JP2013165289A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基材と粘着剤層とを備えた略円形状のダイシングシートであって、
   前記ダイシングシートの外周部はリングフレーム貼付部となっており、
   ウェハ貼付部以外の部分であって、かつ前記リングフレーム貼付部以外の部分から前記リングフレーム貼付部にかけて、当該ダイシングシートの識別記号が印刷により複数連続的に印字されている
   ことを特徴とする識別記号付ダイシングシート。
2. 前記識別記号が前記基材に印字されていることを特徴とする請求項１に記載の識別記号付ダイシングシート。
3. 前記識別記号が前記基材の前記粘着剤層側の面の反対面に印字されていることを特徴とする請求項２に記載の識別記号付ダイシングシート。
4. 前記識別記号がインクジェット方式により印字されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の識別記号付ダイシングシート。
5. 少なくとも基材と粘着剤層とを備え、外周部がリングフレーム貼付部となっている積層体を製造する工程と、
   前記積層体の基材の露出面または粘着剤層の露出面におけるウェハ貼付部以外の部分であって、かつ前記リングフレーム貼付部以外の部分から前記リングフレーム貼付部にかけて、ダイシングシートの識別記号を印刷により複数連続的に印字する工程と、
   前記積層体をカットして略円形状のダイシングシートを得る工程と
   を備えたことを特徴とする識別記号付ダイシングシートの製造方法。
6. 前記識別記号を前記基材に印字することを特徴とする請求項５に記載の識別記号付ダイシングシートの製造方法。
7. 前記識別記号を前記基材の前記粘着剤層側の面の反対面に印字することを特徴とする請求項６に記載の識別記号付ダイシングシートの製造方法。
8. 前記識別記号をインクジェット方式により印字することを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載の識別記号付ダイシングシートの製造方法。