JP2013168462A - 熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リフトピン12によって裏面から支持された半導体ウェハーWの表面にフラッシュランプからフラッシュ光が照射されて加熱される。半導体ウェハーWの表面の周縁部には透明な石英の規制リング30が当接または近接されており、この状態にてフラッシュ光照射が実行される。フラッシュ光照射時に半導体ウェハーWの表面温度が急速に上昇したとしても、半導体ウェハーWがリフトピン12から跳躍するのを規制リング30によって抑制することができる。その結果、フラッシュ光照射時の半導体ウェハーWの跳躍に起因したウェハー割れを防止することができる。
【選択図】図4
Description
図1は、本発明に係る熱処理装置1の構成を示す縦断面図である。本実施形態の熱処理装置1は、基板としてφ300mmの円板形状の半導体ウェハーWに対してフラッシュ光照射を行うことによってその半導体ウェハーWを加熱するフラッシュランプアニール装置である。熱処理装置1に搬入される前の半導体ウェハーWには不純物が注入されており、熱処理装置1による加熱処理によって注入された不純物の活性化処理が実行される。なお、図1および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第1実施形態では半導体ウェハーWの周縁部に当接する規制リング30を用いていたが、第2実施形態では規制リング30に代えて凹面レンズ130を用いている点で第1実施形態と相違する。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。第1実施形態では半導体ウェハーWの周縁部WEの全周にわたって規制リング30が当接していたが、第3実施形態では周縁部WEの一部にのみ規制ブロック230が当接している点で第1実施形態と相違する。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。第4実施形態においては、半導体ウェハーWの裏面にフラッシュ光を照射してフラッシュ加熱を行い、その裏面の全面に当接する規制板330を設けている。
次に、本発明の第5実施形態について説明する。第5実施形態の熱処理装置の構成は、第1実施形態と全く同じである。第1実施形態では半導体ウェハーWの周縁部WEに規制リング30を当接させていたが、第5実施形態では周縁部WEに所定間隔を隔てて規制リング30を近接させている点で第1実施形態と相違する。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、第1実施形態では規制リング30を半導体ウェハーWの周縁部WEに当接させていたのを第5実施形態では近接させていたが、第2実施形態から第4実施形態についてもこれと同様に近接させても良い。すなわち、第2実施形態の凹面レンズ130、第3実施形態の規制ブロック230および第4実施形態の規制板330のそれぞれを半導体ウェハーWに所定間隔を隔てて近接させるようにしても良い。このようにしても、フラッシュ光照射時に半導体ウェハーWの表面温度が急速に上昇したときに、半導体ウェハーWの跳躍を抑制してウェハー割れを防止することができる。
2 シャッター機構
3 制御部
4 ハロゲン加熱部
5 フラッシュ加熱部
6 チャンバー
10 支持機構
11 支持アーム
12 リフトピン
13 水平移動機構
14 昇降機構
30 規制リング
35 リング昇降部
65 熱処理空間
130 凹面レンズ
131 凹面
135 レンズ昇降部
230 規制ブロック
330 規制板
335 板昇降部
339 サセプタ
FL フラッシュランプ
HL ハロゲンランプ
W 半導体ウェハー
WE 周縁部
WP パターン形成部
Claims (10)
- 基板にフラッシュ光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を収容するチャンバーと、
前記チャンバー内にて基板を支持する支持手段と、
前記支持手段に支持された基板の一方面にフラッシュ光を照射するフラッシュランプと、
前記基板の前記一方面側に設けられ、フラッシュ光照射時における前記基板の前記支持手段からの跳躍を規制する規制部材と、
を備えることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記一方面は、パターン形成がなされる表面であり、
前記規制部材は、前記基板の表面のうちパターンが形成されていない周縁部を規制することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項2記載の熱処理装置において、
前記規制部材は、前記周縁部の形状に対応する環状部材であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項2記載の熱処理装置において、
前記規制部材は、前記基板の中心から前記周縁部に向けて表面との間隔が徐々に狭くなるような凹面が形成された凹面レンズであることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項2記載の熱処理装置において、
前記規制部材は、前記周縁部の複数箇所を規制することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1記載の熱処理装置において、
前記一方面は、パターン形成がなされた表面とは反対側の裏面であり、
前記規制部材は、前記基板の裏面の全面を規制することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記規制部材は、前記基板の前記一方面に当接して前記基板の跳躍を規制することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記規制部材は、前記基板の前記一方面に近接して前記基板の跳躍を規制することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項8のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記規制部材は、フラッシュ光に対して透明な石英にて形成されることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項1から請求項9のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記規制部材を前記支持手段に対して接近または離間するように相対移動させる駆動手段をさらに備えることを特徴とする熱処理装置。
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