JP2013174394A - 極低温冷凍機 - Google Patents
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Abstract
【課題】部品点数の増加や外形寸法の大型化を招くことなくより効果的にディスプレーサを往復動させることができる極低温冷凍機を提供すること。
【解決手段】本発明による極低温冷凍機1は、シリンダ2と、シリンダ2に対して往復動が可能なディスプレーサ3と、ディスプレーサ3の往復動の方向に軸方向を有する回転軸4を駆動する駆動手段5と、回転軸4の回転を往復動に変換する変換手段と、を含み、変換手段は雄ネジ部3aと雌ネジ部2aを組み合わせてなる螺合手段であり、雄ネジ部3aはディスプレーサ3の一部であることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】本発明による極低温冷凍機1は、シリンダ2と、シリンダ2に対して往復動が可能なディスプレーサ3と、ディスプレーサ3の往復動の方向に軸方向を有する回転軸4を駆動する駆動手段5と、回転軸4の回転を往復動に変換する変換手段と、を含み、変換手段は雄ネジ部3aと雌ネジ部2aを組み合わせてなる螺合手段であり、雄ネジ部3aはディスプレーサ3の一部であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧縮装置から供給される高圧の冷媒ガスを用いて、サイモン膨張を発生させて極低温の寒冷を発生する極低温冷凍機に関する。
極低温冷凍機として例えば特許文献1に記載のものがある。この極低温冷凍機はディスプレーサをシリンダ内部で往復動させながらバルブの開閉を行う。これより極低温冷凍機は、膨張空間内の冷媒ガスをディスプレーサとシリンダとの間のクリアランスを通して膨張させて寒冷を発生させ、この寒冷をクリアランス及び膨張空間の外周側に位置する冷却ステージに熱交換により伝えて、被冷却物の冷凍を行う。
ところが、ディスプレーサを往復動させるにあたり、スコッチヨーク機構やボールネジ機構を用いる構成では、いずれも機構の複雑化を部品点数の増大を招き、外形寸法の大型化も招くという問題がある。特に、後者においては、モータをアキシャルギャップタイプとするかロータが中空状の特殊なものを使用するためコストアップを招く。
本発明は部品点数の増加や外形寸法の大型化、コストアップを招くことなくより効果的にディスプレーサを往復動させることができる極低温冷凍機を提供することを目的とする。
上記の問題を解決するため、本発明による極低温冷凍機は、
シリンダと、当該シリンダに対して往復動が可能なディスプレーサと、ディスプレーサの前記往復動の方向に軸方向を有する回転軸を駆動する駆動手段と、前記回転軸の回転を前記往復動に変換する変換手段と、を含み、当該変換手段は雄ネジ部と雌ネジ部を組み合わせてなる螺合手段であり、前記雄ネジ部又は前記雌ネジ部は前記ディスプレーサの一部であることを特徴とする。
シリンダと、当該シリンダに対して往復動が可能なディスプレーサと、ディスプレーサの前記往復動の方向に軸方向を有する回転軸を駆動する駆動手段と、前記回転軸の回転を前記往復動に変換する変換手段と、を含み、当該変換手段は雄ネジ部と雌ネジ部を組み合わせてなる螺合手段であり、前記雄ネジ部又は前記雌ネジ部は前記ディスプレーサの一部であることを特徴とする。
ここで、前記雄ネジ部が前記ディスプレーサの外周面に形成され、前記雌ネジ部が前記シリンダの内周面に形成されることとしてもよく、前記雌ネジ部が前記ディスプレーサの高温端面から低温端に向けて窪む凹部に形成されることとしてもよい。
後者においては、前記雄ネジ部は前記回転軸に前記軸方向に相対移動可能に駆動結合された円筒部の外周面に構成されることとしてもよく、前記回転軸に直接的に形成されるものとしてもよい。前者においては、前記ディスプレーサと前記シリンダとの間に形成されるクリアランスに設置されるシールが、潤滑剤を含有する含有層と、当該含有層を前記軸方向に挟持する挟持層とを含むことが好ましい。
加えて、前記駆動手段は、前記シリンダと前記ディスプレーサとにより構成される膨張空間の吸気及び排気を制御するロータリバルブを駆動することとしてもよい。
