위치의 이미지의 편차를 그래프화한 것이다.
도 11은 상기 렌즈와 상기 센서 유닛을 상기 제2거리만큼 이격시키는 단계의 보다 구체적인 일 예를 나타내는 플로우 차트이다.
도 12는 틸트 보정 후의 이미지를 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 13은 표준 모듈에서 렌즈와 센서 유닛 사이의 거리가 변함에 따라 포커스 피크 위치가 변하는 관계를 그래프화한 것이다.
도 14a 및 도 14b는 각각 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 렌즈 검사 차트를 개략적으로 도시한 단면도 및 저면도이다.
도 15a, 도 15b 및 도 16은 Z축 이동에 따라 측정된 포커스값을 나타낸 그래프들이다.
도 17은 렌즈와 센서 유닛이 틸트된 상태를 예시한 구성도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 이하의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

본 실시예들은 다양한 변환을 가할 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 실시예들의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 내용들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 실시예들은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.

이하의 실시예에서 "제1, 제2" 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.

이하의 실시예에서 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.

이하의 실시예에서 "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

이하의 실시예에서 유닛, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우 뿐만 아니라, 그 중간에 다른 유닛, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.

이하의 실시예에서 "연결하다" 또는 "결합하다" 등의 용어는 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 반드시 두 부재의 직접적 및/또는 고정적 연결 또는 결합을 의미하는 것은 아니며, 두 부재 사이에 다른 부재가 개재된 것을 배제하는 것이 아니다.

명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 이하의 실시예는 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 틸트 보정 장치를 개략적으로 도시한 구성도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 렌즈 틸트 보정 장치는, 조명 유닛(1)과, 센서 유닛(3)과, 제1지지대(21)와, 제2지지대(22)를 포함할 수 있다.

상기 조명 유닛(1)은 광을 조사하는 광원(11)과 이 광이 투과되는 렌즈 검사 차트(12)를 포함한다.

상기 센서 유닛(3)은 상기 조명 유닛(1)과 대향되게 위치하고, 제1지지대(21)에 지지된다.

렌즈 조립체(4)는 조명 유닛(1)과 센서 유닛(3)의 사이에 위치하고, 제2지지대(22)에 의해 지지된다. 따라서 상기 제2지지대(22)는 조명 유닛(1)과 제1지지대(21)의 사이에 위치한다.

상기 제1지지대(21)는 제1구동대(211)와, 제2구동대(212)와, 제3구동대(213)에 연결될 수 있다. 상기 제1구동대(211)는 센서 유닛(3)이 안착된 제1지지대(21)를 제1축 방향, 예컨대 지면에 수평한 일 방향인 X축 방향을 따라 틸팅 구동시킬 수 있고, 상기 제2구동대(212)는 상기 제1지지대(21)를 제1축에 직교하는 제2축 방향, 예컨대 지면에 수평한 다른 일 방향인 Y축 방향으로 틸팅 구동시킬 수 있다. 상기 제3구동대(213)는 센서 유닛(3)을 Z축 방향, 예컨대 지면에 수직한 방향으로 이송시켜 센서 유닛(3)과 렌즈 조립체(4) 사이의 거리를 조정할 수 있다.

상기 제2지지대(22)는 제4구동대(221)와, 제5구동대(222)에 연결될 수 있다. 상기 제4구동대(221)는 상기 제2지지대(22)를 X축 방향으로 이송시킬 수 있고, 상기 제5구동대(222)는 상기 제2지지대(22)를 Y축 방향으로 이송시킬 수 있다.

도 1에 따른 실시예에서 상기 제3구동대(213)는 제1지지대(21)를 Z축 방향으로 이송시키도록 구비되어 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 제3구동대(213)가 제2지지대(22)에 연결되어 렌즈 조립체를 Z축 방향으로 이송시킴으로써 센서 유닛(3)과 렌즈 조립체(4) 사이의 거리를 조정할 수 있다. 뿐만 아니라 상기 제3구동대(213)는 제1지지대(21) 및 제2지지대(22)에 각각 연결되어 제1지지대(21) 및 제2지지대(22)를 Z축 방향으로 독립 이동시킬 수 있다.

도 1에 따른 실시예에서 상기 제1구동대(211) 및 제2구동대(212)는 제1지지대(21)에 연결되어 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 도 2에서 볼 수 있듯이 상기 제1구동대(211) 및 제2구동대(212)가 제2지지대(22)에 연결되도록 구비될 수 있다.

예컨대, 도 2에 따른 렌즈 틸트 보정 장치는 제2지지대(22)에 제1구동대(211)와, 제2구동대(212)와, 제3구동대(213)에 연결될 수 있다. 따라서 상기 제1구동대(211)는 렌즈 조립체(4)가 안착된 제2지지대(22)를 제1축 방향, 예컨대 지면에 수평한 일 방향인 X축 방향을 따라 틸팅 구동시킬 수 있고, 상기 제2구동대(212)는 상기 제2지지대(22)를 제1축에 직교하는 제2축 방향, 예컨대 지면에 수평한 다른 일 방향인 Y축 방향으로 틸팅 구동시킬 수 있다. 상기 제3구동대(213)는 렌즈 조립체(4)를 Z축 방향, 예컨대 지면에 수직한 방향으로 이송시켜 센서 유닛(3)과 렌즈 조립체(4) 사이의 거리를 조정할 수 있다.

