JP2013168492A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リンイオンが導入されたポリシリコン膜3からなる下部電極3aと、下部電極3a上に配置された熱酸化膜5からなる誘電体5aと、誘電体5a上に配置されたポリシリコン膜6からなる上部電極6aと、を含む半導体装置であって、ポリシリコン膜3におけるリンイオン濃度は、1.0E+20個/cm3以上であり、且つ2.4E+20個/cm3以下である。誘電体の初期欠陥密度を、シリコン基板上に形成されるゲート酸化膜の初期欠陥密度(1個/cm2以下)と同等レベルまで抑えることができる。
【選択図】図4
Description
このような欠点を克服するための従来技術としては、例えば特許文献1に記載された「半導体装置とその製造方法」がある。特許文献1に記載された半導体容量装置では、誘電体としてCVD(Chemical Vapor Deposition)法によって堆積されたシリコン窒化膜と、熱酸化により形成されたシリコン酸化膜とが用いられている。
加えて、特許文献1の発明では、誘電体の上層部分として、シリコン酸化膜を用いている。このシリコン酸化膜は、シリコン窒化膜の上に堆積したリンドープポリシリコンの全てを熱酸化することによって得られるシリコン酸化膜である。このため、リンドープポリシリコンに含まれるリンが全て誘電体中に残留し、欠陥を引き起こし易いという課題があった。さらに、誘電体を熱酸化法のみで形成する方法と比較して、工程数が多くなり、製造コストが増加してしまうという課題があった。
そこで、この発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、工程数の増加を抑えつつ、誘電体の初期欠陥を低減できるようにした半導体装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
図4は、本発明者による調査結果を示す表である。図4の横軸はポリシリコンからなる下部電極(即ち、下部ポリシリコン電極)中の不純物濃度(/cm3)を示し、誘電体の初期欠陥密度(/cm2)を示す。不純物濃度はリンイオン濃度であり、誘電体はシリコン酸化膜である。
(1)半導体装置
図1は、本発明の実施形態に係る半導体装置の構成例を示す図である。図1に示すように、この半導体装置は、例えば、シリコン基板1と、シリコン基板1に形成されたフィールド酸化膜2と、フィールド酸化膜2上に形成された2層ポリシリコン容量素子10と、を備える。図示しないが、この半導体装置は、シリコン基板1に、MOSトランジスタやバイポーラトランジスタ等の能動素子を備えていてもよい。また、フィールド酸化膜2上には、例えばポリシリコンからなる抵抗体等の受動素子を備えていてもよい。
下部電極3aは、N型不純物として、リンイオン(P+)が注入されたポリシリコン膜からなる。下部電極3aの厚さは、例えば140〜350nmである。下部電極3aにおけるリンイオン濃度は、1.0E+20個/cm3〜2.4E+20個/cm3である。誘電体5aはシリコン酸化膜からなる。シリコン酸化膜の厚さは、例えば、15〜45nmである。さらに、上部電極は、N型不純物として、例えばリンイオン(P+)及びヒ素イオン(As+)が注入されたポリシリコン膜からなる。
次に、図1に示した半導体装置の製造方法について説明する。
図2(a)〜図3(c)は、本発明の実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す断面図である。図2(a)に示すように、本実施形態では、先ず、シリコン基板1に素子分離用のフィールド酸化膜2を形成する。フィールド酸化膜2の形成方法は、例えば、LOCOS(local oxidation of silicon)法である。次に、フィールド酸化膜2上に、図示しないノンドープポリシリコン膜を例えば350nmの厚さに成膜する。そして、ノンドープポリシリコン膜上に不純物注入(ドーピング)用の保護酸化膜4を形成する。保護酸化膜4の厚さは例えば10nmであり、その形成方法は例えば減圧CVD法である。なお、減圧CVD法とは、常圧よりも低い圧力の環境下において行われるCVD法全般をいい、特に圧力の範囲を規定するものではない。
次に、熱酸化膜5上に図示しないノンドープポリシリコン膜を350nm成膜する。そして、成膜されたノンドープポリシリコン膜にリンイオンを不純物としてドーピングする。図2(c)に示すように、リンイオンのドーピングによりノンドープポリシリコン膜は、リンイオンを高濃度に含む、低抵抗化されたポリシリコン膜6となる。なお、このときのリンイオンの注入条件は、例えば、注入エネルギーが50keV、ドーズ量が7.0×E15個/cm2である。
そして、このレジストパターン8をマスクに、ポリシリコン膜3をエッチングする(即ち、パターニングする)。これにより、図1に示した下部電極3aを形成する。その後、レジストパターン8を除去する。その後、シリコン基板1に熱処理を施して、上部電極6aにドーピングされたリンイオンを活性化させる。このようにして、図1に示した2層ポリシリコン容量素子10が完成する。
以上説明したように、本発明の実施形態によれば、誘電体5aは熱酸化膜(シリコン酸化膜)からなり、シリコン窒化膜を含まない。このため、特許文献1の発明と比較して、工程数の増加を抑制することができ、製造コストの増大を抑制することができる。
また、下部電極3aにおけるリンイオンの濃度は、1.0E+20個/cm3〜2.4E+20個/cm3の範囲内に設定されている。これにより、誘電体5aの初期欠陥を低減することができる。例えば図4に示したように、誘電体5aの初期欠陥密度を、シリコン基板1上に形成されるゲート酸化膜の初期欠陥密度(1個/cm2以下)と同等レベルまで抑えることができる。
2 フィールド酸化膜
3、6 ポリシリコン膜
3a 下部電極
4 保護酸化膜
5 熱酸化膜(シリコン酸化膜)
5a 誘電体
6 ポリシリコン膜
6a 上部電極
7、8 レジストパターン
10 2層ポリシリコン容量素子
Claims (2)
- 不純物が導入された第1ポリシリコン膜からなる下部電極と、
前記下部電極上に配置されたシリコン酸化膜からなる誘電体と、
前記誘電体上に配置された第2ポリシリコン膜からなる上部電極と、を含む半導体装置であって、
前記第1ポリシリコン膜における前記不純物の濃度は、1.0E+20個/cm3以上であり、且つ2.4E+20個/cm3以下であることを特徴とする半導体装置。 - 絶縁層上に第1ポリシリコン膜を成膜する工程と、
前記第1ポリシリコン膜に不純物を注入して、前記第1ポリシリコン膜を低抵抗化する工程と、
低抵抗化された前記第1ポリシリコン膜に熱酸化を施して、前記第1ポリシリコン膜上にシリコン酸化膜を形成する工程と、
前記シリコン酸化膜上に第2ポリシリコン膜を形成する工程と、
前記第2ポリシリコン膜に前記不純物を注入して、前記第2ポリシリコン膜を低抵抗化する工程と、
低抵抗化された前記第2ポリシリコン膜、前記シリコン酸化膜、低抵抗化された前記第1ポリシリコン膜を順次パターニングして、前記第2ポリシリコン膜からなる上部電極と、前記シリコン酸化膜からなる誘電体と、前記第1ポリシリコン膜からなる下部電極とを形成する工程と、を含み、
前記第1ポリシリコン膜を低抵抗化する工程では、前記第1ポリシリコン膜における前記不純物の濃度が、1.0E+20個/cm3以上であり、且つ2.4E+20個/cm3以下となるように、前記不純物の注入条件を設定することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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JPH0344068A (ja) * | 1989-07-12 | 1991-02-25 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
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JP2000196016A (ja) * | 1998-12-28 | 2000-07-14 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
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