KR101211690B1 - 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치 - Google Patents

디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101211690B1
KR101211690B1 KR1020100049811A KR20100049811A KR101211690B1 KR 101211690 B1 KR101211690 B1 KR 101211690B1 KR 1020100049811 A KR1020100049811 A KR 1020100049811A KR 20100049811 A KR20100049811 A KR 20100049811A KR 101211690 B1 KR101211690 B1 KR 101211690B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
display panel
clamping
gripping
photographing
grip
Prior art date
Application number
KR1020100049811A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20110130255A (ko
Inventor
이태송
정영석
Original Assignee
정영석
이태송
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 정영석, 이태송 filed Critical 정영석
Priority to KR1020100049811A priority Critical patent/KR101211690B1/ko
Publication of KR20110130255A publication Critical patent/KR20110130255A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101211690B1 publication Critical patent/KR101211690B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67742Mechanical parts of transfer devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J15/00Gripping heads and other end effectors
    • B25J15/08Gripping heads and other end effectors having finger members
    • B25J15/083Gripping heads and other end effectors having finger members with means for locking the fingers in an open or closed position
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)

Abstract

본 발명은 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치에 관한 것으로, 낱장의 디스플레이 패널을 협지하는 그립부와, 상기 그립부에 연결되어 그립부의 위치를 변경할 수 있도록 하는 이송부를 포함하여 구성되어, 상기 그립부가 낱장의 디스플레이 패널을 협지하여 이송부의 작용에 의해 디스플레이 패널 결함 검사기의 촬영부 촬영영역에 정 위치시키도록 구성되고, 상기 그립부는, 이송부와 연결된 프레임에 한 쌍의 협지암이 협지공간을 사이에 두고 이격되게 설치되고, 상기 각 협지암에는 협지편을 진진시켜 협지공간에 진입된 디스플레이 패널을 부분적으로 협지하는 복수의 협지부재가 이격되게 배치된 것을 특징으로 한다.

Description

디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치{DISPALY PANEL PROVIDING APPARATUS FOR DISPALY PANEL INSPECTING DEVICE}
본 발명은 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 촬영부를 통해 디스플레이 패널의 외관 영상을 촬영하여 획득하고, 이 획득된 영상을 판독하여 디스플레이 패널의 결함 여부를 검출하는 디스플레이 패널 결함 검사기에 설치되어, 촬영부의 촬영영역에 디스플레이 패널을 낱장씩 공급하는 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치에 관한 것이다.
일반적으로 표면에 흠집이나 이물질이 존재하는 디스플레이 패널을 전자제품의 제작에 이용하면, 이 디스플레이 패널에 발생된 흠집이나 이물질에 의해 회로가 오작동하거나 외관이 불량해지는 문제점 등이 초래될 수 있다.
이에 따라, 당 분야에서는 디스플레이 패널을 출하하기 이전에 흠집이나 이물질의 존재 여부를 검사하는 검사공정을 실시하며, 보편적으로는 육안으로 디스플레이 패널의 결함 여부를 검사한다.
그런데 이러한 육안 검사는, 작업자가 디스플레이 패널을 일일이 육안으로 검사하여야 하므로 작업성이 현저히 떨어지고, 또 디스플레이 패널에 밝은 빛을 조사하고 이 상태에서 디스플레이 패널을 육안으로 검사하므로 눈의 피로도가 가중되는 문제점이 지적되고 있다.
한편, 최근에는 카메라나 라인 스캐너 등의 촬영부를 통해 물품의 영상을 획득하고, 이 영상을 분석하여 물품의 결함 여부를 판독하는 결함 검사기들이 속속 등장하고 있다.
그러나, 종래 검사기들은 이송 컨베이어를 통해 물품을 이송시키면서 영상을 획득하고 있는 관계로, 이송 컨베이어를 통한 물품의 이송과정에 물품의 표면에 흠집이 발생될 수 있고, 이물질이 묻을 수도 있고, 특히 이송 컨베이어의 이송을 통한 영상획득 방식은 투명한 디스플레이 패널의 영상획득에 사용하기에는 부적합하다.
