JP2013167437A - Temperature and humidity regulator - Google Patents
Temperature and humidity regulator Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013167437A JP2013167437A JP2013095075A JP2013095075A JP2013167437A JP 2013167437 A JP2013167437 A JP 2013167437A JP 2013095075 A JP2013095075 A JP 2013095075A JP 2013095075 A JP2013095075 A JP 2013095075A JP 2013167437 A JP2013167437 A JP 2013167437A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- heat medium
- humidity
- heating
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/14—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by humidification; by dehumidification
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F11/00—Control or safety arrangements
- F24F11/0008—Control or safety arrangements for air-humidification
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F6/00—Air-humidification, e.g. cooling by humidification
- F24F6/12—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air
- F24F6/14—Air-humidification, e.g. cooling by humidification by forming water dispersions in the air using nozzles
Abstract
Description
本発明は温湿度調整装置に関する。 The present invention relates to a temperature and humidity adjusting device.
通常、半導体装置の製造工程等の精密加工分野では、その殆どが温度及び湿度が制御されたクリーンルーム内に設置されている。
しかし、近年、精密加工分野でも、従来よりも更に加工精度の高い精密加工等が要求される工程が出現しつつある。
かかる高い精密加工等が要求される工程では、通常、クリーンルームの温度変化よりも更に小さな温度変化の環境であることが要求される。このため、高い精密加工等が要求される工程は、精密な温度管理がなされている空間ユニット内に設けられる。
Usually, in the precision processing field such as the manufacturing process of semiconductor devices, most of them are installed in a clean room in which temperature and humidity are controlled.
However, in recent years, in the precision processing field, processes requiring precision processing with higher processing accuracy than before have been emerging.
In a process that requires such high precision processing, it is usually required that the temperature change environment is smaller than that of a clean room. For this reason, a process requiring high precision processing or the like is provided in a space unit in which precise temperature management is performed.
この様な空間ユニットの温度調整に用いられる温度調整装置としては、例えば特開昭51−97048号公報には、図1に示す温度調整装置が記載されている。
図13に示す温度調整装置には、圧縮機100、三方弁102、凝縮器104、膨張弁106、冷却器108及び加熱器110が設けられており、冷却器108を具備する冷却流路と加熱器110を具備する加熱流路とが設けられている。
かかる冷却器108と加熱器110とによって、ファン112から吹き出す温度調整対象の空気流の温度が調整される。
As a temperature adjusting device used for adjusting the temperature of such a space unit, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 51-97048 describes a temperature adjusting device shown in FIG.
The temperature control apparatus shown in FIG. 13 includes a
The
この図13に示す温度調整装置では、圧縮機100で圧縮された高温の熱媒体を三方弁102によって、冷却流路と加熱流路とに分配する。冷却流路側に分配された高温の熱媒体は、凝縮器104で冷却される。この冷却された熱媒体は、膨張弁106によって断熱的に膨張されて冷却され、冷却器108に供給される。冷却器108では、ファン112から吹き出す温度調整対象の空気流を冷却しつつ吸熱して昇温された熱媒体は圧縮機100に供給される。
In the temperature adjusting device shown in FIG. 13, the high-temperature heat medium compressed by the
一方、加熱流路側に分配された高温の熱媒体は加熱器110に供給され、冷却器108で冷却された温度調整対象の空気流を加熱して所望の温度に調整する。この様に、加熱器110において、温度調整対象の空気流を加熱しつつ放熱して降温された熱媒体は、膨張弁106及び冷却器108を通過して圧縮機100に供給される。
On the other hand, the high-temperature heat medium distributed to the heating flow path side is supplied to the
図13に示す温度調整装置では、圧縮機100で圧縮された高温の熱媒体の全量が膨張弁106を通過して断熱的に膨張されて冷却され、冷却器108に供給されるため、ファン112から吹き出す温度調整対象の空気流を冷却する冷却エネルギー量は一定である。
一方、三方弁102によって加熱流路側に分配する高温の熱媒体の流量を調整することによって、冷却器108で冷却された温度調整対象の空気流に対する加熱器110での加熱量を調整できる。
In the temperature adjusting device shown in FIG. 13, the entire amount of the high-temperature heat medium compressed by the
On the other hand, by adjusting the flow rate of the high-temperature heat medium distributed to the heating flow path side by the three-
従って、冷却器108及び加熱器110を通過する温度調整対象の空気流の温度を調整でき、空間ユニット内の温度管理を狭い温度範囲で行うことは可能である。
しかし、図13に示す温度調整装置では、圧縮機100で圧縮された高温の熱媒体の全量が膨張弁106を通過して断熱的に膨張されて冷却され、冷却器108に供給されるため、ファン112から吹き出す温度調整対象の空気流に対する温度調整は、専ら加熱器110に供給する圧縮機100で圧縮された高温の熱媒体の再加熱によって行われる。
Therefore, it is possible to adjust the temperature of the air flow to be temperature-adjusted that passes through the
However, in the temperature adjusting device shown in FIG. 13, the entire amount of the high-temperature heat medium compressed by the
この様に、図13に示す温度調整装置で採用された温度制御方式では、加熱に使用した熱媒体も冷却流路に流すため、加熱できる熱量は圧縮機の動力による熱量のみとなり、冷却器108及び加熱器110に対する負荷変動への対応が困難である。
このため、冷却器108及び加熱器110を通過する温度調整対象の空気流の設定温度を大幅に高くする場合、温度調整対象の空気流の温度が設定温度に到達しなかったり、設定温度に到達するまでに著しく時間がかかることがある。
更に、図13に示す温度調整装置では、冷却器108及び加熱器110を通過する温度調整対象の空気流の湿度を調整する湿度調整機能が設けられておらず、空気流に湿度調整を施すことはできない。
As described above, in the temperature control method employed in the temperature adjusting device shown in FIG. 13, the heat medium used for heating is also passed through the cooling flow path, so that the amount of heat that can be heated is only the amount of heat generated by the power of the compressor. And it is difficult to cope with load fluctuations on the
For this reason, when the set temperature of the air flow subject to temperature adjustment passing through the
Further, in the temperature adjusting device shown in FIG. 13, there is no humidity adjusting function for adjusting the humidity of the air flow to be temperature adjusted passing through the
そこで、本発明は、空気流等の気体流の温度調整できる範囲が狭いと共に、湿度調整を施すことができず、且つエネルギー的に無駄がある従来の温度調製装置の課題を解決し、気体流の温度調整と湿度調整とを同時に行うことのできる範囲が広く、且つ省エネルギーを図ることのできる温湿度調整装置及び温湿度調整方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention solves the problems of the conventional temperature adjustment device in which the temperature adjustment range of the gas flow such as the air flow is narrow and the humidity adjustment cannot be performed and the energy is wasted. An object of the present invention is to provide a temperature / humidity adjustment apparatus and a temperature / humidity adjustment method that can perform energy adjustment and have a wide range in which temperature adjustment and humidity adjustment can be performed simultaneously.
本発明者らは、前記課題を解決するには、冷却流路及び加熱流路を設け、冷却流路の冷却手段及び加熱流路の加熱手段を通過する温湿度調整対象の空気に対する冷却量と加熱量とを変更可能な分配手段を設けること、加熱流路の加熱能力を向上すべく、低温の部分から温度の高い部分へ熱を移動できるヒートポンプ手段を設けること、及び気体流の流路内に湿度調整手段を設けることが有効であることを見出した。 In order to solve the above problems, the present inventors provide a cooling flow path and a heating flow path, and a cooling amount for the air to be adjusted in temperature and humidity that passes through the cooling means of the cooling flow path and the heating means of the heating flow path. Providing distribution means that can change the heating amount, providing heat pump means that can transfer heat from a low temperature part to a high temperature part to improve the heating capacity of the heating flow path, and in the gas flow path It has been found that it is effective to provide humidity adjusting means.
すなわち、前記課題を解決する手段としては、圧縮機で圧縮されて加熱された高温の第1熱媒体の一部が加熱手段に供給される加熱流路と、前記高温の第1熱媒体の残余部が凝縮手段で冷却されてから第1膨張手段で断熱的に膨張して更に冷却されて冷却手段に供給される冷却流路と、前記高温の第1熱媒体が分配されて前記加熱流路と冷却流路との各々を通過した第1熱媒体が圧縮機に再供給される循環回路とを具備し、前記加熱手段及び冷却手段を通過する温湿度調整対象の気体を所定の温度及び湿度に調整する温湿度調整装置であって、前記圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体の一部を前記加熱流路側に分配すると共に、前記高温の第1熱媒体の残余部を冷却流路側に分配し、且つ前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を変更可能な分配手段と、前記加熱流路の加熱能力が向上するように、前記加熱手段で熱を放出して冷却されてから第2膨張手段で断熱的に膨張されて更に冷却された第1熱媒体が、外部熱源である第2熱媒体から吸熱する吸熱手段を具備するヒートポンプ手段と、前記分配手段を制御し、前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を調整して、前記加熱手段と冷却手段とを通過する温湿度調整対象の気体を所定温度に制御する温度制御部と、前記加熱手段及び冷却手段を通過する気体を所定湿度に制御する湿度制御手段とが設けられ、前記加熱流路と冷却流路との各々を通過した第1熱媒体が合流して前記圧縮機に再供給される第1熱媒体の流路のうち、前記分配手段から前記第1熱媒体が合流されるまでの前記加熱流路を含む流路と冷却流路を含む流路との各々が、流路的に独立して設けられている温湿度調整装置を提供できる。
このように、加熱流路と冷却流路との各々を通過した第1熱媒体が合流して圧縮機に再供給される第1熱媒体の流路のうち、分配手段から前記第1熱媒体が合流されるまでの前記加熱流路を含む流路と冷却流路を含む流路とを、流路的に独立して設けることによって、温湿度調整対象の気体の温度調整幅を広くできる。
That is, as means for solving the above-described problem, a heating flow path in which a part of the high-temperature first heat medium compressed and heated by the compressor is supplied to the heating means, and the remaining portion of the high-temperature first heat medium A cooling channel that is adiabatically expanded by the first expansion unit after being cooled by the condensing unit, and further cooled and supplied to the cooling unit; and the heating channel through which the high-temperature first heat medium is distributed And a circulation circuit in which the first heat medium that has passed through each of the cooling flow paths is re-supplied to the compressor, and the temperature and humidity adjustment target gas that passes through the heating means and the cooling means is a predetermined temperature and humidity. A temperature / humidity adjusting device that distributes a part of the high-temperature first heat medium discharged from the compressor to the heating flow path side, and cools a remaining portion of the high-temperature first heat medium. High temperature first heat distributed to the road side and distributed to the heating flow path and the cooling flow path Distributing means capable of changing the body distribution ratio, and further, after being cooled by releasing heat by the heating means and further adiabatically expanded by the second expansion means so as to improve the heating capacity of the heating channel. The cooled first heat medium is a heat pump means having heat absorption means for absorbing heat from the second heat medium, which is an external heat source, and a high temperature that controls the distribution means and is distributed to the heating flow path and the cooling flow path. Adjusting a distribution ratio of the first heat medium to control a temperature / humidity adjustment target gas passing through the heating unit and the cooling unit to a predetermined temperature, and a gas passing through the heating unit and the cooling unit And a humidity control means for controlling the flow rate to a predetermined humidity, and the flow of the first heat medium that the first heat medium that has passed through each of the heating flow path and the cooling flow path joins and is re-supplied to the compressor. Among the paths, the first heat medium joins from the distribution means. Wherein each flow path including a heating flow path and a flow path that includes a cooling flow path to that is possible to provide a temperature and humidity adjusting apparatus is provided independently passage basis.