또 상기 제1지지대(21)에는 제4구동대(221)와, 제5구동대(222)가 연결될 수 있다. 상기 제4구동대(221)는 상기 제1지지대(21)를 X축 방향으로 이송시킬 수 있고, 상기 제5구동대(222)는 상기 제1지지대(21)를 Y축 방향으로 이송시킬 수 있다.

도 2에 따른 실시예에서 상기 제3구동대(213)는 제2지지대(22)를 Z축 방향으로 이송시키도록 구비되어 있으나, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 제3구동대(213)가 제1지지대(22)에 연결되어 센서 유닛(3)을 Z축 방향으로 이송시킴으로써 센서 유닛(3)과 렌즈 조립체(4) 사이의 거리를 조정할 수 있다. 뿐만 아니라 상기 제3구동대(213)는 제1지지대(21) 및 제2지지대(22)에 각각 연결되어 제1지지대(21) 및 제2지지대(22)를 Z축 방향으로 독립 이동시킬 수 있다.

도 1 및 도 2에 도시된 실시예에서, 상기 렌즈 조립체(4)는 적어도 하나 이상의 렌즈(41)를 포함할 수 있는 데, 휴대용 단말기에 장착될 수 있는 렌즈 조립체가 될 수 있다. 그러나 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 카메라에 장착될 수 있는 렌즈 조립체도 적용될 수 있다. 도 1 및 도 2에서 렌즈 조립체(4)는 상기 렌즈들(41)이 경통과 같은 지지체에 장착되어 있는 형태로 도시되어 있는 데, 본 명세서에서 렌즈 조립체(4)는 경통 등의 지지체에 렌즈가 장착된 형태에 한정되는 것이 아니라, 렌즈 경통을 구동시킬 수 있는 구동부(예컨대, 보이스코일모터(VCM, Voice Coil Motor), 피에조(Piezo actuator) 또는 스텝모터(Step motor)), 판 스프링과 같은 스프링 부재 및/또는 이들 중 적어도 하나를 지지하는 지지체를 포함한 카메라 모듈을 포함하는 것일 수 있다. 이는 본 명세서에 기재된 모든 실시예에 적용되며, 이하에서는 설명의 편의상 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같은 구조의 렌즈 조립체(4)를 예시로 설명한다.

상기 렌즈 조립체(4)의 직하부에는 센서 유닛(3)이 위치한다. 상기 센서 유닛(3)은 제1지지대(21) 상에 장착되어 있다. 상기 센서 유닛(3)은 이미지 센서가 사용될 수 있다. 상기 센서 유닛(3)은 센싱 패드(31)를 통해 제어 유닛(6)과 전기적으로 연결될 수 있다.

상기 제어 유닛(6)은 조명 유닛(1)에도 전기적으로 연결되어 조명 유닛(1)의 동작을 제어할 수 있다.

도 3은 도 1의 렌즈 틸트 보정 장치의 일 실시예를 보다 구체적으로 도시한 구성도이다. 도 3에 도시된 실시예는 도 1에 도시된 실시예를 보다 구체적으로 나타낸 것이나, 이는 도 2에 도시된 실시예에도 동일하게 적용될 수 있음은 물론이다.

보다 상세하게, 상기 제1지지대(21)는 상기 제1구동대(211)와, 제2구동대(212)와, 제3구동대(213)에 직접 및/또는 간접적으로 연결될 수 있다. 상기 제1구동대(211)와, 제2구동대(212)와, 제3구동대(213)는 플레이트 및 서보 모터를 포함할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 서보 모터 대신 스텝 모터 등을 이용할 수도 있다.

상기 제2지지대(22)는 상기 제4구동대(221)와, 제5구동대(222)에 직접 및/또는 간접적으로 연결될 수 있다. 상기 제4구동대(221)와, 제5구동대(222)는 플레이트 및 서보 모터를 포함할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 서보 모터 대신 스텝 모터 등을 이용할 수도 있다.

상기 조명 유닛(1)은 제3지지대(23)에 장착될 수 있다. 상기 제3지지대(23)는 제6구동대(231)와, 제7구동대(232)에 연결될 수 있다. 상기 제6구동대(231)는 상기 제3지지대(23)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있고, 상기 제7구동대(232)는 상기 제3지지대(23)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. 이를 위해 상기 제6구동대(231)와, 제7구동대(232)는 스텝 모터를 포함할 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 스텝 모터 대신 서보 모터 등을 이용할 수도 있다.

상기 광원(11)은 도 3에서 볼 때 하방, 즉, 렌즈 조립체를 향하여 광을 조사하고, 광 경로 상에 렌즈 검사 차트(12)가 배치되어 있다. 상기 렌즈 검사 차트(12)는 별도의 고정 장치에 의해 상기 광원(11)과 결합될 수 있다. 그러나 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 광원(11)과 렌즈 검사 차트(12)가 일체형으로 형성된 것일 수 있다. 렌즈 검사 차트(12)에 대한 보다 상세한 설명은 후술한다.

조명 유닛(1)의 하부에는 제2지지대(22)가 배치될 수 있다. 상기 제2지지대(22)에는 렌즈 조립체(4)가 안착될 수 있는 포켓부(223)가 형성되어 있고, 포켓부(223)의 저면에는 개구(224)가 형성될 수 있다. 상기 개구(223)를 통해 렌즈 조립체(4)를 투과한 광이 센서 유닛(3)에 도달할 수 있다. 상기 제2지지대(22)는 복수의 렌즈 조립체를 탑재하도록 구비될 수 있고, 복수의 렌즈 조립체들을 탑재할 수 있는 트레이를 포함할 수 있다.