이에 따라, 당 분야에서는 디스플레이 패널 결함 검사기를 구현함에 있어, 촬영부의 촬영영역에 디스플레이 패널을 낱장씩 안정되게 공급할 수 있는 공급장치의 개발이 절실히 요구되고 있다.
상기한 요구에 의해 안출된 본 발명의 목적은, 디스플레이 패널 결함 검사기에 설치된 촬영부를 통한 촬영과정에 협지편에 의해 디스플레이 패널이 부분적으로 가려진 상태로 촬영되는 것을 예방하고, 또 다양한 규격을 갖는 디스플레이 패널의 안정된 협지가 가능하도록 한 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치를 제공함에 있다.
상기한 목적은, 본 발명에서 제공되는 하기 구성에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치는,
낱장의 디스플레이 패널을 협지하는 그립부와, 상기 그립부에 연결되어 그립부의 위치를 변경할 수 있도록 하는 이송부를 포함하여 구성되어, 상기 그립부가 낱장의 디스플레이 패널을 협지하여 이송부의 작용에 의해 디스플레이 패널 결함 검사기의 촬영부 촬영영역에 정 위치시키도록 구성된 것으로서,
상기 이송부는 복수의 링크부재의 절첩과 회전을 통해 그립부의 위치변경을 도모하는 로봇암 형태로서, 상기 로봇암의 선단에는 회동부재를 형성하고, 이 회동부재에 그립부를 고정하여, 촬영부를 통한 디스플레이 패널의 표면 촬영이 완료되면, 상기 회동부재를 통해 디스플레이 패널을 협지한 그립부를 180°회전하여 촬영부를 통해 디스플레이 패널의 이면을 촬영하도록 구성되고,
상기 촬영부는 디스플레이 패널을 선형으로 분할 촬영하는 라인 스캐너 형태 또는 디스플레이 패널을 영역별로 분할 촬영하는 영역 카메라 중에서 선택되는 어느 한 형태로 이루어지며,
상기 그립부는, 이송부와 연결된 프레임에 한 쌍의 협지암이 협지공간을 사이에 두고 이격되게 설치되고, 상기 각 협지암에는 협지편을 전진시켜 협지공간에 진입된 디스플레이 패널을 부분적으로 협지하는 복수의 협지부재가 이격되게 배치되며,
상기 각 협지암에 배치된 복수의 협지부재들은, 각 협지부재별로 정역모터, 실린더 및 솔레로이드 중에서 선택되는 구동원에 의해, 서로 독립적인 구동에 의한 개별적인 진퇴가 가능하여,
협지편을 전진시켜 디스플레이 패널을 협지한 복수의 협지부재들 중에서, 이동하는 촬영부의 촬영영역에 협지편을 위치시킨 협지부재는 개별적으로 협지편을 후퇴시켜, 후퇴된 디스플레이 패널의 협지를 해제하더라도 나머지 협지부재가 디스플레이 패널을 안정되게 협지하여, 그립부의 협지공간에 진입된 디스플레이 패널은 안정된 협지상태를 형성한 상태에서 촬영영역에서의 촬영부의 촬영이 이루어지도록 구성되어,
촬영부에 의해 촬영되는 부분의 디스플레이 패널을 협지한 협지부재들은 각 협지편을 순차적으로 후퇴시켜 디스플레이 패널의 협지상태를 순차적으로 해제하고, 이에 따라 촬영부에 의해 촬영되는 디스플레이 협지를 위해 전진된 협지편에 의해 부분적으로 가려져 촬영되지 않는 현상이 방지되어, 촬영부가 협지부재의 협지편에 의해 디스플레이 패널이 부분적으로 가려지지 않은 디스플레이 패널의 영상을 안정적으로 획득할 수 있으며,
상기 협지부재를 구성하는 협지편은 디스플레이 패널보다 상대적으로 경도가 낮은 합성수지나 실리콘 재질로 제작되고, 전방에는 'V'형의 협지홈이 요입되게 형성되어서, 디스플레이 패널 가장자리를 물리적인 손상 없이 협지 가능하도록 구성되고,
상기 프레임과 협지암 사이에는 프레임과 협지암을 정역모터에 의해 정역으로 회전하는 볼스크루 구조로 연결하여, 정역모터의 구동에 의해 협지암 사이의 간격이 변경되도록 한 형태 또는 프레임과 협지암을 실린더 또는 솔레로이드로 연결하여 실린더 또는 솔레로이드의 신축에 의해 협지암 사이의 간격이 변경되도록 한 형태의 간극 조절구조가 형성되어,
상기 간극 조절구조에 의해 협지암이 좌우 이동하여 협지공간의 크기가 조절되도록 구성된 것을 특징으로 한다.