In this way, among the first heat medium flow paths where the first heat medium that has passed through each of the heating flow path and the cooling flow path joins and is re-supplied to the compressor, the first heat medium is distributed from the distribution means. By providing the flow path including the heating flow path and the flow path including the cooling flow path independently until they are merged, the temperature adjustment range of the temperature / humidity adjustment target gas can be widened.
本発明者らが提供した課題を解決する手段において、下記の好ましい態様を上げることができる。
湿度制御手段として、温湿度調整対象の気体に所定量の水分を供給する水分供給手段を用い、前記水分供給手段から供給した水分中の液滴を加熱手段によって直接又は加熱手段で加熱した気体によって加熱して蒸発するように、前記水分供給手段を加熱手段の前記気体の入口側又は出口側に設けることによって、湿度調整を行うことができる。
In the means for solving the problems provided by the present inventors, the following preferred embodiments can be raised.
As the humidity control means, a moisture supply means for supplying a predetermined amount of moisture to the gas subject to temperature / humidity adjustment is used, and droplets in the moisture supplied from the moisture supply means are directly heated by the heating means or by the gas heated by the heating means. Humidity can be adjusted by providing the moisture supply means on the gas inlet side or outlet side of the heating means so as to evaporate by heating.
この水分供給手段として、水を噴射する水噴霧ノズルと、前記水噴霧ノズルに水を供給する水供給配管に設けた制御弁と、前記制御弁を調整し、前記水噴霧ノズルに供給する水量を制御する湿度制御部とを具備する水分供給手段を用いることによって、湿度制御を容易に行うことができる。 As the water supply means, a water spray nozzle for injecting water, a control valve provided in a water supply pipe for supplying water to the water spray nozzle, and adjusting the control valve to adjust the amount of water supplied to the water spray nozzle Humidity control can be easily performed by using a moisture supply means including a humidity control unit to be controlled.
或いは、湿度調整手段として、加熱ヒータによって水蒸気を発生させる水蒸気発生手段を用いることができる。
この水蒸気発生手段には、加熱ヒータの加熱量を調整して水蒸気発生量を制御する湿度制御部を設けることによって、湿度制御を容易に行うことができる。
Alternatively, water vapor generating means for generating water vapor with a heater can be used as the humidity adjusting means.
This water vapor generating means can be easily controlled by providing a humidity control unit that controls the amount of water vapor generated by adjusting the heating amount of the heater.
冷却流路の凝縮手段に供給されて第1熱媒体を冷却する冷却媒体とヒートポンプ手段の吸熱手段に供給される第2熱媒体とを、同一熱媒体とし、前記同一熱媒体を凝縮手段に供給してから前記吸熱手段に供給することによって、凝縮手段で除去された高温の第1熱媒体の熱を有効利用できる。
この第2熱媒体として、外部から加熱又は冷却されることなく供給された第2熱媒体を用いることが、省エネルギーの観点から有効である。
The cooling medium that is supplied to the condensing means of the cooling flow path to cool the first heat medium and the second heat medium that is supplied to the heat absorbing means of the heat pump means are the same heat medium, and the same heat medium is supplied to the condensing means Then, by supplying the heat absorption means, the heat of the high temperature first heat medium removed by the condensation means can be effectively used.
As the second heat medium, it is effective from the viewpoint of energy saving to use the second heat medium supplied without being heated or cooled from the outside.
また、圧縮機の回転数を制御する回転数制御手段を設け、温度制御部によって制御される高温の第1熱媒体の分配比率が、加熱手段によって温湿度調整対象の気体に加えられる加熱量と冷却手段によって温湿度調整対象の気体に加えられる冷却量とのうち、互いに打ち消し合う熱量分を少なくできる分配比率となるように、前記回転数制御手段を介して圧縮機の回転数を変更する圧縮機制御部を設けることによって、加熱手段と冷却手段との各々に加えられる熱量のうち、互いに打ち消し合う熱量を少なくできるため、ヒートポンプ手段を設けたことと相俟って更に一層の省エネルギーを図ることができる。 In addition, a rotational speed control means for controlling the rotational speed of the compressor is provided, and the distribution ratio of the high-temperature first heat medium controlled by the temperature control unit is determined by the heating amount applied to the temperature / humidity adjustment target gas by the heating means. Compression that changes the rotational speed of the compressor via the rotational speed control means so that a distribution ratio that can reduce the amount of heat that cancels each other out of the cooling amount that is applied to the temperature and humidity adjustment target gas by the cooling means. By providing the machine control unit, it is possible to reduce the amount of heat that cancels each other out of the amount of heat applied to each of the heating means and the cooling means, so that further energy saving is achieved in combination with the provision of the heat pump means. Can do.
かかる圧縮機制御部では、高温の第1熱媒体の分配比率が、温湿度調整対象の気体が加熱される加熱側の場合、高温の第1熱媒体の95〜85%が加熱手段に分配され且つ残余の高温の第1熱媒体の5〜15%が冷却手段に分配される範囲となるように、他方、前記温湿度調整対象の気体が冷却される冷却側の場合、高温の第1熱媒体の95〜85%が冷却手段に分配され且つ残余の高温の第1熱媒体の5〜15%が加熱手段に分配される範囲となるように、回転数制御手段を介して圧縮機の回転数を制御することによって、温湿度調整装置の省エネルギーを図りつつ、温湿度調整装置を安定して運転できる。この回転数制御手段としては、インバータを好適に用いることができる。 In such a compressor control unit, when the distribution ratio of the high temperature first heat medium is the heating side where the gas to be adjusted in temperature and humidity is heated, 95 to 85% of the high temperature first heat medium is distributed to the heating means. On the other hand, in the case of the cooling side where the temperature / humidity adjustment target gas is cooled so that 5 to 15% of the remaining high temperature first heat medium is distributed to the cooling means, the high temperature first heat Rotation of the compressor through the rotation speed control means so that 95 to 85% of the medium is distributed to the cooling means and 5 to 15% of the remaining hot first heat medium is distributed to the heating means. By controlling the number, it is possible to stably operate the temperature / humidity adjusting device while saving energy of the temperature / humidity adjusting device. As this rotation speed control means, an inverter can be suitably used.
この加熱流路と冷却流路とに高温の第1熱媒体を分配する分配手段としては、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を実質的に連続して変更可能な分配手段を用いることによって、温湿度調整対象の気体の温度調整を更に一層精密調整できる。
かかる分配手段としては、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を実質的に連続して変更可能な分配手段を用いることによって、温湿度調整対象の気体の温度調整を更に一層精密調整できる。
この「実質的に連続して変更可能な分配手段」とは、分配手段として二方弁又は比例三方弁を用い、二方弁又は比例三方弁がステップ制御で駆動が制御されているとき、二方弁又は比例三方弁は微視的にはステップ的に駆動されているものの、全体的には連続的に駆動されている場合を含むことを意味する。
As the distribution means for distributing the high temperature first heat medium to the heating flow path and the cooling flow path, the distribution ratio of the high temperature first heat medium distributed to the heating flow path and the cooling flow path is substantially continuous. By using the changeable distribution means, the temperature adjustment of the temperature / humidity adjustment target gas can be adjusted more accurately.
As such distribution means, by using a distribution means that can substantially continuously change the distribution ratio of the high-temperature first heat medium distributed to the heating flow path and the cooling flow path, the temperature and humidity adjustment target gas can be changed. The temperature can be adjusted even more precisely.
This “substantially changeable distribution means” means that a two-way valve or a proportional three-way valve is used as the distribution means, and when the two-way valve or the proportional three-way valve is driven by step control, This means that the three-way valve or the proportional three-way valve is microscopically driven stepwise, but includes a case where it is driven continuously as a whole.
分配手段としては、加熱流路側に分配する高温の第1熱媒体と冷却流路側に分配する高温の第1熱媒体との合計量が圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように、前記高温の第1熱媒体を比例分配する比例三方弁を用いることによって、圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体の分配比率をスムーズに変更できる。 As the distribution means, the total amount of the high temperature first heat medium distributed to the heating flow path side and the high temperature first heat medium distributed to the cooling flow path side is equal to the amount of the high temperature first heat medium discharged from the compressor. As described above, by using the proportional three-way valve that proportionally distributes the high-temperature first heat medium, the distribution ratio of the high-temperature first heat medium discharged from the compressor can be changed smoothly.
