JP2013175558A

JP2013175558A - ロードポート装置取付け機構

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Publication number: JP2013175558A
Application number: JP2012038631A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Okabe; 勉岡部; Hiroshi Igarashi; 宏五十嵐
Original assignee: TDK Corp
Current assignee: TDK Corp
Priority date: 2012-02-24
Filing date: 2012-02-24
Publication date: 2013-09-05
Anticipated expiration: 2032-02-24
Also published as: JP5988076B2

Abstract

【課題】ロードポート装置を簡単且つ正確に半導体処理装置の取付けることを可能とする取付け機構を提供する。
【解決手段】ロードポート装置及び取付け面の一方に該取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して所定の方向に開口するＶ字形状の円板受け溝を、他方に該円板受け溝に外周の一部が嵌る円板形状からなる支点円板を配し、更に、一方に該取付け面と平行な方向において支点部を挟んで配置されて各々該方向に延在するホルダ溝を、他方に該平行な方向に延在して該ホルダ溝に嵌合可能な規制シャフトを配する。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体製造プロセス等において、ポッドと呼ばれる密閉型の搬送容器の内部に保持された被処理物であるウエハを半導体処理装置間で移載する、或いはウエハを該半導体処理装置より該ポッドに移載する際に用いられる所謂FIMS（Front-Opening Interface Mechanical Standard）システム、即ちロードポート装置に関する。より詳細には、該ロードポート装置を半導体処理装置に対する取付ける際に用いられる取付け機構に関する。

半導体製造プロセスは、近年では各種処理装置の内部、ウエハを収容して各処理装置間でのウエハ搬送を可能とするポッド、及び該ポッドより各処理装置への基板の受け渡しを行う微小空間、の３空間のみを高清浄状態に保つことで、プロセスを通じての清浄度の管理を行う手法が一般的となっている。このようなポッドは、ウエハを内部に収容し且つ一側面にウエハ挿脱用の開口を有する本体部と、該開口を閉鎖してポッド内部を密閉空間とする蓋と、から構成される。また、該微小空間は、前述したポッドの開口と対向可能な開口部と、該開口部と向かい合い半導体処理装置側に配置される第二の開口部と、を有する。

ロードポート装置は、この開口部が形成された隔壁となる部材即ちサイドベースと称呼される壁と、該開口部を閉鎖するドアと、該ドアの動作を司るドア駆動機構と、ポッドが載置される載置テーブルと、から構成される。ポッドが実際に載置される載置テーブル上の載置台は、ポッドの開口と開口部とを向かい合わせるようにポッドを支持可能であり、且つポッドと共に蓋をドアと近接或いは離間させる。ドアは、ポッドの蓋を保持可能であり、ドア駆動機構によって蓋を保持した状態で開口部と第二の開口部との間の空間より下方に退避させられる。微小空間内にはロボットが配置され、該ロボットは開口部−ポッド開口を介してポッド内部に対する侵入及び退避が可能であって、第二の開口部も介して該ポッド内部と該半導体処理装置との間でウエハの移載を行う。

特許第４２８７０４０号公報特開２００３−３４７３８７号公報

ロードポート装置の半導体処理装置への取付け時において、ロードポート装置はある程度の高さまで持ち上げられた後、半導体処理装置の取付け面に対して位置合わせを行った上で取付けられる（特許文献２参照）。ロードポート装置はある程度の重量を有することからこの様な位置合わせ作業は困難を伴うが、当該装置が設置される所謂クリーンルームの性格上、位置合わせ用の過大な装置を設置することは困難である。このため、例えば特許文献１に示されるように、ロードポート装置自体に搬送用の車輪と高さ調整用の機能を付加する構成が提案されている。

ここで、半導体製造工程においては、生産性の向上等を目的として、用いるウエハの大口径化が進められている。これに伴って、前述したポッド、微小空間、及び処理装置内部の空間各々も大型化されている。このため、ロードポート装置も大型化し、その重量も大きく増大せざるを得ない状況にある。この様な重量の増加の影響は非常に大きく、単純な人力による位置合わせは不可能となる。また、特許文献１に示されるようにボールジョイントとソケットとの嵌合部のみにより取付け時のロードポート装置を支持する構造の場合、例えばボールジョイントとソケットとの軸線回りにロードポート装置がやや回転した状態で嵌合しても、その重量ゆえにこれを矯正することが非常な困難を伴う。

本発明は以上の状況に鑑みて為されたものであり、大型化した半導体処理装置に対しても容易に位置決め且つ取付けが可能であり、且つロードポート装置を半導体処理装置に取付ける際に後の人力による困難な調整等を排除し得るロードポート装置の取付け機構の提供を目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置取付け機構は、被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドを載置可能な載置台と、前記ポッドの前記開口を閉鎖する蓋を保持して前記開口を開閉するドアと、前記載置台及び前記ドアを支持するベース部材と、前記ドアにより閉鎖可能であって、前記被処理物を半導体処理装置に搬送する際に前記被処理物が通過可能な開口部と、を有するロードポート装置を、前記被処理物に所定の処理を施す前記半導体処理装置の取付け面に取り付けるロードポート装置取付け機構であって、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して前記取付け面に平行な第一の方向に開口し前記取付け面に平行な断面形状がＶ字形状、Ｕ字形状、円弧形状、曲線形状、及びこれらの組み合わせからなる形状の何れかを有する円板受け溝と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記円板受け溝に外周の一部が嵌り、前記外周の一部が嵌った状態で前記取付け面に垂直な軸周りの回転が可能な支点部材と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面と平行な第二の方向において前記支点部材を挟んで配置されて各々前記第二の方向に延在して前記第一の方向に平行な方向に開口に有するホルダ溝と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記第二の方向に延在して前記ホルダ溝に嵌合可能な規制シャフトと、前記取付け面及び前記ロードポート装置において前記円板受け溝と同じ側に配置されて、前記支点円板を前記取付け面方向に押圧可能な押圧部材と、を有し、前記押圧部材が前記支点円板を前記取付け面方向に押圧することにより前記規制シャフトが前記ホルダ溝の内壁に当接するように付勢されることを特徴とする。

なお、上述したロードポート装置取付け機構にあって、前記円板受け溝の形成軸は、前記ロードポート装置の重心を通り且つ前記取付け面に垂直であって鉛直線を含む面に含まれることが好ましい。また、前記押圧部材は、前記押圧部材が当接する前記支点部材における当接面が傾いた場合であっても当接状態を維持可能であることがより好ましい。また、該ロードポート装置取付け機構は、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面から所定の距離隔置された前記取付け面に平行な受け面と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記受け面に当接可能であって前記受け面に当接した状態で前記受け面に対して固定可能な傾斜調整タブと、を更に有することがより好ましい。また、当該ロードポート装置の取付け機構は、更に、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に平行な前記第二の方向とは異なる方向に延在し且つ前記取付け面に対して直交する回転調整面と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記取付け面に平行な第三の方向に前記回転調整面を押圧可能な回転調整手段と、を有することが好ましい。

或いは、該ロードポート装置の取付け機構は、前記取付け面から所定間隔を空けて配されて、一方の端部にて前記半導体処理装置が配される床面に接地可能であると共に他方の端部にて前記ロードポート装置と接続され、前記床面と前記ロードポート装置との間隔を可変するアジャスタ機構を有することが好ましい。また、その場合、前記アジャスタ機構は前記一方の端部にキャスタを有し、前記キャスタを介して前記ロードポート装置の搬送が可能であることがより好ましい。

