JP2013176782A - 金属材料の接合方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】少なくとも一方の表面に酸化皮膜が存在する金属材料を大気中で、低温度、低加圧、低コストで直接的な接合が可能な金属材料の接合方法を提供する。
【解決手段】少なくとも接合面が金属Aから成る第1の部材1と、少なくとも接合面が金属Bから成る第2の部材2と接合するに際して、接合面間にインサート材3を介在させた状態で、相対的に加圧しつつ加熱して、金属A及び金属Bのそれぞれとインサート材3の間で共晶反応を生じさせ、この共晶反応溶融物を金属A、Bの酸化皮膜1f、2fと共に接合面から排出して第1及び第2の部材1,2を接合する。
【選択図】図1

Description

本発明は、少なくとも一方の表面に酸化皮膜が存在する金属材料の接合方法に係り、さらに詳しくは、上記金属材料を大気中、低温度で接合することができ、母材や周辺への熱影響を最小限に抑えることができる低コストの接合方法に関するものである。
工業製品には、種々の金属材料が使用されており、同種の金属材料同士はもとより、異種材間接合を含む種々の金属の接合が行われている。
例えば、各種電池や電気・電子機器の部品においては、電気抵抗が小さい銅やアルミニウム系金属などが用いられ、これら金属間の接合や、接触抵抗低減を目的に金や銀から成るめっきを施した部品を含む接合が考えられる。
このような部品における上記のような金属の接合には、はんだを用いたろう付けを採用することができるが、はんだ(ろう材)の融点(例えば200℃程度)よりも高い温度では、部品を使用することができない。
また、高温はんだを適用することによって、部品の使用温度を高めることができなくはないが、貴金属を含有するはんだを用いた場合には、高コスト化を招くと共に、その成分組成によっては、高温保持した場合に金属間化合物やカーケンダルボイドを生成して、強度や耐久性が損なわれることがある。したがって、上記のような金属材料同士をろう材を用いることなく、直接的に接合することが望ましい。
一方、上記金属材料の中で、金以外の一般的な材料の表面には酸化皮膜が生成しており、このような酸化皮膜が直接接合の障害となって、冶金的な接合が難しい。
例えば、特許文献1には、アルミニウム同士、あるいはアルミニウムとアルミナを接合するに際して、被接合面間に母材と共晶反応を起こす元素を含むインサート材を介在させ、酸素雰囲気中で接触させた後、上記被接合面を共晶反応が生じる温度範囲に加熱し、接触面に共晶反応による融液相と、母材成分と接触面の空隙に存在する酸素との反応による酸化物相を生成させることが記載されている(特許請求の範囲1参照)。これによって、母材表面の酸化皮膜は破壊され、融液中の成分と酸素の反応による酸化物と共に、融液相中に混入されるとされている(第3頁左欄中央参照)。
特公平3−66072号公報
しかしながら、上記特許文献1に記載の方法においては、インサート材として、銅、銀、シリコン、アルミニウム−銀過共晶合金、アルミニウム−銅過共晶合金、アルミニウム−シリコン過共晶合金を用いるようにしている(特許請求の範囲3参照)。したがって、これらインサート材とアルミニウムとの共晶温度は、いずれも500℃を超え(例えばAl−Cu系では548℃、Al−Si系では577℃)、接合温度が高くなるため、特に6000系など熱処理型合金の場合、溶体化処理温度を超えることから、母材が軟化し強度が低下するという問題がある。
また、酸素雰囲気で接合が行われるため、特殊なチャンバーが必要となり、設備コストが増加する点にも問題があった。
本発明は、被接合材の一方がアルミニウム系金属材料である接合や、アルミニウム材以外でも表面に酸化皮膜を備えた材料における上記のような課題に鑑みてなされたものである。そして、その目的とするところは、少なくとも一方の表面に酸化皮膜が存在する金属材料を大気中で、低温度、低加圧、低コストで直接的な接合が可能な金属材料の接合方法を提供することにある。
本発明者らは、上記目的を達成すべく、鋭意検討を重ねた結果、被接合部材の間に、各部材に含まれる金属とそれぞれ共晶反応を生じる金属を含むインサート材を介在させた状態で、加圧及び加熱して共晶反応を生じさせることによって、上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成するに到った。