이상 설명한 실시예들에서 상기 구성요소들은 상하 위치관계가 정반대로 바뀔 수 있다. 예컨대 조명 유닛(1)이 장치의 최하부에 위치하고, 제1지지대(21)가 장치의 최상부에 위치할 수 있다.

도 4a 및 도 4b는 각각 렌즈 검사 차트(12)의 일 예를 개략적으로 도시한 단면도 및 저면도이다. 상기 렌즈 검사 차트(12)는 입체 검사 패턴(125)과 제1 평면 검사 패턴(1211)을 포함할 수 있다. 도 4a에는 편의상 하나의 렌즈(41)만을 도시하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 도 1 및 도 2에서 볼 수 있듯이 복수의 렌즈(41)들이 배열된 것일 수 있다.

상기 제1 평면 검사 패턴(1211)은 투명한 평판상의 시트로 구비된 제1차트(121)의 표면에 프린팅된 유색 패턴일 수 있다. 상기 제1 평면 검사 패턴(1211)은 도 4b에서 볼 수 있듯이 제1차트(121) 표면에 적어도 하나 이상 형성될 수 있는 데, 중앙에 하나를 형성하고, 이와 대칭되는 패턴으로 복수 개 더 형성할 수 있다. 도 4b에는 제1 평면 검사 패턴들(1211)이 사각형인 것으로 나타내었는 데, 본 발명은 반드시 이에 한정되는 것은 아니고, 상기 패턴들의 형상은 직선형, 원형, 다각형, 도트형 등 다양한 형상이 적용될 수 있다. 상기 제1 평면 검사 패턴들(1211)은 렌즈(41)의 포커스를 검사할 수 있는 다양한 패턴이 사용될 수 있다.

상기 입체 검사 패턴(125)은 상기 렌즈(41)를 향하여 연속적으로 돌출되게 구비된 것일 수 있는 데, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 길이 방향에 따라 너비가 변하도록 구비된 바아 형태를 갖는 검사 부재(123)를 포함할 수 있다. 상기 검사 부재(123)는 X축 방향으로 한 쌍, Y축 방향으로 한 쌍이 각각 서로 대칭되게 구비될 수 있는 데, 예컨대 제1검사 부재(123a)와 제2검사 부재(123b)가 입체 검사 패턴(125)의 중앙을 기준으로 X축 방향의 양측에 위치하고, 제3검사 부재(123c)와 제4검사 부재(123d)가 입체 검사 패턴(125)의 중앙을 기준으로 Y축 방향의 양측에 위치할 수 있다. 상기 검사 부재들(123)은 일단이 렌즈 검사 차트(12)의 가장자리에 위치되고 타단이 렌즈(41)에 보다 가까워지는 방향으로 중심을 향하여 경사지게 연장된 것일 수 있다. 그러나 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 비록 도면으로 도시하지는 않았지만 일단이 제1차트(121)의 중앙에 연결되고 타단이 렌즈(41)에 보다 가까워지는 방향으로 가장자리를 향하여 경사지게 연장된 것일 수 있다.

상기 검사 부재들(123)은 이미지 센서에 의해 촬상 가능하도록 유색으로 형성되는 것이 바람직하다. 또한 길이 방향에 따라 너비가 변하도록 구비될 수 있다. 예컨대 렌즈 검사 차트(12)의 중심을 향한 단부의 제1너비(W1)가 가장자리를 향한 단부의 제2너비(W2)가 보다 좁게 구비될 수 있다.

상기 렌즈(41)와 센서 유닛(3) 사이의 거리(d)를 가변시킴으로써 센서 유닛(3)에 의해 촬상된 이미지의 포커스가 맺히는 위치인 포커스 피크(Focus Peak) 위치가 제1차트(121) 표면의 평면 검사 패턴(1211)으로부터 입체 검사 패턴(125)을 따라 변하게 된다. 예컨대 포커스 피크 위치가 평면 검사 패턴(1211)에 위치한 상태에서 상기 렌즈(41)와 센서 유닛(3) 사이의 거리(d)를 보다 멀게 할 경우에는 검사 부재(123) 상의 일 지점(124)으로 포커스 피크 위치가 변하게 된다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 제1상태에서 상기 제어 유닛(6)은 상기 제1구동대(211) 및 제2구동대(212) 중 적어도 하나를 틸팅 구동시켜, 도 5의 (a) 및 (b)에서 볼 수 있듯이, 렌즈 조립체(4)에 대하여 센서 유닛(3)이 제1축 방향 및/또는 제2축 방향으로 틸팅되도록 할 수 있다.

렌즈 조립체(4)가 안착되는 포켓부(223)의 안착면의 편평도 및/또는 평행도에 문제가 있는 경우, 검사 시 양품으로 판정될 수 있는 렌즈 조립체가 불량으로 판정될 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 전 상태인 제1상태에서 미리 센서 유닛(3)에 틸트 보정을 해 줌으로써 검사 시 양품으로 판정될 수 있는 렌즈 조립체가 불량으로 판정되는 것을 방지하고, 이에 따라 장비 전체의 신뢰도를 향상시킬 수 있다. 이러한 틸트 보정을 위해서 평면 검사 패턴만으로 구성된 렌즈 검사 차트를 이용할 경우, 렌즈와 센서 유닛 사이의 거리를 단계적으로 바꿔가면서 특정 위치에서의 포커스 값의 데이터를 추출한 다음, 각 위치에서의 초점거리 차를 계산하여 틸트 축을 조정 및 보정해 주는 방법을 사용할 수 있다. 또한 렌즈 중심에서 타겟인 평면 검사 패턴과의 초점을 맞추기 위해서도 거리 조정을 순차적으로 해 주는 과정이 필요하다.

