JP2013157374A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハ用の収納ケース1と、収納ケース1に嵌合されるカバーケース20とを備え、収納ケース1は、被施錠ピン8を備えた台座2と、台座2よりも幅狭に形成されて半導体ウェーハを収納する収納部3とを含み、台座2に収納部3を設けてこれらの間に段差4を形成し、収納部3の上部を開口させて内部には半導体ウェーハ用の複数の支持溝11を形成する。カバーケース20は、収納部3を覆う天板21と、天板21から伸びて収納部3の外周面に対向する周壁24とを備え、周壁24の長壁25を段差4に接触可能とし、周壁24の短壁26を台座2の短壁に対向可能に伸長するとともに、短壁26の下部に、被施錠ピン8に干渉する施錠孔28を穿孔する。
【選択図】図1
Description
収納ケースとカバーケースのうち、少なくとも収納ケースを、熱可塑性樹脂100質量部に極細長導電繊維を2〜15質量部添加した成形材料により成形し、
収納ケースは、周面にカバーケース用の被施錠部を備えた台座と、この台座よりも狭い幅に形成され、基板を起立させて収納する略筒形の収納部とを含み、台座上に収納部を設けて台座と収納部の外周面との間には段差を形成し、収納部の一対の対向面に基板用の複数の支持溝をそれぞれ形成し、
カバーケースは、収納部の開口した上部を覆う天板と、この天板の周縁部から下方に伸びて収納部の外周面に対向する周壁とを含み、この周壁の一部の端を台座と収納部との段差に対向可能とし、周壁の残部を台座の周面に対向可能に伸長するとともに、この周壁の残部には、台座の被施錠部に干渉する施錠部を形成したことを特徴としている。
また、収納ケースを平面視で略長方形に形成してその台座と収納部内との間には仕切り壁を形成するとともに、この仕切り壁に、基板用の接触回避部と位置規制部とをそれぞれ形成し、台座を下部が開口した断面略U字形に形成してその短壁にはカバーケース用の被施錠部を形成し、収納部における一対の長壁の内面長手方向に複数の支持溝をそれぞれ所定のピッチで配列形成することができる。
また、支持溝を、仕切り壁から収納部の開口上部方向に向かうにしたがい徐々に広がる縦長の断面略U字形あるいは略V字形に形成することが可能である。
2 台座
3 収納部
4 段差
5 仕切り壁
6 接触回避部
7 位置規制部
8 被施錠ピン(被施錠部)
9 案内規制片
10 長壁
11 支持溝
11A 支持溝
12 大傾斜領域
13 小傾斜領域
20 カバーケース
21 天板
22 弾性片
23 スタッキングリブ(積層用の突起)
24 周壁
25 長壁(周壁の一部)
26 短壁(周壁の残部)
28 施錠孔(施錠部)
29 切り欠き溝
30 位置決め搬送手段
31 噛合溝(凹部)
32 噛合歯
33 貫通穴(凹部)
34 凹み穴(凹部)
35 支柱
40 自動機
41 位置決め機構
45 搬送機構
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (5)
- 基板用の収納ケースと、この収納ケースに嵌め合わされるカバーケースとを備えた基板収納容器であって、
収納ケースとカバーケースのうち、少なくとも収納ケースを、熱可塑性樹脂100質量部に極細長導電繊維を2〜15質量部添加した成形材料により成形し、
収納ケースは、周面にカバーケース用の被施錠部を備えた台座と、この台座よりも狭い幅に形成され、基板を起立させて収納する略筒形の収納部とを含み、台座上に収納部を設けて台座と収納部の外周面との間には段差を形成し、収納部の一対の対向面に基板用の複数の支持溝をそれぞれ形成し、
カバーケースは、収納部の開口した上部を覆う天板と、この天板の周縁部から下方に伸びて収納部の外周面に対向する周壁とを含み、この周壁の一部の端を台座と収納部との段差に対向可能とし、周壁の残部を台座の周面に対向可能に伸長するとともに、この周壁の残部には、台座の被施錠部に干渉する施錠部を形成したことを特徴とする基板収納容器。 - 極細長導電繊維を、直径5〜100nmのカーボンナノチューブとしてその長さを0.1〜100μmとした請求項1記載の基板収納容器。
- 収納ケースを平面視で略長方形に形成してその台座と収納部内との間には仕切り壁を形成するとともに、この仕切り壁に、基板用の接触回避部と位置規制部とをそれぞれ形成し、台座を下部が開口した断面略U字形に形成してその短壁にはカバーケース用の被施錠部を形成し、収納部における一対の長壁の内面長手方向に複数の支持溝をそれぞれ所定のピッチで配列形成した請求項1又は2記載の基板収納容器。
- カバーケースを平面視で略長方形に形成してその周壁の一部を対向する一対の長壁とし、カバーケースの周壁の残部を短壁として一対の長壁の両端部間にそれぞれ架設し、カバーケースの天板の内面に、基板を保持する弾性片を設けるとともに、天板の外面に、積層用の突起を形成し、カバーケースの短壁には、台座の被施錠部に対向可能な施錠部を形成し、この短壁の両側部に切り欠き溝をそれぞれ形成することにより、短壁に可撓性を付与した請求項3記載の基板収納容器。
- 収納ケースとカバーケースのうち、少なくとも収納ケースに設けられ、台座の長壁外面の長手方向に複数の凹部が配列される位置決め搬送手段を含んでなる請求項3又は4記載の基板収納容器。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019097832A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
CN111422466A (zh) * | 2019-01-05 | 2020-07-17 | 西部数据技术公司 | 盘形制品装运容器 |
KR20200095409A (ko) * | 2019-01-30 | 2020-08-10 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | 복합재료 및 복합재료로 만든 반도체 용기 |
CN114396420A (zh) * | 2022-01-18 | 2022-04-26 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种硅块拼接方法 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03137541A (ja) * | 1989-10-23 | 1991-06-12 | Shimadzu Corp | 自動分析装置の試料分注装置 |
JPH0750338A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Yodogawa Kasei Kk | ガラス基板搬送用ボックス |