本発明の極低温冷凍機によれば、駆動手段により回転軸を正回転、逆回転することによって回転を往復動に変換して、ディスプレーサを往復動させることができる。この際、螺合手段がディスプレーサの一部により構成され、駆動手段は通常のモータを使用できるので、部品点数の増大や外形寸法の大型化、コストアップを招かない。
以下、本発明を実施するための形態について、添付図面を参照しながら説明する。
本実施例1の極低温冷凍機1は、例えば、冷媒ガスとしてヘリウムガスを用いるギフォードマクマホン(GM)タイプの冷凍機である。図1に示すように、極低温冷凍機1は、シリンダ2と、ディスプレーサ3と、モータシャフト4(回転軸)と、モータ5(駆動手段)と、スリーブ6と、ライブロード式パッキン7と、ハウジング8と、バルブプレート9と、バルブ本体10と、ガス通路11とを含んで構成される。
シリンダ2は有底円筒状に構成され、ディスプレーサ3を外包した上で、図1中頂部をハウジング8にて気密に閉塞される。図1中下部において、ディスプレーサ3と、シリンダ2とは膨張空間12を形成する。図1中図示は省略するが、シリンダ2は、膨張空間12に隣接するとともに外包するように位置する冷却ステージを含み、ディスプレーサ3は冷却ステージにクリアランスを介して対向する。冷却ステージは、例えば銅、アルミニウム、ステンレス等により構成される。
シリンダ2はディスプレーサ3を長手方向及びモータ5の軸方向に往復移動可能に収容する。シリンダ2には、強度、熱伝導率、ヘリウム遮断能の確保を主な観点として例えばステンレス鋼が用いられる。
シリンダ2の高温端には、ディスプレーサ3を往復駆動するためのモータ5が、ディスプレーサ3及びシリンダ2の軸方向に、モータシャフト4が指向するように設置される。ディスプレーサ3は円筒状の外周面を有しており、ディスプレーサ3の内部には、蓄冷材が充填されている。このディスプレーサ3の内部容積は蓄冷器を構成する。蓄冷器の上端側つまり室温室側にはヘリウムガスの流れを整流する上側の整流器が設けられ、蓄冷器の下端側には下側の整流器が設けられる。
ディスプレーサ3の高温端には、ディスプレーサ3の図1中上側の室温室からディスプレーサ3に冷媒ガスを流通する開口が形成されている。室温室は、シリンダ2とディスプレーサ3の高温端により形成される空間であり、ディスプレーサ3の往復移動に伴い容積が変化する。
モータ5とシリンダ2との軸方向の中間に位置するハウジング8内には、バルブプレート9及びバルブ本体10により構成されるロータリバルブからなる吸排気系統が配置されている。給排気系統の一方には、図示しない圧縮機の高圧側から引き出される高圧フレキシブル配管HF、圧縮機の低圧側から引き出される低圧フレキシブル配管LFとが接続され、他方には、給排共通配管をなすガス通路11が室温室に接続されている。また、ディスプレーサ3の高温端よりの部分とシリンダ2との間にはライブロード式パッキン7が装着されている。
このライブロード式パッキン7は図2に示すように、シェブロン型パッキン7a(含有層:山形)、二つのパッキン7b(挟持層)、グランド7c、ボルト7d、を含んで構成される。シェブロン型パッキン7aは、相互に接触する傾斜面を有する断面が直角三角形の一対の紐状又は繊維状のエレメントにより構成されており、このエレメントは潤滑剤を含有している。
パッキン7bは上下一対配置されて、このシェブロン型パッキン7aを軸方向に挟持するものである。図2中下側のパッキン7bは、シリンダ2の雄ネジ部3aの高温端側に隣接させて設けられた隅部に配置され、このパッキン7bの上部にシェブロン型パッキン7aが配置され、さらに、その上部に上側のパッキン7bが配置されて、さらに、スペーサの役目を果たすグランド7cが配置される。
グランド7cの上側にはハウジング8の壁部が配置されており、この壁部のハウジング8の内側から外側、つまり図2中上側から下側に貫通する雌ネジ孔が穿設されており、子の雌ネジ孔にボルト7dが螺合されている。このボルト7dの雄ネジ先端部はグランド7cの上面に当接されており、ボルト7dを雄ネジ孔へねじ込み雄ネジ先端部を下側に変位させると、一対のパッキン7bの挟持力が大きくなる。これに伴い、一対のシェブロン型パッキン7aを構成するエレメントの有する傾斜面はより強い力で押圧され、内側のエレメントがディスプレーサ3の外周面により強い力で押圧され潤滑剤を供給しながらシールされる。
