JP2013165289A - 識別記号付ダイシングシートおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】略円形状の基材2および粘着剤層3と、粘着剤層3上の周縁部に積層された、リングフレーム貼付用の環状基材4および環状粘着剤層5とを備えたダイシングシート1であって、リングフレーム貼付部6とウェハ貼付部7との間のスペースには、当該ダイシングシート1の識別記号8が印刷により印字されている。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の一実施形態に係るダイシングシートの平面図(a)および底面図(b)であり、図2は同実施形態に係るダイシングシートの断面図である。なお、本実施形態に係るダイシングシートは、ダイシングのみに使用されるものであってもよいし、ダイボンディングにも使用されるダイシング・ダイボンディングシートであってもよい。
リングフレーム用粘着シートを以下のようにして作製した。
ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面にシリコーン剥離層を設けてなる剥離材(厚さ:38μm)の剥離層面に、アクリル系弱粘着剤の粘着剤層(厚さ:10μm)を形成した。
ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面にシリコーン剥離層を設けてなる剥離材(厚さ:38μm)の剥離層面に、エポキシ系加熱硬化型粘接着剤の粘着剤層(厚さ:20μm)を形成した。
印刷の代わりに凹凸型を使用して、ウェハ用粘着シートの基材におけるリングフレーム用粘着シートとの積層部分に打刻を行う以外、実施例1と同様にして、剥離材の長手方向にダイシングシートが複数並んで積層された積層体を製造した。
2…基材
3…粘着剤層
4…環状基材
5…環状粘着剤層
6…リングフレーム貼付部
7…ウェハ貼付部
8…識別記号
Claims (5)
- 基材と粘着剤層とを備えた略円形状のダイシングシートであって、
ウェハ貼付部以外の部分の少なくとも一部に、当該ダイシングシートの識別記号が印刷により印字されている
ことを特徴とする識別記号付ダイシングシート。 - 前記識別記号が前記基材に印字されていることを特徴とする請求項1に記載の識別記号付ダイシングシート。
- 前記識別記号がインクジェット方式により印字されていることを特徴とする請求項1または2に記載の識別記号付ダイシングシート。
- 前記ダイシングシートの外周部はリングフレーム貼付部となっており、前記リングフレーム貼付部には、前記基材および粘着剤層とは別の基材および粘着剤層が設けられており、
前記識別記号は、ウェハ貼付部以外の部分であって、かつ前記リングフレーム貼付部以外の部分の少なくとも一部に印字されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の識別記号付ダイシングシート。 - 少なくとも基材と粘着剤層とを備えた積層体を製造する工程と、
前記積層体の基材の露出面または粘着剤層の露出面におけるウェハ貼付部以外の部分の少なくとも一部に、ダイシングシートの識別記号を印刷により印字する工程と、
前記積層体をカットして略円形状のダイシングシートを得る工程と
を備えたことを特徴とする識別記号付ダイシングシートの製造方法。
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