また、上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置の取付け機構は、被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドを載置可能な載置台と、前記ポッドの前記開口を閉鎖する蓋を保持して前記開口を開閉するドアと、前記載置台及び前記ドアを支持するベース部材と、前記ドアにより閉鎖可能であって、前記被処理物を半導体処理装置に搬送する際に前記被処理物が通過可能な開口部と、を有するロードポート装置を、前記被処理物に所定の処理を施す前記半導体処理装置の取付け面に取り付けるロードポート装置取付け機構であって、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して前記取付け面に平行な第一の方向に開口し前記取付け面に平行な断面形状がＶ字形状、Ｕ字形状、円弧形状、曲線形状、及びこれらの組み合わせからなる形状の何れかを有する円板受け溝と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記円板受け溝に外周の一部が嵌り、前記外周の一部が嵌った状態で前記取付け面に垂直な軸周りの回転が可能なる支点部材と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記取付け面と平行な第二の方向において前記支点部材を挟んで配置されて各々前記第二の方向に延在して前記第一の方向に平行な方向に開口に有するホルダ溝と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記第二の方向に延在して前記ホルダ溝に嵌合可能な規制シャフトと、前記取付け面及び前記ロードポート装置において前記円板受け溝と同じ側に配置されて、前記支点部材を前記取付け面方向に押圧可能な押圧部材と、を有し、前記押圧部材が前記支点部材を前記取付け面方向に押圧することにより前記規制シャフトが前記ホルダ溝の内壁に当接するように付勢されることを特徴とする。

被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドを載置可能な載置台と、前記ポッドの前記開口を閉鎖する蓋を保持して前記開口を開閉するドアと、前記載置台及び前記ドアを支持するベース部材と、前記ドアにより閉鎖可能であって、前記被処理物を半導体処理装置に搬送する際に前記被処理物が通過可能な開口部と、を有するロードポート装置を、前記被処理物に所定の処理を施す前記半導体処理装置の取付け面に取り付けるロードポート装置取付け機構であって、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して前記取付け面に平行な第一の方向に開口し前記取付け面に平行な断面形状がＶ字形状、Ｕ字形状、円弧形状、曲線形状、及びこれらの組み合わせからなる形状の何れかを有する円板受け溝を備える支点受け部材と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記円板受け溝に外周の一部が嵌り、前記円板受け溝と接触する外周面が円弧面或いは円柱面である支点円弧面部材と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面と平行な第二の方向において前記支点部を挟んで配置されて各々前記第二の方向に延在して前記第一の方向に平行な方向に開口に有するホルダ溝と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記第二の方向に延在して前記ホルダ溝に嵌合可能な規制シャフトと、前記取付け面に配置されて、前記支点受け部材及び前記支点円弧面部材のうちで前記ロードポート装置に配置される片方を前記取付け面方向に押圧可能な押圧部材と、を有し、前記押圧部材が前記片方を前記取付け面方向に押圧することにより前記規制シャフトが前記ホルダ溝の内壁に当接するように付勢されることを特徴とする。

また、上記課題を解決するために、本発明に係るロードポート装置の取付け機構は、被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドを載置可能な載置台と、前記ポッドの前記開口を閉鎖する蓋を保持して前記開口を開閉するドアと、前記載置台及び前記ドアを支持するベース部材と、前記ドアにより閉鎖可能であって、前記被処理物を半導体処理装置に搬送する際に前記被処理物が通過可能な開口部と、を有するロードポート装置を、前記被処理物に所定の処理を施す前記半導体処理装置の取付け面に取り付けるロードポート装置取付け機構であって、前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して前記取付け面に平行な第一の方向に開口し前記取付け面に平行な断面形状がＶ字形状、Ｕ字形状、円弧形状、曲線形状、及びこれらの組み合わせからなる形状の何れかを有する円板受け溝を備える支点受け部材と、前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記円板受け溝に外周の一部が嵌り、前記円板受け溝と接触する外周面が円弧面或いは円柱面である支点円弧面部材と、前記取付け面に配置されて、前記支点受け部材及び前記支点円弧面部材のうちで前記ロードポート装置に配置される片方を前記取付け面方向に押圧可能な押圧部材と、を有し、前記押圧部材が前記片方を前記取付け面方向に押圧することにより前記規制シャフトが前記ホルダ溝の内壁に当接するように付勢されることを特徴とする。

本発明によれば、より大型化した半導体処理装置に対応して重量が大幅に増加したロードポート装置であっても、容易且つ正確に半導体処理装置に対して取り付けることが可能となる。

本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置取付け機構を用いて該装置を半導体製造装置に対して固定した状態の概略構成を示す図である。図１に示す形態の取付け機構について、支点部１０を拡大して示す図である。図１に示す形態の取付け機構について、回転規制部２０を拡大して示す図である。図１に示す形態の取付け機構について、傾斜調整部３０を拡大して示す図である。図１に示す形態の取付け機構について、回転調整部４０を拡大して示す図である。本発明における更なる実施形態であって、傾斜調整部３０及び回転調整部４０の代替機能を呈する構成を用いた場合を示す模式図である。本発明における更なる実施形態であって、傾斜調整部３０及び回転調整部４０の代替機能を呈する構成を用いた場合を示す模式図である。

本発明の実施形態について、以下に図面を参照して説明する。本発明の第一の実施形態に係るロードポート装置取付け機構について、これらを具備するロードポート装置１００を半導体処理装置側の取付け面（通称ＢＯＬＴＳ面）５に取付けた状態を図１に示す。なお、図１中、図１（ａ）は取付け面５に取付けられたロードポート装置１００を正面から見た状態を、図１（ｂ）はこれら構成を図１（ａ）における左方から見た状態（部分断面を含む）を、図１（ｃ）は右方から見た状態を各々示している。また、図１（ａ）において、点線にて囲まれた構成に関しては、各々拡大して他の図においても示している。図２中、図２（ａ）は支点部１０を図１（ａ）と同様の様式にて見た場合の拡大図を、図２（ｂ）は図２（ａ）に示す支点部１０を図１（ｂ）と同様の様式にて見た場合の拡大図を各々示している。更に、図２（ｃ）は後述する第一の支点部構造体１１を図１（ａ）と同様の様式にて、図２（ｄ）は該第一の支点部構造体１１を図１（ｂ）と同様の様式にて示している。

図に示すロードポート装置１００は、接続プレート１１１、サイドベース１１３、載置台１１５、ドア１１７、開口部カバー部材１２１、及び不図示のドア駆動機構を有する。本発明に係るロードポート装置は、ウエハが挿脱される開口を有して該ウエハが収容されるポッド（不図示）に対し、その蓋を開閉して該開口を介してポッドへのウエハの挿脱の実施を可能とする。載置台１１５上にはこのポッドが載置される。また、ドア１１７は、載置台１１５上に載置されたポッドの蓋を保持可能であって、動作時においては取付け面５に対して半導体処理装置の内部側から不図示の第一の開口部の開閉を行う。サイドベース１１３は一対として用いられ、各々が個々の接続プレート１１１に対して接続されており、接続プレート１１１を介して取り付け面５に対して垂直に並立するように配置される。これら接続プレート１１１によって一対のサイドベース１１３を含めた構成は筐体様に一体化し、不図示のドア駆動機構等を取付ける上での、或いは搬送取付けに際しての十分な剛性、強度が得られる。