ディスプレーサ3の低温端には、膨張空間12にクリアランスを介して冷媒ガスを導入する開口が形成されている。膨張空間12は、上述したようにシリンダ2とディスプレーサ3により形成される空間であり、ディスプレーサ3の往復移動に伴い容積が変化する。シリンダ2外周及び底部の膨張空間12に対応する位置する、被冷却物に熱的に接続された冷却ステージはクリアランスを通る冷媒ガスにより冷却される。
ディスプレーサ3には、比重と耐摩耗性、強度、熱伝導率の観点から、例えばベークライト(布入りフェノール)等が用いられる。蓄冷材は例えば金網等により構成される。ディスプレーサ3の高温端よりの外周面には雄ネジ部3aが形成され、シリンダ2の内周面にはこの雄ネジ部3aに螺合する雌ネジ部2aが形成される。ディスプレーサ3の高温端面には、円筒状のスリーブ6が嵌合される嵌合穴が設けられ、この嵌合穴にスリーブ6は嵌合されて、スリーブ6はディスプレーサ3に対して周方向及び軸方向に固定される。
スリーブ6の外周面は例えばセレーション加工がなされており、バルブプレート9の内側にスリーブ6に対応する内周面を有する内孔が形成され、この内孔の内周面には対応するセレーション加工がなされる。バルブ本体10の内側にはスリーブ6の最大径よりも大きい径を有する円筒状の内孔が形成される。つまり、スリーブ6はバルブ本体10に対しては周方向及び軸方向に拘束されず、バルブプレート9に対しては軸方向には拘束されず周方向には拘束される。すなわちモータ5の正転駆動又は逆転駆動によりスリーブ6を介してバルブプレート9はバルブ本体10に対して相対回転され、後述する冷凍機の動作に寄与するサプライバルブ及びリターンバルブとして機能する。
スリーブ6の内周面も例えばセレーション加工がなされており、モータシャフト4の外周面はこの内周面に対応させたセレーション加工がなされている。つまり、スリーブ6はモータシャフト4に対して軸方向には拘束されず、周方向には拘束される。
モータ5は例えば三相交流同期電動機で構成され、図示しないインバータにより正転又は逆転の駆動がなされる。モータ5が正転駆動された場合には、モータシャフト4が正転されてそれに駆動結合されたスリーブ6及びディスプレーサ3は正転される。ディスプレーサ3が正転されると、雄ネジ部3aと雌ネジ部2aとで構成される螺合手段により、ディスプレーサ3は、図1中上側の下死点から下側の上死点へ移動される。この際に、スリーブ6の下側への移動は、スリーブ6とモータシャフト4との間の相対移動により吸収される。これとは逆にモータ5が逆転駆動された場合には、図1中下側の上死点から下死点へ移動される。
次に、冷凍機の動作を説明する。冷媒ガス供給工程のある時点においては、ディスプレーサ3はシリンダ2の図1中下側の上死点に位置する。それと同時、またはわずかにずれたタイミングでロータリバルブが構成するサプライバルブが開とされると、サプライバルブを介して高圧のヘリウムガスがガス通路11(給排共通配管)からシリンダ2内に供給され、ディスプレーサ3の上部に位置する開口からディスプレーサ3の内部の蓄冷器に流入する。蓄冷器に流入した高圧のヘリウムガスは、蓄冷材により冷却されながらディスプレーサ3の下部に位置する開口及びクリアランスを介して、膨張空間12に供給される。
このようにして、膨張空間12は、高圧のヘリウムガスで満たされ、サプライバルブは閉とされる。この時、ディスプレーサ3は、シリンダ2内の図1中上側の下死点に位置する。それと同時、またはわずかにずれたタイミングでロータリバルブが構成するリターンバルブを開とすると、膨張空間12、の冷媒ガスは減圧され、膨張する。膨張により低温になった膨張空間12のヘリウムガスはクリアランスを介して冷却ステージの熱を吸収する。
