JP2013165292A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 垂直軸線を有する積層配列で位置付けられた複数の大口径の半導体円形ウエハとしてのウエハを受容する前開きのウエハ容器であって、前記ウエハ容器は、
   左閉鎖側面、右閉鎖側面、閉鎖背面、前開き部分、および、空洞内部を有する容器部分であって、前記空洞内部は、前記ウエハを受容と収容するために前記空洞内部の中央に位置付けられた複数の容器スロットを含む容器部分と；
   前記前開き部分を閉じるべく前記容器部分に取付可能であって、前記容器部分に選択的にラッチ可能なドアと
   を備え、
   前記容器部分は、前記空洞内部内に垂直に整列するように相互接続する容器ウエハ支持体の左カラムと右カラムを有し、前記左カラムは前記左閉鎖側面に近接し、前記右カラムは前記右閉鎖側面に近接し、
   それぞれ前記カラム対は、前記ウエハに周縁支持を提供すべく、前記ウエハの円形に従う弓形の半径方向内向の縁を有し、
   前記カラム対のそれぞれは、前記前開き部分側面に向けて周方向に延び、最も内側且つ前方に、垂直積層支持体の先端を有し、その結果、積層ウエハ配列の前記垂直軸線に対して測定された前記垂直積層支持体の先端同士の間の開口は、８５°から１１０°までの角度である
   ことを特徴とする、ウエハ容器。
2. 前記垂直積層支持体の先端同士の間の前記開口は、８８°から１０５°までの角度である、
   請求項１記載のウエハ容器。
3. それぞれ前記カラムは、
   前記ウエハの周縁端部に従う弓形部分と前端を有し、
   前記弓形部分に対して鋭角で、前記前端からそれぞれ側面に向かって延びる支持体脚部分を一体成形構造で有する、
   請求項１記載のウエハ容器。
4. 垂直軸線に沿って積層配列で位置付けられた複数の大口径円形の半導体ウエハとしてのウエハを受容する前開きのウエハ容器であって、前記ウエハ容器は、
   左閉鎖側面、右閉鎖側面、閉鎖背面、前開き部分、および、空洞内部を有する容器部分であって、前記空洞内部は、前記ウエハを受容と収容するために前記空洞内部内の中央に位置付けられた複数の容器スロットを有することと；
   前記前開き部分を閉じるべく前記容器部分に取付可能であるように、前記容器部分に選択的にラッチ可能なドアと
   を備え、
   前記容器部分は、前記空洞内部に垂直に整列した相互接続する容器ウエハ支持体の一対のカラムを備え、前記対の一方は、前記左閉鎖側面に近接し、もう一方は、前記右閉鎖側面に近接し、
   それぞれ前記カラム対は、前端（６７５）をもって前記円形ウエハの前記周縁端部に従う弓形部分を備え、更に前記弓形部分に対して鋭角で前記前端（６７５）から前記各側面に向かって延びる支持体脚部分（６７８）を備える一体成形構造である
   ことを特徴とする、ウエハ容器。
5. それぞれ前記カラム対は、前記ウエハに周縁支持体を提供すべく、前記ウエハの前記円形の形に従う弓形を備えた半径方向内方の縁を備え、
   それぞれ前記カラム対は、前記前開き部分側面に向けて周方向に延び、最も内側且つ前方に垂直積層支持体の先端を有し、その結果、前記積層ウエハ配列の前記垂直軸線に対して測定されたそれぞれの前記垂直積層支持体の先端同士の間の開口は、８５°から１１０°までの角度である、
   請求項４記載のウエハ容器。
6. 大口径のウエハを自動的に挿入と取出するために、前開きのウエハ容器と、エンドエフェクタとを用いるウエハ取扱方法であって、前記ウエハ取扱方法は、