삭제
삭제
삭제
삭제
삭제
전술한 바와 같이 본 발명에 따른 디스플레이 패널 결함 검사기의 디스플레이 패널 공급장치는, 좌우 양편에 대칭되게 형성된 복수의 협지부재가 협지편을 전진시켜 협지공간에 진입된 디스플레이 패널을 안정되게 협지할 수 있다.
특히, 본 발명에서는 촬영부를 통한 디스플레이 패널의 촬영과정에 협지부재들이 협지편을 개별적으로 교번되게 후퇴시켜, 디스플레이 패널의 안정된 협지상태가 확보되면서도 촬영부에 의해 촬영되는 디스플레이 패널의 부분영역에 협지편이 사라지도록 구성함으로써, 촬영부는 협지편에 의해 부분적으로 가려지지 아니한 디스플레이 패널 영상을 안정되게 획득할 수 있다.
이와 더불어, 상기 그립부를 구성하는 프레임과 협지암 사이에 간극 조절구조가 마련되어, 간극 조절구조를 통한 협지공간의 조절을 통해 다양한 크기의 디스플레이 패널을 공용하여 협지할 수 있는 이점을 갖는다.
도 1은 본 발명에서 바람직한 실시예로 제안하고 있는 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치의 전체 구성을 보여주는 것이고,
도 2는 본 발명에서 바람직한 실시예로 제안하고 있는 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치에 있어, 간극 조절부재를 통한 협지공간의 조절상태를 보여주는 것이며,
도 3과 도 4는 본 발명에서 바람직한 실시예로 제안하고 있는 디스플레이 패널 공급장치를 통한 디스플레이 패널의 공급과, 촬영부를 통한 디스플레이 패널의 촬영과정을 순차적으로 보여주는 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에서 바람직한 실시예로 제안하고 있는 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에서 바람직한 실시예로 제안하고 있는 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치의 전체 구성을 보여주는 것이고, 도 2는 본 발명에서 바람직한 실시예로 제안하고 있는 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치에 있어, 간극 조절부재를 통한 협지공간의 조절상태를 보여주는 것이며, 도 3과 도 4는 본 발명에서 바람직한 실시예로 제안하고 있는 디스플레이 패널 공급장치를 통한 디스플레이 패널의 공급과, 촬영부를 통한 디스플레이 패널의 촬영과정을 순차적으로 보여주는 것이다.
본 발명에서 바람직한 실시예로 제안하고 있는 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치(1)는, 촬영부를 통해 디스플레이 패널(G)의 영상을 촬영하여 획득하고 이 획득된 영상을 판독하여 디스플레이 패널의 결함 여부를 검출하는 공지의 디스플레이 패널 결함 검사기에 설치되어, 낱장의 디스플레이 패널(G)를 촬영부(110)의 촬영영역에 공급하도록 구성된 것이다.
상기 결함 검사기의 촬영부(110)는, 디스플레이 패널를 선형으로 분할 촬영하는 라인 스캐너, 또는 디스플레이 패널을 영역별로 분할 촬영하는 영역 카메라 등이 채택될 수 있으며, 본 실시예에서는 일례로 라인 스캐너를 촬영부로 채택하고 있다.