また、サイドベース１１３は、載置台１１５の下方に配置されて、該載置台１１５及び該載置台１１５に付随してこれに載置されたポッドを駆動する不図示のポッド駆動機構を支持する。同様に、本形態において、サイドベース１１３は、不図示のドア駆動機構を介してドア１１７を支持する。開口部カバー部材１２１は、取付け面５に設けられた半導体処理装置側の取付け面側開口部（不図示）を閉鎖して、外部空間から半導体処理装置内にいたる経路を、ドア１１７により開閉可能な不図示の第一の開口部に制限している。当該開口部カバー１２１も、サイドベース１１３に対して固定されている。なお、該開口部カバー１２１は図１（ａ）における左右端部等において折り返され、強度を高めるためのＬ字構造を構成している。なお、これら図中には不図示の半導体製造装置が固定されている床面１も同時に示されている。

次に本発明の一実施形態に係る取付け機構について詳述する。図１（ａ）、２（ａ）及び２（ｂ）に示される支点部１０は、取付け面５側に固定される第一の支点部構造体１１（図２（ｃ）及び２（ｄ）参照）と、ロードポート１００側に固定される第二の支点部構造体１５とより構成される。第一の支点部構造体１１は、ロードポート調整プレート１２、支点ブロック１３、及びクランピングボルト１４、を有する。ロードポート調整プレート１２は、前述した取付け面側開口部の下辺と平行に取付け面５に固定されて、該下辺の延在方向（水平方向）に沿って延在する板状体より構成される。支点ブロック１３は、上部に取付け面５に対して垂直な形成軸に沿って形成された円弧状或いはＶ字状の円板受け溝１３ａを有し、前述した下辺の中心と該形成軸が一致するようにロードポート調整プレート１２に対して固定される。支点ブロック１３は、更にクランピングボルト固定部１３ｂを有する。クランピングボルト固定部１３ｂは、クランピングボルト１４がねじ込み可能な雌ネジ部からなるクランピングボルト用貫通ネジ部１３ｃを有し、クランピングボルト用固定ナット１３ｄによってねじ込み量を固定可能となっている。また、クランピングボルト用貫通ネジ部１３ｃは、前述した円板受け溝１３ａの形成軸と平行で且つ鉛直上方に延在する軸を有するように配置される。

なお、クランピングボルト１４は、被クランプ部材に当接して該部材を実際にクランプする先端部が任意の方向に可動可能であり、該被クランプ部材における当接面の任意の傾きに対してある程度の追従が可能な構成となっている。本実施形態では構造の簡略性、当接部の摩擦磨耗による発塵の抑制等の観点から該クランピングボルト１４を使用しているが、本発明は当該態様に限定されない。具体的には該クランピングボルト１４の先端部が当接するところの、後述する支点円板の当接面の任意の方向への傾きに追随可能であれば、公知の種々の構成を用いることが可能である。また、ロードポート調整プレート１２及びクランピングボルト固定部１３ｂの形態は一例であって、前述した効果と同様の効果が得られるものであれば種々の改変が可能である。なお、本実施形態では、便宜上半導体製造装置が設置される床面１を水平面とし、これをＸＹの基準面とし、鉛直方向をＺ軸方向として種々の構成の配置等を規定しているが、これら形成軸の方向は必要に応じて種々改変が可能である。

第二の支点部構造体１５は、前述した接続プレート１１１に固定される円板形状の支点円板１６を有する。より詳細には、第二の支点構造体１５が固定される接続プレート１１１は、サイドプレート１１３の下端部であって、取付け面５と近接する側に配置される。支点円板１６は円周面において支点ブロック１３上の円板受け溝１３ａに部分的に嵌まり込み、不図示の開口部下辺と平行な方向の第二の支点部構造体１１に対する第一の支点部構造体１５の配置を規定する。即ち、支点円板１６の軸心は、ロードポート装置１００、特に不図示の第一の開口部を閉鎖するドア１１７の鉛直方向中心線と交差するよう、同一面内に配置される。円板受け溝１３ａに嵌まり込んだ支点円板１６は、支点円板１６の接続プレート１１１との接触面とは逆側に配置される面（支点円板１６の被クランプ面即ち当接面１６ａ）がクランピングボルト１４の先端部により押圧され、取付け面５側に付勢される。

本形態では、このようにして得られる付勢力によりロードポート装置１００の下方を取付け面５に対して所定の位置関係を維持した状態で固定する。以上に述べたクランピングボルト１４及びそれに付随する構成は、本発明において円板受け溝１３ａが配された構造体と同じ構造体側に配置されて支点円板１６の当接面１６ａに当接してこれを取り付け面５方向に押圧する押圧部材として規定することが好ましい。また、この押圧部材により支点円板１６に押圧力が付加されることにより、前述したように、規制シャフト２７がホルダ溝２２ａ内の内壁である調整面２２ｆに当接することとなる。

支点部１０を中心として、接続プレート１１１の両端部、或いは接続プレート１１１における該支点部１０を中心としてこれより各々均等な位置に、回転規制部２０が配置される。以下、回転規制部２０について図面を参照して説明する。図１（ａ）に示される回転規制部２０は、取付け面５側に固定される第一の回転規制部構造体２１と、ロードポート１００側に固定される第二の回転規制部構造体２５とより構成される。図３（ａ）は回転規制部２０を図１（ａ）と同様の様式にて見た場合の拡大図を、図３（ｂ）は図３（ａ）に示す回転規制部２０を図１（ｃ）と同様の様式にて見た場合の拡大図を各々示している。更に、図３（ｃ）は後述する第一の回転規制部構造体２１を図１（ａ）と同様の様式にて、図３（ｄ）は該第一の回転規制部構造体２１を図１（ｂ）と同様の様式にて示している。

第一の回転規制部構造体２１は、ロードポート調整プレート１２、及びホルダ２２を有する。なお、ロードポート調整プレート１２は前述した第一の支点部構造体１１が固定されたものと同一であり、第一の支点部構造体１１の中心である円板受け溝１３ａの中心より所定の間隔を空けた位置にて該第一の回転規制部構造体２１、より詳細にはホルダ２２を支持している。ホルダ２２は取付け面に対して平行且つロードプレート調整プレート１２に延在方向に延在するホルダ溝２２ａを有する。該ホルダ溝２２ａは、鉛直上方が開放されて所定の幅を有し、該所定の幅よりも細い棒状の部材等が上方より嵌まり込むことを可能としている。なお、本形態では該ホルダ２２は、図３（ｄ）に示すように、第一のホルダ部材２２ｂ及び第二のホルダ部材２２ｃにより構成される態様となっている。第一のホルダ部材２２ｂは、前述した棒状の部材が載置可能な被載置面２２ｄと調整面２２ｆとを形成して、ロードポート調整プレート１２に固定される。第二のホルダ部材２２ｃは、第一のホルダ部材２２ｂに固定されて、被載置面２２ｄ上に載置された部材が取付け面５に垂直な方向に移動することを規制する規制面２２ｅを形成している。