그런데 이러한 방법들은 렌즈와 센서 유닛 사이의 거리를 변화시켜가면서 포커스 값의 데이터를 추출하는 과정이 필요하므로, 이러한 데이터를 추출하는 작업 시간이 많이 소요되고, 전체 교정 및/또는 검사 시간이 지나치게 길어지는 한계가 있다. 본 발명의 실시예는 틸트 보정을 위한 데이터 추출 스텝을 현격히 줄임으로써 전체 검사 시간을 단축시킬 수 있다.

또 이렇게 틸트 보정이 끝난 후에는 렌즈의 포커스 검사 및/또는 모듈 전체 검사를 위해 포커스 검사용 차트에 포커스 피크가 위치하도록 렌즈와 센서 유닛 사이의 거리를 조정해야 하는 데, 이 위치를 찾는 것도 렌즈(41)와 센서 유닛(3) 사이의 거리를 단계적으로 바꿔가며 포커스 위치의 변화 데이터를 추출하는 방법을 사용해야 하는 데, 이도 역시 렌즈 검사 시간을 길게 하는 요인이 된다. 본 발명의 실시예는 렌즈의 포커스 검사 및/또는 모듈 전체 검사를 위한 포커스 피크 위치를 간단하게 찾도록 함으로써 전체 검사 시간을 단축시킬 수 있다.

이하, 이러한 본 발명의 실시예에 따른 렌즈 틸트 보정 방법의 보다 구체적인 일 예를 설명한다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 렌즈 틸트 보정 방법의 일 실시예를 나타내는 플로우 차트이고, 도 7은 렌즈(41)와 센서 유닛(3)을 개략적으로 도시한 개략도이다. 도 7에는 편의상 하나의 렌즈(41)만을 도시하였으나, 본 발명이 반드시 이에 한정되는 것은 아니고 도 1 및 도 2에서 볼 수 있듯이 복수의 렌즈(41)들이 배열된 것일 수 있다. 이하에서는 도 7에서 볼 수 있듯이 렌즈(41)는 센서 유닛(3)에 대해 틸트각(a)만큼 틸트되어 있는 것으로 가정한다. 또, 이하에서 설명하는 틸트 보정은 편의상 X축 방향의 틸트 보정을 기준으로 하며, Y축 방향의 틸트 보정은 X축 방향의 틸트 보정과 동일한 방법으로 X축 방향의 틸트 보정과 동시에 및/또는 이시에 수행될 수 있다.

먼저, 제어 유닛(6)은 센서 유닛(3)을 통해 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같은 렌즈 검사 차트(12)를 촬상하는 데, 촬상에 앞서 렌즈 조립체(4)와 센서 유닛(3) 사이의 거리를 제1거리(d1)가 되도록 이격시킨다(S1). 렌즈 조립체(4)와 센서 유닛(3) 사이의 거리가 제1거리(d1)가 된 상태에서 포커스 피크는 검사 부재(123)상의 대략 중간 부분인 일 지점(124)에 위치하게 된다.

이 상태에서 센서 유닛(3)에 의해 입체 검사 패턴(125)을 촬상하고(S2), 제어 유닛(6)은 촬상된 상기 입체 검사 패턴의 이미지를 통해 상기 렌즈(41)의 틸트각(a)을 계산한다(S3).

상기 틸트각(a)을 이용해 상기 제어 유닛(6)은 제1구동대(211)의 X축 방향으로의 틸팅 구동 각도인 구동각를 계산하고, 제1구동대(211)를 동작시켜 도 7에서 볼 수 있듯이 센서 유닛(3)을 구동각(b)만큼 틸팅시켜 틸트 보정을 수행한다(S4).

도 8은 상기 틸트각 계산(S3)의 보다 구체적인 일 예를 나타내는 플로우 차트이다.

먼저, 촬상된 상기 입체 검사 패턴의 이미지에서 복수의 포커스 피크 위치를 찾는다(S31). 도 7에서 볼 수 있듯이 렌즈(41)가 X축 방향으로 일측으로 틀어져 있는 경우에는 도 9a에서 볼 수 있듯이 촬상된 입체 검사 패턴의 이미지에서 포커스 피크 위치가 일측으로 시프트되어 나타나게 된다.

전술한 바와 같이, 렌즈(41)와 센서 유닛(3)이 제1거리(d1)가 된 상태에서 입체 검사 패턴(125)의 이미지를 촬상하면 포커스 피크 위치는 검사 부재들(123)의 중간 부분인 일 지점에 위치하게 된다. 이 때, 렌즈(41)가 X축 방향으로 일측으로 틀어져 있는 경우, 입체 검사 패턴의 중앙을 기준으로 X축 방향의 양측에 배치되어 있는 제1 및 제2검사 부재들(123a)(123b)에 각각 맺히게 되는 제1포커스 피크 위치(126a)와 제2포커스 피크 위치(126b)는 X축 방향을 따라 일측으로 시프트되어 나타나게 된다. 도 9a에서는 렌즈(41)가 Y축 방향으로는 틸트되지 않은 상태를 가정한 것이므로, Y축 방향으로 배치되어 있는 제3 및 제4검사 부재들(123c)(123d)에 맺히게 되는 제3포커스 피크 위치(126c)와 제4포커스 피크 위치(126d)는 입체 검사 패턴의 중앙을 기준으로 서로 대칭을 이루게 된다.