また、分配手段として、高温の第1熱媒体を加熱流路側と冷却流路側とに分岐する分岐配管の各々に設けた二方弁とし、温度制御部を、前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を調整して、加熱手段と冷却手段とを通過する温湿度調整対象の気体を所定温度に制御すると共に、前記加熱流路側に分配される高温の第1熱媒体と冷却流路側に分配される高温の第1熱媒体との合計量が圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように、前記二方弁の各々の開度を調整する温度制御部とすることによっても、圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体の分配比率をスムーズに変更できる。 Further, as the distribution means, a two-way valve provided in each of the branch pipes branching the high temperature first heat medium into the heating channel side and the cooling channel side, and the temperature control unit includes the heating channel and the cooling channel. The distribution ratio of the high-temperature first heat medium distributed to the heating device is adjusted to control the temperature / humidity adjustment target gas passing through the heating unit and the cooling unit to a predetermined temperature, and the high temperature distributed to the heating channel side Each of the two-way valves is configured such that the total amount of the first heat medium and the high-temperature first heat medium distributed to the cooling channel side is equal to the high-temperature first heat medium discharged from the compressor. The distribution ratio of the high-temperature first heat medium discharged from the compressor can also be changed smoothly by using a temperature control unit that adjusts the opening.
更に、冷却流路の凝縮手段に供給する冷却媒体を液状媒体とし、圧縮機の吐出側の圧力が一定に保持されるように、前記凝縮手段に供給する前記液状媒体の供給量を制御する冷媒制御手段を設けることによって、温湿度調整装置を安定して運転でき、凝縮手段に液状媒体が必要以上に供給されることを防止できる。 Furthermore, the cooling medium supplied to the condensing means of the cooling channel is a liquid medium, and the refrigerant for controlling the supply amount of the liquid medium supplied to the condensing means so that the pressure on the discharge side of the compressor is kept constant. By providing the control means, the temperature / humidity adjusting device can be operated stably, and the liquid medium can be prevented from being supplied to the condensing means more than necessary.
本発明者らが提供した温湿度調整装置では、加熱流路の加熱手段と冷却流路の冷却手段との各々に、圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体が供給される。更に、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を変更して、加熱手段と冷却手段とを通過する温湿度調整対象の気体に対する加熱量と冷却量とを容易に調整でき、加熱手段及び冷却手段を通過する気体の温度を所定温度に調整できる。 In the temperature and humidity control apparatus provided by the present inventors, the high temperature first heat medium discharged from the compressor is supplied to each of the heating means of the heating channel and the cooling means of the cooling channel. Furthermore, by changing the distribution ratio of the high-temperature first heat medium distributed to the heating flow path and the cooling flow path, the heating amount and the cooling amount for the temperature / humidity adjustment target gas passing through the heating means and the cooling means are changed. The temperature of the gas passing through the heating means and the cooling means can be adjusted to a predetermined temperature.
しかも、かかる加熱手段及び冷却手段を通過した気体を所定湿度に制御する湿度制御手段を設けているため、加熱手段及び冷却手段を通過した気体の湿度も所定湿度に同時に調整できる。
また、本発明者らが提供した温湿度調整装置には、ヒートポンプ手段を具備している。このヒートポンプ手段は、低温の部分から温度の高い部分へ熱を移動できる手段であるため、圧縮機によって圧縮されて加熱された高温の第1熱媒体(温度の高い部分)のうち、加熱流路の加熱手段で熱を放出して冷却してから第2膨張手段で断熱的に膨張して更に冷却した第1熱媒体を、ヒートポンプ手段を構成する吸熱手段によって、外部熱源の第2熱媒体(温度の低い部分)から吸熱し昇温して気化させて圧縮機に戻すことができる。このため、単位電力当たりの加熱能力を大幅に増加でき、省エネルギーを図ることができる。
Moreover, since the humidity control means for controlling the gas that has passed through the heating means and the cooling means to a predetermined humidity is provided, the humidity of the gas that has passed through the heating means and the cooling means can be adjusted to the predetermined humidity at the same time.
Moreover, the temperature / humidity adjusting apparatus provided by the present inventors includes a heat pump means. Since this heat pump means is a means capable of transferring heat from a low-temperature part to a high-temperature part, among the high-temperature first heat medium (the high-temperature part) heated by being compressed by the compressor, the heat flow path The first heat medium which has been cooled by releasing heat by the heating means and then further adiabatically expanded by the second expansion means and further cooled by the heat absorption means constituting the heat pump means (the second heat medium (external heat source)) It is possible to absorb heat from the low temperature part), raise the temperature, vaporize it, and return it to the compressor. For this reason, the heating capacity per unit power can be greatly increased, and energy saving can be achieved.
従って、この温湿度調整装置では、圧縮機から吐出される高温の第1熱媒体(温度の高い部分)には、圧縮機による圧縮動力エネルギーに、ヒートポンプ手段によって外部熱源の第2熱媒体(温度の低い部分)から吸熱されたエネルギーを加えることができ、高温の第1熱媒体が供給される加熱手段の加熱能力を向上できる。 Therefore, in this temperature / humidity adjusting apparatus, the high-temperature first heat medium (high temperature part) discharged from the compressor is supplied with the compression power energy by the compressor and the second heat medium (temperature) of the external heat source by the heat pump means. The energy absorbed from the lower portion of the heating portion can be applied, and the heating capability of the heating means to which the high-temperature first heat medium is supplied can be improved.
この様な温湿度調整装置では、加熱手段及び冷却手段を通過する温湿度調整対象の気体の微小な負荷変動は、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を微小調整することによって迅速に対応できると共に、負荷変動による気体の湿度変化も湿度制御手段によって迅速に対応でき、温湿度調整対象の気体に対して温度及び湿度の調整を図ることができる。 In such a temperature / humidity adjusting device, the minute load fluctuations of the temperature / humidity adjustment target gas passing through the heating means and the cooling means are distributed in the first heat medium at a high temperature distributed to the heating flow path and the cooling flow path. The humidity control means can quickly respond to the change in the humidity of the gas due to a load change, and the temperature and humidity can be adjusted for the temperature / humidity adjustment target gas.
また、本発明者らが提供した温湿度調整装置において、加熱手段と冷却手段とを通過する温湿度調整対象の気体の設定温度を大幅に高くする場合でも、高温の第1熱媒体の分配比率を冷却流路よりも加熱流路に分配する分配比率を大幅に高くすることによって、温湿度調整対象の気体を所定の温度に調整でき、温湿度調整対象の気体の温度調整幅を広げることができる。
この場合、温湿度調整対象の気体の湿度も、湿度制御手段によって所定湿度に保持できる。
この様に、本発明者らが提供した温湿度調整装置では、図13に示す従来の温度調整装置やこの温度調整装置を用いた温度調整方法では不可能であった、温湿度調整対象の気体を所定の温度及び湿度に調整でき、且つ省エネルギーを図ることができる。
Further, in the temperature / humidity adjusting apparatus provided by the present inventors, even when the set temperature of the temperature / humidity adjustment target gas passing through the heating means and the cooling means is significantly increased, the distribution ratio of the high-temperature first heat medium By greatly increasing the distribution ratio for distributing the gas to the heating channel rather than the cooling channel, the temperature / humidity adjustment target gas can be adjusted to a predetermined temperature, and the temperature adjustment range of the temperature / humidity adjustment target gas can be expanded. it can.
In this case, the humidity of the gas subject to temperature and humidity adjustment can also be maintained at a predetermined humidity by the humidity control means.
As described above, the temperature / humidity adjustment apparatus provided by the present inventors is not possible with the conventional temperature adjustment apparatus shown in FIG. 13 or the temperature adjustment method using this temperature adjustment apparatus, and is a gas subject to temperature / humidity adjustment. Can be adjusted to a predetermined temperature and humidity, and energy can be saved.
本発明者らが提供した温湿度調整装置の一例を説明する概略図を図1に示す。図1に示す温湿度調整装置には、温度及び湿度の調整がなされたクリーンルーム内に設置された空間ユニット10内に、ファン12によって吸込んだ温湿度調整対象の気体としての空気の温度及び湿度を調整する加熱流路、冷却流路及び湿度制御手段としての水分供給手段が設けられている。
A schematic diagram illustrating an example of a temperature and humidity adjusting apparatus provided by the present inventors is shown in FIG. In the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, the temperature and humidity of air as the temperature / humidity adjustment target gas sucked by the fan 12 in the
かかる加熱流路を構成する加熱手段としての加熱器14と冷却流路を構成する冷却手段としての冷却器16とが設けられ、クリーンルーム内の空気は冷却器16を通過して除湿された後、加熱器14を通過するように、冷却器16と加熱器14とが配設されている。
この冷却器16と加熱器14との間に、水分供給装置を構成する噴霧ノズル群15が配設されており、冷却器16によって除湿された空気に、所定量の水を噴霧する。この噴霧ノズル群15を構成する噴霧ノズル15a,15a・・には、水タンク17に貯留されている純水がポンプ19及び水供給配管21に設けられた制御弁23を経由して供給される。更に、供給された純水を噴霧するための圧縮空気も、配管25を経由して噴霧ノズル15a,15a・・に供給される。
A
Between the cooler 16 and the
かかる水タンク17には、配管33を経由して供給された通常水を純水器35に供給して得た純水が貯留されている。この水タンク17の純水の貯留量は、純水供給配管37に設けられた制御弁39によって一定に保持されている。
この噴霧ノズル15aとしては、公知の噴霧ノズル、例えば、空気と水とを同時に噴射して水を霧状態とする二流体ノズルを用いることができる。或いは、噴霧ノズル群15に代えて、一個の二流体ノズルを用いることができる。
The
As the spray nozzle 15a, a known spray nozzle, for example, a two-fluid nozzle that sprays air and water at the same time to bring the water into a mist state can be used. Alternatively, one two-fluid nozzle can be used in place of the
図1に示す温湿度調整装置には、圧縮機18から吐出された第1熱媒体が、加熱器14を含む加熱流路と冷却器16を含む冷却流路とに分配され、加熱流路及び冷却流路の各々を通過した第1熱媒体が圧縮機18に再供給される循環回路が設けられている。
この第1熱媒体として、例えばプロパン、イソブタンやシクロペンタン等の炭化水素、フロン類、アンモニア、炭酸ガスを用いることができる。かかる第1熱媒体が供給され、第1熱媒体の気化・液化によってクリーンルーム内の空気を加熱・冷却して所定の温度に調整する。
In the temperature and humidity control apparatus shown in FIG. 1, the first heat medium discharged from the
As the first heat medium, for example, hydrocarbons such as propane, isobutane and cyclopentane, chlorofluorocarbons, ammonia and carbon dioxide gas can be used. The first heat medium is supplied, and the air in the clean room is heated and cooled by vaporization and liquefaction of the first heat medium to adjust to a predetermined temperature.