第二の回転規制部構造体２５は、前述した第二の支点部構造体１５が固定される接続プレート１１１に対して、前述した第一の回転規制部構造体２１の配置に対応する位置に固定される。第二の回転規制部構造体２５は、シャフト支持部材２６及び規制シャフト２７を有する。本形態において規制シャフト２７は、接続プレート１１１の延在方向に延在するように配置された棒状の部材からなる。該規制シャフト２７はホルダ溝２２ａに嵌まり込むことが可能な太さ及び長さを有し、その両端部においてシャフト支持部材２６によって支持される。規制シャフト２７はシャフト支持部材２６を介して接続プレート１１１に固定される。なお、第二のホルダ部材２２ｃは第一のホルダ部材２２ｂに対して取り外し可能であり、規制シャフト２７を被載置面２２ｄ上に載置した後に、第二のホルダ部材２２ｃを固定して規制シャフト２７の取付け面５に垂直な方向の移動を規制することが可能となるように構成されている。本形態の如く規制シャフト２７を外周が曲面からなる円柱様の棒状の部材とし、被載置面２２ｄを平面とすることで、該規制シャフト２７がホルダ溝部２２ａに容易に嵌まり込むと共に、該規制シャフト２７と被載置面２２ｄとの摩擦力を低減して取付け面５に垂直な方向での該規制シャフト２７の摺動を容易としている。

実際にロードポート装置１００を取付け面５に取付ける際の操作について、簡単に述べる。取付け操作においては、まず支点円板１６を円板受け溝１３ａ上に載置する。その際にクランピングボルト固定部１３ｂは一時的に取り外しておいても良い。本形態では取付け面５に対して垂直な形成軸を有する円板受け溝１３ａに対して所定の厚さを有した支点円板１６を載置する態様としている。従って、支点円板１６の中心軸と円板受け溝１３ａの形成軸とが容易且つ確実に平行となり、これら個々の部材が固定される接続プレート１１１及びロードプレート調整プレート１２も確実に平行な位置関係とすることが可能となる。このことから、規制シャフト２７はホルダ２２における被載置面２２ｄとの取付け面５に対して垂直な方向での位置関係は、該被載置面２２ｄ上に規制シャフト２７を載置し得る状態となる。なお、後述する回転調整部４０により取付け面５に対するロードポート装置１００の回動調整を行う場合には、支点円板１６を円板受け溝１３ａ上へ載置した状態で被載置面２２ｄと規制シャフト２７の下面との間に隙間が生じて接触していないことが好ましい。

ただ、この段階では、支点円板１６は中心軸周りに回転可能な状態にある。ここで、両規制シャフト２７を各々対応するホルダ溝２２ａに収容させることにより、支点円板１６及びこれに固定されたロードポート装置１００の該中心軸回りの回転が所定の角度範囲内に規制される。次にクランピングボルト１４を締めて、支点円板１６を取付け面５に接近する方向に押圧する。この押圧力の付加によって該支点円板１６を支持する接続プレート１１１も取付け面５方向に押圧され、該接続プレート１１１を介して両規制シャフト２７も取付け面５方向に押圧される。規制シャフト２７は当該押圧力によって第一のホルダ部材２２ｂに設けられた調整面２２ｆに当接した状態となる。この調整面２２ｆの位置は予めロードポート装置１００-取付け面５間を規定値とするように設定されており、この状態を得ることでこの規定値を充足することが可能となる。

以上の如く、支点円板１６と円板受け溝１３ａとからなる支点部１０を構成することにより、ロードポート装置１００の自重を利用して該装置と取付け面５との平行関係を確実に得ることが可能となる。また、更にホルダ２２と規制シャフト２７とからなる回転規制部２０を構成することにより、載置操作のみでロードポート装置１００の回転を確実に規制し、且つロードポート装置１００と取付け面５との距離を容易に規制値とすることが可能となる。更に、本形態では支点部１０を中心として各々等しい間隔を隔てた位置に回転規制部２０を一対配置することとしている。これにより支点部１０を中心とするロードポート装置１００の右回り及び左回りの回転ズレを効果的に抑制することが可能となる。

なお、本発明において、ホルダ溝２２ａは、取付け面５及びロードポート装置１００の一方に配されて、取付け面５と平行な方向において支点部１０を挟んで配置されて各々平行な方向に延在して、円板受け溝１３ａが開口する方向である所定の方向（本発明における第一の方向に対応）に平行な方向に開口に有するとして規定されることが好ましい。また、規制シャフト２７については、取付け面５及びロードポート装置１００の他方に配されて、先に規定した平行な方向（本発明における第二の方向）に延在してホルダ溝２２ａに嵌合可能であるとして規定されることが好ましい。

更に、第一の支点部構造体１１においては、円板受け溝１３ａに該当する構造物を配することが必要である。その際、当該円板受け溝１３ａの溝形状は、取付け面５と平行な断面での形状がＶ字状或いはＵ字状、円弧状、曲線形状、更にはこれらを組み合わせてなる形状の何れかとされることが好ましく、溝最深部が取付け面５に垂直となるようにその形成軸が規定されていることが好ましい。また、第二の支点部構造体１５においては、厚さを有する円板形状を支点円板１６に該当する構造物が必要となる。円板受け溝１３ａに該支点円板１６の一部が嵌り込んで取付け面５と平行であって本実施形態における水平な方向の該支点円板１６の移動が規制されれば良い。

なお、本形態では円板形状からなる支点円板１６を第二の支点部構造体１５に用いているが、本発明は当該形態に限定されない。図２（ｅ）に図２（ａ）と同様の様式にて第二の支点部構造体１５の他の形態例を示す。当該形態では、第二の支点部構造体１５は、所定の厚さを有する半円形の支点円弧面を有する部材からなる。なお、該支点円弧面は、円板受け溝１３ａと接触する外周面であって円弧面或いは円柱面の一部から構成される面を示す。即ち、第二の支点部構造体１５において支点部として機能する部材は、第一の支点部構造体１１の受け溝（円板受け溝１３ａ）に一部が嵌り込み可能であって、且つ該受け溝に対して軸周りの回転が可能な種々の形態を包含可能である。また、これら第一の支点部構造体１１と第二の支点部構造体１５とは、これら各々がロードポート装置１００及び取付け面５の何れに配されることとしても良く、更に溝形状の開口が図示の例とは異なり下方に向かう態様としても良い。この場合、支点円板１６の上より円板受け溝１３ａが乗る態様となる。

当該態様について図２(ｂ)と同様の様式にて図２（ｆ）に示す。図２（ｆ）に示すように、本形態例では、円板受け溝１３ａを有する支点ブロック１３を第二の支点部構造体１５の側に配し、支点円板１６を第一の支点部構造体１１の側に配している。当該形態であっても、支点円板１６の一部が円板受け溝１３ａに嵌り込む形態であり且つ支点円板１６が円板受け溝１３ａに対し回動可能とすることで、本発明が得ようとする効果が好適に得られる。従って、該支点円板１６に対応する部材は、本発明において、円板受け溝１３ａに外周の一部が嵌り、該外周の一部が嵌った状態で取付け面５に垂直な軸周りの回転が可能な支点部材、として把握されることが好ましい。また、このようなロードポート装置１００及び取付け面５の何れに配することも可能であること及び上下方向についても変換可能であることは、前述したホルダ溝２２ａと規制シャフト２７との関係についても同様である。図３（ｅ）に図３（ｂ）と同様の様式にて当該形態を例示する。本形態では、第一の回転規制部構造体２１がロードポート装置１００側に配置され、代位の回転規制部構造体２５が取付け面５側に配置されている。当該形態であっても、これら構造体各々の作用効果を得ることにより、本発明が得ようとする効果が好適に得られる。