すなわち、本発明は上記知見に基づくものであって、本発明の金属材料の接合方法においては、少なくとも接合面がAl、Cu、Ag及びAuから成る群より選ばれた少なくとも1種を主成分とする金属Aから成る第1の部材と、少なくとも接合面がAl、Cu、Ag及びAuから成る群より選ばれた少なくとも1種を主成分とする金属Bから成る第2の部材とを接合する(但し、Alを主成分とする金属同士、Auを主成分とする金属同士の接合を除く)方法であって、上記両部材の接合面間に、上記金属Aに含まれるAu以外の少なくとも1種の金属と、上記金属Bに含まれるAu以外の少なくとも1種の金属とそれぞれ共晶反応を生じる金属としてZnを含むインサート材を介在させ、両部材を相対的に加圧した状態で、上記共晶反応を生じる温度に加熱して、両部材の接合界面に共晶反応による溶融物を生成させ、当該溶融物と共に、上記金属A及び/又は金属Bの表面に生成された酸化皮膜を接合界面から排出して両部材を接合するようにしたことを特徴とする。
本発明によれば、金属Aに含まれるAl、Cu及びAgの少なくとも1種の金属とインサート材中のZnとの共晶反応によって金属Aの酸化皮膜が破壊され、金属Bに含まれるAl、Cu及びAgの少なくとも1種の金属とインサート材中のZnとの共晶反応によって金属Bの酸化皮膜が破壊される。そして、破壊された酸化皮膜は、共晶反応溶融物と共に接合界面から排除されることから、金属Aと金属Bとの間を低温度、低加圧(低入熱、低歪み)、低コストのもとで直接接合することができる。
(a)〜(e)は本発明の金属材料の接合方法による接合過程の一形態を概略的に示す断面図である。 (a)〜(e)は本発明の金属材料の接合方法による接合過程の他の形態を概略的に示す断面図である。 (a)〜(c)は本発明において接合面に形成する微細凹凸の形状の形態例を概略的に示す斜視図である。 本発明の金属材料の接合方法によって得られた接合界面の電気抵抗を従来例と比較して示すグラフである。
以下に、本発明の金属材料の接合方法について、さらに詳細、かつ具体的に説明する。なお、本明細書において「%」は、特記しない限り、質量百分率を意味するものとする。
本発明の金属材料の接合方法においては、少なくとも接合面がAl、Cu、Ag及びAuから成る群より選ばれた少なくとも1種を主成分とする金属Aから成る第1の部材と、少なくとも接合面がAl、Cu、Ag及びAuから成る群より選ばれた少なくとも1種を主成分とする金属Bから成る第2の部材とを接合するに際して(但し、Alを主成分とする金属同士、Auを主成分とする金属同士の接合を除く)、上記したように、上記両部材の接合面間に、上記金属Aに含まれるAu以外の少なくとも1種の金属と、上記金属Bに含まれるAu以外の少なくとも1種の金属とそれぞれ共晶反応を生じる金属としてZnを含むインサート材を介在させる。
そして、両部材を相対的に加圧した状態で、上記した共晶反応を生じる温度に加熱することによって、両部材の接合界面に、上記共晶反応による溶融物を生成させ、当該溶融物と共に、上記金属A及び/又は金属Bの表面に生成された酸化皮膜を接合界面から排出して両部材を接合する。
共晶反応による溶融は、2種以上の金属が相互拡散して生じた相互拡散域の組成が共晶組成となった場合に生じ、保持温度が共晶温度以上であれば共晶反応により液相が形成される。例えば、Zn−Al系合金の場合、Alの融点は660℃、Znの融点は419.5℃であり、この共晶金属はそれぞれの融点より低い382℃にて溶融する。
したがって、両金属の清浄面を接触させ、382℃以上に加熱保持すると反応(共晶溶融)が生じ、Al−95%Znが共晶組成となるが、共晶反応自体は合金成分に無関係な一定の変化であり、インサート材の組成は共晶反応の量を増減するに過ぎない。
一方、Auを除き一般的な金属材料の表面には酸化皮膜が存在するが、接合過程における加圧によって材料表面に塑性変形が生じることにより、物理的に、局部破壊されることになる。
すなわち、加圧によって材料表面の微視的な凸部同士が擦れ合うことから、一部の酸化皮膜の局所的な破壊によって母材とインサート材が接触した部分から母材とインサート材成分金属の間に共晶溶融が生じる。
そして、この液相の生成によって近傍の酸化皮膜が破砕、分解され、さらに共晶溶融が全面に拡がっていくことによって、酸化皮膜破壊が拡大し、促進され、接合面の酸化皮膜が低温度(共晶温度)で除去され、ろう材を介在させることなく、両部材のダイレクトな接合が達成される。