JPH10264986A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-10-06 | High Mold:Kk | 記憶ディスク収納ケース |
JP2007153402A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Takiron Co Ltd | 収容ケース |
JP2007220283A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Epak Internatl Inc | ディスク保持装置 |
WO2008096462A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-14 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 梱包用緩衝体および包装体 |
JP2010137921A (ja) * | 2010-03-02 | 2010-06-24 | Yodogawa Hu-Tech Kk | ガラス基板のパックおよびアンパック方法、ならびにガラス基板搬送用ボックス |
WO2011102318A1 (ja) * | 2010-02-19 | 2011-08-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
WO2011113033A2 (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Entegris, Inc. | Thin wafer shipper |
-
2012
- 2012-01-27 JP JP2012015035A patent/JP5881436B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03137541A (ja) * | 1989-10-23 | 1991-06-12 | Shimadzu Corp | 自動分析装置の試料分注装置 |
JPH0750338A (ja) * | 1993-08-04 | 1995-02-21 | Yodogawa Kasei Kk | ガラス基板搬送用ボックス |
JPH10264986A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-10-06 | High Mold:Kk | 記憶ディスク収納ケース |
JP2007153402A (ja) * | 2005-12-06 | 2007-06-21 | Takiron Co Ltd | 収容ケース |
JP2007220283A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Epak Internatl Inc | ディスク保持装置 |
WO2008096462A1 (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-14 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | 梱包用緩衝体および包装体 |
WO2011102318A1 (ja) * | 2010-02-19 | 2011-08-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP2010137921A (ja) * | 2010-03-02 | 2010-06-24 | Yodogawa Hu-Tech Kk | ガラス基板のパックおよびアンパック方法、ならびにガラス基板搬送用ボックス |
WO2011113033A2 (en) * | 2010-03-11 | 2011-09-15 | Entegris, Inc. | Thin wafer shipper |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019097832A1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-05-23 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
JP6578551B1 (ja) * | 2017-11-15 | 2019-09-25 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
US11227781B2 (en) | 2017-11-15 | 2022-01-18 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container |
CN111422466A (zh) * | 2019-01-05 | 2020-07-17 | 西部数据技术公司 | 盘形制品装运容器 |
US11031046B2 (en) | 2019-01-05 | 2021-06-08 | Western Digital Technologies, Inc. | Disk-shaped article shipping container |
CN111422466B (zh) * | 2019-01-05 | 2022-03-08 | 西部数据技术公司 | 盘形制品装运容器 |
KR20200095409A (ko) * | 2019-01-30 | 2020-08-10 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | 복합재료 및 복합재료로 만든 반도체 용기 |
KR102253218B1 (ko) * | 2019-01-30 | 2021-05-18 | 구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드 | 복합재료 및 복합재료로 만든 반도체 용기 |
US11056409B2 (en) | 2019-01-30 | 2021-07-06 | Gudeng Precision Industrial Co., Ltd. | Composite material and a semiconductor container made of the same |
CN114396420A (zh) * | 2022-01-18 | 2022-04-26 | 常州时创能源股份有限公司 | 一种硅块拼接方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5881436B2 (ja) | 2016-03-09 |
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