JP6117309B2 - 極低温冷凍機 - Google Patents

極低温冷凍機 Download PDF

Info

Publication number
JP6117309B2
JP6117309B2 JP2015202639A JP2015202639A JP6117309B2 JP 6117309 B2 JP6117309 B2 JP 6117309B2 JP 2015202639 A JP2015202639 A JP 2015202639A JP 2015202639 A JP2015202639 A JP 2015202639A JP 6117309 B2 JP6117309 B2 JP 6117309B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
displacer
dead center
force
elastic body
cylinder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2015202639A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016011831A (ja
Inventor
航司 山田
航司 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Heavy Industries Ltd filed Critical Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority to JP2015202639A priority Critical patent/JP6117309B2/ja
Publication of JP2016011831A publication Critical patent/JP2016011831A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6117309B2 publication Critical patent/JP6117309B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Compressor (AREA)

Description

本発明は、圧縮装置から供給される高圧の冷媒ガスを用いて、サイモン膨張を発生させて極低温の寒冷を発生する極低温冷凍機に関する。
極低温冷凍機として例えば特許文献1に記載のものがある。この技術においては、モータの回転運動をスコッチヨーク機構により往復運動に変換して、ディスプレーサを動作させている。
この極低温冷凍機においては、ディスプレーサをシリンダ内部で往復動させながら、バルブの開閉によりシリンダとディスプレーサにより画成される膨張空間内の冷媒ガスを膨張させて寒冷を発生させる。この寒冷を膨張空間の外周側に位置する冷却ステージに熱交換により伝えることにより、被冷却物の冷凍が行われる。
この極低温冷凍機においては、低温端側の膨張空間が最も小さくなるディスプレーサの位置を上死点とし最も大きくなる位置を下死点とすると、ディスプレーサが上死点に移動し終えて到達する前に、バルブにより冷媒ガスの吸気(供給)がなされる。なお、上死点と下死点は上記と逆に定義する場合もある。
特開2011−17457号公報
上死点の直前においてディスプレーサに作用する冷媒ガスの圧力損失による力(圧損力)は移動方向と冷媒ガスの流れ方向が一致することから同方向となり、ディスプレーサの移動方向への付勢力として作用し、モータにとっては回転力を増幅させる順方向の力となる。
上死点の直後においては移動方向と流れ方向が逆となることからディスプレーサに作用する力は移動方向と逆方向となり、ディスプレーサの移動方向への移動を妨げる力として作用し、モータにとっては回転力を妨げる逆方向の力となる。この順方向の力と逆方向の力は、下死点においてもディスプレーサが下死点に到達する前に、冷媒ガスの排気が行われるので同様に発生する。
つまり従来技術においては、下死点又は上死点にディスプレーサが到達した直後において冷媒ガスによる圧力損失に起因する逆方向の力が発生し、この逆方向の力はモータにとって負荷抗力となってしまい、モータのスリップ等の不都合を誘発するおそれが生じる。
本発明においては、冷媒ガスにより発生する圧力損失に係わらず、モータに対して逆方向の力が作用することをなるべく抑制して、モータのスリップ等の不都合を効果的に防止することができる極低温冷凍機を提供することを目的とする。
上記の問題を解決するため、本発明による極低温冷凍機は、
シリンダと、当該シリンダに対して往復運動するディスプレーサと、を含み、前記ディスプレーサの往復運動範囲内の一対の端部をそれぞれ含む一対の端部領域の少なくとも一方にて、前記ディスプレーサが前記端部に近接する場合に弾性力を蓄積し、前記端部から離隔する場合に前記弾性力を解放する弾性手段を含むことを特徴とする。