ディスプレーサ3は図1中下側の上死点に向けて移動し、膨張空間12の容積は減少する。膨張空間12内のヘリウムガスは、クリアランス、開口、蓄冷器、開口を介して圧縮機の吸入側に戻される。その際、蓄冷材は、冷媒ガスにより冷却される。この工程を1サイクルとし、冷凍機はこの冷却サイクルを繰り返すことで、冷却ステージを冷却する。
本実施例1の極低温冷凍機1においては、モータ5の駆動力のディスプレーサ3の上述した下死点と上死点との間の往復動への変換を、雄ネジ部3aと雌ネジ部2aとで構成される螺合手段により行うことができる。つまり本実施例1は、従来のスコッチヨーク機構やボールネジ機構をなくすことができる。前者に対してはモータ5の軸方向が鉛直方向にできるので、モータ5のモータシャフト4へのスラスト荷重が過大となることを防止できる利点を有する。また、後者に対してもモータ5を通常のモータとすることができ、コストダウンを図れる。さらに、螺合手段つまり変換手段はディスプレーサ3に対して軸方向にオーバーラップして位置する雄ネジ部3a、雌ネジ部2aにより構成されるので、従来技術に対して特に軸方向の寸法の短縮や部品点数の削減を図ることができる。
また、螺合手段をディスプレーサ3の外周側の雄ネジ部3aとシリンダ2の内周側の雌ネジ部2aとで構成することで、本実施例1は、両者の密接な接触を前提としたネジ運動を実現するため、高温側から低温側へクリアランスを流れるヘリウムガスの漏れ量を小さくすることができる。また、漏れたヘリウムガスも螺旋状に流れることになるため、ディスプレーサ3の外周面との接触時間を長くして、クリアランスにおける流路抵抗を大きくすることができる。つまり、漏れによる冷却ステージへの熱浸入を減少することができる。
さらに、ディスプレーサ3とシリンダ2との径方向の隙間であるクリアランスをシールするにあたって、実施例1ではディスプレーサ3がシリンダ2の周方向に相対回転することとなるが、上述したライブロード式パッキン7によってより効率的にシールを行うことができる。特に周方向の相対回転に対する潤滑性を増して摩擦抵抗を減らすことができる。なお、シールは通常のOリングつまりスリッパシール構造としてもよい。
上述した実施例1では螺合手段をディスプレーサ3の外周側に形成したが、内周側に形成してもよい。図3は本実施例2の極低温冷凍機21を示す模式図である。なお、図1の実施例1と共通する構成要素については同一の符号を付し、相違点を主として説明する。
本実施例2の極低温冷凍機21は、実施例1と同じくギフォードマクマホン(GM)タイプの冷凍機である。図3に示すように、極低温冷凍機21は、シリンダ22と、ディスプレーサ23と、モータシャフト4(回転軸)と、モータ5(駆動手段)と、スリーブ6と、スリッパシール構造27と、ハウジング8と、バルブプレート9と、バルブ本体10と、ガス通路11とを含んで構成される。
シリンダ22は有底円筒状に構成され、ディスプレーサ23を外包した上で、図3中頂部をハウジング8にて気密に閉塞される。図3中下部において、ディスプレーサ23と、シリンダ22とは膨張空間を形成する。図3中図示は省略するが、シリンダ22は、膨張空間に隣接するとともに外包するように位置する冷却ステージを含み、ディスプレーサ23は冷却ステージにクリアランスを介して対向する。冷却ステージは、例えば銅、アルミニウム、ステンレス等により構成される。
シリンダ22はディスプレーサ23を長手方向及びモータ5の軸方向に往復移動可能に収容する。シリンダ22には、強度、熱伝導率、ヘリウム遮断能の確保を主な観点として例えばステンレス鋼が用いられる。
シリンダ22の高温端には、ディスプレーサ23を往復駆動するためのモータ5が、ディスプレーサ23及びシリンダ22の軸方向に、モータシャフト4が指向するように設置される。ディスプレーサ23は円筒状の外周面を有しており、ディスプレーサ23の内部には、蓄冷材が充填されている。このディスプレーサ23の内部容積は蓄冷器を構成する。蓄冷器の上端側つまり室温室側にはヘリウムガスの流れを整流する上側の整流器が設けられ、蓄冷器の下端側には下側の整流器が設けられる。
ディスプレーサ23の高温端には、ディスプレーサ23の図3中上側の室温室からディスプレーサ23に冷媒ガスを流通する開口が形成されている。室温室は、シリンダ22とディスプレーサ23の高温端により形成される空間であり、ディスプレーサ23の往復移動に伴い容積が変化する。