그리고 상기 디스플레이 패널 공급장치(1)는, 도 1 내지 도 4에서 보는 바와 같이 디스플레이 패널(G)를 낱장씩 협지하는 그립부(10)에, 그립부(10)의 위치 변경을 도모하는 이송부(20)가 연결된 형태로 구성되어, 그립부(10)가 낱장의 디스플레이 패널(G)을 협지하면 이송부(20)는 그립부(10)를 위치 변경하여 디스플레이 패널 결함 검사기를 구성하는 촬영부(110)의 촬영영역에 정 위치시킨다.
여기서, 상기 그립부(10)에는 링크모듈이나 회전모듈을 유기적으로 조합한 다양한 형태의 이송부가 설치될 있으나, 본 발명에서는 일례로 복수의 링크부재의 절첩과 회전을 통해 그립부의 위치변경을 도모하는 공지의 로봇암을 이송부(20)로 채택하고 있다.
그리고, 상기 로봇암의 선단에는 회동부재(21)를 형성하고 이 회동부재(21)에 그립부(10)를 고정하여, 도 3a와 같이 촬영부를 통한 디스플레이 패널(G)의 표면 촬영이 완료되면, 도 3b와 같이 이송부(20)는 회동부재(21)를 통해 디스플레이 패널(G)를 협지한 그립부(10)를 180°회전시켜 촬영부를 통해 디스플레이 패널(G)의 이면을 촬영하도록 구성된다.
한편, 상기 디스플레이 패널(G)의 협지하는 그립부(10)는, 이송부(20)와 연결된 프레임(11)에 한 쌍의 협지암(12)이 좌우 이격되게 배치된 형태로 구성되어, 상호 대향하는 협지암(12)들 사이에는 협지공간(S)이 형성된다.
그리고, 상기 프레임(11)과 협지암(12) 사이에는 간극 조절구조(14)가 마련되는데, 상기 간극 조절구조(14)로는 프레임과 협지암을 정역모터에 의해 정역으로 회전하는 볼스크루 구조로 연결하여, 정역모터의 구동에 의해 협지암 사이의 간격이 변경되도록 한 형태와, 도면상에 도시된 프레임(11)과 협지암(12)을 실린더, 또는 솔레로이드로 연결하여 실린더 또는 솔레로이드의 신축에 의해 협지암 사이의 간격이 변경되도록 한 형태 등이 채택될 수 있다.
이와 같이 프레임(11)과 협지암(12) 사이에 간극 조절구조(14)를 마련하면, 도 2와 같이 간극 조절구조(14)에 의해 프레임(11)의 좌우에 배치된 협지암(12) 사이의 간극이 조절되고 이를 통해 협지공간(S)의 크기가 조절된다.
그리하여, 본 실시예에 따른 그립부(10)는 간극 조절구조(14)를 통한 협지공간(S)의 조절을 통해 다양한 크기의 디스플레이 패널(G)를 공용하여 협지할 수 있다.
상기 그립부(10)를 구성하는 각 협지암(12)의 내측면에는 협지편(13a)의 진퇴를 통해 디스플레이 패널의 가장자리를 협지하는 복수의 협지부재(13)들이 이격되게 배치된다.
본 실시예에서는 각 협지암(12)에 실린더형의 협지부재(13)를 3개씩 등간격으로 배치하여, 각 협지암(12)은 등간격으로 배치된 협지부재(13)를 통해 협지공간(S)에 진입된 디스플레이 패널(G)의 일 가장자리의 3지점을 등간격으로 협지하도록 구성된다.
도면을 보면 상기 협지부재(13)를 구성하는 협지편(13a)은, 디스플레이 패널 보다 상대적으로 경도가 낮은 합성수지나 실리콘 재질로 제작되며, 전방에는 'V'형의 협지홈(13a-a)이 요입되게 형성되어서, 디스플레이 패널(G) 가장자리를 물리적인 손상 없이 안정되게 협지할 수 있다.