   ４５０ｍｍのウエハの前方弓形係合部分と後方弓形係合部分において、前記エンドエフェクタによって前記ウエハを把持する把持段階であって、前記前方弓形係合部分は前記ウエハの前面で約８０°から９０°までの角度に亘って前記ウエハの周縁周囲に広がり、前記後方弓形係合部分は、前記ウエハの背面で約８０°から９０°までの角度に亘って前記周縁周囲に広がる把持段階と；
   その次に、側方ウエハ支持体間に９０°から１１０°までの角度の前面アクセス開口を定め、約８０°から９０°までの角度の前記ウエハ容器の側面に、弓形係合領域を提供する、前記側方ウエハ支持体をもったウエハ容器に、前記４５０ｍｍのウエハを挿入着座する挿入着座段階と
   を有することを特徴とする、ウエハ取扱方法。
7. 周縁ウエハ支持を提供するウエハ容器と、ウエハ容器からウエハを挿入と取出を行うエンドエフェクタとの組み合わせであって、
   前記ウエハ容器は、８５°よりも大きく広がる側方ウエハ支持体と、前記エンドエフェクタを８５°から１１０°までの角度の範囲にわたって受容する前面アクセス開口とを備え、
   前記エンドエフェクタは、８０°から９０°までの角度に亘る円弧で定められた位置でウエハの背面周縁に係合し、８０°から９０°までの角度に亘る円弧で定められた位置でウエハの前方周縁に係合するように構成された
   組み合わせ。
8. 複数の弓形側方ウエハ棚と、該弓形側方ウエハ棚から突出する複数のＶ字形支持体とによってそれぞれ形成される複数のスロットを有する前開きのウエハ容器であって、
   それぞれ前記スロットは、ウエハが前記Ｖ字形支持体の頂点に係合される場合の第１輸送位置を有し、前記ウエハが前記弓形側方ウエハ棚上に載置している場合の第２移送位置を有し、
   移送形態において、それぞれ前記ウエハは、一対の前記弓形側方ウエハ棚によって支えられ、前記弓形側方ウエハ棚は、前記ウエハ容器のそれぞれ側面に位置し、それぞれ前記弓形側方ウエハ棚は、前記ウエハの周縁で少なくとも約９０°の係合を提供するように構成され、
   前記ウエハ容器は、前記ウエハ容器の内外に前記ウエハを搬送するためのロボットアームを受容するためのアクセス開口を有し、前記弓形側方ウエハ棚の中間に存在する前記アクセス開口は、ウエハの前面端部への８５°から１１０°までの角度のロボット係合アクセスを提供するように構成され、
   前記ウエハが前記スロット内で前記移送位置に存在する場合、前記ウエハは、前記ウエハ容器部分の背面の少なくとも２つの位置では支えられず、前記２つの位置は、前記ウエハの周縁周囲に少なくとも約７０°広がるように構成されている
   ことを特徴とする、ウエハ容器。
9. 複数の弓形側方ウエハ棚と、該弓形側方ウエハ棚から突出する複数のＶ字形支持体とによってそれぞれ形成される複数のスロットを有する前開きのウエハ容器であって、
   それぞれ前記スロットは、ウエハが前記Ｖ字形支持体の頂点に係合される場合の第１輸送位置を有し、前記ウエハが前記弓形側方ウエハ棚上に載置している場合の第２移送位置を有し、
   移送形態において、それぞれ前記ウエハは、一対の前記弓形側方ウエハ棚によって支えられ、前記弓形側方ウエハ棚は、前記ウエハ容器のそれぞれ側面に位置し、
   前記ウエハ容器は、前記ウエハ容器の内外に前記ウエハを搬送するためのロボットアームを受容するためのアクセス開口を有し、前記弓形側方ウエハ棚の中間に存在する前記アクセス開口は、ウエハの前面端部への８５°から１１０°までの角度のロボット係合アクセスを提供するように構成され、
   前記ウエハが前記スロット内で前記移送位置に存在する場合、前記ウエハは、前記ウエハ容器部分の背面の少なくとも２つの位置では支えられず、前記２つの位置は、前記ウエハの周縁周囲に少なくとも約７０°広がるように構成されている
   ことを特徴とする、ウエハ容器。