共晶組成は相互拡散によって自発的達成されるため、組成のコントロールは必要なく、必須条件は母材とインサート材金属の間に、低融点の共晶反応が生成することである。
なお、接合面には、金属Aに含まれる金属と金属Bに含まれる金属とZnとの共晶反応をそれぞれ生じさせることが必要であり、「共晶反応を生じる温度」とは、当然のことながら、両共晶温度の高い方を意味することになる。
但し、被接合部材の一方の少なくとも接合面がAuを主成分とする金属の場合には、当該金属とZnの間に共晶反応が生じることはなく、その接合面に酸化皮膜は生成していないことから、酸化皮膜を除去するために共晶反応が生じる必要もない。
図1(a)〜(e)は、本発明による金属材料の接合プロセスを順を追って説明する工程図である。
まず、少なくとも接合面がAl、Cu、Ag及びAuから成る群より選ばれた少なくとも1種を主成分とする金属Aから成る第1の部材1と、少なくとも接合面がAl、Cu、Ag及びAuから成る群より選ばれた少なくとも1種を主成分とする金属Bから成る第2の部材2を用意する。但し、Alを主成分とする金属同士、Auを主成分とする金属同士の接合の場合を除外する。
すなわち、第1及び第2の部材としては、部材全体が上記金属A及び金属Bから成るものであっても、他の金属から成る部材の少なくとも接合面に、めっきやスパッタリング、溶射などの手段によって、上記金属Aや金属Bから成る層を形成したものであってもよい。このとき、金属A及び金属Bの表面には酸化皮膜1f、2fが生成している。金属A及び金属Bの一方がAuを主成分とする金属の場合には酸化皮膜の生成はない。
このように、金属A及び金属Bの組合せとしては、アルミニウム系材料同士、金系材料同士の場合を除いて、純金属や合金を含む種々の組合せを採用することができるが、同種材同士の接合とした方が界面の劣化反応の起点がなくなるため、耐久信頼性のより高い接合が可能となる。なお、ここで言う「同種材」とは、金属組織や成分系が同じであることを意味し、必ずしも合金成分の含有量が一致する必要はない。
そして、図1(a)に示すように、これらの部材1、2の間に、インサート材3を配置する。
このインサート材3としては、上記金属Aに含まれるAu以外、すなわちAl、Cu及びAgのうちの少なくとも1種の金属元素と、上記金属Bに含まれる同様の金属元素のそれぞれと共晶反応を生じる金属であるZnを含むものであって、例えば、Znを主成分とする金属(純亜鉛、亜鉛合金)が用いられる。
また、Znと、Al、Mg、Cu、Ag及びSnから成る群より選ばれた少なくとも1種の金属を主成分とする合金、例えばZnとAlを主成分とする合金、ZnとAlとMgを主成分とする合金を用いることもできる。
すなわち、ZnとAlを含む合金系の共晶温度は低く(Zn−Al系合金では382℃、Zn−Al−Mg系合金では330℃)、このような低い温度で、母材の軟化や変形を惹起することなく、接合を阻害する酸化皮膜を接合界面から除去して、両部材を接合することができる。
さらに、インサート材3には、上記金属Aもしくは金属B材の一方、または両方の成分を含有させた方が、インサート材と被接合部材との反応性の向上や、接合界面の親和性の向上のためから望ましい。
上記インサート材3の厚さとしては、20μm以上、200μm以下とすることが望ましい。
インサート材3の厚さが20μmに満たない場合、酸化皮膜の排出が不十分となったり、接合部のシール性が低下し、接合中に酸化が進み接合部の強度特性を低下させたりする。一方、200μmを超えると、余剰部分の排出のために高い加圧力が必要となったり、界面への残存が多くなり、継ぎ手性能を低下させたりすることがある。
また、上記においては、板状のインサート材3を部材1、2の間に挟持しただけの例を示したが、インサート材3の形状や両材料の間に介在させる方法としては、めっきやパウダーデポジション法によって、両部材の一方あるいは両方の接合面に予め被覆しておくこともできる。さらに、組成や形状(厚さ)などに関する選択の自由度が高いことから、箔状のインサート材を用いて、両部材の間に挟み込むことが望ましい。
なお、本発明において、金属A、金属B、インサート材における「主成分」とは、それら金属の含有量が合計で80%以上であることを意味するものとする。
次に、図1(b)に示すように第1及び第2の両部材1、2を加圧して、両部材をインサート材3を介して密着させ、さらに加圧しながら、加熱を開始する。すると、両部材1、2に加圧による変形が生じ、図1(c)に示すように、両部材1、2の酸化皮膜1f、2fに亀裂Cが入る。