モータ5とシリンダ22との軸方向の中間に位置するハウジング8内には、図示しない圧縮機の高圧側から引き出される高圧フレキシブル配管HF、圧縮機の低圧側から引き出される低圧フレキシブル配管LF、バルブプレート9及びバルブ本体10により構成されるロータリバルブからなる吸排気系統が配置されている。この吸排気系統を相互に接続する配管のうち、給排共通配管をなすガス通路11が室温室に接続されている。
ディスプレーサ23の低温端には、膨張空間にクリアランスを介して冷媒ガスを導入する開口が形成されている。膨張空間は、シリンダ22とディスプレーサ23により形成される空間であり、ディスプレーサ23の往復移動に伴い容積が変化する。シリンダ22外周及び底部の膨張空間に対応する位置する、被冷却物に熱的に接続された冷却ステージはクリアランスを通る冷媒ガスにより冷却される。
ディスプレーサ23には、比重と耐摩耗性、強度、熱伝導率の観点から、例えばベークライト(布入りフェノール)等が用いられる。蓄冷材は例えば金網等により構成される。ディスプレーサ23の高温端側には円板状のアッパーカップ23bが配置される。スリッパシール構造27は、アッパーカップ23bよりも低温端側の外周面に設置される。
ディスプレーサ23の高温端面の中心には低温端面に向けて窪む凹部が形成され、この凹部の内周面には雌ネジ部23aが形成される。スリーブ26の外周面には雌ネジ部23aに対応する雄ネジ26aが形成される。
スリーブ26の雄ネジ部26aよりも図3中上側に位置する外周面には例えばセレーション加工がなされており、バルブプレート9の内側にスリーブ26に対応する内周面を有する内孔が形成され、この内孔の内周面には対応するセレーション加工がなされる。バルブ本体10の内側にはスリーブ26の最大径よりも大きい径を有する円筒状の内孔が形成される。
つまり、スリーブ26はバルブ本体10に対しては周方向及び軸方向に拘束されず、バルブプレート9に対しては軸方向には拘束されず周方向には拘束される。モータ5の正転駆動又は逆転駆動によりスリーブ26を介してバルブプレート9はバルブ本体10に対して相対回転され、冷凍機の動作に寄与するサプライバルブ及びリターンバルブとして機能する。
スリーブ26の内周面も例えばセレーション加工がなされており、モータシャフト4の外周面はこの内周面に対応させたセレーション加工がなされている。つまり、スリーブ26はモータシャフト4に対して軸方向には拘束されず、周方向には拘束される。
モータ5は例えば三相交流同期電動機で構成され、図示しないインバータにより正転又は逆転の駆動がなされる。モータ5が正転駆動された場合には、モータシャフト4が正転されてそれに駆動結合されたスリーブ26は正転される。スリーブ26が正転されると、雄ネジ部26aと雌ネジ部23aとで構成される螺合手段により、ディスプレーサ23は、図3中上側の下死点から下側の上死点へ移動される。ここで、ディスプレーサ23は螺合手段の周方向摩擦力に対して十分に重くスリーブ26の回転に伴い連れ回りが発生して、シリンダ22に対して周方向に回転することはない。なお、ディスプレーサ23とシリンダ22との周方向の相対回転をより確実に防止する例えばキー等の機構を適宜設けることも可能である。
この際に、スリーブ26の下側への移動は、スリーブ26とモータシャフト4との間の相対移動により吸収される。これとは逆にモータ5が逆転駆動された場合には、図3中下側の上死点から下死点へ移動される。冷凍機の動作については実施例1と同様である。
本実施例2の極低温冷凍機21においても、モータ5の駆動力のディスプレーサ23の上述した下死点と上死点との間の往復動への変換を、雄ネジ部26aと雌ネジ部23aとで構成される螺合手段により行うことができる。つまり本実施例2でも、従来のスコッチヨーク機構やボールネジ機構をなくすことができる。前者に対してはモータ5の軸方向が鉛直方向にできるので、モータ5のモータシャフト4へのスラスト荷重が過大となることを防止できる利点を有し、後者に対してもモータ5を通常のモータとすることができ、コストダウンを図れる。さらに、螺合手段つまり変換手段はディスプレーサ23に対して軸方向にオーバーラップして位置する雄ネジ部26a、雌ネジ部23aにより構成されるので、従来技術に対して特に軸方向の寸法の短縮や部品点数の削減を図ることができる。