상기 제어 유닛(6)은 이렇게 도 9a와 같은 이미지에서 X축 방향을 따라 일측으로 시프트되어 있는 제1포커스 피크 위치(126a)와 제2포커스 피크 위치(126b)를 찾는다(S32). 그리고 상기 제1포커스 피크 위치(126a)의 이미지와 제2포커스 피크 위치(126b)의 이미지의 편차를 계산한다(S33). 상기 편차는 상기 제1포커스 피크 위치(126a)의 이미지와 제2포커스 피크 위치(126b)의 이미지의 픽셀 편차일 수 있는 데, 예컨대 상기 제1포커스 피크 위치(126a)의 이미지의 제1픽셀 개수(P1)와 상기 제2포커스 피크 위치(126b)의 이미지의 제2픽셀 개수(P2)의 편차일 수 있다. 도 9a에서 볼 수 있듯이 상기 제1포커스 피크 위치(126a)의 이미지가 상기 제2포커스 피크 위치(126b)의 이미지보다 좁기 때문에 상기 제1픽셀 개수(P1)와 상기 제2픽셀 개수(P2)는 차이가 생길 수 밖에 없다. 상기 편차는 상기 제1포커스 피크 위치(126a)의 이미지와 제2포커스 피크 위치(126b)의 이미지의 너비 편차일 수 있는 데, 이 외에도 제1포커스 피크 위치(126a)의 이미지와 제2포커스 피크 위치(126b)의 이미지의 차이를 식별할 수 있는 다양한 기준들이 사용될 수 있다.

이렇게 상기 제1포커스 피크 위치(126a)의 이미지와 제2포커스 피크 위치(126b)의 이미지의 편차를 계산한 후에, 상기 제어 유닛(6)은 상기 편차를 센서 유닛 및 렌즈 조립체를 포함하는 표준 모듈의 데이터와 비교하여 상기 틸트각(a)을 계산한다.

도 10은 표준 모듈에서 틸트각에 따른 제1포커스 피크 위치(126a)의 이미지와 제2포커스 피크 위치(126b)의 이미지의 편차를 그래프화한 것이다. 도 10은 전술한 픽셀 편차를 사용한 것이다. 도 10에서 편차가 0인 부분은 틸트각이 대략 0도에 해당한다고 볼 수 있다. 전술한 편차를 계산한 후에는 이 그래프와 같은 데이터에 대입하면 해당 편차에 대응하는 틸트각이 얻어질 수 있다.

전술한 바와 같이 틸트 보정을 한 후에는 도 9b에서 볼 수 있듯이 제1포커스 피크 위치(126a)와 제2포커스 피크 위치(126b)가 입체 검사 패턴의 중앙을 기준으로 서로 대칭이 되게 위치하게 된다.

이렇게 틸트 보정이 완료된 후에는 도 6 및 도 7에서 볼 수 있듯이, 렌즈(41)와 센서 유닛(3) 사이를 제2거리(d2)만큼 이격시킨 다음(S5), 렌즈 조립체의 전체 포커스 검사를 수행한다(S6). 상기 제2거리(d2)는 전술한 바와 같이 상기 제1평면 검사 패턴(1211)에 포커스 피크가 위치할 때의 상기 렌즈와 상기 센서 유닛 사이의 거리가 된다. 상기 제1거리(d1) 및 제2거리(d2)는 렌즈(41)가 복수 개 구비된 경우 센서 유닛(3)에 가장 가깝게 배치된 렌즈의 중심과 센서 유닛(3) 사이의 거리일 수 있다. 또는 복수 개 렌즈의 광학적 중심과 센서 유닛(3) 사이의 거리일 수 있다. 또는 복수 개 렌즈 중 센서 유닛(3)에 가장 가깝게 배치된 렌즈의 표면과 센서 유닛(3) 사이의 거리일 수 있다.

도 11은 상기 렌즈와 상기 센서 유닛을 상기 제2거리만큼 이격시키는 단계(S5)의 보다 구체적인 일 예를 나타내는 플로우 차트이다.