この状態で、共晶温度域に達すると、先ず酸化皮膜1f、2fの内側の金属A、金属Bとインサート材3のZnとが共晶反応を起こし、共晶溶融相が発生する。そして、図1(d)に示すように、この液相が酸化皮膜1f、2fの亀裂Cから母材側に浸入する。これによって、共晶溶融範囲が拡がり、破壊された酸化皮膜1f、2fの欠片は液相中に分散する。
続く加圧によって、図1(e)に示すように、余剰の共晶溶融物が接合界面から排出され、この液相中に分散されていた酸化皮膜1f、2fの欠片も共晶溶融物と共に排出物4となって、同時に接合界面から押し出される。これによって、両部材1、2がインサート材3に由来する混合物、この場合にはZnや、Zn−Al合金などを含む混合物5から成る層を介して互いに接合される。
このとき、接合条件によっては、上記混合物が完全に排出されて、両部材1と2が直接接合される場合や、混合物層4が介在する部分と直接接合された部分とが混在することもある。また、接合面の近傍には、Znの拡散が認められることもある。
また、共晶溶融物と酸化皮膜欠片を含む接合界面からの排出物3は、突き合わせ接合の場合には、接合界面から押し出され、完成した接合継手から除去することができる。
これに対し、重ね接合やスポット接合の場合には、接合部分から押し出されて、その周囲に残存してシール部となり、接合部のシール性向上に寄与することになる。
本発明の接合方法は、不活性ガス雰囲気で行うこともできるが、大気中でも何ら支障はなく行うことができる。
もちろん、真空中で行うことも可能であるが、真空設備が必要となるばかりでなく、インサート材の溶融により真空計やゲートバルブを損傷する可能性があるので、大気中で行うことがコスト的にも有利である。
本発明の接合方法において、接合部を上記温度範囲に加熱し、維持するための手段としては、特に限定されることはなく、例えば、抵抗加熱や高周波加熱、赤外線加熱、あるいはこれらを組み合わせた方法を採用することができる。
また、接合温度については、高過ぎると、母材が溶け込むために液相が過剰に発生し、液相が過多になると接合界面に残存し、強度が得られなくなる傾向がある。具体的には、インサート材の融点以上、融点+100℃までの温度範囲が好ましい。
上記接合温度への昇温速度については、遅い場合には、界面が酸化されて溶融物の排出性が低下して、強度が低下する原因となることがあるため、速い方が望ましい。特に大気中の接合の場合には、この傾向がある。具体的には、3℃/秒以上、10℃/秒以上がより望ましく、25℃/秒以上であることがさらに望ましい。
本発明の接合方法における加圧力については、5MPa以上30MPa未満とすることが望ましい。すなわち、加圧力が5MPaに満たない場合には、共晶反応による溶融物や、酸化皮膜の接合界面からの排出が十分にできないことがある。一方、加圧力が30MPa以上になると、被接合材料に変形を生じさせることがある。
本発明の接合方法においては、接合部分、すなわち接合面及びインサート材表面の少なくとも一部に微細凹凸を形成することが望ましく、これによる応力集中効果によって、酸化皮膜の破壊(亀裂の発生)を容易にし、これに要する加圧力を低減して負荷を減らしながら、均一な接合状態を得ることができる。
図2(a)〜(e)は、被接合材の一方に微細凹凸を形成した場合の接合プロセスについて、順を追って説明する工程図である。
まず、図2(a)に示すように、この形態例では、第1の部材(金属A)1の接合面に微細凹凸1rを予め形成しておき、この状態の第1の部材1と第2の部材(金属B)2との間にインサート材3を配置する。
なお、金属Aと金属Bの表面には、それぞれ酸化皮膜1f、2fが生成している。
上記第1の部材1の接合面に形成する微細凹凸1rの形状としては、応力を集中させて、酸化皮膜の破壊を促進させる機能さえあれば、その形状や数に制限はなく、例えば、図3(a)〜(c)に示すようなものを採用することができる。
すなわち、図3(a)に示すように、台形状断面の凹凸構造として、凸部先端を略平面とすれば、応力集中度は若干低下するとしても、応力集中手段の形成が容易となり、加工費を削減することができる。
また、図3(b)に示すように、三角柱を並列させたような凹凸構造を採用することも可能であり、これによって、凹凸構造の凸部先端が線状のものとなり、応力集中度を高めて、酸化皮膜の破断効果を向上させることができる。