なお前記端部とは上述した上死点又は下死点であり、前記端部領域は前記上死点を含む一方と、前記下死点を含むものの他方があり、本発明においては一方及び他方の少なくともいずれかあるいは双方で上述した機能を果たす前記弾性手段を有していればよい。前記端部領域以外の前記往復運動範囲は往復運動の中間点を含む。前記端部領域の長さは前記端部と前記中間点の間隔よりは小さく、前記ディスプレーサに作用する冷媒ガスの圧力損失による圧損力の特性により定まる。
ここで、前記弾性手段は、前記ディスプレーサに連結されたスコッチヨーク機構の一部をなす窓部に配置される第一弾性体を含むこととしてもよく、前記ディスプレーサに連結されたロッドのロッド端部に配置される第二弾性体を含むこととしてもよい。さらに、前記弾性手段は、前記ディスプレーサの高温端に配置される第三弾性体を含むこととしてもよく、前記ディスプレーサの低温端に配置される第四弾性体を含むこととしてもよい。加えて、前記弾性手段は例えばコイルスプリングであり、前記ディスプレーサ側と前記シリンダ側のいずれか一方のみに接合され、他方側は自由端とされ、当該自由端は前記端部領域においてのみ他方に接触する。
また、前記第三弾性体又は前記第四弾性体を収納する凹部を前記ディスプレーサ又は前記シリンダが含むことしてもよい。前記凹部は前記ディスプレーサと前記シリンダとの間に画成される軸方向の空間において、圧縮された前記第三弾性体又は前記第四弾性体を収容して前記第三弾性体又は第四弾性体によりデッドボリュームが発生することが防止できる深さがあればよい。
本発明の極低温冷凍機によれば、膨張空間に対して上死点の直前に吸気手段により吸気が開始される場合と、下死点の直前に排気手段により排気が開始される場合において、順方向の力が作用することを利用して、ディスプレーサが端部に到達する直前においてはこの順方向の力を弾性力として弾性手段に蓄積させることができる。
これにより、ディスプレーサが端部に到達した直後において弾性手段によってこの弾性力を解放して、圧力損失により作用する逆方向の力を解放された弾性力により打ち消して、スコッチヨーク機構を介してディスプレーサを動作させるモータに逆方向の力が負荷抗力として伝達されることを防止できる。つまり、負荷抗力に起因するモータのスリップ等の不都合をより効果的に防止できる。
本発明に係る実施例の極低温冷凍機1の一実施形態について示す模式図である。 実施例の極低温冷凍機1のディスプレーサ3に連結される窓部6の第一弾性体41とロッド5の端部の第二弾性体42の一実施形態について示す模式図である。 実施例の極低温冷凍機1のディスプレーサ3の高温端に連結される第三弾性体43と低温端に連結される第四弾性体44の一実施形態を示す模式図である。 実施例の極低温冷凍機1のディスプレーサ3の往復運動において作用する冷媒ガスによる圧力損失よる圧損力の態様の一例を示す模式図である。 実施例の極低温冷凍機1のディスプレーサ3の第三弾性体43に対応する凹部3aの形態の一例を示す模式図である。 実施例の極低温冷凍機1のディスプレーサ3の第四弾性体44に対応する凹部3bの形態の一例を示す模式図である。
以下、本発明を実施するための形態について、添付図面を参照しながら説明する。
図1に示すように、本実施例の極低温冷凍機1は、例えば、冷媒ガスとしてヘリウムガスを用いるギフォードマクマホン(GM)タイプの冷凍機である。極低温冷凍機1は、シリンダ2と、ディスプレーサ3と、弾性手段4と、ロッド5と、窓部6と、ハウジング7と、上部カバー8と、バルブプレート9と、バルブ10と、スコッチヨーク機構11と、モータ12とを具備している。
シリンダ2はディスプレーサ3との間に径方向にはクリアランスを形成し、ディスプレーサ3がシリンダ2内を移動可能な構成としている。また、ディスプレーサ3の図1中B側には膨張空間Cを形成し、図1中B側と反対側には室温室Hを形成している。図1では図示しないが膨張空間Cに隣接するとともに外包するように位置する冷却ステージが設けられており、この冷却ステージは、例えば銅、アルミニウム、ステンレス等の熱伝導率の高い材質により構成される。
シリンダ2はディスプレーサ3を長手方向に往復移動可能に収容する。シリンダ2には、強度、熱伝導率、ヘリウム遮断能の観点から例えばステンレス鋼が用いられる。シリンダ2の図1中B側の反対側の高温端には、モータ12の回転駆動に基づいてディスプレーサ3を往復駆動するスコッチヨーク機構11が設けられている。スコッチヨーク機構11のクランク軸11aは、ディスプレーサ3に連結されたロッド5の中間に設けられた窓部6に、ロッド5の軸方向に垂直な方向に相対移動可能に連結されている。
スコッチヨーク機構11と窓部6、バルブプレート9、バルブ10は、図1中左右方向に並列されて配置され、その全体を覆うハウジング7が設けられ、ハウジング7を貫通して図1中B側と反対側に突出するロッド5のロッド端部は、上部カバー8により覆われている。