먼저 제어 유닛(6)은 제1차이값을 계산한다(S51). 상기 제1차이값이란 상기 렌즈(41)와 상기 센서 유닛(3)이 제1거리(d1)만큼 이격되어 있을 때의 포커스 피크 위치와, 상기 렌즈(41)와 상기 센서 유닛(3)이 제2거리(d2)만큼 이격되어 있을 때의 포커스 피크 위치의 차이값을 말한다. 도 12에서 볼 수 있듯이, 틸트 보정이 완료된 상태에서 상기 렌즈(41)와 상기 센서 유닛(3)이 제1거리(d1)만큼 이격되어 있을 때에 포커스 피크 위치들은 제1포커스 피크 위치(126a) 내지 제4포커스 피크 위치(126d)와 같다. 이 상태에서 상기 렌즈(41)와 상기 센서 유닛(3)이 제2거리(d2)만큼 이격되도록 상기 렌즈(41)와 상기 센서 유닛(3)의 거리를 조정하면 제1평면 검사 패턴(1211)에 포커스가 위치하게 된다. 제1평면 검사 패턴(1211)에 포커스가 위치하게 되면 상기 제1포커스 피크 위치(126a) 내지 제4포커스 피크 위치(126d)는 각각 제1'포커스 피크 위치(126a') 내지 제4'포커스 피크 위치(126d')로 이동하게 된다. 상기 제1'포커스 피크 위치(126a') 내지 제4'포커스 피크 위치(126d')는 제1검사 부재(123a) 내지 제4검사부재(123d)의 제1차트(121)와 연결된 단부가 위치하는 부분이 된다. 상기 제1차이값은, 상기 제1'포커스 피크 위치(126a')와 상기 제1포커스 피크 위치(126a)의 거리 차이, 상기 제2'포커스 피크 위치(126b')와 상기 제2포커스 피크 위치(126b)의 거리 차이, 상기 제3'포커스 피크 위치(126c')와 상기 제3포커스 피크 위치(126c)의 거리 차이, 및 상기 제4'포커스 피크 위치(126d')와 상기 제4포커스 피크 위치(126d)의 거리 차이의 평균값이 될 수 있다. 상기 제1차이값은 도 12와 같은 입체 검사 패턴의 촬상 이미지를 통해 제어 유닛(6)이 계산할 수 있다.

다음으로, 제2차이값을 계산한다(S52). 상기 제2차이값은 상기 제1거리(d1)와 제2거리(d2)의 차이값으로, 실제 렌즈 조립체(4) 또는 센서 유닛(3)을 이동시킬 거리에 해당한다. 이러한 제2차이값은 제어 유닛(6)이 상기 제1차이값을 센서 유닛 및 렌즈 조립체를 포함하는 표준 모듈의 데이터와 비교하여 계산할 수 있다.

도 13은 표준 모듈에서 렌즈와 센서 유닛 사이의 거리가 변함에 따라 포커스 피크 위치가 변하는 관계를 그래프화한 것이다. 도 13에서 포커스 피크 위치란 제1검사 부재(123a) 내지 제4검사부재(123d)에서의 각 포커스 피크 위치의 평균값을 의미한다. 상기 렌즈(41)와 상기 센서 유닛(3)이 제1거리(d1)만큼 이격되어 있을 때의 위치가 L1이고, 상기 렌즈(41)와 상기 센서 유닛(3)이 제2거리(d2)만큼 이격되어 있을 때의 위치가 L2가 된다. 따라서 제1차이값(A1)을 알게 되면 제2차이값(A2)은 도 13으로부터 쉽게 얻어질 수 있다.

이렇게 제2차이값을 알게 되면, 제어 유닛(6)은 렌즈 조립체(4) 또는 센서 유닛(3)을 이동시킬 거리를 알게 되므로, 제3구동대(213)를 동작시켜 렌즈 조립체(4)와 센서 유닛(3) 사이의 거리를 상기 제2차이값에 해당하는 거리만큼 곧바로 조정할 수 있다(S53).

이상 설명한 바와 같은 본 발명의 실시예에 따르면 본 발명의 실시예는 틸트 보정을 위한 데이터 추출 스텝을 현격히 줄일 수 있다. 또 틸트 보정이 끝난 후에 렌즈의 포커스 검사 및/또는 모듈 전체 검사를 위해 평면 검사 패턴에 포커스 피크가 위치하도록 렌즈와 센서 유닛 사이의 거리를 조정하도록 하는 공정도 한 번의 Z축 이동으로 해결할 수 있어 전체 검사 시간을 단축시킬 수 있다.

이상 설명한 실시예는 연속적으로 구비된 입체 검사 패턴을 사용한 것인 데, 본 발명은 반드시 이에 한정되지 않고 불연속적으로 구비된 입체 검사 패턴을 사용할 수 있다.

도 14a 및 도 14b는 각각 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 렌즈 검사 차트(12)를 개략적으로 도시한 단면도 및 저면도이다.

상기 렌즈 검사 차트(12)는 서로 평행이 되도록 이격되고 중첩되도록 배치된 제1차트(121) 및 제2차트(122)를 포함할 수 있다.

상기 제1차트(121)는 투명한 시트상으로 구비되어 유색 패턴인 복수의 평면 검사 패턴(1211)을 포함할 수 있는 데, 예컨대 가장자리를 따라 제1평면 검사 패턴(1211a) 내지 제4평면 검사 패턴(1211d)과 중앙에 제5평면 검사 패턴(1211e)을 가질 수 있다.

상기 제2차트(122)는 투명한 시트상으로 구비되어 유색 패턴인 복수의 또 다른 평면 검사 패턴(1221)을 포함할 수 있는 데, 예컨대 가장자리를 따라 제6평면 검사 패턴(1221a) 내지 제9평면 검사 패턴(1221d)을 가질 수 있다.

상기 제6평면 검사 패턴(1221a) 내지 제9평면 검사 패턴(1221d)은 각각 상기 제1평면 검사 패턴(1211a) 내지 제4평면 검사 패턴(1211d)에 대해 입체 검사 패턴(125)을 형성할 수 있는 데, 즉, 도 14a 및 도 14b에서 볼 수 있듯이 상기 제6평면 검사 패턴(1221a) 내지 제9평면 검사 패턴(1221d)은 각각 상기 제1평면 검사 패턴(1211a) 내지 제4평면 검사 패턴(1211d)으로부터 중앙을 향해 시프트되도록 위치할 수 있다. 상기 제6평면 검사 패턴(1221a) 내지 제9평면 검사 패턴(1221d)은 상기 제1평면 검사 패턴(1211a) 내지 제4평면 검사 패턴(1211d)보다 그 크기가 작게 형성될 수 있다.