상기 협지부재(13)로는, 전자력을 통해 협지편이 형성된 진퇴로드를 진퇴시키는 솔레로이드형, 또는 정역모터와 볼스크루 구조로 연결되어 정역모터의 정역 회전에 따라 협지편이 형성된 진퇴로드를 진퇴시키는 모터형, 또는 공압의 주입을 통해 협지편이 형성된 진퇴로드를 전진시키는 실린더형 등이 채택될 수 있다.
이와 같이 구성된 협지부재(13)들은 개별적으로 구동원인 정역모터나 실린더, 또는 솔레로이드를 갖고 있는 관계로 개별적인 진퇴가 가능하다.
그리고, 이러한 협지부재(13)는 각 협지암(12)에 복수개가 설치된 관계로, 도 4에서 보는 바와 같이 어느 하나의 협지부재(13)가 후퇴하여 디스플레이 패널(G)의 협지를 해제하더라도 나머지 협지부재(13)가 디스플레이 패널(G)을 안정되게 협지하므로, 그립부(10)의 협지공간(S)에 진입된 디스플레이 패널(G)은 항시 안정된 협지상태를 형성한다.
즉, 본 실시예에서는 협지암(12)에 각각 3개의 협지부재(13)가 형성되어, 이들 중 어느 하나의 협지부재(13)에 의한 디스플레이 패널(G)의 협지상태가 해제되더라도, 나머지 2개의 협지부재(13)가 디스플레이 패널(G)을 안정된 협지한다.
따라서, 복수의 협지부재(13)들에 형성된 각 협지편(13a)을 전진시켜 디스플레이 패널(G)를 협지한 그립부(10)가, 이송부(20)에 의해 촬영부(110)의 촬영영역에 위치하면, 촬영부(110)는 일방향으로 이송되면서 디스플레이 패널(G)를 분할 촬영하여 디스플레이 패널(G)의 영상을 획득한다.
이러한 과정 중에, 촬영부(110)에 의해 촬영되는 부분의 디스플레이 패널(G)를 협지한 협지부재(13)들은 도 4에서 보는 바와 같이 각 협지편(13a)을 순차적으로 후퇴시켜 디스플레이 패널(G)의 협지상태를 순차적으로 해제하고, 이에 따라 촬영부(13)에 의해 촬영되는 디스플레이 패널(G) 부분이 협지편(13)에 의해 가려져 비 촬영되는 현상이 예방될 수 있다.
즉, 촬영부(110)에 의해 촬영되는 디스플레이 패널(G)의 부분영역을 협지한 협지부재(13)는 협지편(13a)을 후퇴시켜 디스플레이 패널의 협지상태를 해제하고, 나머지 협지부재(13)는 디스플레이 패널(G)의 협지를 유지하는 과정을 순차적으로 실시하여, 촬영부(110)에 의해 촬영되는 디스플레이 패널(G)이 협지편(13a)에 의해 부분적으로 가려져 비 촬영되는 현상을 예방하는 것이다.
따라서, 상기 디스플레이 패널 결함 검사기의 촬영부(110)는, 협지부재(13)의 협지편(13a)에 의해 디스플레이 패널(G)이 부분적인 가려지지 아니한 디스플레이 패널(G)의 영상을 안정되게 획득할 수 있다.
그리고, 이러한 과정을 통해 디스플레이 패널(G)의 표면촬영이 완료되면, 이송부(20)는 회동부재(21)를 통해 디스플레이 패널을 협지한 그립부(10)를 180°회전시켜 촬영부(110)를 통해 디스플레이 패널 이면을 촬영하여 이면 영상을 획득하도록 한다.
한편, 본 실시예에 따른 그립부에 형성된 협지부재(13)와 간극 조절부재(14), 그리고 이송부(20)는 제어부(미도시)에 의해 구동이 제어되며, 이는 당 분야의 기술수준을 고려할 때 충분히 예측 구현이 가능하므로, 본 명세서에서는 설명의 편의상 상세한 설명과 이에 따른 도면의 도시를 생략하고 있다.