ディスプレーサ3はこのスコッチヨーク機構11によりシリンダ2の軸方向にそって往復移動される。さらに、クランク軸11aの先端はバルブプレート9の図示しないピン穴に連結されており、バルブプレート9はスコッチヨーク機構11により回転されて、適宜のタイミングでロータリタイプのバルブ10の開閉を行う。
ディスプレーサ3は円筒状の外周面を有しており、ディスプレーサ3の内部には、図示しない蓄冷材が充填されている。このディスプレーサ3の内部容積は図示しない蓄冷器を構成する。蓄冷器の上端側つまり高温端側にはヘリウムガスの流れを整流する上側の図示しない整流器が設けられ、蓄冷器の下端側には下側の図示しない整流器が設けられる。
ディスプレーサ3の高温端には、室温室Hからディスプレーサ3に冷媒ガスを流通する図示しない開口が形成されている。室温室Hは、シリンダ2とディスプレーサ3の高温端により形成される空間であり、ディスプレーサ3の往復移動に伴い容積が変化する。
室温室Hには、図示しない圧縮機、バルブプレート9、バルブ10からなる吸排気系統を相互に接続する配管のうち、給排共通配管が接続されている。また、ディスプレーサ3の高温端よりの部分とシリンダ2との間には図示しないシールが装着されている。
ディスプレーサ3の低温端には、膨張空間Cにクリアランスを介して冷媒ガスを導入する図示しない開口が形成されている。膨張空間Cは、シリンダ2とディスプレーサ3により図1中B側に形成される空間であり、ディスプレーサ3の往復移動に伴い容積が変化する。シリンダ2外周及び底部の膨張空間Cに対応する位置には、被冷却物に熱的に接続された冷却ステージが配置されており、冷却ステージはクリアランスを通る冷媒ガスにより冷却される。
ディスプレーサ3には、比重と耐摩耗性、強度、熱伝導率の観点から、例えばベークライト(布入りフェノール)等の樹脂が用いられる。内部の蓄冷材は例えば金網等により構成される。
本実施例では、弾性手段4は、第一弾性体41、第二弾性体42、第三弾性体43、第四弾性体44を具備している。図1中の楕円に示すように、第一弾性体41は、窓部6とハウジング7の軸方向の一対の隙間にそれぞれ配置される。第二弾性体42は、図1中に示すように、ロッド5のロッド端部と上部カバー8の軸方向の隙間に配置される。第三弾性体43は、ディスプレーサ3の室温室H側、つまり高温端側に配置され、第四弾性体44は、ディスプレーサ3の膨張空間C側、つまり低温端側に配置される。
第一弾性体41と第二弾性体42は、図1中のA方向視である図2に示すように、コイルスプリングにより構成される。ここでは四つの第一弾性体41の一方端がそれぞれ、窓部6側に例えば接着剤等の適宜の接合手段により接合され且つ固定され、他方端は自由端とされている。第二弾性体42はロッド5のロッド端部に一方端が接合され、他方端はやはり自由端とされる。
第三弾性体43と第四弾性体44も、図3に示すように、コイルスプリングにより構成される。第三弾性体43は、ディスプレーサ3の高温端側に一方端が接合され、他方端は自由端とされる。第四弾性体44は、ディスプレーサ3の低温端側に一方端が接合され、他方端は自由端とされる。
第二弾性体42、図1中の上側に位置する第一弾性体41、第三弾性体43の付勢力が作用しない状態での自由長は、ディスプレーサ3が図1中高温端側の下死点を含む所定の長さの端部領域に位置する場合にのみ他方端が、それぞれ、上部カバー8の上底面、ハウジング7の上底面、シリンダ2の上底面に当接するよう設定される。
図1中の下側に位置する第一弾性体41、第四弾性体44の付勢力が作用しない状態での自由長は、ディスプレーサ3が図1中低温端側の上死点を含む所定の長さの端部領域に位置する場合にのみ他方端が、それぞれ、ハウジング7の下底面、シリンダ2の下底面に当接するよう設定される。
次に、冷凍機の動作を説明する。冷媒ガス供給工程のある時点においては、ディスプレーサ3はシリンダ2の図1中B側の上死点に位置する。その上死点にディスプレーサ3が到達する前にバルブプレート9の回転に伴わせてバルブ10を開とすると、バルブ10を介して高圧のヘリウムガスが給排共通配管からシリンダ2内に供給され、ディスプレーサ3の上部に位置する開口からディスプレーサ3の内部の蓄冷器に流入する。蓄冷器に流入した高圧のヘリウムガスは、蓄冷材により冷却されながらディスプレーサ3の下部に位置する開口及びクリアランスを介して、膨張空間Cに供給される。
このようにして、膨張空間Cは、高圧のヘリウムガスで満たされ、バルブ10は閉とされる。この時、ディスプレーサ3は、シリンダ2内の図1中B側と反対側の下死点に位置する。その下死点にディスプレーサ3が到達する前に、バルブ10を開とすると、膨張空間Cの冷媒ガスは減圧され、膨張する。膨張により低温になった膨張空間Cのヘリウムガスはクリアランスを介して冷却ステージの熱を吸収する。
