JP2013162044A - 基板洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板Wの表面のロール洗浄部材14を挟んだ両側の複数位置に洗浄液及びリンス水をそれぞれ供給する複数の洗浄液供給ノズル20a〜20c,22a〜22c及び複数のリンス水供給ノズル24a〜24c,26a〜26cと、各洗浄液供給ノズルから基板表面に供給される洗浄液及び各リンス水供給ノズルから供給されるリンス水の流量をそれぞれ規制する流量制御弁36a〜36c,38a〜38c及び流量制御弁48a〜48c,50a〜50cと、各洗浄液供給ノズルから供給される洗浄液の流量及び各リンス水供給ノズルから供給されるリンス水の流量をそれぞれ規制する流量制御弁をそれぞれ制御する制御部52を有する。
【選択図】図2
Description
14,16 ロール洗浄部材
20a〜20c,22a〜22c 洗浄液供給ノズル
24a〜24c,26a〜26c リンス水供給ノズル
28 洗浄液供給源
30,42 流量計
32,44 主流量調整弁
34 洗浄液供給ライン
36a〜36c,38a〜38c,48a〜48c,50a〜50c 開閉弁
40 リンス水供給源
46 リンス水供給ライン
52 制御部
Claims (8)
- 基板の直径のほぼ全長に亘って直線状に水平に延びるロール洗浄部材と基板とを共に一方向に回転させつつ、洗浄液の存在下で、前記ロール洗浄部材と基板表面とを互いに接触させて該表面をスクラブ洗浄する基板洗浄装置において、
基板表面の前記ロール洗浄部材を挟んだ両側の複数位置に洗浄液をそれぞれ供給する複数の洗浄液供給ノズルと、
基板表面の前記ロール洗浄部材を挟んだ両側の複数位置にリンス水をそれぞれ供給する複数のリンス水供給ノズルと、
前記各洗浄液供給ノズルから基板表面に供給される洗浄液の流量をそれぞれ規制する流量制御弁と、
前記各リンス水供給ノズルから基板表面に供給されるリンス水の流量をそれぞれ規制する流量制御弁と、
前記各洗浄液供給ノズルから供給される洗浄液の流量をそれぞれ規制する流量制御弁及び前記各リンス水供給ノズルから供給されるリンス水の流量をそれぞれ規制する流量制御弁をそれぞれ制御する制御部を有することを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記各洗浄液供給ノズルから供給される洗浄液の流量をそれぞれ規制する流量制御弁及び前記各リンス水供給ノズルから供給されるリンス水の流量をそれぞれ規制する流量制御弁は、開閉弁であることを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記ロール洗浄部材の少なくとも表面部は、吸水性に富んだスポンジ素材で形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の基板洗浄装置。
- 前記吸水性に富んだスポンジ素材は、PVAであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 前記リンス水は、純水またはガス溶存水であることを特徴とする請求項請求項1乃至4のいずれか一項に記載の洗浄装置。
- 基板の直径のほぼ全長に亘って直線状に水平に延びるロール洗浄部材と基板とを共に一方向に回転させつつ、洗浄液の存在下で、前記ロール洗浄部材と基板表面とを互いに接触させて該表面をスクラブ洗浄する基板洗浄方法において、
基板表面に前記ロール洗浄部材を接触させつつ、基板表面の前記ロール洗浄部材を挟んだ両側の複数位置に洗浄液をそれぞれ供給する複数の洗浄液供給ノズルの内の任意の洗浄液供給ノズルから基板表面に洗浄液を供給して該表面を洗浄する工程と、
基板表面から前記ロール洗浄部材を離した状態で、基板表面の前記ロール洗浄部材を挟んだ両側の複数位置にリンス水を供給する複数のリンス水供給ノズルの内の任意のリンス水供給ノズルから基板表面にリンス水を供給して該表面をリンスする工程を有することを特徴とする基板洗浄方法。 - 基板の直径のほぼ全長に亘って直線状に水平に延びるロール洗浄部材と基板とを共に一方向に回転させつつ、洗浄液の存在下で、前記ロール洗浄部材と基板表面とを互いに接触させて該表面をスクラブ洗浄する基板洗浄方法において、
基板表面から前記ロール洗浄部材を離した状態で、基板表面の前記ロール洗浄部材を挟んだ両側の複数位置にリンス水を供給する複数のリンス水供給ノズルの内の任意のリンス水供給ノズルから基板表面にリンス水を供給して該表面をリンスし、
リンス水の供給を停止し、基板表面の前記ロール洗浄部材を挟んだ両側の複数位置に洗浄液をそれぞれ供給する複数の洗浄液供給ノズルの内の任意の洗浄液供給ノズルから基板表面に洗浄液を供給して該表面のリンス水を洗浄液に置換した後、前記ロール洗浄部材を基板表面に接触させて該表面を洗浄し、
前記ロール洗浄部材を基板表面から離間させ洗浄液の供給を停止した後、基板表面の前記ロール洗浄部材を挟んだ両側の複数位置にリンス水を供給する複数のリンス水供給ノズルの内の任意のリンス水供給ノズルから基板表面にリンス水を供給して該表面をリンスすることを特徴とする基板洗浄方法。 - 前記ロール洗浄部材を基板表面に接触させて該表面を洗浄したまま、基板表面の前記ロール洗浄部材を挟んだ両側の複数位置にリンス水を供給する複数のリンス水供給ノズルの内の任意のリンス水供給ノズルから基板表面にリンス水を供給し、しかる後、前記ロール洗浄部材を基板表面から離間させることを特徴とする請求項7に記載の基板洗浄方法。
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