1. 디스플레이 패널 공급장치
10. 그립부 11. 프레임
12. 협지암 13. 협지부재
13a. 협지편 13a-a. 협지홈
14. 간극 조절부재
20. 이송부 21. 회동부재
110. 촬영부

Claims (3)

  1. 낱장의 디스플레이 패널을 협지하는 그립부와, 상기 그립부에 연결되어 그립부의 위치를 변경할 수 있도록 하는 이송부를 포함하여 구성되어, 상기 그립부가 낱장의 디스플레이 패널을 협지하여 이송부의 작용에 의해 디스플레이 패널 결함 검사기의 촬영부 촬영영역에 정 위치시키도록 구성된 것으로서,
    상기 이송부는 복수의 링크부재의 절첩과 회전을 통해 그립부의 위치변경을 도모하는 로봇암 형태로서, 상기 로봇암의 선단에는 회동부재를 형성하고, 이 회동부재에 그립부를 고정하여, 촬영부를 통한 디스플레이 패널의 표면 촬영이 완료되면, 상기 회동부재를 통해 디스플레이 패널을 협지한 그립부를 180°회전하여 촬영부를 통해 디스플레이 패널의 이면을 촬영하도록 구성되고,
    상기 촬영부는 디스플레이 패널을 선형으로 분할 촬영하는 라인 스캐너 형태 또는 디스플레이 패널을 영역별로 분할 촬영하는 영역 카메라 중에서 선택되는 어느 한 형태로 이루어지며,
    상기 그립부는, 이송부와 연결된 프레임에 한 쌍의 협지암이 협지공간을 사이에 두고 이격되게 설치되고, 상기 각 협지암에는 협지편을 전진시켜 협지공간에 진입된 디스플레이 패널을 부분적으로 협지하는 복수의 협지부재가 이격되게 배치되며,
    상기 각 협지암에 배치된 복수의 협지부재들은, 각 협지부재별로 정역모터, 실린더 및 솔레로이드 중에서 선택되는 구동원에 의해, 서로 독립적인 구동에 의한 개별적인 진퇴가 가능하여,
    협지편을 전진시켜 디스플레이 패널을 협지한 복수의 협지부재들 중에서, 이동하는 촬영부의 촬영영역에 협지편을 위치시킨 협지부재는 개별적으로 협지편을 후퇴시켜, 후퇴된 디스플레이 패널의 협지를 해제하더라도 나머지 협지부재가 디스플레이 패널을 안정되게 협지하여, 그립부의 협지공간에 진입된 디스플레이 패널은 안정된 협지상태를 형성한 상태에서 촬영영역에서의 촬영부의 촬영이 이루어지도록 구성되어,
    촬영부에 의해 촬영되는 부분의 디스플레이 패널을 협지한 협지부재들은 각 협지편을 순차적으로 후퇴시켜 디스플레이 패널의 협지상태를 순차적으로 해제하고, 이에 따라 촬영부에 의해 촬영되는 디스플레이 협지를 위해 전진된 협지편에 의해 부분적으로 가려져 촬영되지 않는 현상이 방지되어, 촬영부가 협지부재의 협지편에 의해 디스플레이 패널이 부분적으로 가려지지 않은 디스플레이 패널의 영상을 안정적으로 획득할 수 있으며,
    상기 협지부재를 구성하는 협지편은 디스플레이 패널보다 상대적으로 경도가 낮은 합성수지나 실리콘 재질로 제작되고, 전방에는 'V'형의 협지홈이 요입되게 형성되어서, 디스플레이 패널 가장자리를 물리적인 손상 없이 협지 가능하도록 구성되고,
    상기 프레임과 협지암 사이에는 프레임과 협지암을 정역모터에 의해 정역으로 회전하는 볼스크루 구조로 연결하여, 정역모터의 구동에 의해 협지암 사이의 간격이 변경되도록 한 형태 또는 프레임과 협지암을 실린더 또는 솔레로이드로 연결하여 실린더 또는 솔레로이드의 신축에 의해 협지암 사이의 간격이 변경되도록 한 형태의 간극 조절구조가 형성되어,
    상기 간극 조절구조에 의해 협지암이 좌우 이동하여 협지공간의 크기가 조절되도록 구성된 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
KR1020100049811A 2010-05-27 2010-05-27 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치 KR101211690B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100049811A KR101211690B1 (ko) 2010-05-27 2010-05-27 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100049811A KR101211690B1 (ko) 2010-05-27 2010-05-27 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20110130255A KR20110130255A (ko) 2011-12-05
KR101211690B1 true KR101211690B1 (ko) 2012-12-12

Family