ディスプレーサ3は上死点に向けて移動し、膨張空間Cの容積は減少する。膨張空間C内のヘリウムガスは、クリアランス、開口、蓄冷器、開口を介して圧縮機の吸入側に戻される。その際、蓄冷材は、冷媒ガスにより冷却される。この工程を1サイクルとし、冷凍機はこの冷却サイクルを繰り返すことで、冷却ステージを冷却する。
ここで、ディスプレーサ3の挙動と圧損力Fとの関係を図4に例示的に示す。図4において横軸は時間T(s)を示し、右側の縦軸はディスプレーサ3のシリンダ2内での位置Pに対応するスコッチヨーク機構11のクランク軸11aの角度を示す。0度(360度)が上死点を示し、180度が下死点を示す。また、左側の縦軸は下側に行くほど圧損力Fがアシスト方向(+)に大きくなることを示し、上側に行くほど圧損力Fが逆方向(−)に大きくなることを示している。
時間T0において、ディスプレーサ3は上死点に位置しており、この上死点の手前で吸気が開始されることから、圧損力Fは手前から上死点にかけてアシスト方向に働き、上死点からは逆方向に働く、時間T1においては、ディスプレーサ3は下死点に位置しており、この下死点の手前で排気が開始されることから、圧損力Fは手前から下死点にかけてアシスト方向に働き、下死点からは逆方向に働く。
この際、本実施例の極低温冷凍機1では、第一弾性体41、第四弾性体44を具備しているので、上死点の手前でバルブ10が開とされ吸気が開始された場合に、上死点の直前でアシスト方向に作用する冷媒ガスの圧損力Fを第一弾性体41、第四弾性体44で弾性力として蓄積して、上死点の直後でこの弾性力を解放することができる。このため、上死点直後の逆方向の圧損力Fを弾性力により打ち消すことができ、モータ12に負荷抗力が作用することを防止することができる。
また、本実施例の極低温冷凍機1では、第二弾性体42、第一弾性体41、第三弾性体43を具備しているので、下死点の手前でバルブ10が開とされ排気が開始された場合に、下死点の直前でアシスト方向に作用する冷媒ガスの圧損力を第二弾性体42、第一弾性体41、第三弾性体43で蓄積することができる。このため、下死点直後の逆方向の圧損力Fを弾性力により打ち消すことができ、モータ12に負荷抗力が作用することを防止することができる。
なお、上述した実施例で用いた図2及び図3に示す弾性体の大きさは例示的なものであり、特にディスプレーサ3自体に設置される第三弾性体43と第四弾性体44のディスプレーサ3に対する相対的な大きさは、冷媒ガスの吸気と排気を阻害することのない大きさに適宜設定される。第三弾性体43の設置に対応させて、ディスプレーサ3を軸方向から視て示す図5で示すような、ディスプレーサ3の高温端をなす上面に第三弾性体43を収納する円環状の凹部3aを設けてもよい。この凹部3aにより、ディスプレーサ3が下死点に位置する場合に、凹部3aが圧縮された第三弾性体43を収容して、第三弾性体43によってデッドボリュームが発生しないようにすることができる。
同様に第四弾性体44の設置に対応させて、ディスプレーサ3を軸方向から視て示す図6に示すような、ディスプレーサ3の低温端をなす下底面に第四弾性体44を収納する円環状の凹部3bを設けてもよい。この凹部3bにより、ディスプレーサ3が上死点に位置する場合でも、凹部3bが圧縮された第四弾性体44を収容して、第四弾性体44によりデッドボリュームが発生しないものとすることができる。
以上本発明の好ましい実施例について詳細に説明したが、本発明は上述した実施例に制限されることなく、本発明の範囲を逸脱することなく、上述した実施例に種々の変形および置換を加えることができる。
例えば、上述した極低温冷凍機においては段数が一段である場合を示したが、この段数は二段、三段等に適宜変更することが可能である。また、実施の形態では、極低温冷凍機がGM冷凍機である例について説明したが、これに限られない。例えば、本発明は、スターリング冷凍機、ソルベイ冷凍機など、ディスプレーサを備える何れの冷凍機にも適用することができる。
本発明は、冷媒ガスの吸気と排気に伴い発生する圧損力がディスプレーサの移動をアシストする方向に働いて端部を通過した後阻害する方向に働くことを利用するものである。つまり、弾性手段の設置に基づいて、アシスト方向の圧損力を弾性力として蓄積し、端部通過後に弾性力を解放することで、ディスプレーサの移動を阻害する方向の力を解放された弾性力によりキャンセルできる。これにより、スコッチヨーク機構を駆動するモータのトルクが過大となりスリップ等の不具合を招くことを防止でき、装置全体の耐久性も高めることができる。このため、種々の極低温冷凍機に適用して好適なものである。
1 極低温冷凍機
2 シリンダ
3 ディスプレーサ
4 弾性手段
41 第一弾性体
42 第二弾性体
43 第三弾性体
44 第四弾性体
5 ロッド
6 窓部
7 ハウジング
8 上部カバー
9 バルブプレート
10 バルブ
11 スコッチヨーク機構
12 モータ