この様な第1熱媒体は、圧縮機18によって圧縮・加熱されて高温(例えば70℃)の気体状となって吐出される。圧縮機18から吐出された高温の第1熱媒体を、分配手段としての比例三方弁20によって、加熱器14が設けられた加熱流路側と冷却器16が設けられた冷却流路側とに分配する。
Such a first heat medium is compressed and heated by the
この比例三方弁20では、加熱流路側に分配する高温の第1熱媒体と冷却流路側に分配する高温の第1熱媒体との合計量が圧縮機18から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように分配する。
かかる比例三方弁20は、温度制御部22によって制御されている。この温度制御部22では、空間ユニット10の空気吹出口に設けられた温度センサ24によって測定された測定温度と設定された設定温度とを比較し、測定温度が設定温度と一致するように、加熱流路側と冷却流路側とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を実質的に連続して変更し、空間ユニット10内に吸込まれた空気を所定温度に調整する。
この「実質的に連続して変更」とは、比例三方弁20をステップ制御で駆動するとき、微視的には比例三方弁20がステップ的に駆動されているものの、全体的には連続して駆動されている場合を含む意味である。
In this proportional three-
The proportional three-
This “substantially continuously changing” means that when the proportional three-
かかる温度制御部22に設定する設定温度は、任意に設定できるようにしてもよい。更に、図1に示す温度センサ24は、ファン12の吐出側に設置されているが、ファン12の吸入側に設置してもよく、ファン12の吐出側及び吸入側に設けてもよい。
The set temperature set in the
また、噴霧ノズル群15から噴霧される純水量は、湿度制御部27によって制御されている。この湿度制御部27では、空間ユニット10の空気吹出口に設けられた湿度センサ29によって測定された測定湿度と設定された設定湿度と比較し、測定湿度が設定湿度と一致するように制御弁23を調整し、空間ユニット10内に吸込まれた空気を所定湿度に調整する。
The amount of pure water sprayed from the
かかる湿度制御部27に設定する設定湿度は、任意に設定できるようにしてもよい。更に、図1に示す湿度センサ29は、ファン12の吐出側に設置されているが、ファン12の吸入側に設置してもよく、ファン12の吐出側及び吸入側に設けてもよい。
The set humidity set in the
比例三方弁20によって加熱流路側に分配された高温の第1熱媒体は、加熱器14に直接供給され、空間ユニット10内に吸引されて冷却器16で冷却された空気流及び噴霧ノズル群15から噴霧された水分を加熱して所定温度に調整する。その際に、高温の第1熱媒体は放熱して冷却されて凝縮液を含む第1熱媒体となる。
The high-temperature first heat medium distributed to the heating channel side by the proportional three-
一方、冷却流路側に分配された高温の第1熱媒体は、凝縮手段としての凝縮器26によって冷却されてから第1膨張手段としての膨張弁28によって断熱的に膨張して更に冷却(例えば、10℃に冷却)される。冷却された第1熱媒体は、冷却器16に供給されて気化し、空間ユニット10内に吸込まれた空気流を冷却する。
On the other hand, the high temperature first heat medium distributed to the cooling flow path side is cooled by the
かかる凝縮器26には、加熱器14側に分配された高温の第1熱媒体を冷却する冷却用として配管30を経由して、外部から加熱又は冷却されることなく供給された第2熱媒体として冷却水が供給されている。かかる冷却水は、凝縮器26内で70℃程度の第1熱媒体によって30℃程度に加熱されて配管31から吐出される。この配管31から吐出される冷却水は、ヒートポンプ手段の吸熱手段としての吸熱器32に加熱源として供給される。
The second heat medium supplied to the
この吸熱器32には、加熱器14で放熱した第1熱媒体を、第2膨張手段としての膨張弁34によって断熱的に膨張して更に冷却した10℃程度の第1熱媒体が供給されている。このため、吸熱器32では、凝縮器26で吸熱して30℃程度に昇温された冷却水と気化により10℃程度に冷却された第1熱媒体との温度差に基づいて、第1熱媒体が冷却水から吸熱できる。
The
吸熱器32で冷却水から吸熱して昇温されて気化した第1熱媒体は、アキュームレータ36を経由して圧縮機18に供給される。このアキュームレータ36には、冷却器16に供給されて空間ユニット10内に吸込まれた空気流から吸熱して気化した第1熱媒体も供給される。
かかるアキュームレータ36は、液体成分を貯めてガス成分のみを圧縮機18に再供給できるタイプのアキュームレータであるため、確実に第1熱媒体のガス成分のみを圧縮機18に供給できる。
このアキュームレータ36としては、蓄圧器用タイプのアキュームレータを用いることができる。
The first heat medium that has been heated from the cooling water by the
Since the
As this
また、吸熱器32から排出された冷却水を、純水器35に供給して、噴霧ノズル群15の噴霧ノズル15aから噴霧するようにしてもよい。吸熱器32から排出された冷却水が、配管33から供給される冷却水よりも温度が高い場合には、噴霧ノズル15aから噴霧された水の蒸発潜熱が小さいため、空気流の温度低下を小さくできる。
Further, the cooling water discharged from the
尚、アキュームレータ36を設置しなくても、吸熱器32で空気流から吸熱して昇温されて気化した熱媒体と、冷却器16に供給されて空間ユニット10内に吸込まれた気体から吸熱して蒸発した熱媒体とを合流して、圧縮機18に再供給できればよい。
Even if the
ところで、加熱器14で放熱した第1熱媒体を、膨張弁34によって断熱的に膨張して冷却しているが、膨張弁34での断熱膨張による冷却では、第1熱媒体と外部との間での熱の遣り取りはない。このため、断熱的に冷却された第1熱媒体は、外部から凝縮器26を経由して吸熱器32に供給された第2熱媒体としての冷却水から吸熱できる。
By the way, the first heat medium radiated by the
従って、圧縮機18から吐出される高温の第1熱媒体には、圧縮機18による圧縮動力エネルギーに、ヒートポンプ手段の吸熱器32によって外部から供給された冷却水より吸熱したエネルギーを加えることができる。この吸熱器32による吸熱は、第1熱媒体を循環させる圧縮機18の駆動エネルギーのみによって行うことができる。
Therefore, energy absorbed from the cooling water supplied from the outside by the
更に、図1に示す温湿度調整装置では、外部から供給された冷却水が凝縮器26を経由して吸熱器32に供給されている。このため、凝縮器26で除去した高温の第1熱媒体からのエネルギーの一部も、圧縮機18から吐出される高温の第1熱媒体に加えることができ、加熱流路の加熱能力を向上できる。このため、ヒートポンプ手段の吸熱器32によって吸熱したエネルギーに加えて、凝縮器26で除去した高温の第1熱媒体からのエネルギーの一部も圧縮機18から吐出される高温の第1熱媒体に加えることができ、加熱流路の加熱能力を向上できる結果、空気流の温度調整範囲を広げることができ、且つ大幅な省エネルギーを図ることができる。
Furthermore, in the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, the cooling water supplied from the outside is supplied to the
しかも、かかる加熱器14は、その空気流に対する加熱能力のみならず、噴霧ノズル15aから噴霧された水分の加熱能力も大幅に増加でき、加湿能力も大幅に増加できるため、空気流の湿度調整範囲も広げることができる。
この様に、加熱能力が向上された加熱器14の空気の供給側に設けられた噴霧ノズル群15から所定量の純水が噴霧されたことによる空気流温度の低下に対しても、ヒートポンプ手段での吸熱によって空気流温度を所定温度に昇温できる加熱能力を有することができる。
Moreover, since the
In this way, the heat pump means also against a decrease in the air flow temperature due to the spraying of a predetermined amount of pure water from the
ここで、ヒートポンプ手段を設けることなく噴霧ノズル群15を設置して湿度調整を試みた場合、空気流を所定温度に調整できない事態や空気流を所定温度に調整するに長時間かかる事態が発生するおそれがある。
つまり、噴霧ノズル群15から噴霧された水による空気流温度の低下に対して、圧縮機18から吐出された高温の第1熱媒体の一部が供給されている加熱器14での加熱量を増加することが必要となる。
しかし、加熱器14に供給される第1熱媒体には、圧縮機18によって加えられる熱量のみである。
従って、湿度調整のために噴霧ノズル群15から供給される水分量が急増した場合、空気流を所定温度に昇温するに充分な熱量を加熱器14に直ちに供給できないからである。
Here, when the humidity adjustment is attempted by installing the
That is, the amount of heating in the
However, the first heat medium supplied to the
Therefore, when the amount of moisture supplied from the
この様に、図1に示す温湿度調整装置では、その加熱流路の加熱能力をヒートポンプ手段の設置によって向上できるため、所定電力当たりの加熱能力及び加湿能力を大幅に増加させることができ、且つ省エネルギーを図ることができる。
また、図1に示す温湿度調整装置では、比例三方弁20によって加熱流路側に分配する高温の第1熱媒体と冷却流路側に分配する高温の第1熱媒体との分配比率を、空間ユニット10内の温度に応じて実質的に連続して変更できる。
Thus, in the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, since the heating capacity of the heating channel can be improved by the installation of the heat pump means, the heating capacity and humidification capacity per predetermined power can be greatly increased, and Energy saving can be achieved.