평면 검사 패턴을 이용하여 틸트 보정을 할 때에는 먼저 평면 검사 패턴의 포커스값이 최고값인 상태를 알아야 한다. 이를 위해 도 15a에서 볼 수 있듯이 센서 유닛(3) 또는 렌즈 조립체(4)를 Z축 방향으로 스텝 이동하면서 점으로 표시된 바와 같은 포커스값을 측정하고, 이 점들에 대한 데이터를 이용해 제어 유닛(6)이 커브 피팅을 하여 실선과 같은 연속적인 데이터를 계산한다. 그런데 본 발명의 실시예와 같이 또 다른 평면 검사 패턴을 갖는 제2차트(122)를 제1차트(121)와 중첩되게 배치하여 입체 검사 패턴을 형성할 경우, 하나의 스텝에서 다른 스텝의 데이터를 직접 예측 및 추출할 수 있기 때문에 도 15b에서 볼 수 있듯이 Z축 방향으로의 스텝 이동 횟수를 줄일 수 있다.

이러한 포커스값 측정 및 커브 피팅에 의한 그래프를 제1평면 검사 패턴(1211a)과 제6평면 검사 패턴(1221a), 및 제2평면 검사 패턴(1211b)과 제7평면 검사 패턴(1221b)에 대하여 행하면, 도 16에서 볼 수 있듯이 두 개의 그래프(G1,G2)를 얻을 수 있다. 제어 유닛(6)은 이 그래프로부터, 제1평면 검사 패턴(1211a)과 제6평면 검사 패턴(1221a)에 대한 그래프(G1)의 포커스값이 피크가 될 때의 Z축 이동 거리(Lh)와 제2평면 검사 패턴(1211b)과 제7평면 검사 패턴(1221b)에 대한 그래프(G2)의 포커스값이 피크가 될 때의 Z축 이동 거리(Rh)를 계산해 낼 수 있고, 도 17과 같이 렌즈(41)가 센서 유닛(3)에 대해 틸트각(a)만큼 틸트되어 있는 상태에서 상기 틸트각(a)을 하기 수학식 1에 의해 계산해 낼 수 있고, 이 틸트각(a)에 대응되게 틸트 보정을 할 수 있다.

이 때, d는 렌즈(41)의 X축 방향 양단의 센서 유닛(3) 상의 기구적인 거리가 되고, Rh-Lh는 도 16으로부터 얻어진 값이 될 수 있다.

도 14a 및 도 14b에는 2장의 차트로서 입체 검사 패턴을 구성하였으나, 보다 많은 수의 차트를 겹겹이 배치하여 입체 검사 패턴을 구성할 수 있는 데, 이 경우 전술한 실시예의 검사 부재와 같이 연속적인 패턴과 유사하게 되고, 동일한 방법으로 렌즈 검사를 실시할 수 있다. 전술한 스텝 수는 차트의 수를 증대시켜 거의 연속적인 입체 검사 패턴을 형성함에 따라 더욱 감소할 수 있다.

본 발명의 렌즈 틸트 보정 장치 및 렌즈 틸트 보정 방법은, 렌즈, 경통 및 이미지 센서를 포함하는 카메라 모듈을 검사하는 장치 및 방법을 포함할 수 있음은 물론이다.

이제까지 본 발명에 대하여 바람직한 실시 예를 중심으로 살펴보았다. 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 변형된 형태로 본 발명을 구현할 수 있음을 이해할 것이다. 그러므로 상기 개시된 실시 예들은 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 한다. 본 발명의 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 한다.

1: 조명 유닛 11: 광원
12: 렌즈 검사 차트 21: 제1지지대
22: 제2지지대 23: 제3지지대
3: 센서 유닛 4: 렌즈 조립체
6: 제어 유닛

Claims (11)