Claims (6)

  1. 冷媒ガスを圧縮する圧縮機と、
    内部に蓄冷材を収容し、上死点と下死点との間を往復移動するディスプレーサと、
    前記ディスプレーサを往復移動可能に収容するシリンダと、
    モータの回転駆動に基づいて前記ディスプレーサを往復駆動する機構と、
    前記シリンダを前記圧縮機の吐出側又は吸入側に選択的に接続するバルブと、
    前記モータの回転駆動に基づく往復駆動によって前記ディスプレーサが前記上死点又は前記下死点に近接する場合に前記ディスプレーサに作用する前記冷媒ガスによる順方向の力を弾性力として蓄積し、前記モータの回転駆動に基づく往復駆動によって前記ディスプレーサが前記上死点又は前記下死点から離隔する場合に、蓄積した前記弾性力を、前記ディスプレーサに作用する前記冷媒ガスによる逆方向の力を打ち消す力として解放する弾性手段と、
    を有し、
    前記順方向の力は、前記ディスプレーサの移動を付勢する力として作用し、
    前記逆方向の力は、前記ディスプレーサの移動を妨げる力として作用し、
    前記バルブは、前記ディスプレーサが前記上死点に到達する前に前記シリンダと前記吐出側を接続する管を開く、
    GM冷凍機。
  2. 冷媒ガスを圧縮する圧縮機と、
    内部に蓄冷材を収容し、上死点と下死点との間を往復移動するディスプレーサと、
    前記ディスプレーサを往復移動可能に収容するシリンダと、
    モータの回転駆動に基づいて前記ディスプレーサを往復駆動する機構と、
    前記シリンダを前記圧縮機の吐出側又は吸入側に選択的に接続するバルブと、
    前記モータの回転駆動に基づく往復駆動によって前記ディスプレーサが前記上死点又は前記下死点に近接する場合に前記ディスプレーサに作用する前記冷媒ガスによる順方向の力を弾性力として蓄積し、前記モータの回転駆動に基づく往復駆動によって前記ディスプレーサが前記上死点又は前記下死点から離隔する場合に、蓄積した前記弾性力を、前記ディスプレーサに作用する前記冷媒ガスによる逆方向の力を打ち消す力として解放する弾性手段と、
    を有し、
    前記順方向の力は、前記ディスプレーサの移動を付勢する力として作用し、
    前記逆方向の力は、前記ディスプレーサの移動を妨げる力として作用し、
    前記バルブは、前記ディスプレーサが前記下死点に到達する前に前記シリンダと前記吸入側を接続する管を開く、
    GM冷凍機。
  3. 前記機構は、ハウジングに収容されるスコッチヨーク機構を含み、
    前記弾性手段は、前記ディスプレーサの往復移動方向において前記スコッチヨーク機構と前記ハウジングとの間に配置される第一弾性体を含む、
    請求項1又は2に記載のGM冷凍機。
  4. 一端が前記ディスプレーサに連結されたロッドを有し、
    前記弾性手段は、前記ロッドの他端とハウジングに固定されたカバーとの間に配置される第二弾性体を含む、
    請求項1乃至の何れか一項に記載のGM冷凍機。
  5. 前記弾性手段は、前記シリンダの高温端と前記ディスプレーサの高温端との間に配置される第三弾性体を含む、
    請求項1乃至の何れか一項に記載のGM冷凍機。
  6. 前記弾性手段は、前記シリンダの低温端と前記ディスプレーサの低温端との間に配置される第四弾性体を含む、
    請求項1乃至の何れか一項に記載のGM冷凍機。
JP2015202639A 2015-10-14 2015-10-14 極低温冷凍機 Active JP6117309B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015202639A JP6117309B2 (ja) 2015-10-14 2015-10-14 極低温冷凍機