In the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, the distribution ratio between the high-temperature first heat medium distributed to the heating flow path side and the high-temperature first heat medium distributed to the cooling flow path side by the proportional three-
このため、図1に示す温湿度調整装置では、加熱流路及び冷却流路に高温の第1熱媒体が常時供給されており、加熱流路の加熱器14と冷却流路の冷却器16とを通過する温湿度調整対象の空気流の微小な負荷変動は、加熱流路と冷却流路とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を比例三方弁20によって直ちに微小調整することによって迅速に対応でき、応答性を向上できる。
For this reason, in the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, the high temperature 1st heat medium is always supplied to the heating flow path and the cooling flow path, and the
また、図1に示す温湿度調整装置の様に、加熱器14の空気入口側に設けられた噴霧ノズルから純水が噴霧されて、空気中の湿度を所定値に維持できる。更に、クリーンルーム内の空気を循環すると、循環空気はファン12等によって加熱されるが、噴霧ノズル群15からの純水の噴霧によって除熱されるため、冷却器16に対する負荷を小さくできる。
その結果、加熱流路の冷却器16、噴霧ノズル群15及び加熱器14を通過する温湿度調整対象の空気流の温度及び湿度を設定値に対して高精度に制御でき、図1に示す空間ユニット10の温度変化及び湿度変化を小さくでき、精密加工が要求される工程を設置できる。
Further, as in the temperature and humidity adjusting device shown in FIG. 1, pure water is sprayed from the spray nozzle provided on the air inlet side of the
As a result, the temperature and humidity of the air flow to be adjusted for temperature and humidity passing through the cooler 16, the
図1に示す温湿度調整装置では、上述した様に、加熱流路の加熱能力が向上され、且つ加熱流路と冷却手段とを含む流路のうち、分配手段としての比例三方弁20から冷却器16及び吸熱器32の各々を通過した第1熱媒体がアキュームレータ36で合流されるまでの加熱流路を含む流路と冷却流路を含む流路との各々が、流路的に独立して設けられている。このため、温度の異なる第1熱媒体が混合されることがなく、温湿度調整対象の温度調整幅を広くできる。
In the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, as described above, the heating capacity of the heating channel is improved, and cooling is performed from the proportional three-
また、加熱器14と冷却器16とを通過する温湿度調整対象の空気流の設定温度を大幅に高くする場合でも、比例三方弁20によって高温の第1熱媒体の分配比率を冷却流路よりも加熱流路に分配する分配比率を大幅に高くして、温湿度調整対象の空気流を所定温度に迅速に調整できる。
かかる空気流の温度調整の際にも、空気流の湿度を設定湿度に調整するように、湿度制御部27は噴霧ノズル群15からの純水の噴霧量を調整する。
Even when the set temperature of the air flow to be adjusted for temperature and humidity passing through the
When adjusting the temperature of the air flow, the
更に、図1に示す温湿度調整装置では、加熱流路の加熱能力が向上され、加熱水蒸気発生装置等の他の水分供給手段や加熱手段を用いることを要しないため、大幅な省エネルギーを図ることができる。 Furthermore, in the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, the heating capacity of the heating channel is improved, and it is not necessary to use other moisture supply means or heating means such as a heating steam generator, so that significant energy saving is achieved. Can do.
尚、図1に示す温湿度調整装置では、温度制御部22と湿度制御部27とが独立して温度・湿度を調整しているが、設定温度や設定湿度を変更した場合でも、空気流の温度・湿度は比較的短時間で設定温度・設定湿度に到達する。
In the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, the
以上、説明してきた図1に示す温湿度調整装置では、凝縮器26に冷却水を供給する配管30に、冷媒制御手段としての制御弁40が設けられている。この制御弁40は、圧縮機18の吐出圧が一定となるように制御されている。かかる制御弁40は、図2に示す様に、冷却水の流路内に設けられた弁部40aの開口部を開閉する弁体40bを具備する棒状部が設けられている。この棒状部は、その先端面が当接するバネ40cによって弁体40bが弁部40aの開口部を閉じる方向に付勢されている。また、棒状部の他端面は、圧縮機18から吐出された第1熱媒体の圧力が供給されるベローズ40dに当接し、棒状部をバネ40cの付勢力に抗して弁部40aの開口部を開放する方向に弁体40bを付勢している。
As described above, in the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, the
このため、圧縮機18の吐出圧がバネ40cの付勢力以上となったとき、ベローズ40dによって弁体40dが弁部40aの開口部を開放する方向に移動し、凝縮器26に供給される冷却水量が増加して、凝縮器26の冷却能力が向上される。この様に、凝縮器26の冷却能力が向上されて、圧縮機18の吐出圧が低下する。
他方、圧縮機18の吐出圧がバネ40cの付勢力以下となったとき、弁体40dが弁部40aの開口部を閉じる方向に移動し、凝縮器26に供給される冷却水量が減少して、凝縮器26の冷却能力が低下する。このため、圧縮機18の吐出圧が高くなる。
この様に、圧縮機18の吐出圧を一定に保持することによって、温湿度調整装置を安定して運転できる。また、凝縮器26に冷却水量が必要以上に供給され、系外に排出されないように調整できる。
For this reason, when the discharge pressure of the
On the other hand, when the discharge pressure of the
In this way, by keeping the discharge pressure of the
かかる制御弁40には、図1に示す様に、制御弁40のバイパス配管にバルブ41が設けられている。このバルブ41は、制御弁40が故障した場合や加熱器14に供給される高温の第1熱媒体の供給量が増加して、圧縮機18の吐出圧が低下し、供給水の不足によって吸熱器32が実質的に機能しなくなった場合等に、凝縮器26及び吸熱器32に強制的に水を供給するためのものである。
The
図1に示す温湿度調整装置では、冷却器16と加熱器14との間に、純水を噴霧する噴霧ノズル群15が配設されているが、図3Aに示す様に、加熱器14の空気の出口側に噴霧ノズル群15を配設してもよい。この様に、噴霧ノズル群15を加熱器14の空気の出口側に配設しても、噴霧ノズル群15から噴霧された水滴は加熱器14で加熱された空気流によって加熱されて蒸発できる。
In the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, a
また、冷却器16と加熱器14とを、図3Bに示す様に、空気が加熱器14に供給された後、冷却器16に供給されるように配設し、冷却器16と加熱器14との間に噴霧ノズル群15を配設してもよい。この場合も、噴霧ノズル群15から噴霧された水滴は加熱器14で加熱された空気流によって加熱されて蒸発できる。
Further, as shown in FIG. 3B, the cooler 16 and the
更に、図3Bに示す加熱器14と冷却器16との配設であって、図3Cに示す様に、加熱器14の空気の入口側に噴霧ノズル群15を配設してもよい。この場合は、噴霧ノズル群15から噴霧された水滴を加熱器14によって直接加熱して蒸発できる。
但し、例えば、図3Aに示す加熱器14と冷却器16との配設であって、図3Dに示す如く、冷却器16の空気の入口側に噴霧ノズル群15を配設した場合には、噴霧ノズル群15から噴霧された水滴は、冷却器16内で凝縮されて蒸発されることなく空気流から除去されるため、空気流を所定の湿度に調整することが困難となる。
Furthermore, it is arrangement | positioning with the
However, for example, when the
尚、図3B及び図3Cの様に、噴霧ノズル群15が加熱器16又は冷却器14の上流側に設けられている場合には、噴霧ノズル群15よりも下流側の加熱器16又は冷却器14が、噴霧ノズル群15から噴霧された水滴のエリミネータとしても機能し、下流側の加熱器16又は冷却器14を通過した空気流に含有される水滴の大きさを一定にできる。
3B and 3C, when the
図1に示す温湿度調整装置に用いた分配手段としての比例三方弁20に代えて、図4に示す様に、2個の二方弁としての二方弁38a,38bを用いることができる。2個の二方弁38a,38bの各々は、温度制御部22によって制御されている。かかる温度制御部22によって、二方弁38a,38bの各々の開度を調整し、圧縮機18で圧縮・加熱された気体状の高温の第1熱媒体を加熱流路と冷却流路とに分配する分配比率を実質的に連続して調整し、加熱器14と冷却器16とを通過する空気流を所定温度に制御する。その際に、加熱器14側に分配する高温の第1熱媒体量と冷却器16側に分配する高温の第1熱媒体量との合計量が、圧縮機18から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように、二方弁38a,38bの開度を調整して連続的に比例分配される。
Instead of the proportional three-
その際に、二方弁38a,38bの各々は、図5に示す様に、バルブ開度と流量との関係は直線状でない。このため、温度制御部22では、図5に示す二方弁38a,38bの各々についての流量特性データを保持し、温度制御部22からは、二方弁38a,38bの各流量特性に基づいて各二方弁38a,38bへの開度信号を発信する。
ここで、「加熱流路と冷却流路とに分配する分配比率を実質的に連続して調整」或いは「分配比率を実質的に連続して調整」するとは、二方弁38a,38bをステップ制御によって駆動し、加熱流路と冷却流路との分配比率を調整する際に、二方弁38a,38bの開度が、微視的にはステップ的に駆動されて調整されているものの、全体として連続して駆動されて調整されている場合を含むことを意味する。
At that time, the relationship between the valve opening and the flow rate of each of the two-way valves 38a and 38b is not linear as shown in FIG. For this reason, the
Here, “to adjust the distribution ratio distributed to the heating flow path and the cooling flow path substantially continuously” or “to adjust the distribution ratio substantially continuously” means that the two-way valves 38a and 38b are stepped. When driven by control and adjusting the distribution ratio between the heating channel and the cooling channel, the opening degree of the two-way valves 38a, 38b is microscopically driven and adjusted, It is meant to include the case of being continuously driven and adjusted as a whole.