1. 광을 조사하는 광원과, 평면 검사 패턴 및 입체 검사 패턴을 갖는 렌즈 검사 차트를 포함하는 조명 유닛;
   상기 조명 유닛과 대향되게 위치한 센서 유닛;
   상기 센서 유닛을 지지하는 제1지지대;
   렌즈 조립체를 지지하고 상기 조명 유닛과 상기 센서 유닛의 사이에 위치하는 제2지지대;
   상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 제1축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제1구동대;
   상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 상기 제1축에 직교하는 제2축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제2구동대;
   상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 센서 유닛과 상기 렌즈 조립체 사이의 거리를 조정할 수 있도록 구비된 제3구동대; 및
   상기 센서 유닛, 제1구동대, 제2구동대 및 제3구동대와 각각 전기적으로 연결된 제어 유닛;을 포함하고,
   상기 입체 검사 패턴은, 일단은 상기 렌즈 검사 차트에 접합되고 타단은 상기 렌즈 검사 차트와 이격되도록 구비된 검사 부재를 포함하는 렌즈 틸트 보정 장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 검사 부재는 상기 렌즈 조립체를 향하여 연속적으로 구비된 렌즈 틸트 보정 장치.
3. 제2항에 있어서,
   상기 검사 부재는 길이 방향에 따라 너비가 변하도록 구비된 렌즈 틸트 보정 장치.
4. 제3항에 있어서,
   상기 검사 부재는 일단이 상기 렌즈 검사 차트의 가장자리에 위치하고 타단이 상기 렌즈 조립체를 향하도록 구비된 렌즈 틸트 보정 장치.
5. 광을 조사하는 광원과, 평면 검사 패턴 및 입체 검사 패턴을 갖는 렌즈 검사 차트를 포함하는 조명 유닛;
   상기 조명 유닛과 대향되게 위치한 센서 유닛;
   상기 센서 유닛을 지지하는 제1지지대;
   렌즈 조립체를 지지하고 상기 조명 유닛과 상기 센서 유닛의 사이에 위치하는 제2지지대;
   상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 제1축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제1구동대;
   상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 상기 제1축에 직교하는 제2축 방향으로 틸팅할 수 있도록 구비된 제2구동대;
   상기 제1지지대 및 제2지지대 중 적어도 하나를 이동시켜 상기 센서 유닛과 상기 렌즈 조립체 사이의 거리를 조정할 수 있도록 구비된 제3구동대; 및
   상기 센서 유닛, 제1구동대, 제2구동대 및 제3구동대와 각각 전기적으로 연결된 제어 유닛;을 포함하고,
   상기 입체 검사 패턴은 상기 렌즈 조립체를 향하여 불연속적으로 구비되며,
   상기 렌즈 검사 차트는, 서로 평행이 되도록 이격되고 중첩되도록 배치된 제1차트 및 제2차트를 포함하고,
   상기 제1차트 및 제2차트는 각각 복수의 제1평면 검사 패턴 및 복수의 제2평면 검사 패턴을 갖고,
   상기 제1평면 검사 패턴 중 일부는 상기 제2평면 검사 패턴과 부분적으로 중첩되어 상기 입체 검사 패턴을 형성하도록 구비된 렌즈 틸트 보정 장치.
6. 제5항에 있어서,
   상기 평면 검사 패턴은 상기 제1평면 검사 패턴 중 일부에 의해 구비되는 렌즈 틸트 보정 장치.
7. 평면 검사 패턴 및 입체 검사 패턴을 갖는 렌즈 검사 차트를 준비하는 단계;
   상기 렌즈 검사 차트에 대향되게 배치된 센서 유닛 및 상기 렌즈 검사 차트와 상기 센서 유닛의 사이에 개재된, 렌즈를 포함하는 렌즈 조립체를 준비하는 단계;
   상기 렌즈와 상기 센서 유닛이 제1거리만큼 이격되어 있을 때에 상기 센서 유닛을 통해 상기 입체 검사 패턴을 촬상하는 단계;
   상기 입체 검사 패턴의 이미지를 통해 상기 렌즈의 틸트각을 계산하는 단계;
   상기 틸트각에 대응되도록 상기 센서 유닛을 틸트 보정하는 단계; 및
   상기 평면 검사 패턴의 이미지를 통해 상기 렌즈의 포커스 검사를 수행하는 단계;를 포함하는 렌즈 틸트 보정 방법.
8. 제7항에 있어서,
   상기 틸트각을 계산하는 단계는,
   상기 입체 검사 패턴의 이미지에서 복수의 포커스 피크 위치를 찾는 단계;
   상기 포커스 피크 위치들 중 상기 입체 검사 패턴의 중앙을 기준으로 일측에 위치한 제1포커스 피크 위치와 타측에 위치한 제2포커스 피크 위치를 찾는 단계;
   상기 제1포커스 피크 위치의 이미지와 제2포커스 피크 위치의 이미지의 편차를 계산하는 단계; 및
   상기 편차를 상기 센서 유닛 및 렌즈 조립체를 포함하는 표준 모듈의 데이터와 비교하여 상기 틸트각을 계산하는 단계;를 포함하는 렌즈 틸트 보정 방법.
9. 제8항에 있어서,
   상기 편차는 상기 제1포커스 피크 위치의 이미지와 제2포커스 피크 위치의 이미지의 픽셀 편차인 렌즈 틸트 보정 방법.
10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 렌즈와 상기 센서 유닛을 상기 제1거리와 다른 제2거리만큼 이격시키는 단계를 더 포함하고, 상기 제2거리는 상기 평면 검사 패턴에 포커스가 위치할 때의 상기 렌즈와 상기 센서 유닛 사이의 거리인 렌즈 틸트 보정 방법.
11. 제10항에 있어서,
    상기 렌즈와 상기 센서 유닛을 상기 제2거리만큼 이격시키는 단계는,
    상기 렌즈와 상기 센서 유닛이 제1거리만큼 이격되어 있을 때의 포커스 피크 위치와, 상기 렌즈와 상기 센서 유닛이 제2거리만큼 이격되어 있을 때의 포커스 피크 위치의 차이인 제1차이값을 계산하는 단계;
    상기 제1차이값을 상기 센서 유닛 및 렌즈 조립체를 포함하는 표준 모듈의 데이터와 비교하여, 상기 제1거리와 상기 제2거리의 차이인 제2차이값을 계산하는 단계; 및
    상기 제2차이값에 대응되게 상기 렌즈와 상기 센서 유닛 사이의 거리를 조정하는 단계;를 포함하는 렌즈 틸트 보정 방법.

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