更に、取付け面５に平行で且つ水平な方向に関して、円板受け溝１３ａにおける溝最深部の配置はロードポート装置１００の重心位置と一致することが好ましい。即ち、円板受け溝１３ａの形成軸は、ロードポート装置１００の重心を通り且つ取付け面５に垂直であって鉛直線を含む面に含まれることが好ましい。当該円板受け溝１３ａはロードポート装置１００の下方であれば任意の位置に配置できるが、ロードポート装置１００の当該溝を中心とする回転による位置調整を考慮した場合、この重心を考慮した位置とすることが望ましい。また、一対のホルダ溝２２ａに関しては、装置構成上同一直線状に配置されることが望ましいが、支点部１０を中心としてその両脇の各々任意の位置に配することも可能である。

ここで、ロードポート装置１００と取付け面５との平行度を規定する作用に大きく寄与する支点部１０における支点円板１６の厚さは、この厚さの方向とは垂直なロードポート装置１００の高さと比較して非常に小さい。このため、支点部１０の近傍に対してこれより離れた載置台１１５或いはロードポート装置１００の上部での平行度の維持は、当該支点部１０のみの機能では担保しきれない恐れがある。従って、理想的な平行状態からの微小なズレも抑制されることが好ましい。また、同様に、規制シャフト２７の長さのみでは、ロードポート装置１００の上方での回転ズレを抑制しきれない恐れがある。また、接続プレート１１１両端での規制シャフト２７と被載置面２２ｄとが、共に確実に当接した状態を得ることは実際上難しく、この場合に存在し得る極微小の回転ズレも可能であれば抑制することが好ましい。以下そのための構成について述べる。

本形態に係る取付け機構は、図１（ａ）に示すロードポート装置１００における高さ方向の約中央であって載置台１１５の下方に近接して配置される接続プレート１１１の左方に、傾斜調整部３０を有する。傾斜調整部３０は、取付け面５側に固定される第一の傾斜調整部構造体３１と、ロードポート１００側に固定される第二の傾斜調整部構造体３５とより構成される。図４は傾斜調整部３０を拡大して示すものであって、同図中、図４（ａ）は該傾斜調整部３０を図１（ａ）と同様の様式にて見た場合の拡大図を、図４（ｂ）は図４（ａ）に示す傾斜調整部３０を図１（ｂ）と同様の様式にて見た場合の拡大図を各々示している。更に、図４（ｃ）は後述する第一の傾斜調整部構造体３１を図１（ａ）と同様の様式にて、図４（ｄ）は該第一の傾斜調整部構造体３１を図１（ｂ）と同様の様式にて示している。なお、図４（ｃ）及び４（ｄ）では、ロードポート装置１００側に配置される部材であって、第一の傾斜調整部構造体３１に当接、固定される部材を二点鎖線にて示している。

第一の傾斜調整部構造体３１は、傾斜アジャストボルト受け雌ネジ部３２、傾斜アジャストボルト固定ナット３３、及び傾斜アジャストボルト３４を有する。また、第二の傾斜調整部構造体３５は、サイドプレート１１３に固定されて鉛直方向に延在する長孔３６ａを有する傾斜調整タブ３６を有する。傾斜アジャストボルト３４は取付け面５の所定位置に設けられた傾斜アジャストボルト受け雌ネジ部３２に螺合可能であり、傾斜アジャストボルト固定ナット３３により螺合状態での取付け面５からの傾斜アジャストボルト３４の突き出し量が規定される。傾斜アジャストボルト３４の頂部には球面加工が施されてなる球面３４ａ、更に該球面３４ａには傾斜アジャストボルト３４の延在方向に整列する傾斜アジャストボルト雌ネジ部３４ｂが設けられている。該球面３４ａは、取付け面５から所定距離隔置されて取付け面５に平行な当接部を有する本発明における受け面として機能する。

長孔３６ａを通るボルト３７により傾斜調整タブ３６を傾斜アジャストボルト３４に固定することにより、サイドプレート１１３を介してロードポート装置１００の取付け面５に対する上方に残存し得る僅かな傾きを調整することが可能となる。その際、球面３４ａを設けることにより、傾斜調整タブ３６が傾き、位置ズレ等を有した場合であっても、これらの影響を排除しつつ該球面３４ａに対する傾斜調整タブ３６の固定が出来る。該傾斜調整タブ３６は、前述した受け面（球面３４ａ）に当接可能であって、本形態のネジのみならず種々の手段によって該受け面に固定可能な部材として規定される。

次に、左方の傾斜調整部３０に対して対応するロードポート装置１００の右方に配置される回転調整部４０について述べる。回転調整部４０、は取付け面５側に固定される第一の回転調整部構造体４１と、ロードポート１００側に固定される第二の回転調整部構造体５１とより構成される。図５は回転調整部４０を拡大して示すものであって、同図中、図５（ａ）は該回転調整部４０を図１（ａ）と同様の様式にて見た場合の拡大図を、図５（ｂ）は図５（ａ）に示す回転調整部４０を図１（ｃ）と同様の様式にて見た場合（但しこの場合には左方からではなく右方から見た場合）の拡大図を各々示している。更に、図５（ｃ）は後述する第一の回転調整部構造体４１を図１（ａ）と同様の様式にて、図５（ｄ）は該第一の回転調整部構造体４１を図１（ｃ）と同様の様式にて示している。なお、図５（ｃ）及び図５（ｄ）では、ロードポート装置１００側に配置される部材であって、第一の回転調整部構造体４１に当接、固定される部材を二点鎖線にて示している。また、図５（ｅ）は後述するクランパ４５のみを図５（ｃ）と同様の方向から見た場合の構成を示している。

第一の回転調整部構造体４１は、傾斜固定シャフト４２、回転アジャストボルト受け雌ネジ部４３、回転アジャストボルト４４、クランパ４５、クランパ受け雌ネジ部４６、及びクランパ固定ナット４７を有する。また、第二の回転調整部構造体５１は、サイドプレート１１３に固定されて鉛直方向に延在する長孔５２ａを有すると共に、該長孔５２ａの延在方向とは直交する方向に延在して回転調整アジャストボルト４４の先端と当接可能な回転調整面５２ｂを有する回転調整タブ５２を有する。クランパ４５はクランパネジ部４５ａとクランプ部４５ｂとを有し、これらで傾斜固定シャフト４２の端部を挟持、固定することにより、クランパ４５の挟持位置から傾斜固定シャフト４２の頂部までの距離を規定する。クランパネジ部４５ａは取付け面５の所定位置に設けられたクランパ受け雌ネジ部４６に螺合可能であり、クランパ固定ナット４７により螺合状態での取付け面５からのクランパ４５の突き出し量が規定される。

傾斜固定シャフト４２の頂部には、傾斜調整部３０における傾斜アジャストボルト３４の頂部と同様の加工が施され、長孔５２ａを介してボルト５３により回転調整タブ５２が傾斜固定シャフト４２に固定される。クランパ４５の取付け面５からの距離の調整、及びクランパ４５から傾斜固定シャフト４２の頂部までの距離の調整を経た後に、回転調整タブ５２をこれらに固定することにより、回転調整タブ５２の取付け面５からの距離が調整される。傾斜調整部３０での傾斜調整タブ３６の固定とこの回転調整タブ５２の固定とにより、載置台１１５近傍でのロードポート装置１００と取付け面５との間隔が規定値とされる。傾斜固定シャフト４２にはクランパ４５に挟持される被クランプ軸部４２ａとは垂直であって、鉛直方向に貫通する回転アジャストボルト受け雌ネジ部４３が形成されている。