図1に示す温湿度調整装置では、加熱器14と冷却器16とによる温湿度調整対象としての空気流の温湿度調整では、例えば、温湿度調整対象の空気流に対して加熱側にある場合、空気温度が安定する運転状態では、図6Aに示す様に、冷却器16で冷却した空気流を加熱器14で加熱している。図6Aに示す運転状態では、空気流を加熱するに要するエネルギーAに比較して、加熱器14で加熱するエネルギーが大きくなる場合がある。この場合、図6Bに示す様に、加熱器14と冷却器16との重複するエネルギーを可及的に少なくできれば、省エネルギーを図ることができる。
In the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 1, in the temperature / humidity adjustment of the air flow as the temperature / humidity adjustment target by the
一方、温湿度調整対象の空気流に対して冷却側にある場合、空気流の温度が安定する運転状態では、図7Aに示す様に、加熱器14で加熱した空気を冷却器16で冷却している。図7Aに示す運転状態では、空気流を冷却するに要するエネルギーBに比較して、冷却器16で冷却するエネルギーが大きくなる場合がある。この場合、図7Bに示す様に、冷却器16と加熱器14との重複するエネルギーを少なくできれば、省エネルギーを図ることができる。
On the other hand, when it is on the cooling side with respect to the air flow to be adjusted for temperature and humidity, in the operation state where the temperature of the air flow is stable, the air heated by the
但し、互いに打ち消し合う熱量分をゼロとすべく、加熱器14と冷却器16とに高温の第1熱媒体の供給をON−OFF制御すると、温湿度調整装置の運転が不安定となり、空気流を所定温度で安定するまで時間が掛かる。このため、温湿度調整装置を安定運転できる程度には、加熱器14に加えられる加熱量と冷却器16に加えられる冷却量のうち、互いに打ち消し合う熱量分を最小限存在させることが必要である。
尚、この必要最小限の互いに打ち消し合う熱量分は、温湿度調整装置によって多少異なるため、実験的に求めておくことが好ましい。
However, if the supply of the high-temperature first heat medium to the
The minimum necessary amount of heat that cancels each other differs somewhat depending on the temperature / humidity adjusting device, and is preferably obtained experimentally.
この様に、冷却器16と加熱器14との重複するエネルギーを少なくできるように、図8に示す温湿度調整装置では、加熱器14に加えられる加熱量と冷却器16に加えられ冷却量のうち、互いに打ち消し合う熱量分を可及的に少なくするように、圧縮機18の回転数を制御する回転数制御部としてのインバータ42を介して圧縮機制御部44(以下、COMP制御部44と称することがある)によって制御している。
In this way, in the temperature and humidity adjusting apparatus shown in FIG. 8, the amount of heating applied to the
図8に示す温湿度調整装置を構成する構成部材のうち、図1に示す温湿度調整装置の構成部材と同一部材は、図1の符号と同一番号を付して、詳細な説明を省略する。
かかるCOMP制御部44は、比例三方弁20を制御する温度制御部22と協働して、加熱器14に加えられる加熱量と冷却器16に加えられ冷却量のうち、互いに打ち消し合う熱量分を可及的に少なくしつつ、空気流の温湿度制御を行う。
8, the same members as those of the temperature / humidity adjusting device shown in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1, and detailed description thereof is omitted. .
The COMP control unit 44 cooperates with the
温度制御部22による比例三方弁20の制御とCOMP制御部44による圧縮機18の回転数の制御とを図9のフローチャートに示す。
図8に示す温湿度調整装置を試運転したところ、空気流に対して冷却側で運転する場合は、加熱器14に加えられる加熱量として、比例三方弁20による加熱器14側への高温の第1熱媒体の分配率を5〜15%(比例三方弁20による冷却器16側への高温の第1熱媒体の分配率を95〜85%)とすることが安定運転上から好ましいことが判明した。
The control of the proportional three-
When the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 8 was trial run, when operating on the cooling side with respect to the air flow, the amount of heat applied to the
他方、空気流に対して加熱側で運転する場合は、加熱器14側に加えられる加熱量として、比例三方弁20による加熱器14側への高温の第1熱媒体の分配率を95〜85%(比例三方弁20による冷却器16側への高温の第1熱媒体の分配率を5〜15%)とすることが安定運転上から好ましいことが判明した。
このため、図9のフローチャートに示す制御では、加熱器14側に加えられる加熱量、具体的には比例三方弁20による加熱器14側への高温の第1熱媒体の分配率を、空気流に対して冷却側で運転する場合は、5〜15%となるように圧縮機18の回転数を制御し、空気流に対して加熱側で運転する場合は、95〜85%の分配率となるように圧縮機18の回転数を制御することにした。
On the other hand, when operating on the heating side with respect to the air flow, the distribution ratio of the high-temperature first heat medium to the
For this reason, in the control shown in the flowchart of FIG. 9, the amount of heating applied to the
図9に示すフローチャートでは、ステップS10で圧縮機18を起動した後、ステップS12で空気流を所定温度とするように、空間ユニット10内に設けられた温度センサ24によって測定された温度信号に基づいて、比例三方弁20による加熱器14側と冷却器16側とに分配する高温の第1熱媒体の分配比率を連続的に変更し、空間ユニット10内に吸込まれた空気流を所定温度に調整する。
In the flowchart shown in FIG. 9, after starting the
かかる空気流が所定温度に到達して安定しているかをステップS14で判断し、空気流の温度が安定していない場合は、ステップS12に戻り、比例三方弁20による加熱器14側と冷却器16側とに分配する高温熱媒体の分配比率を連続的に変更する。かかるステップS12及びステップS14は温度制御部22で行う。
一方、空間ユニット10内の空気流が所定温度に到達して安定している場合は、ステップS16〜S22で加熱器14側に分配される高温の第1熱媒体の分配比率が所定の範囲内であるか否か判断する。このステップS16〜S22はCOMP制御部44で行う。
In step S14, it is determined whether the air flow reaches a predetermined temperature and is stable. If the temperature of the air flow is not stable, the process returns to step S12 and the
On the other hand, when the air flow in the
尚、図9に示す高温の第1熱媒体の平均分配率とは、加熱器14側に分配される高温の第1熱媒体の分配比率にはばらつきがあるため、所定時間内の第1熱媒体の分配率の平均をとった値であって、以下、単に第1熱媒体の平均分配率と称することがある。
先ず、ステップS16とステップS18とでは、空気流に対して冷却側にあると仮定したとき、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が5〜15%内にあるか否か判断する。
The average distribution rate of the high-temperature first heat medium shown in FIG. 9 varies depending on the distribution ratio of the high-temperature first heat medium distributed to the
First, in step S16 and step S18, when it is assumed that the air flow is on the cooling side, it is determined whether or not the average distribution ratio of the first heat medium to the
ここで、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が5〜15%内にある場合は、空気流に対して冷却側にあり、且つ温湿度調整装置の運転が安定する範囲内であるため、ステップS16を通過しステップS18からステップS16に戻る。
一方、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が5%未満である場合には、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が低過ぎるため、温湿度調整装置の運転が不安定となり易い。このため、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率を増加すべく、ステップS16からステップS24に移行し、圧縮機18の回転数を増加する。ステップS24では、COMP制御部44からインバータ42に向けて、インバータ42に設定されている圧縮機18の回転数を最小変化量で増加する増加信号を発信する。圧縮機18の回転数を最小変化量で増加することによって、温湿度調整装置を安定して運転できるからである。
Here, when the average distribution ratio of the first heat medium to the
On the other hand, when the average distribution ratio of the first heat medium to the
尚、圧縮機18の回転数を変化させる最小変化量は、温湿度調整装置によって異なるため、実験的に求めておくことが好ましいが、圧縮機18の回転数が2000〜5000rpmのとき、最小変化量を3〜10%の範囲とすることが好ましい。
Since the minimum change amount for changing the rotation speed of the
また、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が15%を越えている場合には、ステップS16とステップS18とを通過して、空気流が冷却側にないと判断し、ステップS20とステップS22とに移行する。ステップS20とステップS22とでは、空気流が加熱側にあると仮定したとき、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が95〜85%内にあるか否か判断する。
When the average distribution ratio of the first heat medium to the
ここで、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が85〜95%内にある場合は、空気流が加熱側にあり、且つ温湿度調整装置の運転が安定する範囲内であるため、ステップS20を通過しステップS22からステップS16に戻る。
Here, when the average distribution ratio of the first heat medium to the
一方、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が95%を超えている場合には、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が高過ぎ、温湿度調整装置の運転が不安定となり易い。このため、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率を減少すべく、ステップS20からステップS24に移行し、圧縮機18の回転数を増加する。ステップS24では、COMP制御部44からインバータ42に向けて、インバータ42に設定されている圧縮機18の回転数を最小変化量で増加する増加信号を発信する。
On the other hand, when the average distribution ratio of the first heat medium to the
また、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が85%未満の場合には、ステップS22において、空気流は加熱側でもなく且つ冷却側でもない状態、すなわち加熱器14に加えられる加熱量と冷却器16に加えられる冷却量のうち、互いに打ち消し合う熱量が多い状態と判断される。このため、ステップS26に移行し、圧縮機18の回転数を低下する。ステップS26では、COMP制御部44からインバータ42に向けて、インバータ42に設定されている圧縮機18の回転数を最小変化量で低下する低下信号を発信する。圧縮機18の回転数を最小変化量で低下し、空気流を加熱側又は冷却側に移行させるためである。
When the average distribution ratio of the first heat medium to the
次いで、ステップS24又はステップS26を通過してステップS28に移行し、圧縮機18が運転中か否か判断して、圧縮機18が運転中であれば、ステップS14に戻る。ステップS14では、ステップS24又はステップS26において、圧縮機18の回転数を最小変化量で増加又は低下した状態で、空間ユニット10内の空気流が所定温度に到達して安定しているかを判断する。空間ユニット10内の空気流が所定温度に到達して安定している場合には、ステップS16〜S26によって、再度、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率が所定範囲内に在るか否か判断する。
Next, the process proceeds to step S28 after passing through step S24 or step S26, and it is determined whether or not the
一方、ステップS14において、空間ユニット10内の空気流の温度が安定していないと判断した場合は、ステップS12に戻り、比例三方弁20による加熱器14側と冷却器16側とに分配する第1熱媒体の分配比率を連続的に変更する。空間ユニット10内の空気流が所定温度に到達して安定してからステップS16〜S26に移行する。
On the other hand, if it is determined in step S14 that the temperature of the air flow in the
尚、ステップS28において、圧縮機18が運転状態にない場合には、温度制御部22及びCOMP制御部44による制御は停止する。
In step S28, when the
以上、説明してきた図9に示すフローチャートでは、温度制御部22では、加熱器14側への第1熱媒体の平均分配率に注目して制御しているが、冷却器16側への第1熱媒体の平均分配率に注目して制御してもよい。
また、設定温度や設定湿度を入力する入力手段や運転状態を表示する表示手段等を、温度制御部22や湿度制御部27と一体又は別体に設けてもよい。
In the flowchart shown in FIG. 9 described above, the
Further, an input unit for inputting the set temperature and set humidity, a display unit for displaying the operation state, and the like may be provided integrally or separately from the
図1〜図9に示す温湿度調整装置では、凝縮器26及び吸熱器32では、冷却水や加熱源として水を用いていたが、図10に示す様に、凝縮器26及び吸熱器32の冷却源と加熱源として、ファン50で室内空気を吹き付ける方式であってもよい。
図10に示す温湿度調整装置を構成する構成部材のうち、図1に示す温湿度調整装置の構成部材と同一部材は、図1の符号と同一番号を付して、詳細な説明を省略する。
In the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIGS. 1 to 9, the
Among the constituent members constituting the temperature and humidity adjusting device shown in FIG. 10, the same members as those of the temperature and humidity adjusting device shown in FIG. 1 are assigned the same reference numerals as in FIG. .