さらに、図3(c)に示すように、四角錐を縦横方向に並列させた凹凸構造を採用することもでき、凹凸構造の凸部先端が点状となることから、さらに応力集中度を高めて、酸化皮膜の破断性能を向上させることができる。
微細凹凸1rの形状としては、上記したように、応力を集中させて、酸化皮膜の破壊を促進させる機能さえあれば、特に限定されることはなく、上記の他には、波形やかまぼこ形、半球状など凸部先端を曲面とすることも可能である。なお、当該曲面の曲率半径は、小さいほど応力集中が顕著なものとなって、酸化皮膜が破壊し易くなることは言うまでもない。
このような微細凹凸1rは、例えば、切削加工、研削加工、塑性加工(ローラ加工)、レーザ加工、放電加工、エッチング加工、リソグラフィーなどによって形成することができ、その形成方法としては、特に限定されるものではない。これら加工方法のうち、塑性加工によれば、非常に低コストで形成が可能である。
なお、微細凹凸の寸法、形状としては、アスペクト比(高さ/幅):0.001以上、ピッチ:1μm以上で、アスペクト比については0.1以上、ピッチについては10μm以上程度であることが望ましい。
そして、図2(a)に示した状態で、第1及び第2の部材1、2を相対的に加圧して、これらをインサート材3を介して密着させ、さらに加圧しながら加熱を開始する。
これにより、図2(b)に示すように、微細凹凸1rの凸部先端が接触した部位の応力が局所的に急激に上昇し、加圧力をさほど増すことなく、第2の部材2cの酸化被膜2fが機械的に破壊され、亀裂Cが入る。この実施形態においては、微細形状1rを形成したことにより、接合時の加圧力を低減することができ、加圧力は、1MPa以上、30MPa以下が望ましい。
この状態で、接合面の温度がインサート材3の融点に達すると、インサート材3の溶融物が亀裂Cに浸入し、第2の部材2を構成する金属B中の金属元素との間に共晶反応を起こし、共晶溶融相が発生する。
そして、この共晶溶融範囲が接合界面全体に拡がっていくことにより、第1及び第2の部材1、2の酸化被膜1f、2fが表面から除去され、図2(c)に示すように、酸化皮膜1f、2fの欠片が共晶溶融相中に分散する。
続く加圧によって、図2(d)に示すように、共晶反応溶融物が接合界面から排出され、この液相中に分散されていた酸化皮膜1f、2fの欠片もその大部分が共晶溶融物と共に接合界面から押し出され、金属A、Bの新生面が露出し、接合界面に相互拡散反応が生じる。
これによって、図2(e)に示すように、第1及び第2の部材1、2の直接的な接合が達成される。このとき、共晶反応生成物や酸化皮膜、インサート材に由来する金属などを含む微量の混合物が接合界面に残存することがあり得るが、接合接合条件の調整によって最小限に減らすことができる。なお、第1及び第2の部材1、2の直接的な接合部が形成されている限り、強度上の問題となることはない。
なお、図2においては、微細凹凸1rを第1の部材1の側に形成した例を示したが、これに限定されることはなく、微細凹凸の形成位置については、接合部位の少なくとも1箇所に形成すればよく、上記のように第1及び第2の部材における接合面の一方に形成するほか、接合面の両方に設けることができる。両面に形成することによって、酸化皮膜の破壊起点をより多くすることができる。
さらに、微細凹凸は、インサート材3の片面あるいは両面に形成することもでき、こうすることによって、第1及び第2の部材に微細凹凸の形成工程を加える必要がなくなるので、低コストの接合が可能になる。
以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説明する。
第1の部材としては、純銅製の径5mm、長さ15mmの丸棒(金属A)と、当該純銅製丸棒の端面に厚さ3μmの銀めっき(金属A)、金めっき(金属A)を施したものをそれぞれ用いた。
一方、第2の部材としては、アルミニウム合金(A6061)から成る径10mm、長さ25mmの丸棒(金属B)と、同一寸法の無酸素銅から成る丸棒(金属B)と、この無酸素銅から成る丸棒の端面に厚さ3μmの銀めっき(金属B)を施したものをそれぞれ用いた。
このとき、接合端面は旋盤加工とし、それぞれRa0.01μmの表面粗さの鏡面加工のものと、第2の部材側に高さ100μm、アスペクト比1.0、ピッチ100μmの三角形溝の周期構造から成る微細凹凸(図3(b)参照)を備えたものを用意した。