回転アジャストボルト４４は該回転アジャストボルト雌ネジ部４３に螺合可能であって、これを貫通し且つ上下端から突き出す長さを有する。該回転アジャストボルト４４をねじ込んでその先端部で回転調整面５２ｂを押圧することにより、該回転調整面５２ｂを押し上げることが可能となる。この回転調整面５２ｂの押し上げにより、支点部１０を中心としてサイドプレート１１３、更にはロードプレート装置１００の回転が可能であり、これにより回転方向のより細かな調整が可能となる。回転調整部４０では、必須構成としては、取付け面５に平行な方向とは異なる方向に延在し且つ取付け面５に対して直交する面として配置される回転調整面５２ｂと、回転調整面５２ｂを押圧可能な回転調整手段である回転アジャストボルト４４及び関連する構成が例示される。なお、この回転アジャストボルト４４が回転調整面５２ｂを押圧する方向は本発明において第三の方向として定義される。）回転調整手段によって回転調整面５２ｂを押圧することにより、回転調整面５２ｂが固定される構成或いは該回転調整手段側が固定される構成の何れかが押圧、移動され、結果としてロードポート装置１００の取付け面５に対する回動が行われる。これら回転調整面５２ｂ及び回転調整手段は、各々取付け面５及びロードポート装置１００の何れか一方に配されれば良い。

以上述べた支点部１０、回転規制部２０、傾斜調整部３０、及び回転調整部４０の効果により、サイドプレート１１３及び接続プレート１１１によって一体化された構造物と取付け面５との配置は容易に所定関係とすることが可能となる。なお、本実施形態で対象とするロードポート装置１００は、前述した第一の開口部を形成する部材である開口部カバー部材１２１を例えばアルミ板等の比較的軽量な部材により構成している。このため、該開口部カバー部材１２１の上部にもカバー部材固定用タブ１２２を配し、該カバー部材固定用タブ１２２をネジ等によって取付け面５に固定している。これにより、半導体処理装置側の取付け面開口部は、ロードポート装置１００により好適に閉鎖される。

なお、上述した実施形態において、支点部１０を構成する第一の支点部構造体１１、回転規制部２０を構成する第一の回転規制部構造体２１、傾斜調整部３０を構成する第一の傾斜調整部構造体３１、及び回転調整部４０を構成する第一の回転調整部構造体４１が取付け面５の側に配置され且つ他方の構造体がロードポート装置１００の側に配置される場合について詳述した。しかしながら、これら各々の構造体をロードポート装置１００側と取付け面５側の何れの側に配するかは当該実施形態に限定されない。即ち、全ての構造体の配置を入れ替えても良く、或いは部分的に入れ替えても良い。従って、これら構造体各々は、全てロードポート装置１００と取付け面５とにおける何れか一方に配置される第一の構造体と、他方に配置される第二の構造体として規定されることが好ましい。また、ここで例示した傾斜調整部３０及び回転調整部４０の形態は、人力による操作が容易なネジ構造を主体とした一例であって、同様の傾斜度の調整効果及び回転程度の規制効果が得られれば当該構成に限定されない。

また、本実施形態では、一対のサイドプレート１１３と複数の接続プレート１１１とからなる一体的な構造体の内部等にドア駆動機構やポッド駆動機構を収容する形態のロードポート装置１００を対象とした場合を例示している。本ロードポート装置１００の如く、重量の大きな大口径のウエハを対象とする場合に本発明は特に好適である。しかし、本発明はこれら構造からなるロードポート装置のみを対象とするものではなく、カバー部材１２１が剛性を有する厚板からなり、且つ載置台、ポッド駆動機構、及びドア駆動機構を実質的に該カバー部材１２１が支持する、所謂鉛直なベースプレートを有する従来のロードポート装置に適用することも可能である。即ち、本発明は、ポッドが載置可能な載置台１１５と、該ポッドの蓋を保持してその開放を行うドア１１７と、載置台１１５及びドア１１７を支持するベース部材と、該ドア１１７により開閉可能な開口部と、を有するロードポート装置１００を半導体処理装置の取付け面５に取付けるロードポート装置取付け機構として規定されることが好ましい。また、その際に、ベース部材は、載置台１１５及びドア１１７を支持して前述した半導体処理装置の取付け面開口部を閉鎖可能な構造を有する種々の形態のものを包含する。

なお、上述した実施形態において、傾斜調整部３０及び回転調整部４０を用いてロードポート装置１００の取付け時に残存する可能性のある微小な傾きや回転方向のズレを修正している。しかし、ロードポート装置１００の基本的な姿勢制御は支点部１０と回転規制部２０とによりある程度以上のレベルで抑えられていることから、これら構成をより簡易なものとして用いることも可能である。以下より簡易な構成を用いる実施形態について述べる。図６は、本発明における更なる実施形態であって、傾斜調整部３０及び回転調整部４０の代替機能を呈する構成を用いた場合を示す模式図である。図６（ａ）は第一の実施形態における図１（ａ）と同様の様式にて本実施形態に係るロードポート装置１００を示した図であり、図６（ｂ）は図１（ｂ）に対応し、図６（ｃ）は本実施形態において用いられる特徴的構成であるアジャスタ機構７０を図６（ａ）と同様の方向から見た場合の拡大図を示している。なお、第一の実施形態で示された構成と同様の構成に関しては、図中において同じ参照番号を付記することで説明に換えてここでの説明を省略する。また、以下では相違する工程に関してのみ詳述する。

一対のサイドプレート１１３は、下方の取付け面５側において接続プレート１１１により一体化されている。また、サイドプレート１１３の下方であって、取付け面５より離れた端部では、接続シャフト１１２により一対のサイドプレート１１３が互いに連結されている。開口部下辺と平行に延在する棒状の接続シャフト１１２の両端部は、各々のサイドプレート１１３に連結されている。本実施形態では、この接続シャフト１１２の延在方向中央部にアジャスタ機構７０を配している。アジャスタ機構７０は、接続シャフト１１２に設けられた傾斜アジャスタネジ受け雌ネジ部１１２ａ、傾斜アジャスタネジ７１、及び傾斜アジャスタネジ固定ナット７２を有する。

傾斜アジャスタネジ受け雌ネジ部１１２ａは接続シャフト１１２の延在方向中央部において、鉛直方向に該接続シャフト１１２を貫通するように設けられている。傾斜アジャスタネジ７１は軸方向の一方の端部に近づくにつれて拡径してなり、端部接地領域を広げた接地部７１ａと、他方の端部に設けられた傾斜アジャスタネジ受け雌ネジ部１１２ａに螺合可能な雄ネジ領域７２ｂと、を有する。該雄ネジ領域７２ｂを傾斜アジャスタネジ受け雌ネジ部１１２ａにねじ込むことにより、接続シャフト１１２から接地部７１ａの端部接地面７１ｃまでの距離が可変可能となっている。傾斜アジャスタネジ固定ナット７２は一旦設定された傾斜アジャスタネジ７１の接続シャフトからの突き出し量を一定に保つ。