また、図1〜図9に示す温湿度調整装置では、湿度制御手段として水を噴霧する噴霧ノズル群15を配設したが、図11に示す様に、噴霧ノズル群15に代えて、空気流の流路内に蒸気発生器52を配設してもよい。蒸気発生器52は、加熱器14、冷却器16を通過して空気流に水分を供給する装置であって、容器54内に貯留された純水を加熱ヒータ56によって加熱して蒸気を発生する。この加熱ヒータ56は、湿度制御部27によって制御されている。
つまり、湿度制御部27では、ファン12から吐出される空気流中の湿度と目標湿度との相違に応じて、蒸気発生器52の加熱ヒータ56の加熱量を調整し、ファン12から吐出される空気流中の湿度を目標湿度に調整する。
Moreover, in the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIGS. 1-9, although the
That is, the
この様に、湿度制御手段として蒸気発生器52を用いても、図11に示す温湿度調整装置では、省エネルギーを図ることができる。
すなわち、ヒートポンプ手段の設置で加熱能力が高められた加熱器14によって空気流を加熱して、空気流中の露点を高め、多くの水分を空気流中に含有できる。
Thus, even if the steam generator 52 is used as the humidity control means, the temperature and humidity adjustment apparatus shown in FIG. 11 can save energy.
That is, the air flow is heated by the
この図11に示す温湿度調整装置を構成する構成部材のうち、図1に示す温湿度調整装置の構成部材と同一部材は、図1の符号と同一番号を付して、詳細な説明を省略する。
更に、図12に示す様に、凝縮器26と吸熱器32とに別配管で水を供給するようにしてもよい。例えば、凝縮器26には、配管33を経由して供給し、吸熱器32には、配管32aを経由して供給するようにしてもよい。かかる凝縮器26と吸熱器32とを通過した水は、共に系外に排出される。
Among the constituent members constituting the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. 11, the same members as those of the temperature / humidity adjusting apparatus shown in FIG. To do.
Furthermore, as shown in FIG. 12, water may be supplied to the
この図12に示す温湿度調整装置を構成する構成部材のうち、図1に示す温湿度調整装置の構成部材と同一部材は、図1の符号と同一番号を付して、詳細な説明を省略する。
また、凝縮器26に供給する水と純水器35に供給する水とを別配管で供給するようにしてもよい。例えば、凝縮器26には、通常の水を供給し、純水器35には純水を供するようにしてもよい。
Among the components constituting the temperature and humidity adjusting device shown in FIG. 12, the same members as those of the temperature and humidity adjusting device shown in FIG. To do.
Further, the water supplied to the
尚、図1〜12に示す温湿度調整装置に用いる湿度制御手段としては、温湿度調整対象の空気よりも乾燥された乾燥空気を、水分供給手段と併用して、或いは水分供給手段に代えて空気流の流路に吹き込む手段を用いることができる。 In addition, as a humidity control means used for the temperature / humidity adjustment apparatus shown in FIGS. 1-12, dry air dried rather than the air of temperature / humidity adjustment object is used together with a moisture supply means, or replaced with a moisture supply means. Means for blowing into the air flow channel may be used.
これまで説明してきた図1〜図12に示す温湿度調整装置を採用した温湿度調整対象の空気流の温湿度調整方法では、温湿度調整装置の奏する、気体流の温度と湿度とを同時に調整できる範囲が広く、且つ省エネルギーを図ることができるという作用・効果を享有できる。 In the temperature / humidity adjustment method of the temperature / humidity adjustment target air temperature adopting the temperature / humidity adjustment apparatus shown in FIGS. 1 to 12 described so far, the temperature and humidity of the gas flow performed by the temperature / humidity adjustment apparatus are simultaneously adjusted. The range which can be performed is wide, and it can enjoy the effect | action and effect that energy saving can be aimed at.
かかる温湿度調整方法では、圧縮機18で圧縮して加熱した高温の第1熱媒体の一部を直接供給する加熱器14と、第1熱媒体の残余部を凝縮器26で冷却した後、膨張弁28で断熱的に膨張させて更に冷却して供給する冷却器16とを、順次通過する空気流に対し、加熱器14と冷却器16とに分配する三方弁20又は二方弁38a,38bによって第1熱媒体の分配率を変更して、空気流を所定温度に調整すると共に、空気流が通過する流路に設けた湿度制御手段によって空気流を所定湿度に調整する。
In this temperature and humidity adjustment method, the
更に、加熱器14を通過した第1熱媒体を、膨張弁34によって断熱的に膨張させて冷却して、外部熱源である水又は空気から吸熱する吸熱器32を具備するヒートポンプ手段を通過させた後、冷却器16を通過した第1熱媒体と共に圧縮機18に戻す。
Further, the first heat medium that passed through the
以上、説明してきた温湿度調整装置は、半導体装置の製造工程等の精密加工分野でのクリーンルームの温湿度調整用に用いているが、他の分野で用いられているクリーンルームの温湿度調整用に用いることができることは勿論のことである。 As described above, the temperature / humidity adjustment device described above is used for temperature / humidity adjustment of clean rooms in the precision processing field such as the manufacturing process of semiconductor devices, but for temperature / humidity adjustment of clean rooms used in other fields. Of course, it can be used.
また、説明してきた温湿度調整装置は、他の分野、例えば塗装ブース、塗装ブース、ソーラーシュミレータ、プリント基板ストッカ、電子顕微鏡、打錠機、三次元測定機、クロマトグラフ、ドラフトチャンバー、露光装置、スピンコータ、液晶ガラス基板、スクリーン印刷機、画像診断装置、セメント養生、成形用金型、射出成形機、細胞培養、植物栽培、食品の保存や熟成、DNA固定化等の分野の温湿度調整装用としても用いることができる。 In addition, the temperature and humidity control apparatus that has been described can be used in other fields, such as painting booths, painting booths, solar simulators, printed circuit board stockers, electron microscopes, tablet presses, three-dimensional measuring machines, chromatographs, draft chambers, exposure apparatuses, For temperature / humidity adjustment equipment in fields such as spin coaters, liquid crystal glass substrates, screen printers, diagnostic imaging equipment, cement curing, molding dies, injection molding machines, cell culture, plant cultivation, food storage and ripening, DNA immobilization Can also be used.
Claims (14)
前記加熱手段及び冷却手段を通過する温湿度調整対象の気体を所定の温度及び湿度に調整する温湿度調整装置であって、
前記圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体の一部を前記加熱流路側に分配すると共に、前記高温の第1熱媒体の残余部を冷却流路側に分配し、且つ前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を変更可能な分配手段と、
前記加熱流路の加熱能力が向上するように、前記加熱手段で熱を放出して冷却されてから第2膨張手段で断熱的に膨張されて更に冷却された第1熱媒体が、外部熱源である第2熱媒体から吸熱する吸熱手段を具備するヒートポンプ手段と、
前記分配手段を制御し、前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を調整して、前記加熱手段と冷却手段とを通過する温湿度調整対象の気体を所定温度に制御する温度制御部と、
前記加熱手段及び冷却手段を通過する気体を所定湿度に制御する湿度制御手段とが設けられ、
前記加熱流路と冷却流路との各々を通過した第1熱媒体が合流して前記圧縮機に再供給される第1熱媒体の流路のうち、前記分配手段から前記第1熱媒体が合流されるまでの前記加熱流路を含む流路と冷却流路を含む流路との各々が、流路的に独立して設けられていることを特徴とする温湿度調整装置。 A heating flow path in which a part of the high temperature first heat medium compressed and heated by the compressor is supplied to the heating means, and a first portion after the remaining portion of the high temperature first heat medium is cooled by the condensation means. A cooling flow path that is adiabatically expanded by the expansion means and is further cooled and supplied to the cooling means; and the first high-temperature heat medium is distributed and passed through each of the heating flow path and the cooling flow path. A circulation circuit in which one heat medium is re-supplied to the compressor,
A temperature / humidity adjusting device for adjusting a temperature / humidity adjustment target gas passing through the heating means and the cooling means to a predetermined temperature and humidity,
A portion of the high temperature first heat medium discharged from the compressor is distributed to the heating flow path side, and the remaining portion of the high temperature first heat medium is distributed to the cooling flow path side, and the heating flow path and A distribution means capable of changing a distribution ratio of the high-temperature first heat medium distributed to the cooling flow path;
In order to improve the heating capacity of the heating flow path, the first heat medium that is cooled by releasing heat by the heating means and then adiabatically expanded by the second expansion means and further cooled is an external heat source. Heat pump means comprising heat absorption means for absorbing heat from a certain second heat medium;
Gas for adjusting temperature and humidity that passes through the heating means and the cooling means by controlling the distribution means and adjusting the distribution ratio of the high-temperature first heat medium distributed to the heating flow path and the cooling flow path A temperature control unit for controlling the temperature to a predetermined temperature;
A humidity control means for controlling the gas passing through the heating means and the cooling means to a predetermined humidity, and
Of the flow paths of the first heat medium to which the first heat medium that has passed through each of the heating flow path and the cooling flow path joins and is re-supplied to the compressor, the first heat medium is supplied from the distribution means. Each of the flow path including the heating flow path and the flow path including the cooling flow path until they are merged is provided independently as a flow path.