インサート材としては、径8mm、厚さ100μmのZn−Al合金箔(10.8%Al−89.2%Zn、融点:385℃)、Zn−Al−Mg合金箔(4.1%Al−2.5%Mg−93.4%Zn、融点:352℃)及びZn−Al−Ag合金箔(3.28%Ag−4.19%Al−92.53%Zn、融点:389℃)と共に、径8mm、厚さ20μm、100μm及び300μmのZn−Al−Cu合金箔(4.0%Al−2.0%Cu−94.0%Zn、融点:389℃)を準備した。
なお、これら合金箔については、それぞれの成分を有する合金溶湯を高速で回転する金属ロールに吹き付けることによって得られた厚さ約20μmの急冷箔帯をそれぞれ所要の厚さとなるように重ねて使用した。
接合に際しては、丸棒の接合端面間に、上記組成、サイズのインサート材を配置し、大気中において、2〜25MPaに加圧した状態で、接合部の周囲に配置した高周波加熱コイルによって400〜420℃に加熱し、目的の接合温度に到達後1分間保持して接合を行った。このときの昇温速度は10℃/秒とした。なお、接合温度は、丸棒の接合端面近傍の側面に溶接したR式熱電対Tによって測定した。
そして、得られた突き合わせ継手の接合強度を万能試験器による引張試験によって評価した。このときの試験速度は1mm/分とした。
その結果については、従来のSn−Ag−Cuはんだの平均的な接合強度の下限を30MPaとし、この強度を超えるものを「○」、20MPaを超え、30MPaに満たないものを「△」、20MPaを下回るものを「×」としてそれぞれ評価した。これらを接合条件と共に表1に示す。
(実施例1)
純銅製の第1の部材(金属A)と、微細凹凸を備えたアルミニウム合金製の第2の部材(金属B)との間に、インサート材として、厚さ100μmのZn−Al合金箔を介在させ、10MPaの加圧力のもとで、420℃×1分間の接合を行い、当該実施例1による突き合わせ継手を得た。
(実施例2)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Cu合金箔に変更し、接合時の加圧力を2MPaとしたこと以外は、上記実施例1と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例2による突き合わせ継手を得た。
(実施例3)
接合時の加圧力を20MPaとしたこと以外は、上記実施例2と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例3による突き合わせ継手を得た。
(実施例4)
第2の部材(金属B)として、微細凹凸を形成することなく、接合面を鏡面加工したものを用い、接合時の加圧力を25MPaとしたことを除いて、上記実施例2と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例4による突き合わせ継手を得た。
(実施例5)
インサート材の厚さを300μmとし、接合時の加圧力を10MPaとしたこと以外は、上記実施例2と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例5による突き合わせ継手を得た。
(実施例6)
インサート材の厚さを300μmから20μmに変更したこと以外は、上記実施例5と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例6による突き合わせ継手を得た。
(実施例7)
第1の部材(金属A)として、純銅製の丸棒端面に銀めっきを施したものを使用したことを除いて、上記実施例1と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例7による突き合わせ継手を得た。
(実施例8)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Ag合金箔に変更したこと以外は、上記実施例7と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例8による突き合わせ継手を得た。
(実施例9)
第1の部材(金属A)として、純銅製の丸棒端面に金めっきを施したものを使用したことを除いて、上記実施例1と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例9による突き合わせ継手を得た。