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015202639A JP6117309B2 (ja) 2015-10-14 2015-10-14 極低温冷凍機

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012039244A Division JP2013174393A (ja) 2012-02-24 2012-02-24 極低温冷凍機

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016011831A JP2016011831A (ja) 2016-01-21
JP6117309B2 true JP6117309B2 (ja) 2017-04-19

Family

ID=55228654

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015202639A Active JP6117309B2 (ja) 2015-10-14 2015-10-14 極低温冷凍機

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6117309B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11725854B2 (en) 2021-03-15 2023-08-15 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryocooler

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7360351B2 (ja) 2020-03-27 2023-10-12 株式会社トプコン 眼科装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62186174A (ja) * 1986-02-08 1987-08-14 一色 尚次 簡易逆スタ−リングサイクル冷凍桟
JPS6315044A (ja) * 1986-07-03 1988-01-22 株式会社 鈴木商館 ガスサイクル冷凍機
JPH01147264A (ja) * 1987-12-04 1989-06-08 Seiko Seiki Co Ltd ガスサイクル冷凍装置
JP2555721B2 (ja) * 1988-12-30 1996-11-20 株式会社島津製作所 ディスプレーサ駆動装置
JPH06300378A (ja) * 1993-04-14 1994-10-28 Sumitomo Heavy Ind Ltd 極低温冷凍機のバルブタイミング可変機構
JP2001317825A (ja) * 2000-05-09 2001-11-16 Daikin Ind Ltd 膨張機及びそれを備えたスターリング冷凍機
JP2005037118A (ja) * 2003-07-01 2005-02-10 Sharp Corp スターリング機関
JP5017217B2 (ja) * 2008-09-05 2012-09-05 株式会社東芝 切替弁及び蓄冷式冷凍機

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11725854B2 (en) 2021-03-15 2023-08-15 Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Cryocooler

Also Published As

Publication number Publication date
JP2016011831A (ja) 2016-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6403539B2 (ja) 極低温冷凍機
JP5917153B2 (ja) 極低温冷凍機、ディスプレーサ
US20130219923A1 (en) Cryogenic refrigerator
US9638441B2 (en) Cryogenic refrigerator
JP2018036042A (ja) 騒音および振動を低減するためのカラーバンパを備えた極低温膨張機
JP6117309B2 (ja) 極低温冷凍機
JP2009236456A (ja) パルス管型蓄熱機関
JP2016052225A (ja) 極低温冷凍機
JP5882110B2 (ja) 蓄冷器式冷凍機、蓄冷器
JP6188619B2 (ja) 極低温冷凍機
JP2013174393A (ja) 極低温冷凍機
JP2015117885A (ja) 極低温冷凍機
JP6376793B2 (ja) 蓄冷器式冷凍機
JP5908324B2 (ja) 蓄冷式冷凍機
JP6161879B2 (ja) 極低温冷凍機
US10018381B2 (en) Cryogenic refrigerator
JP2008190727A (ja) リニアモータ圧縮機及びスターリング冷凍機
JP2009062909A (ja) スターリング機関およびスターリング機関搭載機器
JP4542056B2 (ja) フリーピストン型スターリングサイクル冷凍システム及びフリーピストン型スターリングサイクル冷凍機
JP2015166665A (ja) 蓄冷器および仕切ユニット
JPH1194382A (ja) パルスチューブ冷凍機
JP2016118367A (ja) 極低温冷凍機
JP2013072597A (ja) 極低温冷凍機
JP3615408B2 (ja) ガス圧縮膨張機
JP2016180590A (ja) 極低温冷凍機

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20151109

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160804

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160809

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161011

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170321

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170322

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6117309

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150