温度制御部が、前記加熱流路と冷却流路とに分配される高温の第1熱媒体の分配比率を調整して、加熱手段と冷却手段とを通過する温湿度調整対象の気体を所定温度に制御すると共に、前記加熱流路側に分配される高温の第1熱媒体と冷却流路側に分配される高温の第1熱媒体との合計量が圧縮機から吐出された高温の第1熱媒体量と等しくなるように、前記二方弁の各々の開度を調整する温度制御部でもある請求項1〜12のいずれか一項記載の温湿度調整装置。 The distribution means is a two-way valve provided in each of the branch pipes for branching the high-temperature first heat medium into the heating channel side and the cooling channel side,
The temperature control unit adjusts the distribution ratio of the high-temperature first heat medium distributed to the heating flow path and the cooling flow path so that the temperature / humidity adjustment target gas passing through the heating means and the cooling means is a predetermined temperature. And the total amount of the high temperature first heat medium distributed to the heating flow path side and the high temperature first heat medium distributed to the cooling flow path side is discharged from the compressor. It is a temperature control part which adjusts each opening degree of the said two-way valve so that it may become equal to quantity, The temperature / humidity adjustment apparatus as described in any one of Claims 1-12.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013095075A JP2013167437A (en) | 2008-04-10 | 2013-04-30 | Temperature and humidity regulator |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008102339 | 2008-04-10 | ||
JP2008102339 | 2008-04-10 | ||
JP2013095075A JP2013167437A (en) | 2008-04-10 | 2013-04-30 | Temperature and humidity regulator |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010507251A Division JP5343231B2 (en) | 2008-04-10 | 2009-04-07 | Temperature and humidity control device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013167437A true JP2013167437A (en) | 2013-08-29 |
Family
ID=41161907
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010507251A Active JP5343231B2 (en) | 2008-04-10 | 2009-04-07 | Temperature and humidity control device |
JP2013095075A Pending JP2013167437A (en) | 2008-04-10 | 2013-04-30 | Temperature and humidity regulator |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010507251A Active JP5343231B2 (en) | 2008-04-10 | 2009-04-07 | Temperature and humidity control device |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5343231B2 (en) |
KR (1) | KR101516772B1 (en) |
CN (1) | CN101990617B (en) |
TW (1) | TWI468632B (en) |
WO (1) | WO2009125776A1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018096576A (en) * | 2016-12-09 | 2018-06-21 | ダイキン工業株式会社 | Humidifier |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5296655B2 (en) * | 2009-10-23 | 2013-09-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | Gas temperature and humidity control method and gas supply device |
JP5327636B2 (en) * | 2009-11-30 | 2013-10-30 | オリオン機械株式会社 | Temperature and humidity control device |
JP5568728B2 (en) * | 2009-12-21 | 2014-08-13 | オリオン機械株式会社 | Temperature / humidity adjusting device and temperature / humidity adjusting method |
TWI495871B (en) * | 2011-11-04 | 2015-08-11 | Grand Mate Co Ltd | Humidity detection device and detection method thereof |
JP6047726B2 (en) * | 2011-12-12 | 2016-12-21 | オリオン機械株式会社 | Temperature and humidity control device |
WO2013114936A1 (en) * | 2012-02-01 | 2013-08-08 | 国立大学法人 東京大学 | Distillation device and distillation method |
EP2762793A1 (en) * | 2013-02-01 | 2014-08-06 | Technische Hochshule Mittelhessen | Device for regulating air humidity |
CN104406321B (en) * | 2014-11-28 | 2016-09-21 | 烟台大学 | A kind of heat supply humidification, cooling one heat pump assembly |
CN104864536B (en) * | 2015-06-23 | 2017-05-03 | 向君 | Efficient energy-saving multi-stage heat and humidity treatment air conditioning device and treatment method thereof |
CN105407688A (en) * | 2015-10-24 | 2016-03-16 | 无锡商业职业技术学院 | Fully-closed intelligent electric control cabinet cooling system |
US11491502B2 (en) * | 2017-03-27 | 2022-11-08 | Toshiba, Mitsubishi-Electric Industrial Systems Corporation | Two fluid spray equipment |
AT521086B1 (en) * | 2018-03-28 | 2020-02-15 | Avl List Gmbh | Conditioning device for regulating a gaseous or |
CN109273742B (en) * | 2018-09-27 | 2020-06-09 | 德州新动能铁塔发电有限公司 | Air supply system of methanol-water reforming hydrogen production fuel cell |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6366781U (en) * | 1986-10-18 | 1988-05-06 | ||
JPH07139836A (en) * | 1993-11-12 | 1995-06-02 | Kajima Corp | Double coil type heat pump package air conditioner |
JPH09264632A (en) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Nishiyodo Kuuchiyouki Kk | Heat pump for supplying hot-water |
JPH10300126A (en) * | 1997-04-21 | 1998-11-13 | Orion Mach Co Ltd | Apparatus for supplying air of constant temperature and constant humidity |
JP2003269805A (en) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Marine refrigerating unit |
JP2006207856A (en) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Sanki Eng Co Ltd | Air conditioner for conditioning outside air |
JP2006343052A (en) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hitachi Ltd | Simultaneous cooling and heating multi-air conditioner |
JP2007139403A (en) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Sanki Eng Co Ltd | Proportional control method and device for two-fluid flow water jet nozzle |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5197048A (en) * | 1975-02-22 | 1976-08-26 | ||
JPS63259707A (en) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Tabai Esupetsuku Kk | Method and device for obtaining constant temperature and constant humidity |
TW234736B (en) * | 1993-12-16 | 1994-11-21 | Orion Machinery Co Ltd | Construction of dehumidifier for cooled type compressed air |
JPH09189460A (en) * | 1996-01-09 | 1997-07-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Refrigerating device |
JP3966441B2 (en) * | 2000-08-01 | 2007-08-29 | 株式会社山武 | Air conditioning apparatus and method |
JP4364035B2 (en) * | 2004-03-29 | 2009-11-11 | オリオン機械株式会社 | Cooling system |
CN101558270B (en) * | 2006-12-27 | 2011-07-20 | 奥利安机械股份有限公司 | Device for precise temperature control |
-
2009
- 2009-04-07 CN CN2009801128851A patent/CN101990617B/en active Active
- 2009-04-07 JP JP2010507251A patent/JP5343231B2/en active Active
- 2009-04-07 WO PCT/JP2009/057148 patent/WO2009125776A1/en active Application Filing
- 2009-04-07 KR KR1020107021886A patent/KR101516772B1/en active IP Right Grant
- 2009-04-10 TW TW98111989A patent/TWI468632B/en active
-
2013
- 2013-04-30 JP JP2013095075A patent/JP2013167437A/en active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6366781U (en) * | 1986-10-18 | 1988-05-06 | ||
JPH07139836A (en) * | 1993-11-12 | 1995-06-02 | Kajima Corp | Double coil type heat pump package air conditioner |
JPH09264632A (en) * | 1996-03-28 | 1997-10-07 | Nishiyodo Kuuchiyouki Kk | Heat pump for supplying hot-water |
JPH10300126A (en) * | 1997-04-21 | 1998-11-13 | Orion Mach Co Ltd | Apparatus for supplying air of constant temperature and constant humidity |
JP2003269805A (en) * | 2002-03-13 | 2003-09-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Marine refrigerating unit |
JP2006207856A (en) * | 2005-01-25 | 2006-08-10 | Sanki Eng Co Ltd | Air conditioner for conditioning outside air |
JP2006343052A (en) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Hitachi Ltd | Simultaneous cooling and heating multi-air conditioner |
JP2007139403A (en) * | 2005-10-19 | 2007-06-07 | Sanki Eng Co Ltd | Proportional control method and device for two-fluid flow water jet nozzle |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018096576A (en) * | 2016-12-09 | 2018-06-21 | ダイキン工業株式会社 | Humidifier |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI468632B (en) | 2015-01-11 |
CN101990617A (en) | 2011-03-23 |
TW200949175A (en) | 2009-12-01 |
KR20110016861A (en) | 2011-02-18 |
CN101990617B (en) | 2013-11-27 |
WO2009125776A1 (en) | 2009-10-15 |
JPWO2009125776A1 (en) | 2011-08-04 |
JP5343231B2 (en) | 2013-11-13 |
KR101516772B1 (en) | 2015-05-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5343231B2 (en) | Temperature and humidity control device | |
KR101453924B1 (en) | Device for precise temperature control | |
JP2002206834A (en) | Indirect evaporative cooling device | |
JP5205601B2 (en) | Temperature and humidity control device | |
JP5099843B2 (en) | Temperature and humidity control device | |
JP4960292B2 (en) | Temperature and humidity control device | |
JP2010007961A (en) | Temperature-humidity controller | |
KR20180123904A (en) | Humidity control device using humidity material | |
JP4865758B2 (en) | Temperature and humidity control device | |
JP2005061647A (en) | Air conditioning system | |
JP2011021830A (en) | Temperature and humidity control device | |
JP5568728B2 (en) | Temperature / humidity adjusting device and temperature / humidity adjusting method | |
JP2009300049A (en) | Temperature and humidity adjusting device | |
KR20000057872A (en) | Thermo-hydrostatic system | |
JP2009122357A (en) | Device for regulating temperature of plate-like member | |
JP2009293834A (en) | Temperature and humidity regulator | |
JP6047726B2 (en) | Temperature and humidity control device | |
JP2010236700A (en) | Temperature and humidity control device | |
JP6047725B2 (en) | Temperature and humidity control device | |
JP2009293833A (en) | Temperature and humidity regulator | |
JP5428021B2 (en) | Temperature and humidity control device | |
JP2010007958A (en) | Temperature adjusting device | |
JP2010255879A (en) | Temperature adjusting device | |
JP2012250136A (en) | Compressed air dehumidifier | |
JP5526359B2 (en) | Temperature control blower |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130527 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140218 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140624 |