JP2013177274A5 - シリコン鋳造用鋳型、シリコン鋳造方法、シリコン材料の製造方法および太陽電池の製造方法 - Google Patents
シリコン鋳造用鋳型、シリコン鋳造方法、シリコン材料の製造方法および太陽電池の製造方法 Download PDFInfo
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- シリコン融液を凝固させるシリコン鋳造用鋳型であり、前記シリコン鋳造用鋳型の内壁の少なくとも底板部上面に、平均粒径０．１〜３．０ｍｍの添加物を含む離型材層が設けられていることを特徴とするシリコン鋳造用鋳型。
- 前記離型材層が、前記底板部上面のみに設けられている請求項１記載のシリコン鋳造用鋳型。
- 前記シリコン鋳造用鋳型が、黒鉛または石英（シリカ）を主成分とする材質で構成されている請求項１または２に記載のシリコン鋳造用鋳型。
- 前記添加物が、窒化珪素、炭化珪素、酸化珪素および黒鉛から選択される少なくとも１つを主成分とする請求項１〜３のいずれか１つに記載のシリコン鋳造用鋳型。
- 前記離型材層が、その表面に面密度０．２〜８．５個／ｃｍ2で前記添加物を含む請求項１〜４のいずれか１つに記載のシリコン鋳造用鋳型。
- 請求項１〜５のいずれか１つに記載のシリコン鋳造用鋳型内でシリコン融液を凝固させることを特徴とするシリコン鋳造方法。
- 内壁に離型材層が設けられたシリコン鋳造用鋳型を用いて、シリコン鋳造用鋳型の底板部上面に平均粒径０．１〜３．０ｍｍの粒が存在する状態で、シリコン鋳造用鋳型内のシリコン融液を凝固させることを特徴とするシリコン鋳造方法。
- 請求項６または７記載のシリコン鋳造方法により鋳造されたシリコンを用いてシリコン材料を得るシリコン材料の製造方法。
- 請求項８記載の製造方法により製造されたシリコン材料を基板として用いて太陽電池を得る太陽電池の製造方法。
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