この突き出し量を調整することにより、接続シャフト１１２を介してサイドプレート１１３の取付け面５に対する傾きの調整が可能となる。該アジャスタ機構７０を採用することにより、簡易な構成によってロードポート装置１００の微小な傾きの調整が可能となる。また、アジャスタ機構７０は、取付け面５に対して最も離れた位置にあるロードポート装置１００上の構造物となることから、実際にロードポート装置１００が設置される環境において実際に操作することが容易であり、調整操作を容易に実行できるという利点も有する。

なお、図６に示すように、例示したアジャスタ機構７０に加え、第一の実施形態で示した傾斜調整機構３０及び回転調整機構４０を併用しても良い。実際の設置状況において頻繁な操作に適さないこれら機構を用いた調整を初期に行い、その後は該アジャスタ機構７０を主として用いることにより、継続的な操作時においても必要に応じた傾斜調整の実施が可能となる。以上述べたアジャスタ機構７０は主たる構成である傾斜アジャスタネジ７１に関連して、取付け面から所定間隔を空けて配されて、一方の端部にて半導体処理装置が配される床面に接地可能であると共に他方の端部にてロードポート装置１００と接続され、床面１とロードポート装置１００との間隔を可変する構成として把握されることが好ましい。

次に、前述したアジャスタ機構７０から得られる効果を他の用途において用いた構成から得ようとする形態について述べる。なお、以下の説明については、前述した他の実施形態と異なる部分についてのみ詳述し、既に図示された構成と同様の構成に関しては、図中において同じ参照番号を付記することで説明に換えてここでの説明を省略する。図７は、本発明における更なる実施形態であって、アジャスタ機構７０の代替機能を呈する構成を用いた場合を示す模式図である。図７（ａ）は第一の実施形態における図１（ａ）と同様の様式にて本実施形態に係るロードポート装置１００を示した図であり、図７（ｂ）は図１（ｂ）に対応し、図７（ｃ）は本実施形態において用いられる特徴的構成であるアジャストキャスタ８０を図７（ａ）と同様の方向から見た場合の拡大図を示している。

本形態では、前述したアジャスタ機構７０における傾斜アジャスタネジ７１に対して更に自在方向に回動可能なキャスタ機能を付加している。より詳細には、本形態のアジャストキャスタ８０は、キャスタ支持部８１、キャスタ８２、及びキャスタ固定ナット８３を有する。キャスタ支持部８１は一方の端部においてキャスタ８２の回動が可能な態様にこれを支持し、更に他方の端部において雄ネジ領域８１ａを有する。該雄ネジ領域８１ａを傾斜アジャスタネジ受け雌ネジ部１１２ａにねじ込むことにより、接続シャフト１１２からキャスタ８２の接地面までの距離が可変可能となっている。キャスタ固定ナット８３は一旦設定されたキャスタ８２の接続シャフトからの突き出し量を一定に保つ。

この突き出し量を調整することにより、接続シャフト１１２を介してサイドプレート１１３の取付け面５に対する傾きの調整が可能となる。該アジャストキャスタ８０を採用することにより、簡易な構成によってロードポート装置１００の微小な傾きの調整が可能となる。なお、該アジャストキャスタ８０は、ロードポート装置１００を搬送する際に用いられる構成の一態様とすることも可能である。これにより該ロードポート装置１００を半導体処理装置に取り付けた後においても、該ロードポート装置１００の搬送に用いる構造物を利用することとなり、ロードポート装置１００に付随する部品等を削減する効果も得られる。

また、アジャスタ機構７０と同様に該アジャストキャスタ８０は、取付け面５に対して最も離れた位置にあるロードポート装置１００上の構造物となることから、実際にロードポート装置１００が設置される環境において実際に操作することが容易であり、調整操作を容易に実行できるという利点も有する。なお、図７に示すように、例示したアジャストキャスタ８０に加え、第一の実施形態で示した傾斜調整機構３０及び回転調整機構４０を併用しても良い。実際の設置状況において頻繁な操作に適さないこれら機構を用いた調整を初期に行い、その後は該アジャストキャスタ８０を主として用いることにより、継続的な操作時においても必要に応じた傾斜調整の実施が可能となる。以上の構造に関してアジャストキャスタ８０は前述したアジャスタ機構７０の一態様であって、該アジャスタ機構７０においてキャスタが配されており、当該キャスタによってロードポート装置１００の搬送が可能な態様であると理解されることが好ましい。

以上述べたように、本発明は半導体処理装置に対して好適に用いるロードポート装置の取付け機構に関している。しかしながら、本発明の利用可能性は当該処理装置に限定されず、例えば液晶ディスプレイのパネルを扱う処理装置等、半導体に準じた各種処理が行われる種々の処理装置に用いられる所謂ロードポート装置に対しても適用可能である。

１：床面、５：取付け面、１０：支点部、１１：第一の支点部構造体、１２ロードポート調整プレート、１３：支点ブロック、１３ａ：円板受け溝、１３ｂ：クランピングボルト固定部、１３ｃ：クランピングボルト用貫通ネジ部、１３ｄ：クランピングボルト用固定ナット、１４：クランピングボルト、１５：第二の支点部構造体、１６：支点円板、１６ａ：当接面（支点円板被クランプ面）、２０：回転規制部、２１：第一の回転規制部構造体、２２：ホルダ、２２ａ：ホルダ溝、２２ｂ：第一のホルダ部材、２２ｃ：第二のホルダ部材、２２ｄ：被載置面、２２ｅ：規制面２２ｆ：調整面、２５：第二の回転規制部構造体、２６：シャフト支持部材、２７：規制シャフト、３０：傾斜調整部、３１：第一の傾斜調整部構造体、３２：傾斜アジャストボルト受け雌ネジ部、３３：傾斜アジャストボルト固定ナット、３４：傾斜アジャストボルト、３４ａ：（球面）、３４ｂ：傾斜アジャストボルト雌ネジ部、３５：第二の傾斜調整部構造体、３６：傾斜調整タブ、３６ａ：長孔、４０：回転調整部、４１：第一の回転調整部構造体、４２：傾斜固定シャフト、４２ａ：被クランプ軸部、４３：回転アジャストボルト受け雌ネジ部、４４：回転アジャストボルト、４５：クランパ、４６：クランパ受け雌ネジ部、４７：クランパ固定ナット、５１：第二の回転調整部構造体５１、５２：回転調整タブ、５２ａ：長孔、５２ｂ：回転調整面、７０：アジャスタ機構、７１：傾斜アジャスタネジ７１、７１ａ：接地部、７１ｂ：雄ネジ領域、７１ｃ：端部接地面、７２：傾斜アジャスタネジ固定ナット、８０：アジャストキャスタ、８１：キャスタ支持部、８１ａ：雄ネジ領域、８２：キャスタ、８３：キャスタ固定ナット、１００：ロードポート装置、１１１：接続プレート、１１２：接続シャフト、１１２ａ：傾斜アジャスタネジ受け雌ネジ部、１１３：サイドベース、１１５：載置台、１１７：ドア、１２１：開口部カバー部材、１２２：カバー部材固定用タブ