(実施例10)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Mg合金箔に変更し、接合温度を400℃としたこと以外は、上記実施例9と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例10による突き合わせ継手を得た。
(実施例11)
第2の部材(金属B)として、無酸素銅から成る丸棒を用いたこと以外は、上記実施例1と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例11による突き合わせ継手を得た。
(実施例12)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Cu合金箔に変更したこと以外は、上記実施例11と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例12による突き合わせ継手を得た。
(実施例13)
第2の部材(金属B)として、微細凹凸を設けることなく、接合面を鏡面加工したものを用い、接合時の加圧力を25MPaとしたことを除いて、上記実施例12と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例13による突き合わせ継手を得た。
(実施例14)
第1の部材(金属A)として、純銅製の丸棒端面に銀めっきを施したものを使用したことを除いて、上記実施例11と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例14による突き合わせ継手を得た。
(実施例15)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Cu合金箔に変更したこと以外は、上記実施例14と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例15による突き合わせ継手を得た。
(実施例16)
インサート材をZn−Al−Ag合金箔に変更したこと以外は、上記実施例14と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例16による突き合わせ継手を得た。
(実施例17)
第1の部材(金属A)として、純銅製の丸棒端面に金めっきを施したものを使用したことを除いて、上記実施例14と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例17による突き合わせ継手を得た。
(実施例18)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Mg合金箔に変更し、接合温度を400℃としたこと以外は、上記実施例17と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例18による突き合わせ継手を得た。
(実施例19)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Cu合金箔に変更したこと以外は、上記実施例17と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例19による突き合わせ継手を得た。
(実施例20)
第2の部材(金属B)として、無酸素銅製の丸棒端面に銀めっきを施したものを使用したことを除いて、上記実施例14と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例20による突き合わせ継手を得た。
(実施例21)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Ag合金箔に変更したこと以外は、上記実施例20と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例21による突き合わせ継手を得た。
(実施例22)
第1の部材(金属A)として、純銅製の丸棒端面に金めっきを施したものを使用したことを除いて、上記実施例20と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例22による突き合わせ継手を得た。