ID=45499122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020100049811A KR101211690B1 (ko) 2010-05-27 2010-05-27 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101211690B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101789651B1 (ko) 2016-04-25 2017-10-25 주식회사 제이이노텍 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법
KR20180106395A (ko) * 2017-03-20 2018-10-01 주식회사 엘지화학 폴딩 그립퍼를 포함하는 전지셀 제조용 폴딩 장치
KR102350801B1 (ko) * 2020-07-15 2022-01-14 주식회사 에이제이에프에프 비정형 형상을 가지는 단조피팅 파지용 그리퍼

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107344362A (zh) * 2017-06-05 2017-11-14 广东天机工业智能系统有限公司 工件抓取系统
KR102570893B1 (ko) * 2018-11-01 2023-08-25 세메스 주식회사 콜릿 교체 장치
TWI694908B (zh) * 2019-10-07 2020-06-01 黃建德 機器人取放裝置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101789651B1 (ko) 2016-04-25 2017-10-25 주식회사 제이이노텍 평판 디스플레이 판넬의 이물질 검사 방법
KR20180106395A (ko) * 2017-03-20 2018-10-01 주식회사 엘지화학 폴딩 그립퍼를 포함하는 전지셀 제조용 폴딩 장치
KR102290733B1 (ko) * 2017-03-20 2021-08-19 주식회사 엘지에너지솔루션 폴딩 그립퍼를 포함하는 전지셀 제조용 폴딩 장치
KR102350801B1 (ko) * 2020-07-15 2022-01-14 주식회사 에이제이에프에프 비정형 형상을 가지는 단조피팅 파지용 그리퍼

Also Published As

Publication number Publication date
KR20110130255A (ko) 2011-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101211690B1 (ko) 디스플레이 패널 결함 검사기용 디스플레이 패널 공급장치
TWI476407B (zh) Examination information detection device and specimen information detection method
TWI495866B (zh) Appearance inspection device
KR20150107447A (ko) 렌즈 검사장치 및 이를 이용한 렌즈 검사방법
KR102112053B1 (ko) 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사장치 및 검사방법
KR20160022044A (ko) 광학 필름 검사 장치
KR100804033B1 (ko) 광학 필름 검사장치
KR101674966B1 (ko) 렌즈 검사장치
JP2015219085A (ja) 基板検査装置
US10247678B1 (en) Arrangement and procedure for the inspection of moving plate-shaped objects
KR20150113269A (ko) 박막 트랜지스터 기판 검사 장치
JP2003075906A (ja) カメラマウント装置、カメラ装置、検査装置、及び複数の1次元ccdカメラの姿勢および位置の調整方法
JP2007114146A (ja) 表示用パネルの点灯検査装置
KR20200046149A (ko) 영역 기반의 비젼 검사장치
KR20160045452A (ko) 약품 하이브리드 검사시스템
JP2018179789A (ja) 検査装置、検査方法、および物品製造方法
KR20160066741A (ko) 평판디스플레이 패널 에지 검사장치 및 방법
WO2020208981A1 (ja) 検査装置、検査方法、及び、フィルムの製造方法
JP2009000930A5 (ko)
KR20080081574A (ko) 편광필름 검사장치
JP2008107348A (ja) ガラス容器を検査するための機械
KR20200014863A (ko) 이미지 센서를 이용한 표면결함 검사장치 및 검사방법
KR20160104361A (ko) 광 투과 부재 검사 장치
KR101289827B1 (ko) 쇼크 업쇼버 로드의 표면 불량 검사 시스템
KR100861942B1 (ko) 광학 필름 검사장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
LAPS Lapse due to unpaid annual fee