Claims

被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドを載置可能な載置台と、前記ポッドの前記開口を閉鎖する蓋を保持して前記開口を開閉するドアと、前記載置台及び前記ドアを支持するベース部材と、前記ドアにより閉鎖可能であって、前記被処理物を半導体処理装置に搬送する際に前記被処理物が通過可能な開口部と、を有するロードポート装置を、前記被処理物に所定の処理を施す前記半導体処理装置の取付け面に取り付けるロードポート装置取付け機構であって、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して前記取付け面に平行な第一の方向に開口し前記取付け面に平行な断面形状がＶ字形状、Ｕ字形状、円弧形状、曲線形状、及びこれらの組み合わせからなる形状の何れかを有する円板受け溝と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記円板受け溝に外周の一部が嵌り、前記外周の一部が嵌った状態で前記取付け面に垂直な軸周りの回転が可能な支点部材と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面と平行な第二の方向において前記支点部材を挟んで配置されて各々前記第二の方向に延在して前記第一の方向に平行な方向に開口に有するホルダ溝と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記第二の方向に延在して前記ホルダ溝に嵌合可能な規制シャフトと、
前記取付け面及び前記ロードポート装置において前記円板受け溝と同じ側に配置されて、前記支点円板を前記取付け面方向に押圧可能な押圧部材と、を有し、
前記押圧部材が前記支点円板を前記取付け面方向に押圧することにより前記規制シャフトが前記ホルダ溝の内壁に当接するように付勢されることを特徴とするロードポート装置取付け機構。
前記円板受け溝の形成軸は、前記ロードポート装置の重心を通り且つ前記取付け面に垂直であって鉛直線を含む面に含まれることを特徴とする請求項１に記載のロードポート取付け機構。
前記押圧部材は、前記押圧部材が当接する前記支点部材における当接面が傾いた場合であっても当接状態を維持可能であることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート装置の取付け機構。
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面から所定の距離隔置された前記取付け面に平行な受け面と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記受け面に当接可能であって前記受け面に当接した状態で前記受け面に対して固定可能な傾斜調整タブと、を更に有することを特徴とする請求項１乃至３の何れか一項に記載のロードポート装置の取付け機構。
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に平行な前記第二の方向とは異なる方向に延在し且つ前記取付け面に対して直交する回転調整面と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記取付け面に平行な第三の方向に前記回転調整面を押圧可能な回転調整手段と、を有することを特徴とする請求項１乃至４の何れか一項に記載のロードポート装置の取付け機構。
前記取付け面から所定間隔を空けて配されて、一方の端部にて前記半導体処理装置が配される床面に接地可能であると共に他方の端部にて前記ロードポート装置と接続され、前記床面と前記ロードポート装置との間隔を可変するアジャスタ機構を有することを特徴とする請求項１乃至５の何れか一項に記載のロードポート装置の取付け機構。
前記アジャスタ機構は前記一方の端部にキャスタを有し、前記キャスタを介して前記ロードポート装置の搬送が可能であることを特徴とする請求項６に記載のロードポート装置の取付け機構。
被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドを載置可能な載置台と、前記ポッドの前記開口を閉鎖する蓋を保持して前記開口を開閉するドアと、前記載置台及び前記ドアを支持するベース部材と、前記ドアにより閉鎖可能であって、前記被処理物を半導体処理装置に搬送する際に前記被処理物が通過可能な開口部と、を有するロードポート装置を、前記被処理物に所定の処理を施す前記半導体処理装置の取付け面に取り付けるロードポート装置取付け機構であって、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して前記取付け面に平行な第一の方向に開口し前記取付け面に平行な断面形状がＶ字形状、Ｕ字形状、円弧形状、曲線形状、及びこれらの組み合わせからなる形状の何れかを有する円板受け溝と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記円板受け溝に外周の一部が嵌り、前記外周の一部が嵌った状態で前記取付け面に垂直な軸周りの回転が可能なる支点部材と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記取付け面と平行な第二の方向において前記支点部材を挟んで配置されて各々前記第二の方向に延在して前記第一の方向に平行な方向に開口に有するホルダ溝と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記第二の方向に延在して前記ホルダ溝に嵌合可能な規制シャフトと、
前記取付け面及び前記ロードポート装置において前記円板受け溝と同じ側に配置されて、前記支点部材を前記取付け面方向に押圧可能な押圧部材と、を有し、
前記押圧部材が前記支点部材を前記取付け面方向に押圧することにより前記規制シャフトが前記ホルダ溝の内壁に当接するように付勢されることを特徴とするロードポート装置取付け機構。
被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドを載置可能な載置台と、前記ポッドの前記開口を閉鎖する蓋を保持して前記開口を開閉するドアと、前記載置台及び前記ドアを支持するベース部材と、前記ドアにより閉鎖可能であって、前記被処理物を半導体処理装置に搬送する際に前記被処理物が通過可能な開口部と、を有するロードポート装置を、前記被処理物に所定の処理を施す前記半導体処理装置の取付け面に取り付けるロードポート装置取付け機構であって、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して前記取付け面に平行な第一の方向に開口し前記取付け面に平行な断面形状がＶ字形状、Ｕ字形状、円弧形状、曲線形状、及びこれらの組み合わせからなる形状の何れかを有する円板受け溝を備える支点受け部材と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記円板受け溝に外周の一部が嵌り、前記円板受け溝と接触する外周面が円弧面或いは円柱面である支点円弧面部材と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面と平行な第二の方向において前記支点部を挟んで配置されて各々前記第二の方向に延在して前記第一の方向に平行な方向に開口に有するホルダ溝と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記第二の方向に延在して前記ホルダ溝に嵌合可能な規制シャフトと、
前記取付け面に配置されて、前記支点受け部材及び前記支点円弧面部材のうちで前記ロードポート装置に配置される片方を前記取付け面方向に押圧可能な押圧部材と、を有し、
前記押圧部材が前記片方を前記取付け面方向に押圧することにより前記規制シャフトが前記ホルダ溝の内壁に当接するように付勢されることを特徴とするロードポート装置取付け機構。
被処理物を挿脱するための開口を有し前記被処理物を収容するポッドを載置可能な載置台と、前記ポッドの前記開口を閉鎖する蓋を保持して前記開口を開閉するドアと、前記載置台及び前記ドアを支持するベース部材と、前記ドアにより閉鎖可能であって、前記被処理物を半導体処理装置に搬送する際に前記被処理物が通過可能な開口部と、を有するロードポート装置を、前記被処理物に所定の処理を施す前記半導体処理装置の取付け面に取り付けるロードポート装置取付け機構であって、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の一方に配されて、前記取付け面に垂直な方向に沿って延在する形成軸を有して前記取付け面に平行な第一の方向に開口し前記取付け面に平行な断面形状がＶ字形状、Ｕ字形状、円弧形状、曲線形状、及びこれらの組み合わせからなる形状の何れかを有する円板受け溝を備える支点受け部材と、
前記取付け面及び前記ロードポート装置の他方に配されて、前記円板受け溝に外周の一部が嵌り、前記円板受け溝と接触する外周面が円弧面或いは円柱面である支点円弧面部材と、
前記取付け面に配置されて、前記支点受け部材及び前記支点円弧面部材のうちで前記ロードポート装置に配置される片方を前記取付け面方向に押圧可能な押圧部材と、を有し、
前記押圧部材が前記片方を前記取付け面方向に押圧することにより前記規制シャフトが前記ホルダ溝の内壁に当接するように付勢されることを特徴とするロードポート装置取付け機構。