(実施例23)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Mg合金箔に変更し、接合温度を400℃としたこと以外は、上記実施例22と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例23による突き合わせ継手を得た。
(実施例24)
インサート材をZn−Al合金箔からZn−Al−Ag合金箔に変更したこと以外は、上記実施例22と同様の操作を繰り返すことによって、当該実施例24による突き合わせ継手を得た。
(比較例1)
純銅製の第1の部材(金属A)とアルミニウム合金から成る第2の部材(金属B)との接合に際して、第2の部材に微細凹凸を形成することも、インサート材を介在させることもなく、上記実施例1と同様の条件で接合を実施した。
(比較例2)
純銅製の丸棒端面に銀めっきを施してなる第1の部材(金属A)と無酸素銅製の丸棒端面に銀めっきを施してなる第2の部材(金属B)とを接合するに際して、接合面間にSn−Ag−Cuはんだを介在させた状態で、260℃に5分間加熱することによって両部材をろう付けした。
Figure 2013176782
表1に示す結果から明らかなように、インサート材を用いることなく接合を行った比較例1においては、実質的に接合がなされていない。これに対し、実施例1〜24においては、Znを含有するインサート材を両部材の間に介在させ、金属A及び金属Bのそれぞれとの間に共晶反応を生じさせることによって、健全な接合が可能になることが判明した。
また、この実施例の範囲内では、接合温度が高くて加圧力が低い場合や、接合面の表面粗さに対するインサート材の厚さが過大な場合に、接合強度が低下する傾向が認められた。
図4は、上記実施例20と比較例2による突き合わせ接合継手における接合界面の電気抵抗を測定した結果を示すものであって、本発明によれば、従来のSn−Ag−Cuはんだと用いた場合と比較して、大幅な電気抵抗の低減が可能となることが確認された。また、熱抵抗を低くすることもでき、半導体装置、電子部品の接合に好適なことが確認された。
1 第1の部材(金属A)
1f 酸化皮膜
1r 微細凹凸
2 第2の部材(金属B)
2f 酸化皮膜
3 インサート材
4 排出物

Claims (8)

  1. 少なくとも接合面がAl、Cu、Ag及びAuから成る群より選ばれた少なくとも1種を主成分とする金属Aから成る第1の部材と、少なくとも接合面がAl、Cu、Ag及びAuから成る群より選ばれた少なくとも1種を主成分とする金属Bから成る第2の部材とを接合する(但し、Alを主成分とする金属同士、Auを主成分とする金属同士の接合を除く)に際して、
    上記両部材の接合面間に、上記金属Aに含まれるAu以外の少なくとも1種の金属と、上記金属Bに含まれるAu以外の少なくとも1種の金属とそれぞれ共晶反応を生じる金属としてZnを含むインサート材を介在させ、両部材を相対的に加圧した状態で、上記共晶反応を生じる温度に加熱して、両部材の接合界面に共晶反応による溶融物を生成させ、当該溶融物と共に、上記金属A及び/又は金属Bの表面に生成された酸化皮膜を接合界面から排出して両部材を接合することを特徴とする金属材料の接合方法。
  2. 上記インサート材がZnを主成分とする金属であることを特徴とする請求項1に記載の接合方法。
  3. 上記インサート材がZnと、Al、Mg、Cu、Ag及びSnから成る群より選ばれた少なくとも1種の金属を主成分とする合金であることを特徴とする請求項1に記載の接合方法。
  4. 上記インサート材がZn及びAlを主成分とする合金であることを特徴とする請求項3に記載の接合方法。
  5. 上記インサート材がZn、Al及びMgを主成分とする合金であることを特徴とする請求項3に記載の接合方法。
  6. 上記金属Aと金属Bとが同種材料であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1つの項に記載の接合方法。
  7. 上記インサート材の厚さが20〜200μmであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つの項に記載の接合方法。
  8. 上記接合面及びインサート材表面の少なくとも一部に微細凹凸を形成することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1つの項に記載の接合方法。
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