以上本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明は上述した実施例に制限されることなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形および置換を加えることができる。
例えば、上述した極低温冷凍機においては段数が一段である場合を示したが、この段数は二段、三段等に適宜選択することが可能である。この場合、螺合手段は一段目のみに構成すればよい。また、実施の形態では、極低温冷凍機がGM冷凍機である例について説明したが、これに限られない。例えば、本発明は、スターリング冷凍機、ソルベイ冷凍機など、ディスプレーサを備える何れの冷凍機にも適用することができる。また、上死点、下死点の定義は上記と逆の定義としてもよい。
本発明は、ディスプレーサを往復動させるにあたりスコッチヨーク機構やボールネジ機構を用いる必要をなくすものである。つまり、本発明は、部品点数の増加や外形寸法の増大、コストアップを招かないため、種々の極低温冷凍機に適用可能なものである。
1 極低温冷凍機
2 シリンダ
2a 雌ネジ部
3 ディスプレーサ
3a 雄ネジ部
4 モータシャフト(回転軸)
5 モータ(駆動手段)
6 スリーブ
7 ライブロード式パッキン(シール)
7a シェブロン型パッキン(含有層)
7b パッキン(挟持層)
7c グランド
7d ボルト
8 ハウジング
9 バルブプレート
10 バルブ本体
11 ガス通路
12 膨張空間
21 極低温冷凍機
22 シリンダ
23 ディスプレーサ
23a 雌ネジ部
23b アッパーカップ
26 スリーブ(円筒部)
26a 雄ネジ部
27 スリッパシール構造
2 シリンダ
2a 雌ネジ部
3 ディスプレーサ
3a 雄ネジ部
4 モータシャフト(回転軸)
5 モータ(駆動手段)
6 スリーブ
7 ライブロード式パッキン(シール)
7a シェブロン型パッキン(含有層)
7b パッキン(挟持層)
7c グランド
7d ボルト
8 ハウジング
9 バルブプレート
10 バルブ本体
11 ガス通路
12 膨張空間
21 極低温冷凍機
22 シリンダ
23 ディスプレーサ
23a 雌ネジ部
23b アッパーカップ
26 スリーブ(円筒部)
26a 雄ネジ部
27 スリッパシール構造
Claims (6)
- シリンダと、当該シリンダに対して往復動が可能なディスプレーサと、ディスプレーサの前記往復動の方向に軸方向を有する回転軸を駆動する駆動手段と、前記回転軸の回転を前記往復動に変換する変換手段と、を含み、当該変換手段は雄ネジ部と雌ネジ部を組み合わせてなる螺合手段であり、前記雄ネジ部又は前記雌ネジ部は前記ディスプレーサの一部であることを特徴とする極低温冷凍機。
- 前記雄ネジ部が前記ディスプレーサの外周面に形成され、前記雌ネジ部が前記シリンダの内周面に形成されることを特徴とする請求項1に記載の極低温冷凍機。
- 前記雌ネジ部が前記ディスプレーサの高温端面から低温端に向けて窪む凹部に形成されることを特徴とする請求項1に記載の極低温冷凍機。
- 前記雄ネジ部は前記回転軸に前記軸方向に相対移動可能に駆動結合された円筒部の外周面に構成されることを特徴とする請求項3に記載の極低温冷凍機。
- 前記ディスプレーサと前記シリンダとの間に形成されるクリアランスに設置されるシールが、潤滑剤を含有する含有層と、当該含有層を前記軸方向に挟持する挟持層とを含むことを特徴とする請求項2に記載の極低温冷凍機。
- 前記駆動手段は、前記シリンダと前記ディスプレーサとにより構成される膨張空間の吸気及び排気を制御するロータリバルブを駆動することを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の極低温冷凍機。
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